專利名稱：發(fā)光板及其內(nèi)部件的測(cè)試方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及到發(fā)光顯示器及其制造方法。本發(fā)明還涉及發(fā)光板及其中的部件測(cè)試方法。
背景技術(shù)：
在典型的等離子體顯示器中，在垂直交叉和隔開的導(dǎo)體之間密封有一種氣體或是混合氣體。交叉的導(dǎo)體在交叉點(diǎn)上面限定一個(gè)矩陣，布置成發(fā)光的最小圖像元件(象素)的陣列。在任一給定象素上用垂直交叉和隔開的導(dǎo)體作為一個(gè)電容的相對(duì)極板，以密封的氣體作為介質(zhì)。若加足夠大的電壓，象素上的氣體就會(huì)擊穿，產(chǎn)生被吸引到正導(dǎo)體的自由電子和被吸引到帶負(fù)電荷的導(dǎo)體的帶正電荷的氣體離子。這些電子和帶正電荷的氣體離子與其它氣體原子碰撞造成雪崩效應(yīng)，產(chǎn)生更多自由電子和帶正電荷的離子而形成等離子體。發(fā)生電離時(shí)的電壓電平被稱為寫入電壓。
在加寫入電壓時(shí)，象素處的氣體發(fā)生電離，并且在電離形成的自由電荷遷移到該單元的絕緣介質(zhì)壁時(shí)僅僅是簡(jiǎn)短地發(fā)光，這些電荷產(chǎn)生的電壓與所加電壓相反，從而使電離消失。在寫入一個(gè)象素時(shí)，用一個(gè)交變的維持電壓可以產(chǎn)生持續(xù)的發(fā)光。維持波形的電壓幅度可以小于寫入電壓的幅度，因?yàn)橛上惹暗膶懭牖蚓S持操作而留在壁上的電荷所產(chǎn)生的電壓會(huì)加在后續(xù)的反極性維持波形的電壓上產(chǎn)生電離電壓。理想的數(shù)學(xué)表達(dá)式可以寫成Vs＝Vw-Vwall，Vs是維持電壓，Vw是寫入電壓，而Vwall是壁電壓。而單純用維持波形不能使先前未寫入(或是擦除的)象素電離。擦除操作可以象寫入操作一樣，只是要提前足夠長(zhǎng)的時(shí)間以使得先前帶電的單元壁能夠放電；除了定時(shí)和幅度外均類似于寫入操作。
用來執(zhí)行寫入，擦除，和維持操作的導(dǎo)體有兩種不同的典型布置方式。兩種布置中普遍的一個(gè)共同要素是維持電極和地址電極與其之間的等離子體形成氣體分離。這樣，在等離子體形成氣體發(fā)生電離并從等離子體顯示器射出，至少有一個(gè)地址或維持電極位于射線的傳播路徑內(nèi)。因此必須使用透明或半透明導(dǎo)電材料，例如，銦錫氧化物(ITO)，這樣的電極不會(huì)干擾等離子體顯示器顯示的圖像。然而，采用ITO有一些缺點(diǎn)，例如ITO價(jià)格昂貴，會(huì)明顯增加制造成本并不可避免地最終會(huì)增加等離子體顯示器的成本。
第一種布置采用兩個(gè)垂直交叉的導(dǎo)體，一個(gè)尋址導(dǎo)體和一個(gè)維持導(dǎo)體。在此類充氣面板中，維持波形加在所有尋址導(dǎo)體和維持導(dǎo)體上，使充氣面板維持發(fā)光象素先前寫入的圖形。對(duì)于常規(guī)的寫入操作，是在維持電壓波形上疊加一個(gè)適當(dāng)?shù)膶懭腚妷好}沖，由寫入脈沖和維持脈沖的組合產(chǎn)生電離。為了獨(dú)立地寫入單個(gè)象素，各個(gè)尋址和維持導(dǎo)體具有一個(gè)單獨(dú)的選擇電路。這樣就能在所有尋址導(dǎo)體和維持導(dǎo)體上加維持波形，但是，僅僅在一個(gè)尋址和一個(gè)維持導(dǎo)體上加寫入脈沖，僅僅在選定的尋址和維持導(dǎo)體的交叉點(diǎn)上的一個(gè)象素中執(zhí)行寫入操作。
第二布置采用三個(gè)導(dǎo)體。在被稱為共面維持面板的此類面板中，各個(gè)象素被形成在三個(gè)導(dǎo)體的交叉點(diǎn)上，一個(gè)尋址導(dǎo)體和兩個(gè)平行的維持導(dǎo)體。按照這種布置，尋址導(dǎo)體與兩個(gè)平行的維持導(dǎo)體垂直交叉。此類面板的維持操作是在兩個(gè)平行的維持導(dǎo)體之間執(zhí)行的，而尋址是通過在尋址導(dǎo)體與兩個(gè)平行的維持導(dǎo)體之一之間發(fā)生放電來完成的。
維持導(dǎo)體有兩種類型，尋址-維持導(dǎo)體和單純維持導(dǎo)體。尋址-維持導(dǎo)體的功能是雙重的配合著單純維持導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)維持放電；并且充當(dāng)尋址角色。這樣的尋址-維持導(dǎo)體是可以單獨(dú)選擇的，可以將尋址波形加在任意一個(gè)或多個(gè)尋址-維持導(dǎo)體上。另一方面，單純維持導(dǎo)體通常連接成，使維持波形能夠同時(shí)提供給所有單純維持導(dǎo)體，使它們?cè)谕凰矔r(shí)具有相同的電位。
為了將等離子體形成氣體密封在一組電極之間，已經(jīng)有各種方法來構(gòu)成各種類型的等離子體面板顯示裝置。在一種類型的等離子體顯示面板中，在表面上具有引線電極的平行玻璃板被隔開均勻的間距，在外邊沿處密封到一起，在平行的板之間形成的空腔內(nèi)充滿等離子體形成氣體。盡管用途廣泛，此類開放式顯示結(jié)構(gòu)還有各種缺點(diǎn)。在平行板的外邊沿上密封和充入等離子體形成氣體都是費(fèi)用昂貴并耗時(shí)的工藝，造成最終產(chǎn)品價(jià)格昂貴。另外，在通過平行板的端部連接電極的位置特別難以實(shí)現(xiàn)良好的密封。這樣會(huì)導(dǎo)致氣體泄漏并縮短產(chǎn)品的使用壽命。另一個(gè)缺點(diǎn)是單獨(dú)的象素在平行板的內(nèi)部不是隔開的。這樣，寫入操作期間在一個(gè)選定象素內(nèi)的氣體電離作用就可能溢出到相鄰象素。即使是不會(huì)激發(fā)相鄰的象素，電離作用也會(huì)改變鄰近象素的開關(guān)特性。
在另一種類型的公知等離子體顯示器中是用機(jī)械方式隔離單獨(dú)的象素，可以在一個(gè)平行板上形成溝槽，或是在平行板之間夾一個(gè)穿孔的隔離層。然而，這些機(jī)械隔離的象素彼此間不能完全密封或隔離，因?yàn)樵谙笏刂g需要有等離形成氣體的自由通道來保證整個(gè)面板中均勻的氣壓。盡管這種類型的顯示器結(jié)構(gòu)能減少溢出，仍然可能溢出，因?yàn)橄笏乇舜碎g并不完全是電氣隔離的。另外，這種類型的顯示器結(jié)構(gòu)電極和氣體艙難以準(zhǔn)確地對(duì)準(zhǔn)，這樣會(huì)造成象素點(diǎn)火不良。象開放式顯示器結(jié)構(gòu)一樣，在板的邊沿難以實(shí)現(xiàn)良好的密封。另外還要耗時(shí)費(fèi)力地充入等離子體形成氣體和密封平行板的外邊沿。
在又一種類型的公知等離子體顯示器中，單獨(dú)的象素在平行板之間也是機(jī)械隔離的。在此類顯示器中，等離子體形成氣體被容納在一個(gè)密閉透明殼構(gòu)成的透明球體內(nèi)。有各種方法能夠?qū)⒊錃馇蝮w安置在平行板之間。按照一種方法，緊密粘合大小不一的球體并且隨意布滿一個(gè)單層，并且夾在平行板之間。按照第二種方法，將球體嵌入一個(gè)透明介質(zhì)材料板，并將這種材料夾在平行板之間。按照第三種方法，將一個(gè)不導(dǎo)電材料的穿孔板夾在平行板之間，將充氣球體分布在穿孔中。
盡管按照不同的設(shè)計(jì)理念討論了上述各種類型的顯示器，在裝配中采用的制作方案大體是相同的。按常規(guī)是用一種一次裝配工藝制造這些類型的顯示器面板。按照現(xiàn)有技術(shù)所知，在成批制造工藝中，單獨(dú)的零部件往往是由不同設(shè)備和不同制造商隔開裝配的，然后湊到一起最后組裝，一次制成單獨(dú)的等離子體面板。成批制造工藝有許多缺點(diǎn)，例如是生產(chǎn)成品所需的時(shí)間很長(zhǎng)。循環(huán)時(shí)間長(zhǎng)會(huì)增加制造成本，并且按照現(xiàn)有技術(shù)中公知的各種其它原因是不允許的。例如，在一個(gè)部件中檢測(cè)到缺陷或故障到有效地校正這一缺陷或故障之間的一段時(shí)間內(nèi)有可能產(chǎn)生數(shù)量相當(dāng)大的次品產(chǎn)生，有缺陷或完全不能用或是不完整的等離子體面板。
上述前兩種類型的顯示器特別理想的是；第一種的單獨(dú)象素沒有機(jī)械隔離，而第二種有單獨(dú)象素的機(jī)械隔離，采用在一個(gè)平行板中形成的溝槽，或是在兩個(gè)平行板之間夾一個(gè)穿孔的隔離層。由于等離子體形成氣體在單獨(dú)象素/子象素一級(jí)上沒有隔離，這種裝配工藝在組裝成成品顯示器之前不可能測(cè)試主要的單獨(dú)零部件。因此，只有在兩個(gè)平行板被密封到一起并且在兩個(gè)板之間的空腔內(nèi)充滿等離子體形成氣體之后才能對(duì)顯示器進(jìn)行測(cè)試。如果后期產(chǎn)品測(cè)試發(fā)現(xiàn)有任何潛在的問題(例如是具體的象素/子象素發(fā)光差或是不發(fā)光)，整個(gè)顯示器就要放棄。

發(fā)明內(nèi)容
