專利名稱：氣密室連接管線的貫通結(jié)構(gòu)、有該結(jié)構(gòu)的裝置及其制法的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如連接收容在氣密室內(nèi)的液滴排出裝置等的加工處理裝置與它的附屬裝置的管道·布線的、貫通氣密室的壁體的氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)及具備連接管線貫通結(jié)構(gòu)的排出裝置，以及液晶顯示裝置的制造方法，有機(jī)EL裝置的制造方法，電子放射裝置的制造方法，PDP裝置的制造方法，電泳顯示裝置的制造方法，濾色器的制造方法，有機(jī)EL的制造方法，分隔器形成方法，金屬布線形成方法，透鏡形成方法，抗蝕劑形成方法及光擴(kuò)散體形成方法。
在這樣的情況下，考慮初期投資費(fèi)及運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)，當(dāng)僅僅將氣氛管理必須的處理裝置收容在氣密室中時(shí)，與附屬裝置之間的管道和布線就要貫通氣密室的壁體，從這部分的氣氛的漏泄成為溫度和氣氛管理上的問題。
本發(fā)明的目的是提供能夠可靠地密封氣密室的壁體和貫通氣密室的壁體的連接管線之間的在氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)及具備連接管線貫通結(jié)構(gòu)的排出裝置，以及液晶顯示裝置的制造方法，有機(jī)EL裝置的制造方法，電子放射裝置的制造方法，PDP裝置的制造方法，電泳顯示裝置的制造方法，濾色器的制造方法，有機(jī)EL的制造方法，分隔器形成方法，金屬布線形成方法，透鏡形成方法，抗蝕劑形成方法及光擴(kuò)散體形成方法。
(解決課題的手段)本發(fā)明的氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)的特征是在由連接收容在氣密室中的加工處理裝置與它的附屬裝置的管道及/或者布線構(gòu)成的連接管線的、貫通氣密室的壁體的氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)中，具備在連接管線插通內(nèi)部的同時(shí)貫通壁體的貫通套管；填充在貫通套管的內(nèi)部密封貫通套管和連接管線之間的第1密封材料；以及密封貫通套管和壁體之間的第2密封材料。
采用這樣的結(jié)構(gòu)，由于將第1密封材料填充到貫通套管的內(nèi)部、使貫通套管和連接管線之間密封，即使連接管線是軟質(zhì)的、也能夠?qū)⑺诒容^長(zhǎng)的距離上密封，能夠提高密封性。還有，由于貫通套管在能夠從壁體的貫通開口保護(hù)連接管線的同時(shí)，由第1密封材料能夠保持連接管線不動(dòng)。另一方面，由第2密封材料，由于能夠使貫通套管和壁體之間密封，成為固定材料相互之間的密封，使密封容易的同時(shí)能夠提高密封性。
這種情況下，貫通套管具有筒狀的套管主體和形成在套管主體的外周面上的法蘭盤部，第2密封材料最好設(shè)置在法蘭盤部和壁體之間。
還有，法蘭盤部最好是在設(shè)置了第2密封材料的狀態(tài)下固定在壁體的外面?zhèn)取?br> 采用這樣的結(jié)構(gòu)，由于將第2密封材料設(shè)置在法蘭盤部和壁體之間，能夠以比較大的面積密封法蘭盤部及壁體間，能夠進(jìn)一步提高這一部分的密封性。還有，由于將法蘭盤部及第2密封材料固定在壁體的外側(cè)面上，容易進(jìn)行作業(yè)，能夠提高施工性(作業(yè)性)。
這種情況下，連接管線在插通貫通套管的同時(shí)，最好具有比貫通套管稍微長(zhǎng)一點(diǎn)形成的短尺寸管線和連接在短尺寸管線兩端的一對(duì)連接器部件。
采用這樣的結(jié)構(gòu)，由于在貫通套管內(nèi)編入構(gòu)成連接管線的一部分的短尺寸管線，能夠省略連接管線的處理等煩雜的作業(yè)，能夠提高作業(yè)性。還有，由連接在短尺寸管線的兩端的一對(duì)連接器部件，沒有使短尺寸管線和氣密室內(nèi)外的連接管線的連接作業(yè)變的煩雜。此外，一對(duì)的連接器部件最好使用單觸連接型，還有，必須防止連接錯(cuò)誤，最好在短尺寸管線的端部或者連接器上預(yù)先標(biāo)示連接器的種類。
另一方面，第1密封材料最好用濕式密封材料構(gòu)成，第2密封材料最好用干式密封材料構(gòu)成。
而且，在貫通套管的兩小口上最好分別安裝管帽部件。
采用這樣的結(jié)構(gòu)，由于用濕式密封材料作為第1密封材料，能夠特別妥當(dāng)?shù)孛芊廛涃|(zhì)的連接管線。還有，用向貫通套管注入的方法能夠進(jìn)行密封材料的填充作業(yè)，能夠提高作業(yè)性。進(jìn)一步，由于用管帽部件閉蓋貫通套管的兩小口，能夠?qū)⒌?密封材料適當(dāng)?shù)貕嚎s、提高它的密封性的同時(shí)，也能夠抑制第1密封材料的退化。另一方面，由于用干式密封材料作為第2密封材料，在使密封材料的處理變的容易的同時(shí)，特別是能夠妥當(dāng)?shù)孛芊庥操|(zhì)材料之間。此外，作為第1密封材料最好使用硅密封膠等填隙材料，進(jìn)一步，使用低硅氧烷型的填隙材料更好。作為第2密封材料最好使用所謂的襯墊(墊圈)。
本發(fā)明的其它的氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)的特征是在連接收容在氣密室中的加工處理裝置與它的附屬裝置的管道的、貫通氣密室的壁體的氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)中，具備在貫通壁體的同時(shí)在內(nèi)部形成流路的短管；連接在短管兩端上的一對(duì)連接接頭；形成在短管外周面上的法蘭盤；以及設(shè)置在法蘭盤和壁體之間的密封材料。
采用這種結(jié)構(gòu)，由于構(gòu)成管道一部分的短管成為兼任上述的貫通套管的結(jié)構(gòu)，能夠使密封部分的結(jié)構(gòu)單純化(密封的地方僅一個(gè)地方即可)，能夠提高密封性及安裝的作業(yè)性。還有，由連接在短管兩端上的一對(duì)的連接接頭，沒有使短管和氣密室內(nèi)外的管道的連接作業(yè)變的煩雜。此外，一對(duì)的連接接頭最好使用單觸連接型的連接接頭。還有，當(dāng)在壁體上匯集多個(gè)管道貫通的情況下，最好一體形成多個(gè)法蘭盤作為共同的法蘭盤，而且最好在各管道(或者連接接頭)上預(yù)先標(biāo)示它的種類。
本發(fā)明的排出裝置的特征是，具備氣密室；收容在氣密室中的加工處理裝置；加工處理裝置的附屬裝置；由連接加工處理裝置與附屬裝置的管道及/或者布線構(gòu)成的連接管線；以及在上述氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)，加工處理裝置是一邊使導(dǎo)入了功能液的功能液滴排出頭對(duì)作為工件的基片相對(duì)的掃描一邊選擇性的排出功能液滴的液滴排出裝置。
同樣的，本發(fā)明的其它的排出裝置的特征是，具備氣密室；收容在氣密室中的加工處理裝置；加工處理裝置的附屬裝置；連接加工處理裝置與附屬裝置的管道；以及在上述氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)，加工處理裝置是一邊使導(dǎo)入了功能液的功能液滴排出頭對(duì)作為工件的基片相對(duì)的掃描一邊選擇性的排出功能液滴的液滴排出裝置。
采用這些結(jié)構(gòu)，在氣密室中，由于能夠可靠地防止從它的連接管線的貫通部的內(nèi)部氣氛的漏出(漏泄)，在能夠適當(dāng)?shù)丶庸ぬ幚淼耐瑫r(shí)，能夠防止因漏泄的氣氛引起的環(huán)境污染。
本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法是使用上述排出裝置，在濾色器的基片上形成濾波元件的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于在功能液滴排出頭上導(dǎo)入濾波材料，使功能液滴排出頭對(duì)基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出濾波材料形成濾波元件。
本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法是使用上述排出裝置，在基片上的象素圖像元件上形成EL發(fā)光層的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于在功能液滴排出頭上導(dǎo)入發(fā)光材料，使功能液滴排出頭對(duì)基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出發(fā)光材料形成EL發(fā)光層。
