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平面顯示裝置的制作方法

文檔序號(hào):2910756閱讀:167來源:國(guó)知局
專利名稱:平面顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及平面顯示裝置,尤其涉及配備彼此相對(duì)并由密封部分密封在一起的前基板和后基板的平面顯示裝置。
背景技術(shù)
近些年,各種平面顯示裝置已開發(fā)作為下一代的輕薄顯示裝置,以代替冷陰極射線管(以下稱作CRT)。這些平面顯示裝置包括液晶顯示器(以下稱作LCD)、等離子體顯示板(以下稱作PDP)、場(chǎng)致發(fā)射顯示器(以下稱作FED)、表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射顯示器(以下稱作SED)等等。在LCD中,通過利用液晶的定向控制光強(qiáng)。在PDP中,通過等離子體放電產(chǎn)生的紫外線使得磷發(fā)光。在FED中,通過來自場(chǎng)致發(fā)射電子發(fā)射元件的電子束使得磷發(fā)光。在SED中,通過來自表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射元件的電子束使得磷發(fā)光。
例如,F(xiàn)ED或SED一般具有越過預(yù)定間隙彼此相對(duì)的前基板和后基板。這些基板具有通過矩形框架形式的側(cè)壁結(jié)合在一起的其各自的外圍部分,從而構(gòu)建了真空封殼。磷屏幕形成于前基板的內(nèi)表面上,且在后基板的內(nèi)表面上設(shè)置了較多數(shù)量的電子發(fā)射元件,用作激勵(lì)磷發(fā)光的電子發(fā)射源。多個(gè)支持部件設(shè)置于后基板和前基板之間,以支持作用于這些基板上的大氣負(fù)載。后基板側(cè)上的電位基本是接地電位,且陽極電壓Va施加到磷屏幕上。從電子發(fā)射元件發(fā)出的電子束施加到構(gòu)成磷屏幕的紅、綠和藍(lán)色的磷上,從而使得磷發(fā)光以顯示圖像。
根據(jù)這種類型的FED或SED,顯示裝置的厚度可以減小到幾個(gè)毫米或其上下。因此,在與用作現(xiàn)有TV或計(jì)算機(jī)的顯示器的CRT比較時(shí),它可以被形成得更輕更薄的。
例如,這種類型的顯示裝置描述于以下的文件中K.Sakai等人,Euro Display,18.3L,pp.569-572,1996,以及M.Yamaguchi等人,SID Intl.Symp.Digest Tech.Papers,pp.52-55,1997。
在FED和SED中,封殼的內(nèi)部必須保持高真空。同樣在PDP中,在被內(nèi)部抽空一次之后,封殼必須填充有放電氣體。此外,在LCD中,封殼的內(nèi)部必須填充有液晶。因此,這些封殼被配置成使得前基板和后基板的各外圍被氣密地密封在一起。
另一方面,各種外力作用到封殼上。例如,如果平面顯示裝置被運(yùn)輸、翻轉(zhuǎn)或落下,或者如果任何人傾斜靠在該顯示裝置上,則在封殼內(nèi)會(huì)產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)或彎曲壓力。該封殼可能會(huì)受到由于驅(qū)動(dòng)顯示裝置時(shí)產(chǎn)生的熱量引起的偏轉(zhuǎn)或者受到由于來自爐子等的熱量引起的突然的熱沖擊。因此,期望該封殼足夠堅(jiān)固以便不會(huì)由這些外力破壞。
通過增加基板的厚度或者在基板上添加加強(qiáng)膜或加強(qiáng)框架,可以相對(duì)方便地提升構(gòu)建封殼的兩個(gè)基板的抵抗力。通過使用較硬的燒結(jié)玻璃或增加密封寬度可以增強(qiáng)密封部分的抵抗力。