按本發(fā)明的最佳實(shí)施例提供了一種發(fā)光板，可以用做大面積輻射源，能量調(diào)制，粒子檢測(cè)以及作為平板顯示器。在這當(dāng)中以氣體-等離子體面板為最佳，因?yàn)樗哂歇?dú)特的特性。
按照一種形式，這種發(fā)光板可以用做大面積輻射源。如果讓發(fā)光板發(fā)射紫外線(UV)光，這種面板可以用于醫(yī)療，噴涂和消毒。如果增加白磷涂層將UV光轉(zhuǎn)換成可見的白光，這種面板還可以用做照明光源。
此外，這種發(fā)光板還可以用做等離子體-開關(guān)相控陣，在至少一個(gè)實(shí)施例中按微波傳輸模式來配置面板。面板配置成，在電離過程中由等離子體形成氣體產(chǎn)生的固定折射率改變微波(盡管其它波長(zhǎng)的光也能工作)。在局部區(qū)域產(chǎn)生相位移，按任意理想圖形控制和引導(dǎo)微波束，和/或引導(dǎo)微波從面板中的一個(gè)規(guī)定孔射出。
這種發(fā)光板還可以用于檢測(cè)粒子/光子。在這一實(shí)施例中對(duì)發(fā)光板加一剛好稍低于電離所需的寫入電壓的電位。如果對(duì)該裝置的面板中規(guī)定的位置加外來能量，額外能量會(huì)造成規(guī)定區(qū)域內(nèi)等離子體形成氣體電離，從而提供一種檢測(cè)外來能量的手段。
這種發(fā)光板還能用于平板顯示器。與同樣尺寸的陰極射線管(CRT)相比，這些顯示器可以制成很薄且輕，特別適合用于家庭，辦公室，劇院和廣告牌。另外，這些顯示器可以制成大型尺寸并具有適應(yīng)高清晰度電視(HDTV)的足夠分辨率。氣體-等離子體面板不會(huì)受電磁干擾，適用于受磁場(chǎng)強(qiáng)烈影響的場(chǎng)合，例如是軍用，雷達(dá)系統(tǒng)，火車站及其它地下系統(tǒng)。
按照本發(fā)明的一個(gè)通用實(shí)施例，發(fā)光板是由兩個(gè)襯底構(gòu)成的，其中一個(gè)襯底包括多個(gè)插孔并設(shè)有至少兩個(gè)電極。在各個(gè)插孔中至少是局部設(shè)有一個(gè)微型部件，也可以設(shè)置一個(gè)以上微型部件。每個(gè)微型部件包括一個(gè)殼，殼內(nèi)至少是部分充有能夠電離的氣體或氣體混合物。如果對(duì)微型部件加足夠大的電壓，氣體或氣體混合物就會(huì)電離形成等離子體并且發(fā)射射線。
按照另一個(gè)實(shí)施例公開了一種在線測(cè)試多個(gè)發(fā)光板的方法。該方法包括按薄板(web)制作工藝制造多個(gè)發(fā)光板，它包括多個(gè)處理步驟和零部件，在至少一次執(zhí)行完至少一個(gè)處理步驟之后測(cè)試一或多個(gè)發(fā)光板的一部分，處理測(cè)試數(shù)據(jù)并產(chǎn)生至少一個(gè)結(jié)果；分析該結(jié)果以確定該結(jié)果是否處在允許的公差內(nèi)，并且在結(jié)果不是處在允許公差內(nèi)時(shí)調(diào)節(jié)至少一個(gè)處理步驟或至少一個(gè)零部件。
按照本發(fā)明的另一實(shí)施例，形成發(fā)光板的一種方法包括提供第一襯底，在第一襯底上或是其內(nèi)形成多個(gè)空腔，在每個(gè)空腔內(nèi)放置至少一個(gè)微型部件，提供一個(gè)與第一襯底相對(duì)的第二襯底，將至少一個(gè)微型部件夾在第一和第二襯底之間，設(shè)置至少兩個(gè)電極，用提供給至少兩個(gè)電極的電壓使一或多個(gè)微型部件發(fā)射射線；并且在線測(cè)試至少一個(gè)第一襯底，至少一個(gè)空腔，至少一個(gè)微型部件，至少一個(gè)電極，以及第二襯底。
在以下的說明書中描述了一部分本發(fā)明的其它特征，優(yōu)點(diǎn)和實(shí)施例，還有一部分在說明書中是顯而易見的，或是可通過對(duì)本發(fā)明的實(shí)踐來學(xué)習(xí)。


結(jié)合附圖參照以下對(duì)本發(fā)明的詳細(xì)說明就能進(jìn)一步理解本發(fā)明的上述及其它目的，特征和優(yōu)點(diǎn)，在附圖中圖1表示在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中公開的一個(gè)發(fā)光板的一部分，表示由襯底的構(gòu)圖形成的一個(gè)插孔的基本插孔結(jié)構(gòu)。
圖2表示在本發(fā)明的另一實(shí)施例中公開的一個(gè)發(fā)光板的一部分，表示由襯底的構(gòu)圖形成的一個(gè)插孔的基本插孔結(jié)構(gòu)。
圖3A表示具有立方體形狀的一例空腔。
圖3B表示具有圓錐體形狀的一例空腔。
圖3C表示具有截頭圓錐體形狀的一例空腔。
圖3D表示具有拋物線體形狀的一例空腔。
圖3E表示具有球體形狀的一例空腔。
圖3F表示具有圓柱體形狀的一例空腔。
圖3G表示具有棱錐形狀的一例空腔。
圖3H表示具有平截頭棱錐體體形狀的一例空腔。
圖3I表示具有平行六面體形狀的一例空腔。
圖3J表示具有三棱體形狀的一例空腔。
圖4表示按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例具有窄視場(chǎng)的一種發(fā)光板的插孔結(jié)構(gòu)。
圖5表示按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例具有寬視場(chǎng)的一種發(fā)光板的插孔結(jié)構(gòu)。
圖6A表示發(fā)光板的一部分，它表示通過設(shè)置多層材料層并選擇除去具有共面構(gòu)造的電極的一部分材料層而形成的插孔的基本插孔結(jié)構(gòu)。
圖6B是圖6A的一個(gè)截面圖，用來詳細(xì)表示共面維持電極。
圖7表示發(fā)光板的一部分，它表示通過設(shè)置多層材料并選擇除去具有中平面構(gòu)造的電極的一部分材料層而形成的插孔的基本插孔結(jié)構(gòu)。
圖7B是圖7A的一個(gè)截面圖，用來表示最上層維持電極的細(xì)節(jié)。
圖8表示發(fā)光板的一部分，它表示通過設(shè)置多層材料層并選擇除去具有兩個(gè)維持電極和兩個(gè)地址電極構(gòu)造的電極的一部分材料層而形成的插孔的基本插孔結(jié)構(gòu)，其中的地址電極處在兩個(gè)維持電極之間。
圖9表示發(fā)光板的一部分，它表示所形成的插孔的基本插孔結(jié)構(gòu)，通過對(duì)襯底構(gòu)圖然后在襯底上設(shè)置多層材料層，使材料層形狀與帶具有共面構(gòu)造的電極的空腔形狀一致。
圖10表示發(fā)光板的一部分，它表示所形成的插孔的基本插孔結(jié)構(gòu)，通過對(duì)襯底構(gòu)圖然后在襯底上設(shè)置多層材料層，使材料層形狀與帶具有中平面構(gòu)造的電極的空腔形狀一致。
圖11表示發(fā)光板的一部分，它表示所形成的插孔的基本插孔結(jié)構(gòu)，通過對(duì)襯底構(gòu)圖然后在襯底上設(shè)置多層材料層，使材料層形狀與帶電極的空腔形狀一致，電極具有兩個(gè)維持和兩個(gè)地址電極的構(gòu)造，其中的地址電極處在兩個(gè)維持電極之間。
圖12的流程圖表示用來制造發(fā)光板的一種薄板制作方法，并且表示該方法過程中按照本發(fā)明的實(shí)施例所述執(zhí)行測(cè)試的各個(gè)點(diǎn)。
圖13是按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中所述在一個(gè)制作工藝步驟之后提取并存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)的一個(gè)例子。
圖14表示發(fā)光板之一部分的分解圖，它表示所形成的插孔的基本插孔結(jié)構(gòu)，在襯底上設(shè)置帶對(duì)準(zhǔn)孔的多層材料層，襯底上具有包括共面構(gòu)造的電極。
圖15表示發(fā)光板之一部分的分解圖，它表示所形成的插孔的基本插孔結(jié)構(gòu)，在襯底上設(shè)置帶對(duì)準(zhǔn)孔的多層材料層，襯底上具有包括中平面構(gòu)造的電極。
圖16表示發(fā)光板之一部分的分解圖，它表示所形成的插孔的基本插孔結(jié)構(gòu)，在襯底上設(shè)置帶對(duì)準(zhǔn)孔的多層材料層，襯底上的電極具有兩個(gè)維持和兩個(gè)地址電極的構(gòu)造，其中的地址電極處在兩個(gè)維持電極之間。
具體實(shí)施例方式
為了具體和廣泛的說明，本發(fā)明的最佳實(shí)施例涉及到一種新型發(fā)光板。具體的最佳實(shí)施例涉及到發(fā)光板和發(fā)光板及其內(nèi)部件的一種測(cè)試方法。
圖1和2表示本發(fā)明的兩個(gè)實(shí)施例，其中的發(fā)光板包括第一襯底10和第二襯底20。制作第一襯底10的材料可以是本領(lǐng)域技術(shù)人員所公知的硅酸鹽，聚丙烯，石英，玻璃，任何聚合物為基的材料，或是任何材料或這些材料的組合。同樣，制作第二襯底20的材料可以是本領(lǐng)域技術(shù)人員所公知的硅酸鹽，聚丙烯，石英，玻璃，任何聚合物為基的材料，或是任何材料或這些材料的組合。第一襯底10和第二襯底20可以用同一種材料制成，或是各自采用不同材料。此外，第一和第二襯底可以用能夠從發(fā)光板散熱的材料制成。在一個(gè)最佳實(shí)施例中，各個(gè)襯底是用一種有機(jī)械柔韌性的材料制成的。