本發(fā)明的電子放射裝置的制造方法是使用上述排出裝置，在電極上形成熒光體的電子放射裝置的制造方法，其特征在于在功能液滴排出頭上導(dǎo)入熒光材料，使功能液滴排出頭對(duì)電極相對(duì)的掃描，選擇性的排出熒光材料形成熒光體。
本發(fā)明的PDP裝置的制造方法是使用上述排出裝置，在背面基片上的凹部上形成熒光體的PDP裝置的制造方法，其特征在于在功能液滴排出頭上導(dǎo)入熒光材料，使功能液滴排出頭對(duì)背面基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出熒光材料形成熒光體。
本發(fā)明的電泳顯示裝置的制造方法是使用上述排出裝置，在電極上的凹部上形成泳動(dòng)體的電泳顯示裝置的制造方法，其特征在于在功能液滴排出頭上導(dǎo)入泳動(dòng)體材料，使功能液滴排出頭對(duì)電極相對(duì)的掃描，選擇性的排出泳動(dòng)體材料形成泳動(dòng)體。
這樣，由于上述排出裝置適用于液晶顯示裝置的制造方法、有機(jī)EL(Electro-Luminescence)裝置的制造方法、電子放射裝置的制造方法、PDP(Plasma Display Panel)裝置的制造方法及電泳顯示裝置的制造方法，能夠提高在各裝置中得到的發(fā)光層或熒光體等的品質(zhì)。此外，液滴排出頭的掃描，一般說有主掃描及付掃描，在用單一的液滴排出頭構(gòu)成的所謂1線的情況下，成為僅有付掃描。還有，電子放射裝置是包含所謂的FED(FieldEmission Display)裝置的概念。
本發(fā)明的濾色器的制造方法是使用上述排出裝置，在基片上制造排列濾波元件而成的濾色器的濾色器的制造方法，其特征在于在功能液滴排出頭上導(dǎo)入濾波材料，使功能液滴排出頭對(duì)基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出濾波材料形成濾波元件。
這種情況下，形成披敷濾波元件的外層涂敷膜，在形成濾波元件后，最好在功能液滴排出頭上導(dǎo)入透光性的涂敷材料，使功能液滴排出頭對(duì)基片相對(duì)掃描，選擇性的排出涂敷材料形成外層涂敷膜。
本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法是使用上述排出裝置，在基片上排列包含EL發(fā)光層的象素圖像元件而成的有機(jī)EL的制造方法，其特征在于在功能液滴排出頭上導(dǎo)入發(fā)光材料，使功能液滴排出頭對(duì)基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出發(fā)光材料形成EL發(fā)光層。
這種情況下，最好在EL發(fā)光層和基片之間，對(duì)應(yīng)EL發(fā)光層形成象素電極，在功能液滴排出頭上導(dǎo)入液狀電極材料，使功能液滴排出頭對(duì)基片相對(duì)掃描，選擇性的排出液狀電極材料形成象素電極。
這種情況下，最好覆蓋EL發(fā)光層那樣地形成對(duì)向電極，在形成EL發(fā)光層后，在功能液滴排出頭上導(dǎo)入液狀電極材料，使功能液滴排出頭對(duì)基片相對(duì)掃描，選擇性的排出液狀電極材料形成對(duì)向電極。
本發(fā)明的分隔器形成方法是使用上述排出裝置，在2枚的基片間形成必須構(gòu)成單元間隙的粒子狀的分隔器的分隔器形成方法，其特征在于在功能液滴排出頭上導(dǎo)入構(gòu)成分隔器的粒子材料，使功能液滴排出頭至少對(duì)一方的基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出粒子材料在基片上形成分隔器。
本發(fā)明的金屬布線形成方法是使用上述排出裝置，在基片上形成金屬布線的金屬布線形成方法，其特征在于在功能液滴排出頭上導(dǎo)入液狀金屬材料，使功能液滴排出頭對(duì)基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出液狀金屬材料形成金屬布線。
本發(fā)明的透鏡形成方法是使用上述排出裝置，在基片上形成多個(gè)微透鏡的透鏡形成方法，其特征在于在功能液滴排出頭上導(dǎo)入透鏡材料，使功能液滴排出頭對(duì)基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出液狀透鏡材料形成微透鏡。
本發(fā)明的抗蝕劑形成方法是使用上述排出裝置，在基片上形成任意形狀的抗蝕劑的抗蝕劑形成方法，其特征在于在功能液滴排出頭上導(dǎo)入抗蝕劑原料，使功能液滴排出頭對(duì)基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出抗蝕劑原料形成抗蝕劑。
本發(fā)明的光擴(kuò)散體形成方法是使用上述排出裝置，在基片上形成光擴(kuò)散體的光擴(kuò)散體形成方法，其特征在于在功能液滴排出頭上導(dǎo)入光擴(kuò)散材料，使功能液滴排出頭對(duì)基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出光擴(kuò)散材料形成光擴(kuò)散體。
這樣，由于上述的排出裝置適用于濾色器的制造方法、有機(jī)EL的制造方法、分隔器的形成方法、金屬布線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕劑形成方法及光擴(kuò)散體形成方法，能夠提高在各電子器件或光器件中追求的發(fā)光層等的功能部分的品質(zhì)。
圖2是與實(shí)施方式相關(guān)的排出裝置(液滴排出裝置及附屬裝置)的側(cè)視模式圖。
圖3是氣密室中的管道貫通部周圍的放大剖面圖。
圖4是多根管道貫通的氣密室的管道貫通部的放大立體圖。
圖5是多根布線(FFC)貫通的氣密室的布線貫通部的放大立體圖。
圖6是與第2實(shí)施方式相關(guān)的氣密室的管道貫通部周圍的放大剖面圖。
圖7是多根管道貫通的第2實(shí)施方式的氣密室中的管道貫通部的放大立體圖。
圖8由實(shí)施方式的濾色器的制造方法制造的濾色器的部分放大圖。
圖9是模式性的示出實(shí)施方式的濾色器的制造方法的制造工序剖面圖。


圖10是由實(shí)施方式的濾色器的制造方法制造的液晶顯示裝置的剖面圖。
圖11是與實(shí)施方式相關(guān)的有機(jī)EL裝置的制造方法中的堤岸部形成工序(無機(jī)物堤岸)的剖面圖。
圖12是與實(shí)施方式相關(guān)的有機(jī)EL裝置的制造方法中的堤岸部形成工序(有機(jī)物堤岸)的剖面圖。
圖13是與實(shí)施方式相關(guān)的有機(jī)EL裝置的制造方法中的等離子體處理工序(親水化處理)的剖面圖。
圖14是與實(shí)施方式相關(guān)的有機(jī)EL裝置的制造方法中的等離子體處理工序(防水化處理)的剖面15是與實(shí)施方式相關(guān)的有機(jī)EL裝置的制造方法中的空穴注入層形成工序(功能液滴排出)的剖面圖。
圖16是與實(shí)施方式相關(guān)的有機(jī)EL裝置的制造方法中的空穴注入層形成工序(干燥)的剖面圖。
圖17是與實(shí)施方式相關(guān)的有機(jī)EL裝置的制造方法中的表面改性工序(功能液滴排出)的剖面圖。
圖18是與實(shí)施方式相關(guān)的有機(jī)EL裝置的制造方法中的表面改性工序(干燥)的剖面圖。
圖19是與實(shí)施方式相關(guān)的有機(jī)EL裝置的制造方法中的B發(fā)光層形成工序(功能液滴排出)的剖面圖。
圖20是與實(shí)施方式相關(guān)的有機(jī)EL裝置的制造方法中的B發(fā)光層形成工序(干燥)剖面圖。
圖21是與實(shí)施方式相關(guān)的有機(jī)EL裝置的制造方法中的R·G·B發(fā)光層形成工序的剖面圖。
圖22是與實(shí)施方式相關(guān)的有機(jī)EL裝置的制造方法中的對(duì)向電極形成工序的剖面圖。
圖23是與實(shí)施方式相關(guān)的有機(jī)EL裝置的制造方法中的密封工序的剖面圖。