此外,當(dāng)前,建議使用粘合劑或低熔點(diǎn)金屬材料取代高熔點(diǎn)燒結(jié)玻璃作為密封材料,以便改善平面顯示裝置的屬性,降低其成本并將裝置除鉛。但在使用這種類型的密封材料的封殼中,密封部分比燒結(jié)玻璃和玻璃基板軟。因此,密封部分更可能由于作用于封殼上的壓力而脫位或者更可能降低密封屬性。在基板較厚較硬的平面顯示裝置或者其中兩個(gè)基板之間的間隙較寬的諸如FED或SED的平面顯示裝置中,由于封殼的偏轉(zhuǎn)增加了作用于密封部分上的壓力。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明已考慮的這些問題,其目的在于提供具有改良的可靠性的一種平面顯示裝置,其中避免了密封部分的脫位和密封屬性的降低。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面,提供了一種平面顯示裝置,它包括前基板和后基板,它們彼此相對(duì);密封部分,其位于前基板和后繼的各外圍邊緣部分之間,并用密封材料將外圍邊緣部分密封在一起;以及加強(qiáng)部分,它設(shè)置于密封部分的至少一部分之外并具有比密封材料更硬的核心部件。
根據(jù)本發(fā)明的該方面中的平面顯示裝置,配置加強(qiáng)部分,從而用粘合材料將核心部件嵌入前基板和后基板之間或者用粘合材料將核心部件固定到前基板和后基板之一上并由前基板和后基板中的另一個(gè)的端面接受。
根據(jù)按該方式構(gòu)建的平面顯示裝置,在密封部分之外的前基板和后基板的外圍邊緣部分處提供加強(qiáng)部分。因此,作用于基板的外圍邊緣部分上的外力可以由加強(qiáng)部分接受,且可以相當(dāng)?shù)販p少作用于密封部分上的外力。因此,提供了具有改良可靠性和顯示特性的平面顯示裝置,其中即使在施加外力時(shí)也可以避免密封部分的脫位和密封屬性的降低。
附圖概述

圖1是示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的FED的透視圖;圖2是沿圖1的線II-II獲得的FED的剖視圖;圖3是FED的平面圖;圖4是典型地示出根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的FED的一部分的平面5是典型地示出根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的FED的一部分的平面6是沿圖5的線VI-VI獲得的FED的剖視圖;圖7是示出根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施例的FED的剖視圖;圖8是沿圖7的線VIII-VIII獲得的剖視圖;以及圖9是示出根據(jù)本發(fā)明的進(jìn)一步實(shí)施例的FED的剖視圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將參考附圖詳細(xì)描述將本發(fā)明應(yīng)用于作為平面顯示裝置的FED上的實(shí)施例。
如圖1和2所示,F(xiàn)ED包括后基板11和前基板12,它們都由透明的矩形絕緣基板構(gòu)成,例如玻璃板。這些基板彼此相對(duì),它們之間具有間隙。后基板11和前基板12具有通過密封部分13密封在一起的其各自的外圍邊緣部分,并構(gòu)成平面的矩形真空封殼10。矩形框架形式的密封部分13位于后基板11的各外圍邊緣部分和后基板11之間并延伸覆蓋基板的整個(gè)外圍。
磷屏幕16形成于前基板12的內(nèi)表面上。通過并排地排列紅、藍(lán)和綠色磷層以及光屏蔽層形成磷屏幕16。這些磷層是條紋形或點(diǎn)形的。由鋁等形成并用作陽極電極的金屬背部17形成于磷屏幕16上。大量電子發(fā)射元件18按矩陣排列在后基板11的內(nèi)表面上并面向磷屏幕16。
為了保持后基板11和前基板12之間的間隙,大量板形或柱形間隔物14置于基板之間。間隔物14具有其各自的相對(duì)端,個(gè)別地與后基板11和前基板12嚙合,從而支持作用于這些基板上的大氣壓負(fù)荷并將基板之間的間隔保持在給定值。
例如,后基板11和前基板12的每一個(gè)都由具有少許小于約3mm的尺寸30-50的玻璃基板形成且彼此相對(duì),通過間隔物14保持約1的間隙。密封部分13由例如銦的低熔點(diǎn)金屬材料構(gòu)成,并具有約2mm的寬度。