第一襯底10包括多個(gè)插孔30。插孔30可以設(shè)置成任意圖形，在相鄰插孔之間具有均勻或不均勻的間隔。圖形可以包括但是不僅限于字符，符號(hào)，插圖或圖片。設(shè)置在第一襯底10中的插孔30最好是相鄰插孔30之間的距離大致相等。插孔30還可以成組設(shè)置，使一組插孔與另一組插孔之間的距離大致相等。后一種方案特別涉及到彩色發(fā)光板，各組插孔中的各個(gè)插孔可以分別顯示紅，綠，藍(lán)色。
在各個(gè)插孔30中的至少是局部設(shè)有至少一個(gè)微型部件40。在一個(gè)插孔中可以設(shè)置多個(gè)微型部件用來提高亮度和增強(qiáng)輻射傳輸效率。在按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的彩色發(fā)光板中，單個(gè)插孔能支持分別按紅，綠，藍(lán)色發(fā)光配置的三個(gè)微型部件。微型部件40可以采用包括但不僅限于球形，圓筒形和非球面形的任意形狀。另外還可以設(shè)想微型部件40可包括安置或形成在另一結(jié)構(gòu)內(nèi)部的一種微型部件，例如是將一個(gè)球形微型部件安置在一個(gè)圓筒形結(jié)構(gòu)內(nèi)部。在按照本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的彩色發(fā)光板中，由各個(gè)圓筒形結(jié)構(gòu)保持的微型部件用來發(fā)射單色可見光，或是按紅，綠，藍(lán)安排的多重彩色，或是安排成某種其它合適的彩色。
在本發(fā)明的另一實(shí)施例中，對(duì)各個(gè)微型部件加一種粘合劑在插孔30中輔助放置/保持一個(gè)微型部件40或多個(gè)微型部件。按照另一個(gè)實(shí)施例，在各個(gè)微型部件上安置一個(gè)靜電荷，并且對(duì)各個(gè)微型部件加電場(chǎng)，在插孔30中輔助放置/保持一個(gè)微型部件40或多個(gè)微型部件。為微型部件提供靜電荷還有助于避免多個(gè)微型部件聚集成團(tuán)。按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，用一個(gè)電子槍在各個(gè)微型部件上安置一個(gè)靜電荷，并且激勵(lì)設(shè)置在各個(gè)插孔30近旁的一個(gè)電極，用來提供為吸引帶靜電荷的微型部件所需的電場(chǎng)。
或者是，為了在插孔30中輔助放置/保持一個(gè)微型部件40或多個(gè)微型部件，在插孔30中可以包含一種粘合劑。可以采用區(qū)別剝離，光刻方法，濺射，激光淀積，化學(xué)淀積，蒸發(fā)淀積，或是噴墨淀積將粘合劑加在插孔30的內(nèi)側(cè)。本領(lǐng)域的技術(shù)人員會(huì)知道也可以采用其它方法在插孔30的內(nèi)側(cè)進(jìn)行涂敷。
按照最基本的方式，每個(gè)微型部件40包括一個(gè)充滿等離子體形成氣體或氣體混合物45的殼50。能夠電離的任何適當(dāng)?shù)臍怏w或氣體混合物45都能用做等離子體形成氣體，它包括但不僅限于氪，氙，氬，氖，氧，氦，汞及其混合物。事實(shí)上，任何惰性氣體都可以用做等離子體形成氣體，包括但不僅限于與銫或汞混合的惰性氣體。本領(lǐng)域的技術(shù)人員都知道也能使用其它氣體或氣體混合物。按照另一個(gè)實(shí)施例，在彩色顯示器中的等離子體形成氣體或氣體混合物45是選擇成使氣體在電離過程中會(huì)發(fā)出對(duì)應(yīng)著所需顏色的規(guī)定波長(zhǎng)的光。例如，氖-氬發(fā)紅光，氙-氧發(fā)綠光，而氦-氖發(fā)藍(lán)光。盡管在最佳實(shí)施例中使用了等離子體形成氣體或氣體混合物45，但也可以采用其它能夠發(fā)光的材料，例如電致發(fā)光材料，有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)或是電泳材料。
殼50可以用各種類型的材料制成，包括但是不僅限于硅酸鹽，聚丙烯，玻璃，任何聚合物為基的材料，氧化鎂和石英，并且可以是任何適當(dāng)?shù)某叽?。?0的直徑在其短軸測(cè)量范圍可以是數(shù)微米到數(shù)厘米，對(duì)其主軸測(cè)量的尺寸實(shí)際上沒有限制。例如圓形微型部件在其短軸測(cè)量的尺寸可能僅有100微米，而在其主軸的長(zhǎng)度可能有數(shù)百米。在一個(gè)最佳實(shí)施例中，在其短軸測(cè)量的殼的外徑是100到300微米。另外，殼的厚度范圍是數(shù)微米到數(shù)毫米，最佳厚度是1微米到10微米。
若對(duì)微型部件加足夠大的電壓，氣體或氣體混合物就會(huì)電離形成等離子體并且發(fā)射射線。啟發(fā)殼50內(nèi)部的氣體或氣體混合物電離所需的電壓是由Paschen定律決定的，并且與殼內(nèi)氣體壓力緊密相關(guān)。按照本發(fā)明，殼50內(nèi)的氣體壓力范圍是數(shù)十托到若干大氣壓。按照最佳實(shí)施例，氣壓范圍是100托到700托。微型部件40的尺寸和形狀及其內(nèi)包含的等離子體形成氣體的種類和壓力會(huì)影響到發(fā)光板的性能和特性，需要進(jìn)行選擇來優(yōu)化面板的操作效率。
對(duì)微型部件40添加各種涂層300和雜質(zhì)也能影響發(fā)光板的性能和特性。可以在殼50的外側(cè)或內(nèi)側(cè)加涂層300，還可以局部或完全涂敷殼50。外側(cè)涂敷的種類包括但是不僅限于將UV光轉(zhuǎn)換成可見光(例如是磷光)，將涂層用作反射濾光器，以及將涂層用作禁帶濾光器。內(nèi)側(cè)涂敷的種類包括但是不僅限于將UV光轉(zhuǎn)換成可見光(例如是磷光)，用涂層增強(qiáng)二次發(fā)射，以及用涂層防止侵蝕。本領(lǐng)域的技術(shù)人員都知道也能使用其它涂層。涂層300可以采用區(qū)別剝離，光刻方法，濺射，激光淀積，化學(xué)淀積，蒸發(fā)淀積，或是采用噴墨技術(shù)的淀積加到殼50上。本領(lǐng)域的技術(shù)人員會(huì)知道也可以采用其它方法在殼50的內(nèi)側(cè)和/或外側(cè)進(jìn)行涂敷。雜質(zhì)的種類包括但是不僅限于用來將UV光轉(zhuǎn)換成可見光(例如是磷光)的雜質(zhì)，用來增強(qiáng)二次發(fā)射的雜質(zhì)，以及用來提供通過殼50的導(dǎo)電路徑的雜質(zhì)。可以用本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的任何適當(dāng)?shù)募夹g(shù)為殼50添加雜質(zhì)，包括離子注入。還可以設(shè)想為微型部件40添加涂層和雜質(zhì)的任意組合?；蛘呤桥浜现鵀槲⑿筒考?0添加涂層和雜質(zhì)在插孔30的內(nèi)側(cè)涂敷各種涂層350。這些涂層350包括但是不僅限于將UV光轉(zhuǎn)換成可見光(例如是磷光)的涂層，用作反射濾光器的涂層，以及用作禁帶濾光器的涂層。
按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，如果按配置用微型部件發(fā)射UV光，至少在殼50的內(nèi)側(cè)局部涂敷磷，至少在殼50的外側(cè)局部涂敷磷，為殼50摻雜磷，和/或在插孔30的內(nèi)側(cè)涂敷磷，將UV光轉(zhuǎn)換成可見光。在彩色發(fā)光板中，按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，選擇彩色的磷使其它的微型部件發(fā)出的可見光分別是彩色的紅，綠，藍(lán)色。按照各種強(qiáng)度組合這些原色就能形成所有彩色。預(yù)想還可以采用其他彩色的組合和布局。在用于彩色發(fā)光板的另一實(shí)施例中，在微型部件40上和/或插孔30內(nèi)側(cè)設(shè)置單色的磷，將UV光轉(zhuǎn)換成可見光。然后在各個(gè)插孔30上面交替加彩色濾光器，將可見光轉(zhuǎn)換成適當(dāng)安排的彩色光，例如是紅，綠，藍(lán)。如果為所有微型部件涂敷單色的磷，然后用加在各個(gè)插孔頂上的至少一個(gè)濾光器將可見光轉(zhuǎn)換成彩色光，就能簡(jiǎn)化微型部件的安置，并且更容易裝配發(fā)光板。
為了提高亮度和輻射傳輸效率，按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，各個(gè)微型部件40的殼50至少是局部涂敷有二次發(fā)射增強(qiáng)材料?？梢允褂萌魏蔚陀H和力材料，包括但不僅限于氧化鎂和氧化銩。本領(lǐng)域的技術(shù)人員都知道其他材料也能增強(qiáng)二次發(fā)射。按照本發(fā)明的另一實(shí)施例，對(duì)殼50摻雜二次發(fā)射增強(qiáng)材料。還可以設(shè)想為殼50摻雜二次發(fā)射增強(qiáng)材料時(shí)附帶為殼50涂敷二次發(fā)射增強(qiáng)材料。在這種情況下，用來涂敷殼50和摻雜殼50的二次發(fā)射增強(qiáng)材料可以是不同的。