符號(hào)說明1、排出裝置；2、液滴排出裝置；3、功能液滴排出頭；4、附屬裝置；5、腔室裝置；6、連接管；7、連接電纜；23、X軸滑動(dòng)塊；26、Y軸滑動(dòng)塊；31、腔室；33、壁體；51、布線貫通單元；52、管道貫通單元；61、貫通套管；62、筒狀短管；63、第1密封材料；64、第2密封材料；66、套管主體；67、法蘭盤部；69、短管；70、連接接頭；72、密封蓋；75、貫通套管；76、電纜短線；78、套管主體；79、法蘭盤部；81、短線；82、連接連接器；91、短管；92、連接接頭；93、公用法蘭盤；94、公用密封材料；400、濾色器；412、像素；415、堤岸層；416、墨水層；422、外層涂敷層；466、基片；500、有機(jī)EL裝置；501、基片；502、電路元件部；504、有機(jī)EL元件；510a、空穴注入/輸運(yùn)層；510b、發(fā)光層；W、基片。
本實(shí)施方式的排出裝置適用于有機(jī)EL裝置或?yàn)V色器等的所謂的平面顯示器的制造裝置，在惰性氣體的氣氛中，從它的多個(gè)功能液滴排出頭排出發(fā)光材料等的功能液，例如形成用作有機(jī)EL裝置的發(fā)光功能的各象素的EL發(fā)光層及空穴注入層。
因此，在本實(shí)施方式中，在說明適用于有機(jī)EL裝置的制造裝置的排出裝置的同時(shí)，還說明用它制造的有機(jī)EL裝置的結(jié)構(gòu)及制造方法(制造工藝)，還有作為它的應(yīng)用的濾色器的結(jié)構(gòu)及制造方法(制造工藝)。
如圖1及圖2所示，實(shí)施方式的排出裝置1具備搭載了功能液滴排出頭3的液滴排出裝置(加工處理裝置)2和向該液滴排出裝置2供給功能液等的附屬裝置4(參照?qǐng)D2)。液滴排出裝置2收容在腔室裝置5內(nèi)，由各種的連接管(管道)6及連接電纜(布線)7與設(shè)置在腔室裝置5的外部的附屬裝置4之間連接。即，一方面液滴排出裝置2由搭載的功能液滴排出頭3在作為工件的基片W上排出發(fā)光材料(功能液)、形成有機(jī)EL裝置的EL發(fā)光層，另一方面，在腔室裝置5中構(gòu)成的惰性氣體(氮?dú)?的氣氛中進(jìn)行包含該功能液滴排出頭3的排出動(dòng)作的一系列的制造工序。
液滴排出裝置2具有用石定盤構(gòu)成的機(jī)臺(tái)11；設(shè)置在機(jī)臺(tái)11上的X軸工作臺(tái)12及與它正交的Y軸工作臺(tái)13；吊設(shè)在Y軸工作臺(tái)13上那樣設(shè)置的主托架14；以及搭載在主托架14上的噴頭單元15。詳細(xì)情況將在下面敘述，在噴頭單元15上通過輔助托架16搭載多個(gè)功能液滴排出頭3。
還有，在液滴排出裝置2上在組裝進(jìn)向多個(gè)功能液滴排出頭3供給功能液(發(fā)光材料)的輔助罐18的同時(shí)，組裝驅(qū)動(dòng)多個(gè)功能液滴排出頭3排出的噴頭驅(qū)動(dòng)器19。進(jìn)一步，在液滴排出裝置2上除接受功能液滴排出頭3的定期的沖洗(從全排出噴嘴的功能液舍棄排出)的沖洗單元、摩擦接觸功能液滴排出頭3的噴嘴面的摩擦接觸單元之外(圖示都省略)，組裝進(jìn)行功能液滴排出頭3的功能液吸引及保管的清洗單元20。
X軸工作臺(tái)12具有構(gòu)成X軸方向驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的線性電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的X軸滑動(dòng)器23，在滑動(dòng)器23上搭載空氣吸引θ工作臺(tái)24及基片W的吸引工作臺(tái)25構(gòu)成。還有，Y軸工作臺(tái)13具有構(gòu)成Y軸方向驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的滾珠及伺服電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的Y軸滑動(dòng)器26、在Y軸滑動(dòng)器上搭載吊設(shè)上述主托架14的跨接板27構(gòu)成。
而且，在搭載在主托架14上的噴頭單元15上，通過輔助托架16搭載多個(gè)功能液滴排出頭3。特別詳細(xì)的情況圖中沒有示出，在輔助托架16上搭載12個(gè)功能液滴排出頭3，這些功能液滴排出頭3每6個(gè)一組分成二組，對(duì)主掃描方向按規(guī)定的角度傾斜配置。(參照?qǐng)D1)在本實(shí)施方式的液滴排出裝置2中，與功能液滴排出頭3的驅(qū)動(dòng)(功能液滴的選擇性排出)同步是基片W移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，功能液滴排出頭3的所謂的主掃描由X軸工作臺(tái)12的X方向的往復(fù)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行。還有，與此對(duì)應(yīng)，所謂的付掃描由Y軸工作臺(tái)13沿功能液滴排出頭3的Y方向的往復(fù)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行。
腔室裝置5具備腔室(氣密腔室)31和對(duì)腔室31供給經(jīng)溫度及水分管理的惰性氣體的氣體供給裝置32，具有所謂的潔凈室的形態(tài)。在腔室31上導(dǎo)入作為惰性氣體的氮?dú)猓杖菰谇皇覂?nèi)的上述液滴排出裝置2暴露在氮?dú)獾臍夥罩?，在氮?dú)獾臍夥罩泄ぷ鳌?br> 另一方面，附屬裝置4在具備搭載在圖中未示出的機(jī)箱形式的公共機(jī)臺(tái)上的微計(jì)算機(jī)(PC)41；統(tǒng)一控制液滴排出裝置2的控制器42；以及向上述輔助罐18供給功能液的主罐43的同時(shí)，還具備連接在上述吸收臺(tái)25上的真空吸引裝置44；連接在上述清洗單元20等的儲(chǔ)氣罐、連接在上述主罐43上的壓縮空氣供給裝置45；以及通過吸收泵21連接在上述清洗單元等上的廢液罐46。此外，這里的壓縮空氣供給裝置45的供給的空氣使用的是經(jīng)溫度及水分管理的惰性氣體。
例如，微計(jì)算機(jī)41將生成的功能液滴排出頭3的排出圖形生成數(shù)據(jù)輸送到液滴排出裝置2的噴頭驅(qū)動(dòng)器19上，控制器42根據(jù)設(shè)置在輔助罐18上的液位傳感器22的檢測(cè)結(jié)果，通過壓縮空氣供給裝置45控制主罐43的功能液供給。而且，在微計(jì)算機(jī)41及噴頭驅(qū)動(dòng)器19之間、以及液位傳感器22及控制器42之間通過貫通腔室31的壁體(主要是側(cè)壁的上部)33的布線貫通單元51由連接電纜7連接。
還有，在輔助罐18及主罐43之間通過貫通腔室31的壁體(主要是側(cè)壁的下部)33的管道貫通單元52，由連接管6連接。同樣地，在吸引工作臺(tái)25及真空吸引裝置44之間、在清洗單元20的儲(chǔ)氣罐及壓縮空氣供給裝置45之間、以及清洗單元20的吸引泵21及廢液罐46之間通過貫通腔室31的壁體(主要是側(cè)壁的下部)33的管道貫通單元52由連接管6連接。
這里，參照?qǐng)D3乃至圖7，詳細(xì)說明本發(fā)明的關(guān)鍵部位的布線貫通單元51及管道貫通單元52。圖3示出了貫通腔室31的壁體33的連接管6及連接電纜7(連接管線)的基本的貫通結(jié)構(gòu)，是以最單純的管道貫通單元52作為例子示出。此外，在實(shí)施方式中，雖然是以FFC(Flat Flexible Cable)作為連接電纜7的例子進(jìn)行了說明，根據(jù)用途可以使用各種電纜，同樣地，以硅管作為連接管的例子作了說明，當(dāng)然根據(jù)用途也可以使用各種管道(或者樹脂導(dǎo)管)。
如該圖所示，管道貫通單元52具備貫通形成在腔室31的壁體33上的貫通開口33a的貫通套管61；插通在貫通套管61的內(nèi)部、構(gòu)成連接管6的一部分的短管62；填充在貫通套管61的內(nèi)部、密封貫通套管61的內(nèi)周面和短管62之間的第1密封材料63；以及密封貫通套管61的外周面和壁體33之間的第2密封材料64。即，壁體33的貫通開口33a和連接管(短管62)6通過貫通套管61用它的內(nèi)側(cè)的第1密封材料63和外側(cè)的第2密封材料64密封。
貫通套管61用不銹鋼、鋁、樹脂等的耐蝕性的導(dǎo)管材料構(gòu)成，由圓筒狀的套管主體66和在套管主體66的長(zhǎng)度方向的中間部外周面上一體形成的法蘭盤部67構(gòu)成。在法蘭盤部67上沿圓周方向形成多個(gè)圓孔(圖示中省略)，將法蘭盤部67在緊靠壁體33的外側(cè)的狀態(tài)下、由從圓孔螺合的固定螺絲68、使貫通套管61的固定在壁體33上。此外，貫通套管61與連接管6的管徑相比作成充分大的管徑，長(zhǎng)度在考慮填充它的第1密封部材63的密封性后決定。