如圖2和3所示,在密封部分13之外,在后基板11和前基板12的各四側(cè)上個(gè)別提供了用于加強(qiáng)密封部分的加強(qiáng)部分20。每一個(gè)加強(qiáng)部分20都具有加長(zhǎng)板形式的核心部件22和粘合材料24。核心部件22固定地夾在后基板11和前基板12的各外圍邊緣部分之間,在它們之間用粘合材料24并沿著靠近密封部分13的其相應(yīng)側(cè)延伸。在這種情況中,每個(gè)加強(qiáng)部分20都被設(shè)置成基本覆蓋基板的每一側(cè)的全長(zhǎng),除了它們的邊角部分。
每一個(gè)核心部件22都由例如具有約0.8mm和6mm寬的矩形截面的玻璃肋條構(gòu)成。例如,無機(jī)粘合劑用作粘合材料24。粘合材料24填充于核心部件22的外表面、后基板、前基板和密封部分13之間的間隙中,并具有約0.1mm層厚。
在按這種方式構(gòu)建的FED中,在通過后基板11上形成的線路將電壓施加到電子發(fā)射元件18上時(shí),電子發(fā)射元件18向磷屏幕16發(fā)射電子。于是,磷屏幕16的磷層被激勵(lì)以發(fā)光和顯示圖像。
以下是按這種方式構(gòu)建的FED的制造方法的描述。
例如,在用于36英寸TV的FED的制造中,個(gè)別地為后基板11和前基板12制備具有稍小于3mm的厚度的玻璃板。電子發(fā)射元件18和各種線路形成于后基板11上。間隔物14使用低熔點(diǎn)金屬密封材料(諸如燒結(jié)玻璃或銦)預(yù)先固定在后基板11上。磷屏幕16和金屬背部17,一鋁膜,形成于前基板12上。
隨后,通過沿一個(gè)基板(例如后基板11)的外圍邊緣部分將銦涂覆成2mm寬和1.0mm厚而形成密封部分13。銦是極好的密封材料,具有156℃之低的熔點(diǎn),如果在真空中被加熱,則釋放極少量的氣體,并很小使FED的屬性劣化。也可以使用包含銦或無機(jī)或樹脂基的粘合劑,取代銦,作為形成密封部分13的密封材料。
此后,后基板11和按上述方式制備的后基板11在真空容器中被密封在一起以形成真空封殼10。更具體地,后基板11和前基板12被加熱以釋放由各個(gè)部件的各表面吸收的氣體,此外,用電子束清理這些部件。在隨后后基板11和后基板11彼此相對(duì)并置于真空容器中之后,形成密封部分13的銦被電氣加熱以完全熔化。在這種狀態(tài)中,后基板11和前基板12在一方向上受壓以相互靠近,且后基板11和前基板12的各外圍邊緣部分通過由銦構(gòu)成的密封部分13被密封在一起。
此后,冷卻后基板11和前基板12,從而密封部分13凝固,于是形成FED的真空封殼10。隨后,在后基板11和前基板12的每一側(cè)上,在基板的各外圍邊緣部分之間填充給定量的粘合材料24。此后,核心部件22被推入并夾在基板的外圍邊緣部分之間。在這種狀態(tài)中,粘合材料24被固化以形成加強(qiáng)部分20。通過這些過程可以獲得具有加強(qiáng)部分20的FED。
根據(jù)按這種方式構(gòu)建的FED,加強(qiáng)部分20設(shè)置于密封部分13之外的真空封殼10的外圍邊緣部分上。因此,即使任何外力作用于真空封殼10上,也可以避免密封部分13被脫位或降低密封屬性,從而可以改善可靠性。
更特別地,在其它粘合劑之中,形成加強(qiáng)部分20的粘合材料24的無機(jī)粘合劑是相對(duì)較硬的材料。但是,如果密封面積固定,其針對(duì)剪切力的硬度基本與密封材料銦的相等。因此,沒有由比密封材料和粘合材料更堅(jiān)固的玻璃肋條構(gòu)成的核心部件22的加強(qiáng)結(jié)構(gòu)僅產(chǎn)生一加強(qiáng)效果,從而增加密封部分的密封寬度。因此,特別是,不能減輕作用于銦的密封部分13上的壓力。