按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，除了或是替代對(duì)殼50摻雜二次發(fā)射增強(qiáng)材料之外，還要對(duì)殼50摻雜一種導(dǎo)電材料?？赡艿膶?dǎo)電材料包括但是不僅限于銀，金，鉑和鋁。對(duì)殼50摻雜導(dǎo)電材料為殼內(nèi)所含的氣體或氣體混合物提供一直接導(dǎo)電路徑，并且為實(shí)現(xiàn)DC發(fā)光板提供了一種可能的途徑。
按照本發(fā)明的另一實(shí)施例，微型部件40的殼50涂敷有反射材料。設(shè)置一種用來匹配反射材料的折射率的折射率匹配材料，使其接觸到反射材料的至少一部分。反射涂層和折射率匹配材料可以和前述實(shí)施例中的磷涂層和二次發(fā)射增強(qiáng)涂層隔開或是與其結(jié)合。對(duì)殼50加反射涂層是為了增強(qiáng)輻射傳輸。如果再設(shè)置一種折射率匹配材料，使其接觸到反射材料的至少一部分，就能躲過在反射涂層和折射率匹配材料之間的界面上通過反射涂層的預(yù)定波長(zhǎng)范圍的輻射。迫使微型部件發(fā)射的射線通過反射涂層和折射率匹配材料之間的界面區(qū)，就能通過提高微型部件的效率而增強(qiáng)亮度。在一個(gè)實(shí)施例中，折射率匹配材料被直接涂敷在至少一部分反射涂層上面。在另一個(gè)實(shí)施例中，折射率匹配材料設(shè)置在一個(gè)材料層上，或者是接觸到微型部件，使折射率匹配材料接觸到至少一部分反射涂層。在又一個(gè)實(shí)施例中是選擇界面的尺寸而使發(fā)光板獲得規(guī)定的視場(chǎng)。
在第一襯底10內(nèi)和/或其上形成的空腔55具有插孔30的基本結(jié)構(gòu)?？涨?5可以有任意的形狀和尺寸。如圖3A-3J所示，空腔55的形狀可以包括但是不僅限于立方體100，圓錐體110，截頭圓錐體120，拋物線體130，球體140，圓柱體150，棱錐160，平截頭棱錐體170，平行六面體180或三棱體190等形狀。
插孔30的尺寸和形狀影響發(fā)光板的性能和特性，對(duì)其進(jìn)行選擇來優(yōu)化面板的操作效率。另外，可以根據(jù)微型部件的形狀和尺寸來選擇插孔的幾何形狀，以優(yōu)化微型部件和插孔之間的面接觸，和/或確保微型部件與設(shè)置在插孔內(nèi)部的任何電極的連接性能。還可以選擇插孔30的尺寸和形狀來優(yōu)化光子產(chǎn)生，并且能夠增強(qiáng)亮度和輻射傳輸效率。例如圖4和5中所示，可以選擇尺寸和形狀來提供具有規(guī)定角度θ的視場(chǎng)400，例如，設(shè)置在深插孔30中的微型部件40可以提供更準(zhǔn)直的光也就是一個(gè)窄視角θ(圖4)，而設(shè)置在淺插孔30中的微型部件40可以提供一個(gè)寬視角θ(圖5)。也就是說，可以調(diào)整空腔的尺寸，例如是使其深度包容設(shè)置在插孔中的一個(gè)微型部件，或是做成比較淺，使微型部件僅有一部分設(shè)置在插孔內(nèi)。而按照本發(fā)明的另一實(shí)施例是在第二襯底上設(shè)置至少一個(gè)光學(xué)透鏡，從而將視場(chǎng)400設(shè)置在規(guī)定角度θ。透鏡可以覆蓋整個(gè)第二襯底，或是在布置有多個(gè)光學(xué)透鏡的情況下與各個(gè)插孔重合。按照另一個(gè)實(shí)施例，將光學(xué)透鏡配置成能夠調(diào)節(jié)發(fā)光板的視場(chǎng)。
在制造包括多個(gè)插孔的發(fā)光板的方法的一個(gè)實(shí)施例中，在襯底10中形成一個(gè)空腔55或是構(gòu)圖而產(chǎn)生一個(gè)基本插孔形狀?？梢园次锢?，機(jī)械，熱，電，光或化學(xué)方法改變襯底的任意組合，將空腔制成任何適當(dāng)?shù)男螤詈统叽?。在各個(gè)插孔附近和/或其內(nèi)可以設(shè)置各種增強(qiáng)材料325。增強(qiáng)材料325包括但不僅限于防眩目涂層，觸敏表面，對(duì)比度增強(qiáng)涂層，保護(hù)涂層，晶體管，集成電路，半導(dǎo)體器件，電感，電容，電阻，電子控制電路，電子驅(qū)動(dòng)電路，二極管，脈沖形成網(wǎng)絡(luò)，脈沖壓縮器，脈沖變換器和調(diào)諧電路。
在本發(fā)明制造包括多個(gè)插孔的發(fā)光板的方法的另一個(gè)實(shí)施例中，插孔30形成為能設(shè)置多個(gè)材料層60構(gòu)成第一襯底10，在材料層或是其任意組合內(nèi)部直接在第一襯底10上設(shè)置至少一個(gè)電極，并且選擇除去一部分材料層60形成一個(gè)空腔。材料層60的整體或局部包括任意組合的介電材料，金屬和增強(qiáng)材料325。增強(qiáng)材料325包括但不僅限于防眩目涂層，觸敏表面，對(duì)比度增強(qiáng)涂層，保護(hù)涂層，晶體管，集成電路，半導(dǎo)體器件，電感，電容，電阻，電子控制電路，電子驅(qū)動(dòng)電路，二極管，脈沖形成網(wǎng)絡(luò)，脈沖壓縮器，脈沖變換器和調(diào)諧電路。可以采用任何過渡步驟來安置材料層60，例如是光刻工藝，濺射，激光淀積，化學(xué)淀積，蒸發(fā)淀積，或是噴墨淀積。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員都知道可以用其他適當(dāng)?shù)姆椒ㄔ谝r底上淀積多個(gè)材料層?？梢杂酶鞣N方法在材料層60中形成空腔55，這其中包括但不僅限于濕法或干法蝕刻，光刻工藝，激光熱處理，熱形成，機(jī)械沖壓，浮雕，沖軋，鉆孔，電鑄或是形成波紋。
在本發(fā)明制造包括多個(gè)插孔的發(fā)光板的方法的另一個(gè)實(shí)施例中，插孔30形成為能在第一襯底10內(nèi)為空腔55構(gòu)圖，在第一襯底100上設(shè)置多個(gè)材料層65，使材料層65協(xié)調(diào)空腔55，并且在材料層65或是其任意組合內(nèi)的第一襯底10上設(shè)置至少一個(gè)電極。可以按物理，機(jī)械，熱，電，光或化學(xué)方法改變襯底的任意組合將空腔制成任何適當(dāng)?shù)男螤詈统叽?。材料?0在整體或局部上包括任意組合的介電材料，金屬和增強(qiáng)材料325。增強(qiáng)材料325包括但不僅限于防眩目涂層，觸敏表面，對(duì)比度增強(qiáng)涂層，保護(hù)涂層，晶體管，集成電路，半導(dǎo)體器件，電感，電容，電阻，電子控制電路，電子驅(qū)動(dòng)電路，二極管，脈沖形成網(wǎng)絡(luò)，脈沖壓縮器，脈沖變換器和調(diào)諧電路。可以采用任何過渡步驟來安置材料層60，例如是光刻工藝，濺射，激光淀積，化學(xué)淀積，蒸發(fā)淀積，或是采用噴墨淀積。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員都知道可以用其他適當(dāng)?shù)姆椒ㄔ谝r底上淀積多個(gè)材料層。
在本發(fā)明制造包括多個(gè)插孔的發(fā)光板的方法的又一個(gè)實(shí)施例中，插孔30形成為能在第一襯底10上設(shè)置多個(gè)材料層66，并在材料層66或是其任意組合內(nèi)的第一襯底10上設(shè)置至少一個(gè)電極。各個(gè)材料層包括一個(gè)貫通整個(gè)材料層的預(yù)制孔56?？椎某叽缈梢韵嗤部梢圆煌?。多個(gè)材料層66設(shè)置在第一襯底10上，由對(duì)準(zhǔn)的孔形成一個(gè)空腔55。材料層66在整體或局部上包括任意組合的介電材料，金屬和增強(qiáng)材料325。增強(qiáng)材料325包括但不僅限于防眩目涂層，觸敏表面，對(duì)比度增強(qiáng)涂層，保護(hù)涂層，晶體管，集成電路，半導(dǎo)體器件，電感，電容，電阻，電子控制電路，電子驅(qū)動(dòng)電路，二極管，脈沖形成網(wǎng)絡(luò)，脈沖壓縮器，脈沖變換器和調(diào)諧電路。可以采用任何過渡步驟來安置材料層66，例如是光刻工藝，濺射，激光淀積，化學(xué)淀積，蒸發(fā)淀積，或是采用噴墨淀積。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員都知道可以用其他適當(dāng)?shù)姆椒ㄔ谝r底上淀積多個(gè)材料層。