短管62由比貫通套管61稍微長(zhǎng)一些切斷貫通連接管6的短管(短尺寸管路)69和連接在短管69的兩端部上的一對(duì)連接接頭(連接器)70、70構(gòu)成，在該一對(duì)的連接接頭70上通過接頭71分別從腔室31的內(nèi)外連接的連接管6。這種情況下，短管62的連接接頭70和連接管6的接頭71是雄接頭及雌接頭的關(guān)系，最好使用單觸型接頭。此外，代替硅管也可以使用硬質(zhì)的樹脂導(dǎo)管或者金屬導(dǎo)管構(gòu)成短管69。
第1密封材料63由硅密封膠等的防水填縫材料(濕式密封材料)構(gòu)成，由防水填縫材料罐注入以填充插通短管62的貫通套管61的內(nèi)部。此外，在注入第1密封材料63后，如圖3(a)所示，在貫通套管61的兩小口上最好安裝帶有密封器72a的密封蓋(封蓋部件)72。
第2密封材料64由環(huán)形圓板狀的包裝物(干式密封材料)構(gòu)成，設(shè)置在壁體33的外面和貫通套管61的法蘭盤部67之間。即，法蘭盤部67在將第2密封材料64介在之間的狀態(tài)下，由固定螺絲68固定在壁體33的外側(cè)面上。此外，代替密封物也可以使用O型環(huán)。
在這樣的結(jié)構(gòu)中，由于壁體33的貫通開口33a和連接管(短管62)6通過貫通套管61由第1密封材料63及第2密封材料64密封，一方面能夠夠保護(hù)連接管(短管62)6、同時(shí)能夠提高它的密封性。特別是，由于第1密封材料63及第2密封材料64是能夠確保廣面積的密封面積的結(jié)構(gòu)，能夠可靠地防止密封斷裂等，能夠可靠地防止從該部分向腔室31內(nèi)的氣氛的漏泄及水分的流入等。
圖4，是將多個(gè)連接管6匯總起來收容在單一的貫通套管61中的管道貫通單元52。在該管道貫通單元52中使用有足夠口徑的管道使得多個(gè)連接管(在這種情況下，是多個(gè)短管62)6能夠適當(dāng)?shù)?、存在間隙地插通。此外，這種情況下，在貫通套管61的內(nèi)部上最好設(shè)置使上述多個(gè)短管62整齊排列的隔板及/或者上述的密封蓋72。還有，在各短管62上，最好預(yù)先粘貼表示它的種類(用途的類別)的鉛封等。
圖5是將多個(gè)連接管7匯總收容在單一的貫通套管75內(nèi)的布線貫通單元51。該布線貫通單元51具備貫通形成在壁體33上的貫通開口33a的矩形斷面的貫通套管75；插通在貫通套管75的內(nèi)部、構(gòu)成連接電纜7的一部分的多根電纜短線(短尺寸線路)；填充在貫通套管75的內(nèi)部密封貫通套管的內(nèi)周面和多個(gè)電纜短線76之間的的第1密封材料63；以及密封貫通套管75的外周面和壁體33之間的第2密封材料64。
而且，與上述相同，貫通套管75由矩形筒狀的套管主體78和在套管主體78的長(zhǎng)度方向的中間部外周面上一體形成的矩形法蘭盤部79構(gòu)成。還有，電纜短線76由比貫通套管75稍微長(zhǎng)切斷連接電纜7的短線(短尺寸管路)81和連接在短線81的兩端部上的一對(duì)的連接連接器(連接器)82、82組成，在該一對(duì)的連接連接器82、82上分別從腔室31的內(nèi)外通過連接器83將連接電纜7連接起來。這種情況下，電纜短線76的連接連接器82和連接電纜7的連接器83是陽連接器和陰連接器的關(guān)系。
在這樣的結(jié)構(gòu)中，與上述相同，由于第1密封材料63及第2密封材料64是能夠廣泛地確保密封面積的結(jié)構(gòu)，能夠可靠地防止密封中斷等，能夠可靠地防止從該部分向腔室31內(nèi)的氣氛的漏泄及水分的流入。此外，在這種情況下，在貫通套管75的內(nèi)部上，最好也設(shè)置使多個(gè)電纜短線76整齊排列的隔板及/或者上述的密封蓋72。還有，在各電纜短線76上最好預(yù)先粘貼表示它的種類(用途類別)的鉛封等。進(jìn)一步，雖然沒有特別的圖示，也可以將連接管6和連接電纜7收容在單一的貫通套管61、75中。
其次，參照?qǐng)D6及圖7，說明管道貫通單元52的其它的實(shí)施方式。如圖6所示，該管道貫通單元52具備與貫通壁體33的同時(shí)在內(nèi)部形成流路的短管91；連接在短管91的兩端的一對(duì)的連接接頭92、92；形成在短管外周面上的法蘭盤93；以及設(shè)置在法蘭盤93和壁體33之間的第2密封材料64。即，短管91成為兼任上述的貫通套管61的結(jié)構(gòu)。
這種情況下，雖然短管91也可以由短地切斷連接管6而成，但考慮強(qiáng)度最好使用不銹鋼導(dǎo)管或硬質(zhì)的樹脂導(dǎo)管。而且，法蘭盤93一體的形成在短管91的長(zhǎng)度方向的中間部外周面上。還有，在短管91的兩端上與上述相同設(shè)置一對(duì)的連接接頭70、70，能夠用單觸點(diǎn)連接腔室31的內(nèi)外的連接管7。還有，如圖7所示，在將多個(gè)短管91匯總起來設(shè)置的管道貫通單元52中，對(duì)多個(gè)短管91使用共通的法蘭盤93及共同密封材料(密封物)94(都是橫長(zhǎng)的矩形)。
在這樣的結(jié)構(gòu)中，由于構(gòu)成連接管6的一部分的短管91兼做貫通套管的結(jié)構(gòu)，能夠使密封部分的結(jié)構(gòu)單純化(密封部位一個(gè)即可)，能夠提高該部分的密封性及管道貫通單元52的安裝作業(yè)性。特別是，由于密封部分成為1個(gè)部位而且由密封物密封，能夠可靠地密封腔室31的貫通部分。
但是，如前所述，本發(fā)明的排出裝置1也能夠適用于各種平面顯示器的制造方法、各種的電子器件及光器件的制造方法。因此，以液晶顯示裝置的制造方法及有機(jī)EL裝置的制造方法為例說明使用該排出裝置1的制造方法。此外，在液晶顯示裝置的制造方法中的排出裝置1中，在腔室內(nèi)導(dǎo)入溫度管理了的空氣，在有機(jī)EL裝置的制造方法中的排出裝置中，如上所述在腔室內(nèi)導(dǎo)入溫度管理了的氮?dú)狻?br> 圖8是液晶顯示裝置的濾色器的部分放大圖。圖8(a)是俯視圖，圖8(b)是圖8(a)的B-B′線的剖面圖。剖面圖各部的陰影線一部分省略了。
如圖8(a)所示，濾色器400具備矩陣狀排列的象素(濾波器元件)412，象素和象素的交界線由隔墻413隔開。在象素412的一個(gè)一個(gè)上導(dǎo)入紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)的任何一個(gè)的墨水(濾波器材料)。在該例中，將紅、綠、藍(lán)的配置作成所謂的三角形排列，但是也可以是條紋狀排列、鑲嵌狀排列等其它的配置。
如圖8(b)所示，濾色器400具備透光性的基片411和擋光性的隔墻413。沒有形成隔墻413(被除去了)的部分構(gòu)成上述象素412。在該象素412上導(dǎo)入的各色的墨水構(gòu)成濾色器元件層421。在隔墻413及濾色器元件層421的上面上形成外敷涂層422及電極層423。
圖9是說明與本發(fā)明的實(shí)施方式相關(guān)的濾色器的制造方法的制造工序剖面圖。省略了剖面圖各部的一部分陰影線。
由膜厚0.7mm、縱38cm、橫30cm的無堿玻璃組成的透明基片411的表面用在熱濃硫酸中添加1重量％過氧化氫水的洗凈液洗凈，用純凈水清洗后，進(jìn)行空氣干燥得到潔凈表面。在該表面上由濺射法形成平均膜厚0.2μm的鉻膜，得到金屬層414′(圖9S1)。
將該基片在熱板上80℃、5分鐘干燥后，在金屬層414′的表面上，由旋轉(zhuǎn)涂敷法形成抗蝕劑層(圖中未示出)。使描畫了所要的矩陣狀圖形形狀的掩膜薄膜密接在該基片表面上，用紫外線進(jìn)行曝光。其次，將它浸漬在包含8重量％比氫氧化鉀的堿性顯影液中，除去未曝光部分的光致抗蝕劑，將抗蝕劑層圖形化。接著，用以鹽酸為主成分的腐蝕液腐蝕除去露出的金屬層。這樣，能夠得到具有規(guī)定矩形圖形的擋光層(黑矩陣)414(圖9S2)。擋光層414的膜厚大約是0.2μm。還有，擋光層414的寬度大約是22μm。
在該基片上，進(jìn)一步用旋轉(zhuǎn)涂敷法涂敷負(fù)性的透明丙烯基系感光性樹脂組成物415′(圖9S3)。將它在100℃下進(jìn)行10分鐘前烘后，使用描畫了規(guī)定矩形圖形形狀的掩膜薄膜進(jìn)行紫外線曝光。仍然用堿性的顯影液將未曝光部分的樹脂顯影，用純水漂洗后旋轉(zhuǎn)干燥。作為最終的干燥的后烘在200℃下進(jìn)行30分鐘，使樹脂部充分固化，形成堤岸層415，形成由擋光層414及堤岸層415組成的隔墻413(圖9S4)。該堤岸層415的厚度平均是2.7μm。還有，堤岸層的寬度大約是14μm。
為了改善用得到的擋光層414及堤岸層415區(qū)劃的濾波元件層形成區(qū)域(特別是玻璃基片411的露出面)的墨水的沾潤性進(jìn)行干法刻蝕，即、進(jìn)行等離子處理。具體的說，在氦氣中摻20％氧氣的混合氣體中施加高電壓，在等離子體氣氛中形成刻蝕點(diǎn)，使基片通過該刻蝕點(diǎn)下刻蝕。