根據(jù)本實(shí)施例,構(gòu)成加強(qiáng)部分20的核心部件22的針對(duì)剪切力的硬度約是粘合材料24的硬度的2到20倍。粘合材料24具有約0.1mm的足夠小的層厚。因此,加強(qiáng)部分20的一般硬度非常地高于密封部分13的硬度。因此,作用于后基板11和前基板12的外圍邊緣部分之上的多數(shù)剪切應(yīng)力僅集中于硬加強(qiáng)部分20上。因此,該剪切應(yīng)力幾乎沒有作用于比加強(qiáng)部分20更軟的銦的密封部分13上。
如上所述,已作用于密封部分13上的多數(shù)壓力集中地作用于硬加強(qiáng)部分20上。較佳地,因此,加強(qiáng)部分20應(yīng)由從不屈服(yield)的材料構(gòu)成并具有特定的粘合面積。根據(jù)本實(shí)施例,加強(qiáng)部分20在遍及基板的每一側(cè)上具有約5到6mm的粘合寬度,從而可以獲得實(shí)際上充分的抗彎強(qiáng)度。
根據(jù)本實(shí)施例的FED,如以上可見,采用配備加強(qiáng)部分20的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)可以有效地加強(qiáng)密封部分13。如果任何外力作用于真空封殼10上,可以避免密封部分13脫位或降低密封屬性。因此,可以獲得具有改良的可靠性和顯示特性的FED,其中密封部分13高度密封且可以避免后基板11和前基板12相互脫位。
只有當(dāng)它由比至少密封部分13和粘合材料24更硬的材料構(gòu)成時(shí),加強(qiáng)部分20的核心部件22可以產(chǎn)生加強(qiáng)效果。如果它由金屬或陶瓷構(gòu)成取代前述玻璃,它可以享有所需的硬度。
加強(qiáng)部分20的粘合材料24不限于前述無機(jī)粘合劑,且如果它由諸如環(huán)氧樹脂的樹脂材料或者通過向樹脂材料添加二氧化硅或氧化鋁的填充物制備的材料構(gòu)成,則可以享有接近期望的硬度和加強(qiáng)效果。
加強(qiáng)部分20的形成區(qū)域不限于前述實(shí)施例的情況,或者可以提供其覆蓋密封部分13之外的基板的整個(gè)外圍。僅當(dāng)沿后基板和前基板中每一個(gè)的至少一側(cè)而不是四側(cè)提供時(shí),加強(qiáng)部分20可以享有加強(qiáng)效果。
在如圖4所示的第二實(shí)施例中,在后基板11和前基板12的每一側(cè)上斷續(xù)地設(shè)置多個(gè)加強(qiáng)部分20。在這種情況中可以獲得與前述第一實(shí)施例的那些相類似的功能和效果。
根據(jù)圖5和6所示的第三實(shí)施例,構(gòu)成每個(gè)加強(qiáng)部分20的核心部件22配備填充部分26,通過該填充部分將粘合材料24加載到粘合表面上。為核心部件22單獨(dú)提供多個(gè)填充部分26,且它們?cè)诤诵牟考?2的縱向上按間隔設(shè)置。每個(gè)填充部分26具有一對(duì)通孔28a和28b,其與核心部件22的縱向成直角單獨(dú)延伸并相互成直角。核心部件22被固定地夾在后基板11和前基板12的各外圍邊緣部分之間,它們之間具有粘合材料24,且核心部件22沿靠近密封部分13的每個(gè)基板的一側(cè)延伸。
在用前述配置形成加強(qiáng)部分20的過程中,核心部件22被設(shè)置于基板的每一側(cè)處后基板11和前基板12的各外圍邊緣部分之間。此后,粘合材料24通過每個(gè)填充部分26的通孔28a和28b注入并引導(dǎo)到粘合表面上。更具體地,粘合材料24通過填充部分26填充入核心部件22的外表面、后基板、前基板和密封部分13之間的間隙。此后,通過固化粘合材料24形成加強(qiáng)部分20。
根據(jù)按這種方式構(gòu)建的FED,加強(qiáng)部分20的核心部件22配備填充部分26。因此,在核心部件設(shè)置于后基板11和前基板12的各外圍邊緣部分之間后,粘合材料24可以通過填充部分加載到粘合表面上。在這種情況中,位于核心部件22的外表面、后基板、前基板和密封部分13之間的間隙中的粘合材料24的層厚可以形成為比前述第一實(shí)施例的情況中的更薄。由于可以使粘合材料層變薄,相應(yīng)地可以增加核心部件22的尺寸。因此,可以進(jìn)一步提升加強(qiáng)部分20的加強(qiáng)效果。