在以上實(shí)施例中描述了在發(fā)光板中制作插孔的四種不同方法，在各個(gè)插孔內(nèi)或是其附近可以設(shè)置至少一種增強(qiáng)材料。如上所述的增強(qiáng)材料可以包括但不僅限于防眩目涂層，觸敏表面，對(duì)比度增強(qiáng)涂層，保護(hù)涂層，晶體管，集成電路，半導(dǎo)體器件，電感，電容，電阻，電子控制電路，電子驅(qū)動(dòng)電路，二極管，脈沖形成網(wǎng)絡(luò)，脈沖壓縮器，脈沖變換器和調(diào)諧電路。按照本發(fā)明的一個(gè)最佳實(shí)施例，可以采用任何過渡步驟將增強(qiáng)材料安置在各個(gè)插孔內(nèi)或是其附近，例如是光刻工藝，濺射，激光淀積，化學(xué)淀積，蒸發(fā)淀積，采用噴墨技術(shù)的淀積，或是采用機(jī)械加工。按照本發(fā)明的另一實(shí)施例，制作發(fā)光板的一種方法包括在各個(gè)插孔內(nèi)或是其附近設(shè)置至少一個(gè)電氣增強(qiáng)元件(例如是晶體管，集成電路，半導(dǎo)體器件，電感，電容，電阻，電子控制電路，電子驅(qū)動(dòng)電路，二極管，脈沖形成網(wǎng)絡(luò)，脈沖壓縮器，脈沖變換器和調(diào)諧電路)，使至少一個(gè)電氣增強(qiáng)元件懸浮在一種液體中，并且讓液體在第一襯底上面流動(dòng)。隨著液體在襯底上流動(dòng)，至少一個(gè)電氣增強(qiáng)元件就會(huì)坐落在各個(gè)插孔中。還可以設(shè)想用其他物質(zhì)或手段在襯底上輸送電氣增強(qiáng)元件。這種手段包括但不僅限于利用空氣在襯底上輸送電氣增強(qiáng)元件。按照本發(fā)明的另一實(shí)施例，插孔的形狀對(duì)應(yīng)著至少一個(gè)電氣增強(qiáng)元件，使至少一個(gè)電氣增強(qiáng)元件自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)插孔。
電氣增強(qiáng)元件在發(fā)光板中有許多用途，這其中包括但不僅限于降低使微型部件中的等離子體形成氣體電離所需的電壓，降低在微型部件中維持/清除電離電荷所需的電壓，提高微型部件的亮度和/或射線傳輸效率，以及提高微型部件的發(fā)光頻率。另外，電氣增強(qiáng)元件可以配合著發(fā)光板驅(qū)動(dòng)電路來改變驅(qū)動(dòng)發(fā)光板所需的功率。例如可以用一個(gè)調(diào)諧電路配合著驅(qū)動(dòng)電路使一個(gè)DC電源能夠?yàn)锳C型發(fā)光板供電。按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例提供了一個(gè)連接到電氣增強(qiáng)元件并且能控制其操作的控制器。由于能夠單獨(dú)控制各個(gè)象素/子象素上的電氣增強(qiáng)元件，就能夠在裝配發(fā)光板之后對(duì)個(gè)別微型部件的特性進(jìn)行修改/校正。這些特性包括但不僅限于微型部件發(fā)光的亮度和頻率。本領(lǐng)域的技術(shù)人員會(huì)知道設(shè)置在發(fā)光板中各個(gè)插孔中或是其附近的電氣增強(qiáng)元件的其他用途。
通過至少兩個(gè)電極提供激勵(lì)微型部件40所需的電壓。電極可以用本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的任何技術(shù)設(shè)置在發(fā)光板內(nèi)，這其中包括但不僅限于任何過渡步驟，光刻工藝，濺射，激光淀積，化學(xué)淀積，蒸發(fā)淀積，采用噴墨技術(shù)的淀積，或是采用機(jī)械加工。按照本發(fā)明的一個(gè)通用實(shí)施例，發(fā)光板包括多個(gè)電極，其中至少兩個(gè)電極被附著在第一襯底，第二襯底或是其任意組合上，并且將電極布置成加在電極上的電壓能夠使一或多個(gè)微型部件發(fā)射射線。在另一個(gè)通用實(shí)施例中，發(fā)光板包括多個(gè)電極，其中至少兩個(gè)電極被布置成加在電極上的電壓能夠使一或多個(gè)微型部件通過發(fā)光板的視場(chǎng)發(fā)射射線，與電極沒有交叉。
在一個(gè)實(shí)施例中，在第一襯底10上對(duì)插孔30構(gòu)圖，在第一襯底中形成插孔，可以在第一襯底10，第二襯底20或是其任意組合上設(shè)置至少兩個(gè)電極。在圖1和2所示的實(shí)施例中，維持電極70被附著在第二襯底20上，而地址電極80被附著在第一襯底10上。在一個(gè)最佳實(shí)施例中，附著在第一襯底10上的至少一個(gè)電極至少有一部分設(shè)置在插孔內(nèi)(圖1和2)。
在一個(gè)實(shí)施例中，第一襯底10包括多個(gè)材料層60，而插孔30形成在材料層內(nèi)，可以在第一襯底10，第二襯底20或是其任意組合上設(shè)置至少兩個(gè)電極。在圖6A所示的一個(gè)實(shí)施例中，第一地址電極80設(shè)置在材料層60內(nèi)，第一維持電極70設(shè)置在材料層60內(nèi)，而第二維持電極75設(shè)置在材料層60內(nèi)，使得第一維持電極和第二維持電極形成共面配置。圖6B是圖6A的一個(gè)截面圖，用來表示共面維持電極70和75的布置。在圖7A所示的另一實(shí)施例中，第一維持電極70設(shè)置在第一襯底10上，第一地址電極80設(shè)置在材料層60內(nèi)，而第二維持電極75設(shè)置在材料層60內(nèi)，使得第一地址電極按中平面配置位于第一維持電極和第二維持電極之間。圖7B是圖7A的一個(gè)截面圖，表示第一維持電極70。如圖8所示，按照本發(fā)明的一個(gè)最佳實(shí)施例，第一維持電極70設(shè)置在材料層60內(nèi)，第一地址電極8設(shè)置在材料層60內(nèi)，第地二址電極85設(shè)置在材料層60內(nèi)，而第二維持電極75設(shè)置在材料層60內(nèi)，使得第一地址電極和第二地址電極位于第一維持電極和第二維持電極之間。
在一個(gè)實(shí)施例中，在第一襯底10上對(duì)空腔55構(gòu)圖，并且在第一襯底10上設(shè)置多層材料層65，使得材料層協(xié)調(diào)空腔55，在第一襯底10上設(shè)置至少兩個(gè)電極，至少是局部設(shè)置在材料層65內(nèi)，設(shè)置在第二襯底20上，或是其任意組合。在一個(gè)實(shí)施例中，如圖9所示，第一地址電極80設(shè)置在第一襯底10上，第一維持電極70設(shè)置在材料層65內(nèi)，而第二維持電極75設(shè)置在材料層65內(nèi)，使得第一維持電極和第二維持電極形成共面配置。在圖10所示的另一實(shí)施例中，第一維持電極70設(shè)置在第一襯底10上，第一地址電極80設(shè)置在材料層65內(nèi)，而第二維持電極75設(shè)置在材料層65內(nèi)，使得第一地址電極按中平面配置位于第一維持電極和第二維持電極之間。在圖11所示的一個(gè)最佳實(shí)施例中，第一維持電極70設(shè)置在第一襯底10上，第一地址電極80設(shè)置在材料層65內(nèi)，第地二址電極85設(shè)置在材料層65內(nèi)，而第二維持電極75設(shè)置在材料層65內(nèi)，使得第一地址電極和第二地址電極位于第一維持電極和第二維持電極之間。
在一個(gè)實(shí)施例中，在第一襯底10上設(shè)置有多個(gè)帶對(duì)準(zhǔn)孔56的材料層66形成空腔55，可以在第一襯底10上設(shè)置至少兩個(gè)電極，至少是局部設(shè)置在材料層65內(nèi)，設(shè)置在第二襯底20上，或是其任意組合。在一個(gè)實(shí)施例中，如圖14所示，第一地址電極80設(shè)置在第一襯底10上，第一維持電極70設(shè)置在材料層66內(nèi)，而第二維持電極75設(shè)置在材料層66內(nèi)，使得第一維持電極和第二維持電極形成共面配置。在圖15所示的另一實(shí)施例中，第一維持電極70設(shè)置在第一襯底10上，第一地址電極80設(shè)置在材料層66內(nèi)，而第二維持電極75設(shè)置在材料層66內(nèi)，使得第一地址電極按中平面配置位于第一維持電極和第二維持電極之間。在圖16所示本發(fā)明的一個(gè)最佳實(shí)施例中，第一維持電極70設(shè)置在第一襯底10上，第一地址電極80設(shè)置在材料層66內(nèi)，第二地址電極85設(shè)置在材料層66內(nèi)，而第二維持電極75設(shè)置在材料層66內(nèi)，使得第一地址電極和第二地址電極位于第一維持電極和第二維持電極之間。