其次，在用隔墻413劃分形成的象素412內(nèi)，由噴墨方式導(dǎo)入上述R、G、B的各墨水(圖9S5)。在功能液滴排出頭3(噴墨頭)上，使用應(yīng)用壓電效應(yīng)的精密噴頭，在每個(gè)濾波元件層形成區(qū)域上滴微小墨水滴10滴，選擇性的跳過。驅(qū)動(dòng)頻率是14.4kHz，即、設(shè)定各墨水滴的排出間隔為69.5μ秒。設(shè)定噴頭與目標(biāo)間的距離為0.3mm。由噴頭向目標(biāo)的濾波元件層形成區(qū)域的飛翔速度、飛行彎曲，為了防止被稱為衛(wèi)星的分裂迷走滴的發(fā)生，墨水的物理性質(zhì)當(dāng)然驅(qū)動(dòng)噴頭的壓電元件的波形(包含電壓)是重要的。因此，將預(yù)先條件設(shè)定了的波形程序化，同時(shí)涂敷紅、綠、藍(lán)的三色，在規(guī)定的配色圖形上涂敷墨水。
作為墨水(濾波器材料)，例如、使用將無機(jī)顏料分散在聚氨基甲酸乙酯樹脂齊聚物內(nèi)，加入作為低沸點(diǎn)溶劑的環(huán)己酮及醋酸丁酯、作為高沸點(diǎn)溶劑的丁基二甘醇-乙醚醋酸鹽，進(jìn)一步作為分散劑加入0.01％重量的非離子系界面活性劑，粘度6～8厘泊的墨水。
其次，使涂敷的墨水干燥。首先，在自然氣氛中放置3小時(shí)進(jìn)行墨水層416的調(diào)整后，在80℃的熱板上加熱40分鐘，最后，在開放中200℃下加熱30分鐘，進(jìn)行墨水層416的固化處理，得到濾波元件層421(圖9S6)。
在上述基片上，旋轉(zhuǎn)涂敷透明丙烯基系樹脂涂料形成具有平滑面的外敷涂層422。進(jìn)一步，在它上面按照需要的圖形形成由ITO(Indium TinOxide)組成的電極層423，作為濾色器400。(圖9S7)。此外，也可以由功能液滴排出頭用液滴排出方式形成該外敷涂層422及電極層423。
圖10是作為用本發(fā)明的制造方法制造的電氣光學(xué)裝置(平面顯示器)的一個(gè)例子的彩色液晶顯示裝置的剖面圖。剖面圖各部的陰影線一部分省略了。
該彩色液晶顯示裝置450由將濾色器400和對(duì)向電極466組合，在兩者之間封入液晶組成物465制造。在液晶顯示裝置450的一方的基片466的內(nèi)側(cè)的面上，矩陣狀形成TFT(薄膜晶體管)元件(圖中未示出)和象素電極463。還有，作為另一方的基片，在與象素電極463對(duì)向的位置上排列紅、綠、藍(lán)濾波元件層421那樣的設(shè)置濾色器400。
在基片466和濾色器400的對(duì)向的各自的面上，形成定向膜461、464。這些定向膜461、464經(jīng)過摩擦處理，能夠使液晶分子按一定方向排列。還有，在基片466及濾色器400的外側(cè)面上，分別粘接偏光板462、467。還有，作為后照光一般使用熒光燈(圖中未示出)和散射板的組合，由使液晶組成物465作為改變后照光的透射率的光快門的功能進(jìn)行顯示。
此外，電氣光學(xué)裝置在本發(fā)明中不是僅限于上述的彩色液晶顯示裝置，例如，能夠使用薄型的陰極射線管、或者使用液晶快門的小型電視機(jī)、EL顯示裝置、等離子體顯示器、CRT顯示器、FED(Field Emission Display)面板等各種電氣光學(xué)方法。
其次，參照?qǐng)D11乃至圖23，說明有機(jī)EL裝置(有機(jī)EL顯示裝置)及其制造方法。
圖11乃至圖23在表示包含有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置的制造工藝的同時(shí)，表示它的結(jié)構(gòu)。該制造工藝具備由堤岸部形成工序、等離子體處理工序、空穴注入/輸運(yùn)層形成工序及發(fā)光層形成工序組成的發(fā)光元件形成工序；對(duì)向電極形成工序；以及封裝工序構(gòu)成。
在堤岸部形成工序中，在預(yù)先形成在基片501上的電路元件部502上及電極511(也稱作象素電極)上的規(guī)定的位置上，疊層無機(jī)物堤岸層512a和有機(jī)物堤岸層512b，形成具有開口部512g的堤岸部512。這樣，在堤岸部形成工序中包含在電極511的一部分上形成無機(jī)物堤岸層512a的工序和在無機(jī)物堤岸層上形成有機(jī)物堤岸層512b的工序。
首先，在形成無機(jī)物堤岸層512a的工序中，如圖11所示，在電路元件部502的第2層間絕緣膜544b上及象素電極511上形成無機(jī)物堤岸層512a。無機(jī)物堤岸層512a，例如用CVD法、涂敷法、濺射法、蒸發(fā)法等在第2層間絕緣膜544b及象素電極511的全面上形成SiO2、TiO2等的無機(jī)物膜。
其次，由刻蝕將該無機(jī)物膜圖形化，設(shè)置與電極511的電極面511a的形成位置對(duì)應(yīng)的下部開口部512c。這時(shí)，使無機(jī)物堤岸層512a與電極511的周緣部重疊那樣地預(yù)先形成是必要的。這樣，由于使電極511的周緣部(一部分)和無機(jī)物堤岸層512a重疊那樣地形成無機(jī)物堤岸層512a，能夠控制發(fā)光層510b(圖20～圖23參照)的發(fā)光區(qū)域。
其次，在形成有機(jī)物堤岸層512b的工序中，如圖12所示，在無機(jī)物堤岸層512a上形成有機(jī)物堤岸層512b。由光刻技術(shù)等刻蝕有機(jī)物堤岸層512b，形成有機(jī)物堤岸層512b的上部開口部512d。上部開口部512d設(shè)置在與電極面511a及下部開口部512c對(duì)應(yīng)的位置上。
上部開口部512d，如圖12所示，最好形成的比下部開口部512c寬、比電極面511a窄。由此，包圍無機(jī)物堤岸層512a的下部開口部512c的第1疊層部512e成為比有機(jī)物堤岸層512b更延伸到電極511的中央側(cè)的情況。這樣，由于上部開口部512d連通下部開口部512c，形成貫通無機(jī)物堤岸層512a及有機(jī)物堤岸層512b的開口部512g。
再次，在等離子體處理工序中，在堤岸部512的表面和象素電極的表面511a上，形成顯示親液性區(qū)域和防液性區(qū)域。該等離子體處理工序大致分為預(yù)備加熱工序；使堤岸部512的上面(512f)及開口部512g的壁面以及象素電極511的電極面511a具有親液性的加工的親液化工序；使有機(jī)物堤岸層512b的上面512f及上部開口部512d的壁面具有防液性加工的防液化工序；以及冷卻工序。
首先，在預(yù)備加熱工序中，將包含堤岸部512的基片501加熱到規(guī)定的溫度。加熱是在搭載基片501的工作臺(tái)上安裝加熱器，用該加熱器每個(gè)當(dāng)該工作臺(tái)的加熱基片501那樣進(jìn)行。具體的說，最好將基片501的預(yù)備加熱溫度設(shè)在例如70～80℃范圍。
其次，在親液化工序中。在大氣氣氛中用氧氣作為處理氣體進(jìn)行等離子體處理(O2等離子體處理)。由該O2等離子體處理，如圖13所示，象素電極511的電極面511a、無機(jī)物堤岸層512a的第1疊層部512e及有機(jī)物堤岸層512b的上部開口部512d的壁面以及上面512f被親液處理。由該親液處理，在這些的各面上導(dǎo)入羥基、給予親液性。在圖13中。用點(diǎn)劃線示出了被親液處理的部分。
還有，在防液化工序中，在大氣氣氛中用四氟化甲烷做處理氣體進(jìn)行等離子體處理(CF4等離子體處理)。由CF4等離子體處理，如圖14所示，上部開口部512d壁面及有機(jī)物堤岸層的上面512f被防液化處理。由該防液化處理，在這些的各面上導(dǎo)入氟基給予防液性。在圖14中用二點(diǎn)劃線表示防液性區(qū)域。
再次，在冷卻工序中，將因等離子體處理而加熱的基片501冷卻到室溫或者冷卻到墨水噴射工序(功能液滴排出工序)的管理溫度。由于將等離子體處理后的基片501冷卻到室溫或者規(guī)定的溫度(例如進(jìn)行墨水噴射工序的管理溫度)，能夠在一定的溫度下進(jìn)行以下的空穴注入/輸運(yùn)層形成工序。
還有，在發(fā)光元件形成工序中，由在象素電極511上形成空穴注入/輸運(yùn)層及發(fā)光層，形成發(fā)光元件。在發(fā)光元件形成工序中包含4個(gè)工序。即，包含在各象素電極上排出用于形成空穴注入/輸運(yùn)層的第1組成物的第1功能液滴排出工序；使排出的第1組成物干燥、在象素電極上形成空穴注入/輸運(yùn)層的空穴注入/輸運(yùn)層形成工序；在空穴注入/輸運(yùn)層上排出用于形成發(fā)光層的第2組合物的第2功能液滴排出工序；以及使排出的第2組成物干燥在空穴注入/輸運(yùn)層上形成發(fā)光層的發(fā)光層形成工序。