第三實(shí)施例的其它配置與第一實(shí)施例中的那些相同,從而相同的標(biāo)號(hào)用于指明相同的部分,且省去了這些部分的詳細(xì)描述。采用第三實(shí)施例也可以獲得與第一實(shí)施例中的那些類似的功能和效果。
如果加強(qiáng)部分20的長(zhǎng)度很短,至少一個(gè)填充部分26應(yīng)僅設(shè)置于每個(gè)加強(qiáng)部分中。每個(gè)填充部分26僅期望具有至少一個(gè)出口,它在核心部件22的外表面、后基板、前基板和密封部分13之間的間隙中打開,以及至少一個(gè)注入端口,它從真空封殼10向外打開。填充部分26不限于前述的通孔并可以由核心部件22的表面上形成的凹槽構(gòu)成。
以下是根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的FED的描述。在前述實(shí)施例中,每個(gè)加強(qiáng)部分的核心部件都被固定地夾在后基板11和前基板12的各外圍周邊部分之間,它們之間具有粘合材料24,且該核心部件沿著靠近密封部分13的每個(gè)基板的一側(cè)延伸。另一方面,根據(jù)第四實(shí)施例,加強(qiáng)部分20單獨(dú)設(shè)置于真空封殼10的邊角部分上。每個(gè)加強(qiáng)部分20具有基本L形的彎曲核心部件22。核心部件22被設(shè)置成與后基板11的表面以及密封部分13之外的前基板12的邊角部分的側(cè)邊緣相對(duì),并通過這些基板、密封部分和核心部件之間的間隙中的粘合材料24固定。其它配置與前述第一實(shí)施例的那些相同,從而相同的參考標(biāo)號(hào)用于表示相同的部分,且省去了這些部分的詳細(xì)描述。
根據(jù)第四實(shí)施例,前基板12和加強(qiáng)部分20相互成加壓(或拉伸)關(guān)系,而不是切變關(guān)系。因此,雖然前基板的粘合面積基本等于基板的厚度,核心部件22可以確保令人滿意的屈服強(qiáng)度。對(duì)于后基板11和加強(qiáng)部分20之間的切變強(qiáng)度,利用后基板11的上表面的邊角部分的較寬區(qū)域(其中沒有驅(qū)動(dòng)線路等等),通過加強(qiáng)部分20僅加強(qiáng)基板的邊角部分可以產(chǎn)生令人滿意的加強(qiáng)效果。因此,采用第四實(shí)施例也可以獲得與第一實(shí)施例的那些基本相同的功能和效果。
應(yīng)僅提供至少兩個(gè)加強(qiáng)部分20彼此相對(duì),且它們之間具有一個(gè)基板。此外,如果它們鄰近于基板的側(cè)邊而不是設(shè)置于邊角部分上,加強(qiáng)部分可以實(shí)現(xiàn)它們的加強(qiáng)效果。同樣在第四實(shí)施例中,每個(gè)核心邊角22都可以配備前述填充部分,用于將粘合材料加載到粘合表面上,從而在核心部件被設(shè)置于相對(duì)于基板的給定位置之后,可以填充粘合材料。
在上述第一到第四實(shí)施例中,將后基板11和前基板12的各外圍邊緣部分密封在一起的密封部分13僅由密封材料構(gòu)成。但是,或者,可以通過組合例如玻璃的框架形狀的側(cè)壁30和位于該側(cè)壁和后基板11之間以及該側(cè)壁和前基板12之間的密封材料32形成密封部分13,如圖9所示。
此外,本發(fā)明不限于上述實(shí)施例,且這里可以實(shí)現(xiàn)各種修改而不背離本發(fā)明的范圍。例如,本發(fā)明不限于FED且可以應(yīng)用于任何其它平面圖像顯示裝置,諸如SED、PDP等等??梢园葱枰煌馗淖儌€(gè)別元件部件的尺寸、形狀等等。特別是,構(gòu)成加強(qiáng)部分的核心部件不限于具有矩形截面的板形狀,且可以任選地成形。
產(chǎn)業(yè)應(yīng)用性根據(jù)本發(fā)明,如這里詳細(xì)描述的,提供了具有改良可靠性的一種平面顯示裝置,其中使用簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)可以有效地加強(qiáng)密封部分,且可以避免密封部分的脫位和密封屬性的降低。