按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，測(cè)試多個(gè)發(fā)光板的一種方法包括按薄板(web)制作工藝制造多個(gè)發(fā)光板。如本申請(qǐng)中所述，薄板制作工藝包括一系列處理步驟和多個(gè)零部件。在一個(gè)或多個(gè)處理步驟之后測(cè)試發(fā)光板的一部分。處理測(cè)試數(shù)據(jù)，并分析該結(jié)果，以確定該結(jié)果是否處在被側(cè)發(fā)光目標(biāo)中該部分的允許值的規(guī)定目標(biāo)范圍內(nèi)。如果結(jié)果是處在允許范圍內(nèi)，就不采取行動(dòng)。然而，如果結(jié)果落在目標(biāo)范圍之外，就用該結(jié)果去調(diào)節(jié)薄板制作工藝的至少一個(gè)處理步驟，使制作工藝回到允許的公差內(nèi)。盡管本實(shí)施例預(yù)期在每當(dāng)執(zhí)行一個(gè)處理步驟時(shí)有至少一部分發(fā)光板受到測(cè)試，在另一實(shí)施例中則預(yù)期按較大的間隔執(zhí)行測(cè)試。也就是說，按照一個(gè)非限制性的例子，預(yù)期是在每次執(zhí)行完電極印刷步驟之后或是在每五次執(zhí)行完電極印刷步驟之后對(duì)電極印刷步驟中設(shè)置的一個(gè)電極進(jìn)行測(cè)試。在本發(fā)明的另一實(shí)施例中還預(yù)期將測(cè)試結(jié)果直接用于調(diào)節(jié)制造工藝的至少一個(gè)處理步驟和/或發(fā)光板的至少一個(gè)零部件，或是可以存儲(chǔ)測(cè)試結(jié)果。在前一種情況下，如上文所述對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行分析以確定該結(jié)果是否落在允許值的目標(biāo)范圍內(nèi)。如果結(jié)果是處在允許范圍內(nèi)，就不采取行動(dòng)。然而，如果結(jié)果落在目標(biāo)范圍之外，就按照該結(jié)果去調(diào)節(jié)至少一個(gè)處理步驟和/或至少一個(gè)零部件，使制作工藝回到允許的公差內(nèi)。在后一種情況下，對(duì)存儲(chǔ)的測(cè)試結(jié)果進(jìn)行分析以確定是否存在持續(xù)不一致的圖形。圖13表示在微型部件形成步驟之后提取的有關(guān)微型部件殼厚度的數(shù)據(jù)的一個(gè)例子。每當(dāng)執(zhí)行一次微型部件形成步驟之后就提取數(shù)據(jù)并且存儲(chǔ)。圖13表示目標(biāo)上限550，目標(biāo)下限560和目標(biāo)值570。圖13還表示了可能構(gòu)成持續(xù)不一致580的各種非限制性例子。如果確定存在持續(xù)不一致580的圖形，就按照分析結(jié)果來調(diào)節(jié)至少一個(gè)處理步驟和/或至少一個(gè)零部件，使制作工藝回到允許的公差內(nèi)。如果沒有持續(xù)不一致，就不采取行動(dòng)。值得注意的是對(duì)處理步驟和/或零部件的調(diào)節(jié)預(yù)期可以由人工或自動(dòng)地執(zhí)行。
在本申請(qǐng)的上文中描述了發(fā)光板的各種部件和制造這些部件和制造發(fā)光板的方法。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，預(yù)期可以按制造發(fā)光板的薄板制作工藝來制造這些部件并實(shí)現(xiàn)這些制造方法。在圖12所示的另一實(shí)施例中，制造發(fā)光板的一種薄板制作工藝包括以下處理步驟微型部件形成步驟900；插孔形成步驟910；電極安置步驟920；微型部件安置步驟930；對(duì)準(zhǔn)步驟940；和面板切割步驟950。應(yīng)該指出各處理步驟可以按任何適當(dāng)?shù)拇涡驁?zhí)行。在合適的條件下，處理步驟也可以配合其他處理步驟來執(zhí)行，同時(shí)執(zhí)行兩個(gè)以上處理步驟。另外還預(yù)期可以將兩個(gè)以上處理步驟組合成單一處理步驟。除非在本文中另有說明，用來測(cè)試零部件特性的測(cè)試方法可以用作被測(cè)的任何零部件。也就是說，除非另有說明，該測(cè)試方法涉及到被測(cè)的特性而不是零部件。因此，除非另有說明，對(duì)于類似特性的測(cè)試方法不再重復(fù)討論。
在微型部件形成步驟900中形成至少一個(gè)微型部件并且至少是部分充入一種等離子體產(chǎn)生氣體。按照本發(fā)明的另一實(shí)施例，微型部件形成步驟900還包括微型部件涂敷步驟905。可以在微型部件形成步驟900期間或其后的任意適當(dāng)位置執(zhí)行微型部件涂敷步驟905。在微型部件形成步驟900之后，在至少一個(gè)微型部件上執(zhí)行在線測(cè)試?？梢詼y(cè)試一或多個(gè)微型部件的特性，這其中包括但不僅限于尺寸，形狀，阻抗，氣體成分和壓力，以及殼的厚度?？梢酝ㄟ^拍攝圖像來測(cè)試微型部件的尺寸，處理并且分析，激光聲學(xué)分析，專家系統(tǒng)分析或是本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的其他方法?？梢酝ㄟ^拍攝圖像來測(cè)試微型部件的形狀，處理并且分析，或是本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的其他方法。如果微型部件殼摻雜有導(dǎo)電材料，可以用微波激勵(lì)或是本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的其他方法來測(cè)試微型部件的阻抗?？梢杂梦⒉?lì)和強(qiáng)度測(cè)量，紫外線光譜分析，或是本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的其他方法來測(cè)試微型部件的氣體成分和壓力?？梢杂眉す夥治龌蚴潜绢I(lǐng)域技術(shù)人員所知的其他方法干涉測(cè)試微型部件的厚度。在一個(gè)實(shí)施例中預(yù)期可以在薄板制作工藝中使用帶涂層/不帶涂層的預(yù)制微型部件，有可能省去微型部件形成步驟900或微型部件涂敷步驟905。
按照一個(gè)實(shí)施例，在插孔形成步驟910中，在第一襯底10內(nèi)或是其上形成多個(gè)插孔30。按照一個(gè)實(shí)施例，插孔形成步驟910包括電極和增強(qiáng)材料安置步驟912和一個(gè)構(gòu)圖步驟914。按照另一個(gè)實(shí)施例，插孔形成步驟910包括電極和增強(qiáng)材料安置步驟912，一個(gè)材料層安置步驟916，和一個(gè)材料層除去步驟918。按照再一個(gè)實(shí)施例，插孔形成步驟910包括電極和增強(qiáng)材料安置步驟912，一個(gè)構(gòu)圖步驟914，及一個(gè)材料層安置和協(xié)調(diào)步驟919。按照又一個(gè)實(shí)施例，插孔形成步驟910包括電極和增強(qiáng)材料安置步驟912及一個(gè)材料層安置和對(duì)準(zhǔn)步驟917。
在插孔形成步驟910之后在至少一個(gè)插孔上執(zhí)行在線測(cè)試?？梢灶A(yù)期，由于插孔形成步驟910的各個(gè)實(shí)施例包括多個(gè)處理步驟，與完全形成插孔后執(zhí)行在線測(cè)試的情況相比，可以在每個(gè)處理步驟之后執(zhí)行在線測(cè)試。在電極和增強(qiáng)材料安置步驟912之后對(duì)至少一個(gè)電極和/或至少一種增強(qiáng)材料執(zhí)行在線測(cè)試?？梢詼y(cè)試的一個(gè)或多個(gè)電極和/或一或多種增強(qiáng)材料的特性包括但不僅限于位置，阻抗，尺寸，形狀，材料特性以及增強(qiáng)材料的功能?？梢酝ㄟ^拍攝圖像，處理和分析或是本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的其他方法測(cè)試電極和/或增強(qiáng)材料的位置。在應(yīng)用中可以用標(biāo)準(zhǔn)的時(shí)域分析和/或本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的其他方法測(cè)試電極和/或增強(qiáng)材料的阻抗?？梢杂霉馔干浜蛷?qiáng)度測(cè)量，專家系統(tǒng)分析，圖像拍攝，處理和分析，激光聲學(xué)分析，或是本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的其他方法測(cè)試電極和/或增強(qiáng)材料的材料特性。在構(gòu)圖步驟914之后對(duì)至少一個(gè)空腔執(zhí)行在線測(cè)試?？梢詼y(cè)試的一或多個(gè)空腔的特性包括但不僅限于位置，阻抗，尺寸，形狀，深度，壁質(zhì)量和邊沿質(zhì)量。可以用圖像拍攝，處理和分析，激光掃描和剖面，位置-空間頻率或是本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的其他方法測(cè)試空腔的深度。在材料層安置步驟916之后對(duì)至少一個(gè)材料層執(zhí)行在線測(cè)試?？梢詼y(cè)試的一或多個(gè)材料層的特性包括但不僅限于尺寸，形狀，厚度和材料性質(zhì)。在材料層除去步驟918之后對(duì)通過材料層除去步驟在多個(gè)材料層中形成的至少一個(gè)空腔執(zhí)行在線測(cè)試。一或多個(gè)空腔的特性包括但不僅限于尺寸，形狀，深度，壁質(zhì)量和邊沿質(zhì)量。在材料層安置和協(xié)調(diào)步驟919之后對(duì)至少一個(gè)材料層執(zhí)行在線測(cè)試?？梢詼y(cè)試的一或多個(gè)材料層的特性包括但不僅限于尺寸，形狀，厚度和材料性質(zhì)。