首先，在第1功能液滴排出工序中，由功能液滴排出法，在電極面511a上排出包含空穴注入/輸運(yùn)層形成材料的第1組成物。此外，該第1功能液滴排出工序以后最好在沒有水、氧氣的氮?dú)鈿夥?、氬氣等的惰性氣氛中進(jìn)行。(此外，當(dāng)僅僅在象素電極上形成空穴注入/輸運(yùn)層的情況下，不形成與有機(jī)物堤岸層鄰接形成的空穴注入/輸運(yùn)層)。
如圖15所示，在功能液滴排出頭H上填充包含空穴注入/輸運(yùn)層形成材料的第1組成物，使功能液滴排出頭H的排出噴嘴對(duì)向位置在下部開口部512c內(nèi)的電極面511a，一邊使基片501和功能液滴排出頭H相對(duì)移動(dòng)，一邊控制從排出噴嘴排出的1滴的液量，將第1組成物滴510c排出在電極面511a上。
這里，作為使用的第1組成物，例如，能夠使用聚乙烯二羥基噻吩(PEDOT)等的聚噻吩衍生物和聚苯乙烯硫代酸(PSS)等的混合物、用作溶解在極性溶劑中的組成物。作為極性溶劑例如能夠舉出異丙醇(IPA)、正丁醇、γ-丁內(nèi)酯、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、1，3-二甲基-咪唑啉酮(DMI)及其衍生物、乙酸卡必醇酯、丁基卡必醇乙酸酯等的乙二醇醚類等。此外，空穴注入/輸運(yùn)層形成材料可以用對(duì)R·G·B的各發(fā)光層相同的材料，也可以用每個(gè)發(fā)光層變化的材料。
如圖15所示，排出的第1組成物滴510c擴(kuò)展到親液處理的電極面511a及第1疊層部512e上，充滿在下部、上部開口部512c、512d內(nèi)。排出在電極面511a上的第1組成物的量由下部、上部開口部512c、512d的大小，欲形成的空穴注入/輸送層的厚度、第1組成物中的空穴注入/輸運(yùn)層形成材料的濃度等決定。還有，第1組成物滴510c不是僅限一回，也可以分?jǐn)?shù)次排出在同一的電極面511a上。
還有，在空穴注入/輸運(yùn)層形成工序中，如圖16所示，由將排出后的第1組成物干燥處理及熱處理、使包含在第1組成物內(nèi)的極性溶劑蒸發(fā)，在電極面511a上形成空穴注入/輸送層510a。當(dāng)進(jìn)行干燥處理時(shí)，包含在第1組成物滴510c中的極性溶劑的蒸發(fā)，主要是在接近無機(jī)物堤岸層512a及有機(jī)物堤岸層512b的地方產(chǎn)生，與極性溶劑蒸發(fā)的同時(shí)空穴注入/輸送層形成材料被濃縮析出。
由此如圖16所示，由干燥處理即使在電極面511a上也引起極性溶劑的蒸發(fā)，由此在電極面511a上形成由空穴注入/輸送層形成材料組成的平坦部510a。由于在電極面511a上極性溶劑的蒸發(fā)速度幾乎是均一的，空穴注入/輸送層的形成材料在電極面511a上均一的濃縮，由此，能夠形成均一厚度的平坦部510a。
還有，在第2功能液滴排出工序中，由功能液滴排出法，在空穴注入/輸送層510a上排出包含發(fā)光層形成材料的第2組成物。在該第2功能液滴排出工序中，為了防止空穴注入/輸送層510a的再溶解，作為當(dāng)發(fā)光層形成時(shí)使用的第2組成物的溶劑，使用對(duì)空穴注入/輸送層510a不溶的非極性溶劑。
但是，由于在它的一方空穴注入/輸送層510a對(duì)非極性溶劑的親和性低，即使將包含非極性溶劑的第2組成物排出在空穴注入/輸送層510a上，也存在不能使空穴注入/輸送層510a和發(fā)光層510b粘附，或者發(fā)光層510b不能均一的涂敷的危險(xiǎn)。因此，為了提高空穴注入/輸送層510a的表面對(duì)非極性溶劑以及發(fā)光層形成材料的親和性，最好在發(fā)光層形成前進(jìn)行表面改性工序。
因此，首先說明表面改性工序。表面改性工序由使用與發(fā)光層形成時(shí)使用的第2組成物的非極性溶劑同一的溶劑或者與它類似的溶劑作為表面改性用溶劑，用功能液滴排出法、旋轉(zhuǎn)涂敷法或者浸漬法涂敷在空穴注入/輸送層510a上后，進(jìn)行干燥。
例如，由功能液滴排出法的涂敷，如圖17所示，在功能液滴排出頭H上，填充表面改性用溶劑，使功能液滴排出頭H的排出噴嘴對(duì)向基片(即、形成空穴注入/輸運(yùn)層510a的基片)，一邊使功能液滴排出頭H和基片501相對(duì)移動(dòng)，一邊從排出噴嘴在空穴注入/輸運(yùn)層510a上排出表面改性用溶劑510d。而且，如圖18所示，使表面改性用溶劑510d干燥。
還有，在第2功能液滴排出工序中，由功能液滴排出法，將包含發(fā)光層形成材料的第2組成物排出在空穴注入/輸運(yùn)層510a上。如圖19所示，在功能液滴排出頭H上填充包含蘭色(B)發(fā)光層形成材料的第2組成物，使功能液滴排出頭H的排出噴嘴對(duì)向位置在下部、上部開口部512c、512d內(nèi)的空穴注入/輸運(yùn)層510a，一邊使功能液滴排出頭H和基片501相對(duì)移動(dòng)，一邊排出控制了從排出噴嘴排出的1滴的液量的第2組成物滴510e，將該第2組成物滴510e排出在空穴注入/輸運(yùn)層510a上。
作為發(fā)光層形成材料，能夠使用添加聚芴系高分子衍生物、對(duì)苯撐乙撐衍生物、對(duì)苯撐衍生物、聚乙烯咔唑、聚噻吩衍生物、北系色素、香豆素系色素、堿性蕊香紅系色素、或者能夠在上述高分子中摻雜有機(jī)EL材料使用。例如，能夠由摻雜紅熒烯、北、9、10-聯(lián)苯蒽、對(duì)苯基丁二烯、尼羅紅、香豆素6、喹丫酮等。
作為非極性溶劑，最好使用對(duì)空穴注入/輸運(yùn)層510a不溶的溶劑，例如能夠使用環(huán)己基苯、二氫苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等。由于在發(fā)光層510b的第2組成物中使用這樣的非極性溶劑，能夠沒有再溶解空穴注入/輸運(yùn)層510a地涂敷第2組成物。
如圖19所示，排出的第2組成物510e擴(kuò)展在空穴注入/輸運(yùn)層510a上填滿下部、上部開口部512c、512d內(nèi)。第2組成物510e不僅是1回，也可以分?jǐn)?shù)回排出在同一空穴注入/輸運(yùn)層510a上。這種情況下，各回的第2組成物的量可以相同，各回的每一回的第2組成物的量也可以改變。
還有，在發(fā)光層形成工序，在排出第2組成物后實(shí)施干燥處理及熱處理，在空穴注入/輸運(yùn)層510a上形成發(fā)光層510b。干燥處理，由干燥處理排出后的第2組成物使包含在第2組成物內(nèi)的非極性溶劑蒸發(fā)，形成圖20所示的蘭色(B)發(fā)光層510b。
接著，如圖21所示，與蘭色(B)發(fā)光層510b的情況相同，形成紅色(R)發(fā)光層510b，最后形成綠色(G)發(fā)光層510b。此外，發(fā)光層510b的形成順序不是僅限于上述的順序，用怎樣的順序形成都可以。例如，也可以根據(jù)發(fā)光層形成材料決定形成順序。
其次，在對(duì)向電極形成工序中，如圖22所示，在發(fā)光層510b及有機(jī)物堤岸層512b的全面上形成陰極503(對(duì)向電極)。此外，陰極503也可以疊層多個(gè)材料形成。例如，在接近發(fā)光層一側(cè)最好形成功函數(shù)小的材料，例如使用Ca、Ba等是可能的，還有，因材料也有在下層很薄的形成LiF等即可的情況。還有，最好在上部側(cè)使用比下部側(cè)功函數(shù)高的材料。這些陰極(陰極層)503，例如，最好用蒸發(fā)法、濺射法、CVD法等形成，特別是用蒸發(fā)法形成，從防止因發(fā)光層510b的熱引起的損傷這一點(diǎn)最好。
還有，氟化鋰可以僅僅形成在發(fā)光層510b上，進(jìn)一步，也可以僅僅形成在蘭色(B)發(fā)光層510b上。這種情況下，在其它的紅色(R)發(fā)光層及綠色(G)發(fā)光層510b、510b上，連接由LiF組成的上部陰極層503b。還有，在在陰極503的上部上，最好使用由蒸發(fā)法、濺射法、CVD法等形成的Al膜、Ag膜等。還有，在陰極503上，為了防止氧化也可以設(shè)置SiO2、SiN等的保護(hù)膜。
最后，在圖23所示的密封工序中，在氮?dú)狻?、氦等的惰性氣體氣氛中，在有機(jī)EL元件504上疊層密封用基片505。密封工序最好在在氮?dú)?、氬、氦等的惰性氣體氣氛中進(jìn)行。由于在大氣中進(jìn)行時(shí)，在陰極503上產(chǎn)生針孔等缺陷的情況下，水、氧氣等從這些缺陷部侵入陰極503，有引起陰極504氧化的危險(xiǎn)，最好不在這種氣氛下進(jìn)行。而且，最后，在將陰極503連接在撓性基片的布線上的同時(shí)，由將電路元件部502的布線連接在驅(qū)動(dòng)IC上，得到本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置500。