權(quán)利要求
1.一種平面顯示裝置,其特征在于,包括前基板和后基板,它們彼此相對(duì);密封部分,其位于前基板和后繼的各外圍邊緣部分之間,并用密封材料將外圍邊緣部分密封在一起;以及加強(qiáng)部分,它設(shè)置于密封部分的至少一部分之外并具有比密封材料更硬的核心部件。
2.如權(quán)利要求1所述的平面顯示裝置,其特征在于,加強(qiáng)部分的核心部件用其間的粘合材料固定于前基板和后基板的各外圍邊緣部分之間。
3.如權(quán)利要求2所述的平面顯示裝置,其特征在于,提供加強(qiáng)部分,其基本覆蓋前基板和后基板中每一個(gè)的至少一側(cè)的全長(zhǎng)。
4.如權(quán)利要求2所述的平面顯示裝置,其特征在于,沿前基板和后基板中每一個(gè)的至少一側(cè)斷續(xù)地設(shè)置多個(gè)加強(qiáng)部分。
5.如權(quán)利要求1所述的平面顯示裝置,其特征在于,加強(qiáng)部分的核心部件面向前基板和后基板之一的一表面以及另一個(gè)基板的一側(cè)邊緣,并用粘合材料被固定到該表面和該側(cè)邊緣。
6.如權(quán)利要求5所述的平面顯示裝置,其特征在于,加強(qiáng)部分的多個(gè)所述核心部件單獨(dú)地設(shè)置成相對(duì)于另一個(gè)基板的側(cè)邊緣上的多個(gè)位置。
7.如權(quán)利要求2到6中任一項(xiàng)所述的平面顯示裝置,其特征在于,核心部件具有填充部分,它引導(dǎo)從前基板和后基板之外提供到核心部件和前基板及后基板之間的粘合表面的密封材料。
8.如權(quán)利要求1到6中任一項(xiàng)所述的平面顯示裝置,其特征在于,所述核心部件由玻璃、陶瓷或金屬構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求1到6中任一項(xiàng)所述的平面顯示裝置,其特征在于,粘合材料是有機(jī)粘合材料或樹脂基的粘合材料。
10.如權(quán)利要求1到6中任一項(xiàng)所述的平面顯示裝置,其特征在于,密封材料是粘合材料或低熔點(diǎn)金屬。
11.如權(quán)利要求1到6中任一項(xiàng)所述的平面顯示裝置,其特征在于,密封材料是包含銦或銦合金的低熔點(diǎn)金屬材料。
12.如權(quán)利要求1到6中任一項(xiàng)所述的平面顯示裝置,其特征在于,前基板和后基板之間的間隙是1mm或更大。
13.如權(quán)利要求1到6中任一項(xiàng)所述的平面顯示裝置,其特征在于,包括前基板的內(nèi)表面上形成的磷屏幕,設(shè)置于后基板上并激勵(lì)磷屏幕的多個(gè)電子發(fā)射源,以及設(shè)置于前基板和后基板之間的多個(gè)間隔物。
全文摘要
平面顯示裝置的真空封殼(10)包括彼此相對(duì)的后基板(11)和前基板(12),以及將前基板(12)和后基板(11)的各外圍邊緣部分密封在一起的密封部分(13)。加強(qiáng)部分(20)具有比密封材料(13)更硬的核心部件(22),并設(shè)置于密封部分(13)的至少一部分之外。通過使用加強(qiáng)部分(20),作用于基板的外圍邊緣部分上的外力可以由加強(qiáng)部分(20)接受,從而可以相當(dāng)?shù)販p少作用于密封部分(13)上的外力。因此,如果施加任何外力,可以避免密封部分(13)脫位或者降低密封屬性。
文檔編號(hào)H01J29/86GK1679132SQ0382063
公開日2005年10月5日 申請(qǐng)日期2003年8月25日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月29日
發(fā)明者橫田昌広, 山田晃羲 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝
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