在電極安置步驟920期間，在第一襯底上或是其內(nèi)，在第二襯底或是其任意的組合上設(shè)置至少一個(gè)電極和/或驅(qū)動(dòng)或控制電路。如果電極是設(shè)置在第一襯底上或是其內(nèi)，可以預(yù)期電極安置步驟920可以作為電極和增強(qiáng)材料安置步驟912的一部分來執(zhí)行，如果電極設(shè)置在第二襯底上，則可以作為一個(gè)獨(dú)立步驟來執(zhí)行。在電極安置步驟920之后對(duì)至少一個(gè)電極執(zhí)行在線測(cè)試。可以測(cè)試的一或多個(gè)電極的特性包括但不僅限于位置，阻抗，尺寸，形狀，材料特性以及電氣部件的功能。
在微型部件安置步驟930期間，在各個(gè)插孔中設(shè)置至少一個(gè)微型部件的至少一部分。在微型部件安置步驟930之后對(duì)至少一個(gè)微型部件執(zhí)行在線測(cè)試?？梢詼y(cè)試的一或多個(gè)微型部件的特性包括但不僅限于位置和取向?？梢杂脠D像拍攝，處理和分析，專家系統(tǒng)分析，空間頻率分析或是本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的其他方法測(cè)試微型部件的位置。可以用圖像拍攝，處理和分析，專家系統(tǒng)分析，或是本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的其他方法測(cè)試微型部件的取向。按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所制造的發(fā)光板是彩色發(fā)光板，還可以用紫外線激勵(lì)和可見光成像或是本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的其他方法測(cè)試正確的彩色微型部件是否被放置在正確的插孔中的附加特性進(jìn)行測(cè)試。
在對(duì)準(zhǔn)步驟940期間，直接或間接地將第二襯底20對(duì)準(zhǔn)并放置在第一襯底10上，將一個(gè)或多個(gè)微型部件夾在第一和第二襯底之間。在對(duì)準(zhǔn)步驟940之后對(duì)第二襯底執(zhí)行在線測(cè)試。可以測(cè)試的第二襯底的特性包括但不僅限于位置和取向。
在面板切割步驟960期間切割第一和第二“夾層的”襯底形成單獨(dú)的發(fā)光板。在切割步驟960之后，在單獨(dú)的發(fā)光板上執(zhí)行在線測(cè)試?？梢詼y(cè)試的單獨(dú)發(fā)光板的特性包括但不僅限于尺寸，形狀和亮度?？梢酝ㄟ^逐個(gè)象素的圖像分析來測(cè)試發(fā)光顯示器的可見和不可見區(qū)域中的亮度。
按照本發(fā)明的另一實(shí)施例，測(cè)試發(fā)光板的方法包括按一系列處理步驟制造一個(gè)發(fā)光板，在至少一個(gè)處理步驟之后測(cè)試發(fā)光板的至少一個(gè)零部件，分析測(cè)試數(shù)據(jù)產(chǎn)生至少一個(gè)結(jié)果，并利用這至少一個(gè)結(jié)果調(diào)節(jié)發(fā)光板的一個(gè)或多個(gè)零部件。然而，按照本實(shí)施例的預(yù)期，如果結(jié)果顯示制造步驟處在規(guī)定的公差之內(nèi)，調(diào)節(jié)可以是零(也就是不調(diào)節(jié))。按照這一實(shí)施例，一系列處理步驟包括提供第一襯底，在第一襯底上或是其內(nèi)形成多個(gè)空腔，在各個(gè)空腔內(nèi)安置至少一個(gè)微型部件的至少一部分，提供與第一襯底相對(duì)的第二襯底，將至少一個(gè)微型部件夾在第一和第二襯底之間，設(shè)置至少兩個(gè)電極，用加在電極上的電壓使一個(gè)或多個(gè)微型部件發(fā)射射線?？梢詫?duì)第一襯底，至少一個(gè)空腔，至少一個(gè)微型部件，至少一個(gè)電極和/或第二襯底執(zhí)行測(cè)試。在測(cè)試和分析之后可以對(duì)第一襯底，第一襯底的形成，多個(gè)空腔的形成，多個(gè)空腔，至少一個(gè)微型部件，至少兩個(gè)電極當(dāng)中至少一個(gè)的錯(cuò)位，一或多個(gè)電極，第二襯底的位置，和/或第二襯底進(jìn)行調(diào)節(jié)。
本領(lǐng)域的技術(shù)人員根據(jù)本申請(qǐng)和對(duì)本發(fā)明內(nèi)容的實(shí)踐就能看出本發(fā)明的其他實(shí)施例及其用途。說明書和實(shí)施例只是一些例子，而以下的權(quán)利要求書界定了本發(fā)明的實(shí)際范圍和原理。正如本領(lǐng)域的技術(shù)人員所知，在以下的權(quán)利要求書所限定的本發(fā)明范圍內(nèi)可以對(duì)所述的各個(gè)實(shí)施例及其組合進(jìn)行修改和變更。
權(quán)利要求
1.多個(gè)發(fā)光板的在線測(cè)試方法，包括以下步驟按薄板制作工藝制造多個(gè)發(fā)光板，薄板制作工藝包括多個(gè)處理步驟和多個(gè)零部件，多次執(zhí)行多個(gè)處理步驟制成多個(gè)發(fā)光板；在至少一次執(zhí)行完多個(gè)處理步驟中的至少一個(gè)處理步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的一部分；處理測(cè)試數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生至少一個(gè)結(jié)果；分析該至少一個(gè)結(jié)果以確定這至少一個(gè)結(jié)果是否處在規(guī)定的目標(biāo)范圍內(nèi)；并且如果這至少一個(gè)結(jié)果不是處在規(guī)定的目標(biāo)范圍內(nèi)，就調(diào)節(jié)至少一個(gè)處理步驟或多個(gè)零部件中的至少一個(gè)零部件。
2.按照權(quán)利要求1的方法，其特征是，多個(gè)處理步驟包括微型部件形成步驟；插孔形成步驟；電極安置步驟；微型部件安置步驟；對(duì)準(zhǔn)步驟；以及面板切割步驟。
3.按照權(quán)利要求2的方法，其特征是，在微型部件形成步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試至少一個(gè)微型部件的至少一個(gè)特性，這至少一個(gè)特性是選自由尺寸，形狀，阻抗，氣體成分和壓力，以及殼厚度構(gòu)成的一組特性。
4.按照權(quán)利要求2的方法，其特征是，在電極安置步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試至少一個(gè)電極的至少一個(gè)特性，這至少一個(gè)特性是選自由位置，阻抗，尺寸，形狀，材料性質(zhì)及電氣部件功能構(gòu)成的一組特性。
5.按照權(quán)利要求2的方法，其特征是，在微型部件安置步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試至少一個(gè)微型部件的至少一個(gè)特性，這至少一個(gè)特性是選自由位置和取向構(gòu)成的一組特性。
6.按照權(quán)利要求5的方法，其特征是，一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板是一個(gè)或多個(gè)彩色發(fā)光板，而至少一個(gè)特性是選自由位置，取向，以及正確的插孔的正確彩色微型部件構(gòu)成的一組特性。
7.按照權(quán)利要求2的方法，其特征是，在對(duì)準(zhǔn)步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試第二襯底的至少一個(gè)特性，這至少一個(gè)特性是選自由位置和取向構(gòu)成的一組特性。
8.按照權(quán)利要求2的方法，其特征是，在切割步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試發(fā)光板的至少一個(gè)特性，這至少一個(gè)特性是選自由尺寸，形狀和亮度構(gòu)成的一組特性。
9.按照權(quán)利要求2的方法，其特征是，微型部件形成步驟包括微型部件涂敷步驟。
10.按照權(quán)利要求9的方法，其特征是，在微型部件涂敷步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試至少一個(gè)微型部件上的至少一個(gè)涂層的作用是否正常，或是至少一個(gè)微型部件上的至少一個(gè)涂層能否提供其應(yīng)有的功能。
11.按照權(quán)利要求2的方法，其特征是，插孔形成步驟包括電極和增強(qiáng)材料安置步驟；以及構(gòu)圖步驟。