此外，在形成象素電極511及陰極(對(duì)向電極)503中，也可以采用由功能液滴排出頭H排出功能液滴的方法。即，分別將液體的電極材料導(dǎo)入功能液滴排出頭H上，將其從功能液滴排出頭H排出，分別形成象素電極511及陰極503(包含干燥工序)。
同樣地，本實(shí)施方式的功能液滴排出裝置2能夠適用于電子放射裝置的制造方法、PDP裝置的制造方法及電泳顯示裝置的制造方法等。
在電子放射裝置的制造方法中，將R·G·B各色的熒光材料導(dǎo)入多個(gè)的功能液滴排出頭3中，將多個(gè)的功能液滴排出頭3主掃描及付掃描，選擇性的排出熒光材料，在電極上形成多個(gè)的熒光體。此外，電子放射裝置是包含F(xiàn)ED(電場(chǎng)放射顯示器)的上位的概念。
在PDP裝置的制造方法中，將R·G·B各色的熒光材料導(dǎo)入多個(gè)的功能液滴排出頭3中，將多個(gè)的功能液滴排出頭3主掃描及付掃描，選擇性的排出熒光材料，分別在背面基片的多個(gè)凹部上形成熒光體。
在電泳顯示裝置的制造方法中，將各色的泳動(dòng)體材料導(dǎo)入多個(gè)的功能液滴排出頭3中，將多個(gè)的功能液滴排出頭3主掃描及付掃描，選擇性的排出泳動(dòng)體材料，在電極上的多個(gè)凹部上分別形成泳動(dòng)體。此外，由帶電粒子和染料組成的泳動(dòng)體最好密封在微型盒內(nèi)。
另一方面，本實(shí)施方式的功能液滴排出裝置10也能夠適用于分隔器形成方法、金屬布線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕劑形成方法及光擴(kuò)散體形成方法等。
分隔器形成方法是在2枚的基片之間形成必須構(gòu)成微小的單元間隙的多個(gè)的粒子狀的分隔器，將構(gòu)成分隔器的粒子材料分散在液中、使調(diào)整成液狀的材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴排出頭3上，使多個(gè)功能液滴排出頭3主掃描及付掃描，選擇性的排出粒子材料至少在一方的基片上形成分隔器。例如，在構(gòu)成上述的液晶顯示裝置或電泳顯示裝置中的2枚的基片間的單元間隙的情況下是有用的，當(dāng)然它也適用于其它的需要這種微小的間隙的半導(dǎo)體制造技術(shù)中。
在金屬布線形成方法中，將液狀金屬材料導(dǎo)入多個(gè)功能液滴排出頭3中，使多個(gè)功能液滴排出頭3主掃描及付掃描，選擇性的排出液狀金屬材料，在基片上形成金屬布線。例如，能夠適用于連接在上述的液晶顯示裝置中的驅(qū)動(dòng)器和各電極的金屬布線或連接在上述有機(jī)EL裝置中的TFT等和各電極的金屬布線。還有，除了這種平面顯示器之外，當(dāng)然它也能夠適用于一般的半導(dǎo)體制造技術(shù)。
在透鏡形成方法中，將透鏡材料導(dǎo)入多個(gè)的功能液滴排出頭3中，使多個(gè)的功能液滴排出頭3主掃描及付掃描，選擇性的排出透鏡材料，在透明基片上形成多個(gè)的微透鏡。例如，能夠適用于作為在上述FED裝置中的束聚焦用的器件。還有，當(dāng)然它也能夠適用于各種的光器件。
在抗蝕劑形成方法中，將抗蝕劑原料導(dǎo)入多個(gè)的功能液滴排出頭3中，使多個(gè)的功能液滴排出頭3主掃描及付掃描，選擇性的排出抗蝕劑原料，在基片上形成任意形狀的光致抗蝕劑。例如，在上述的各種顯示裝置中的堤岸部的形成不必說，在成為半導(dǎo)體制造技術(shù)的主體的光刻法中，也能夠廣泛的適用于光致抗蝕劑的涂敷。
在光擴(kuò)散體形成方法中是在基片上形成多個(gè)的光擴(kuò)散體的光擴(kuò)散體形成方法，將光擴(kuò)散材料導(dǎo)入多個(gè)的功能液滴排出頭3中，使多個(gè)的功能液滴排出頭3主掃描及副掃描，選擇性的排出光擴(kuò)散材料形成多個(gè)的光擴(kuò)散體。這種情況下，當(dāng)然能夠適用于各種的光器件。
(發(fā)明的效果)采用本發(fā)明的氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)，由于將連接管線插通在貫通套管內(nèi)，通過設(shè)置在貫通套管的內(nèi)外的第1、第2密封材料，使氣密室的壁體和連接管線密封，能夠提高壁體(貫通開口)和連接管線的密封性，能夠可靠地防止從氣密室的氣氛的漏泄或水分的流入等。
同樣地，由于在作為管道的一部分的短管上形成法蘭盤，使密封材料介于中間直接安裝在氣密室的壁體上(貫通開口)，用簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，能夠可靠地防止從氣密室的氣氛的漏泄或水分的流入等。
還有，采用本發(fā)明的排出裝置，由于能夠可靠地防止從連接管線的貫通部的內(nèi)部氣氛的漏泄(漏氣)，在工件處理中能夠得到高品質(zhì)的工件，而且能夠可靠地防止因內(nèi)部氣氛的漏泄引起環(huán)境污染等。因此，能夠提供可靠性及安全性高的裝置。
另一方面，如果采用本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法、有機(jī)EL裝置的制造方法、電子放射裝置的制造方法、PDP裝置的制造方法及電泳顯示裝置的制造方法，由于由被管理的穩(wěn)定的氣氛、能夠防止在各裝置中的濾波材料或發(fā)光材料等的變質(zhì)，能夠提高制造效率。
還有，如果采用本發(fā)明的濾色器的制造方法、有機(jī)EL的制造方法、分隔器形成方法、金屬布線形成方法、透鏡形成方法、抗蝕劑形成方法及光擴(kuò)散體形成方法，由于由被管理的穩(wěn)定的氣氛，能夠防止在各電子器件或各光器件中的濾波材料或發(fā)光材料的變質(zhì)等，能夠提高制造效率。
權(quán)利要求
1.一種氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)，在由連接收容在氣密室中的加工處理裝置與它的附屬裝置的管道及/或者布線組成的連接管線的、貫通所述氣密室的壁體的氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)中，其特征在于具備在連接管線插通內(nèi)部的同時(shí)，貫通所述壁體的貫通套管；填充在所述貫通套管的內(nèi)部、密封所述貫通套管和所述連接管線之間的第1密封材料；以及密封所述貫通套管和所述壁體之間的第2密封材料。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)，其特征在于所述貫通套管具有筒狀的套管主體和形成在所述套管主體的外周面上的法蘭盤部；所述第2密封材料設(shè)置在所述法蘭盤部和所述壁體之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)，其特征在于所述法蘭盤部以所述第2密封材料設(shè)置在中間的狀態(tài)，固定在所述壁體的外面?zhèn)取?br> 4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)，其特征在于所述連接管線在插通到所述貫通套管內(nèi)的同時(shí)具有比所述貫通套管僅稍微長(zhǎng)一點(diǎn)形成的短尺寸管路和連接在所述短尺寸管路的兩端的一對(duì)的連接器構(gòu)件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第1密封材料用濕式密封材料構(gòu)成，所述第2密封材料用干式密封材料構(gòu)成。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)，其特征在于在所述貫通套管的兩小口上分別安裝管帽構(gòu)件。
7.一種氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)，在連接收容在氣密室中的加工處理裝置與它的附屬裝置的管道的、貫通所述氣密室的壁體的氣密室的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)中，其特征在于具備在貫通所述壁體的同時(shí)在內(nèi)部形成流路的短管；連接在所述短管的兩端的一對(duì)的連接接頭；以及設(shè)置在所述法蘭盤和所述壁體之間的密封材料。
8.一種排出裝置，具備氣密室；收容在所述氣密室中的加工處理裝置；所述加工處理裝置的附屬裝置；由連接所述加工處理裝置與附屬裝置的管道及/或者布線構(gòu)成的連接管線；以及根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)，其特征在于所述加工處理裝置是使導(dǎo)入功能液的功能液滴排出頭對(duì)作為工件的基片一邊相對(duì)的掃描，一邊選擇性的排出功能液滴的液滴排出裝置。
9.一種排出裝置，具備氣密室；收容在所述氣密室中的加工處理裝置；所述加工處理裝置的附屬裝置；連接所述加工處理裝置與附屬裝置的管道；以及根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)，其特征在于所述加工處理裝置是使導(dǎo)入功能液的功能液滴排出頭對(duì)作為工件的基片一邊相對(duì)的掃描，一邊選擇性的排出功能液滴的液滴排出裝置。
10.一種液晶顯示裝置的制造方法，是使用權(quán)利要求8或者9所述的排出裝置，在濾色器的基片上形成濾波元件的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于將濾波材料導(dǎo)入所述功能液滴排出頭中，使所述功能液滴排出頭對(duì)所述基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出所述濾波材料形成所述濾波元件。
11.一種有機(jī)EL裝置的制造方法，是使用權(quán)利要求8或者9所述的排出裝置，在基片上的象素圖像元件上形成EL發(fā)光層的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于將各色的發(fā)光材料導(dǎo)入所述功能液滴排出頭中，使所述功能液滴排出頭對(duì)所述基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出所述發(fā)光材料形成所述EL發(fā)光層。
12.一種電子放射裝置的制造方法，是使用權(quán)利要求8或者9所述的排出裝置，在電極上形成熒光體的電子放射裝置，其特征在于將熒光材料導(dǎo)入所述功能液滴排出頭中，使所述功能液滴排出頭對(duì)所述電極相對(duì)的掃描，選擇性的排出所述熒光材料，形成所述熒光體。
13.一種PDP裝置的制造方法，是使用權(quán)利要求8或者9所述的排出裝置，在背面基片上的凹部上形成熒光體的PDP裝置的制造方法，其特征在于將熒光材料導(dǎo)入所述功能液滴排出頭中，使所述功能液滴排出頭對(duì)所述背面基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出所述熒光材料，形成所述熒光體。
14.一種電泳顯示裝置的制造方法，是使用權(quán)利要求8或者9所述的排出裝置，在電極的凹部上形成泳動(dòng)體的電泳顯示裝置的制造方法，其特征在于將泳動(dòng)體材料導(dǎo)入所述功能液滴排出頭中，使所述功能液滴排出頭對(duì)所述電極相對(duì)的掃描，選擇性的排出所述泳動(dòng)體材料，形成所述泳動(dòng)體。
15.一種濾色器的制造方法，是使用權(quán)利要求8或者9所述的排出裝置，在基片上制造排列濾波元件而成的濾色器的濾色器制造方法，其特征在于將濾波材料導(dǎo)入所述功能液滴排出頭中，使所述功能液滴排出頭對(duì)所述基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出所述濾波材料，形成所述濾波元件。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的濾色器的制造方法，其特征在于形成被敷所述濾波元件的外層涂敷膜，在形成所述濾波元件后，將透光性的涂敷材料導(dǎo)入所述功能液滴排出頭中，使所述功能液滴排出頭對(duì)所述基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出所述涂敷材料，形成所述外層涂敷膜。
17.一種有機(jī)EL裝置的制造方法，是使用權(quán)利要求8或者9所述的排出裝置，是在基片上排列包含EL發(fā)光層的象素圖像元件而成的有機(jī)EL的制造方法，其特征在于將發(fā)光材料導(dǎo)入所述功能液滴排出頭中，使所述功能液滴排出頭對(duì)所述基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出所述發(fā)光材料，形成所述EL發(fā)光層。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的有機(jī)EL的制造方法，其特征在于在所述EL發(fā)光層和所述基片之間對(duì)應(yīng)所述EL發(fā)光層形成象素電極；將液狀電極材料導(dǎo)入所述功能液滴排出頭中，使所述功能液滴排出頭對(duì)所述基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出所述液狀電極材料，形成所述象素電極。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的有機(jī)EL的制造方法，其特征在于覆蓋所述EL發(fā)光層那樣地形成對(duì)向電極；在形成所述EL發(fā)光層后，將液狀電極材料導(dǎo)入所述功能液滴排出頭中，使所述功能液滴排出頭對(duì)所述基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出所述液狀電極材料，形成所述對(duì)向電極。
20.一種分隔器形成方法，是使用權(quán)利要求8或者9所述的排出裝置，在2枚的基片之間形成應(yīng)構(gòu)成單元間隙的粒子狀的分隔器的分隔器形成方法，其特征在于將構(gòu)成分隔器的粒子材料導(dǎo)入所述功能液滴排出頭中，使所述功能液滴排出頭至少對(duì)一方的所述基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出所述粒子材料，在所述基片上形成所述分隔器。
21.一種金屬布線形成方法，是使用權(quán)利要求8或者9所述的排出裝置，在基片上形成金屬布線的金屬布線形成方法，其特征在于將液狀金屬材料導(dǎo)入所述功能液滴排出頭中，使所述功能液滴排出頭對(duì)所述基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出所述液狀金屬材料，形成所述金屬布線。
22.一種透鏡形成方法，是使用權(quán)利要求8或者9所述的排出裝置，在基片上形成微透鏡的透鏡形成方法，其特征在于將透鏡材料導(dǎo)入所述功能液滴排出頭中，使所述功能液滴排出頭對(duì)所述基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出所述透鏡材料，形成所述微透鏡。
23.一種抗蝕劑形成方法，是使用權(quán)利要求8或者9所述的排出裝置，在基片上形成任意形狀的抗蝕劑的抗蝕劑形成方法，其特征在于將抗蝕劑原料導(dǎo)入所述功能液滴排出頭中，使所述功能液滴排出頭對(duì)所述基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出所述抗蝕劑原料，形成所述抗蝕劑。
24.一種光擴(kuò)散體形成方法，是使用權(quán)利要求8或者9所述的排出裝置，在基片上形成光擴(kuò)散體的光擴(kuò)散體形成方法，其特征在于將光擴(kuò)散材料導(dǎo)入所述功能液滴排出頭中，使所述功能液滴排出頭對(duì)所述基片相對(duì)的掃描，選擇性的排出所述光擴(kuò)散材料，形成所述光擴(kuò)散體。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠可靠地密封氣密室的壁體和貫通壁體的連接管線之間的氣密室中的連接管線的貫通結(jié)構(gòu)及具備這種貫通結(jié)構(gòu)的排出裝置。是在使連接收容在氣密室(31)中的加工處理裝置(2)和它的附屬裝置(4)的連接管線(6)貫通氣密室(31)的壁體(33)的連接管線(6)的貫通結(jié)構(gòu)中，具備在連接管線(6)插通內(nèi)部的同時(shí)貫通壁體(33)的貫通套管(61)；填充在貫通套管(61)的內(nèi)部、密封貫通套管(61)和連接管線(6)之間的第1密封材料(63)；以及密封貫通套管(61)和壁體(33)之間的第2密封材料(64)。
文檔編號(hào)H01J11/34GK1445089SQ0312045
公開日2003年10月1日 申請(qǐng)日期2003年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月15日
發(fā)明者高野豐, 中村真一 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社