12.按照權(quán)利要求11的方法，其特征是，在電極和增強(qiáng)材料安置步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試至少一個(gè)電極或至少一種增強(qiáng)材料的至少一個(gè)特性，這至少一個(gè)特性是選自由位置，阻抗，尺寸，形狀，材料性質(zhì)及增強(qiáng)材料功能構(gòu)成的一組特性。
13.按照權(quán)利要求11的方法，其特征是，在構(gòu)圖步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試至少一個(gè)空腔的至少一個(gè)特性，這至少一個(gè)特性是選自由位置，阻抗，尺寸，形狀，深度，壁質(zhì)量及邊沿質(zhì)量構(gòu)成的一組特性。
14.按照權(quán)利要求2的方法，其特征是，插孔形成步驟包括電極和增強(qiáng)材料安置步驟；材料層安置步驟；以及材料層除去步驟。
15.按照權(quán)利要求14的方法，其特征是，在電極和增強(qiáng)材料安置步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試至少一個(gè)電極或至少一種增強(qiáng)材料的至少一個(gè)特性，這至少一個(gè)特性是選自由位置，阻抗，尺寸，形狀，材料性質(zhì)及增強(qiáng)材料功能構(gòu)成的一組特性。
16.按照權(quán)利要求15的方法，其特征是，在材料層安置步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試多個(gè)材料層中至少一個(gè)材料層的至少一個(gè)特性，這至少一個(gè)特性是選自由尺寸，形狀，厚度和材料性質(zhì)構(gòu)成的一組特性。
17.按照權(quán)利要求16的方法，其特征是，在材料層除去步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試因材料層除去步驟的結(jié)果在多個(gè)材料層中形成的一個(gè)空腔的至少一個(gè)特性，這至少一個(gè)特性是選自由尺寸，形狀，深度，壁質(zhì)量及邊沿質(zhì)量構(gòu)成的一組特性。
18.按照權(quán)利要求2的方法，其特征是，插孔形成步驟包括電極和增強(qiáng)材料印刷步驟；構(gòu)圖步驟；以及材料層安置和協(xié)調(diào)步驟。
19.按照權(quán)利要求18的方法，其特征是，在電極和增強(qiáng)材料安置步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試至少一個(gè)電極或至少一種增強(qiáng)材料的至少一個(gè)特性，這至少一個(gè)特性是選自由位置，阻抗，尺寸，形狀，材料性質(zhì)及增強(qiáng)材料功能構(gòu)成的一組特性。
20.按照權(quán)利要求19的方法，其特征是，在構(gòu)圖步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試至少一個(gè)空腔的至少一個(gè)特性，這至少一個(gè)特性是選自由位置，阻抗，尺寸，形狀，深度，壁質(zhì)量及邊沿質(zhì)量構(gòu)成的一組特性。
21.按照權(quán)利要求20的方法，其特征是，在材料層安置和協(xié)調(diào)步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試多個(gè)材料層中至少一個(gè)材料層的至少一個(gè)特性，這至少一個(gè)特性是選自由尺寸，形狀，厚度和材料性質(zhì)構(gòu)成的一組特性。
22.按照權(quán)利要求1的方法，其特征是，測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括以下步驟，測(cè)試一個(gè)以上發(fā)光板，在其中處理數(shù)據(jù)的步驟包括在每次測(cè)試完一個(gè)發(fā)光板之后存儲(chǔ)至少一個(gè)結(jié)果而產(chǎn)生多個(gè)存儲(chǔ)結(jié)果的步驟，分析至少一個(gè)結(jié)果的步驟包括分析多個(gè)存儲(chǔ)結(jié)果而確定是否有持續(xù)不一致的步驟，而調(diào)節(jié)至少一個(gè)處理步驟或至少一個(gè)零部件的步驟包括如果有持續(xù)不一致就調(diào)節(jié)至少一個(gè)處理步驟或至少一個(gè)零部件的步驟。
23.形成發(fā)光板的一種方法包括以下步驟提供第一襯底；在第一襯底上或是其內(nèi)形成多個(gè)空腔；在每個(gè)空腔內(nèi)放置至少一個(gè)微型部件；提供一個(gè)與第一襯底相對(duì)的第二襯底，將至少一個(gè)微型部件夾在第一和第二襯底之間；設(shè)置至少兩個(gè)電極，用提供給至少兩個(gè)電極的電壓使一或多個(gè)微型部件發(fā)射射線；并且在線測(cè)試至少一個(gè)第一襯底，多個(gè)空腔中的至少一個(gè)空腔，至少一個(gè)微型部件，至少兩個(gè)電極當(dāng)中的至少一個(gè)電極，以及第二襯底。
24.按照權(quán)利要求23的方法，其特征是，還包括以下步驟處理來自在線測(cè)試的數(shù)據(jù)產(chǎn)生至少一個(gè)結(jié)果；并且利用至少一個(gè)結(jié)果去調(diào)節(jié)至少一個(gè)第一襯底，多個(gè)空腔的形成，多個(gè)空腔，至少一個(gè)微型部件的安置，至少一個(gè)微型部件，至少兩個(gè)電極當(dāng)中的至少一個(gè)的設(shè)置，一或多個(gè)電極，第二襯底的安置，以及第二襯底。
25.按照權(quán)利要求24的方法，其特征是，在第一襯底上或是其內(nèi)形成多個(gè)空腔的步驟包括對(duì)第一襯底內(nèi)的多個(gè)空腔構(gòu)圖的步驟。
26.按照權(quán)利要求24的方法，其特征是，第一襯底包括多層材料層，并且在第一襯底上或是其內(nèi)形成多個(gè)空腔的步驟包括選擇除去多個(gè)材料層的多個(gè)部位的步驟。
27.按照權(quán)利要求24的方法，其特征是，在第一襯底上或是其內(nèi)形成多個(gè)空腔的步驟包括以下步驟對(duì)第一襯底內(nèi)的多個(gè)空腔構(gòu)圖；并且在第一襯底上設(shè)置多個(gè)材料層，使多個(gè)材料層協(xié)調(diào)空腔的形狀。
28.按照權(quán)利要求2的方法，其特征是，插孔形成步驟包括電極和增強(qiáng)材料印刷步驟；以及材料層安置和對(duì)準(zhǔn)步驟。
29.按照權(quán)利要求28的方法，其特征是，在電極和增強(qiáng)材料安置步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試至少一個(gè)電極或至少一種增強(qiáng)材料的至少一個(gè)特性，這至少一個(gè)特性是選自由位置，阻抗，尺寸，形狀，材料性質(zhì)及增強(qiáng)材料功能構(gòu)成的一組特性。
30.按照權(quán)利要求29的方法，其特征是，在材料層安置和對(duì)準(zhǔn)步驟之后測(cè)試一個(gè)或多個(gè)發(fā)光板的部分，包括測(cè)試多個(gè)材料層當(dāng)中至少一個(gè)材料層的至少一個(gè)特性，這至少一個(gè)特性是選自由尺寸，形狀，厚度，對(duì)準(zhǔn)及材料性質(zhì)構(gòu)成的一組特性。
全文摘要
具有夾在兩個(gè)襯底之間的多個(gè)發(fā)光微型部件的一種顯示面板的制造中的在線測(cè)試和控制方法。最佳的處理步驟包括形成微型氣囊的步驟(900)，其中所含的氣體在通過至少兩個(gè)電極對(duì)微型部件加足夠大電壓時(shí)能夠電離，形成具有用來電離氣體的至少一個(gè)電極的一個(gè)面板和用來接收氣囊的多個(gè)插孔的步驟(910)，一個(gè)微型部件安置步驟(930)，對(duì)準(zhǔn)上面安置有另一電極的第二襯底的一個(gè)步驟(940)，以及一個(gè)切割步驟(950)。還可以采用另一個(gè)步驟(905)為微型部件摻雜或涂敷一種輻射增強(qiáng)材料，例如是低親和力材料，導(dǎo)電，反射和/或發(fā)光材料，例如是氧化鎂，金，鋁和/或磷的涂層。在各個(gè)步驟之后測(cè)試面板的尺寸，形狀，位置，材料性質(zhì)或電氣功能，并且存儲(chǔ)數(shù)據(jù)并按順序分析以確定是否需要修改步驟和/或產(chǎn)品。
文檔編號(hào)H01J17/49GK1471702SQ01817978
公開日2004年1月28日 申請(qǐng)日期2001年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2000年10月27日
發(fā)明者羅杰·拉弗內(nèi)·約翰遜, 艾伯特·邁倫·格林, 愛德華·維克托里·喬治, 紐厄爾·孔韋爾·韋思, 孔韋爾 韋思, 維克托里 喬治, 邁倫 格林, 羅杰 拉弗內(nèi) 約翰遜 申請(qǐng)人:科學(xué)應(yīng)用國際公司