專利名稱：高壓放電燈、該燈的制造方法和該燈的點火方法及點火裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及短電弧型的高壓放電燈、該燈的制造方法和該燈的點火方法及點火裝置。
近年來，液晶投射器等投射型圖像顯示裝置的開發(fā)和研究十分活躍。在這種投射型顯示裝置中，需要接近點光源的高亮度的光源，一般使用短電弧型的超高壓汞燈或金屬鹵化物燈等高壓放電燈。
當初，在作為投射型顯示裝置的光源采用的短電弧型的超高壓汞燈和金屬鹵化物燈中，可以使用與以往的長電弧型的一般照明用高壓放電燈相同結(jié)構(gòu)的鎢電極。


圖1表示該長電弧型的高壓放電燈中的電極50的結(jié)構(gòu)圖。如圖所示，該電極50在鎢電極軸51的前端部上安裝形成由線徑細的鎢線構(gòu)成的線圈52。該線圈52有散熱作用，以防止電極過熱為目的而安裝。
但是，在使用這樣的電極50的短電弧型燈中，已判明由于電極間距離短，所以電極前端53比長電弧型的燈溫度更高，在僅線圈52散熱的情況下，不能避免鎢電極物質(zhì)的熔融、蒸發(fā)和電極前端部的變形、損耗，還會招致因發(fā)光管黑化產(chǎn)生的燈的光束下降，難以實現(xiàn)燈的長壽命。
另一方面，作為與投射型顯示裝置使用的短電弧型放電燈有關(guān)的最新動向是要實現(xiàn)屏面上的亮度，為此，為了提高反射鏡系統(tǒng)組合時的光利用效率，所以電極間距離從以往的2.0～5.0mm的范圍縮短到2.0mm以下，而且正在開發(fā)短電弧型的燈。這樣，作為短電弧型的燈上的新的固有問題，如圖2所示，可判明隨著燈的點火時間增加，會更顯著地發(fā)生在當初電極50和55的前端部的中心附近形成的電極亮度(從作為陰極側(cè)電極發(fā)射的位置)沒有一個穩(wěn)定位置的無序移動這樣的跳弧現(xiàn)象。
如果發(fā)生這樣的跳弧現(xiàn)象，則放電電弧從與反射鏡系統(tǒng)組合的燈單元的光軸脫離，所以用這樣的燈組件照射的屏面上的亮度變動大。從市場來說，需要開發(fā)可靠地抑制這種跳弧現(xiàn)象造成的屏面上亮度變動的高品質(zhì)的短電弧型高壓放電燈。
本發(fā)明的第一目的在于提供一種壽命比較長、并且不易產(chǎn)生跳弧的高壓放電燈。
本發(fā)明的第二目的在于提供上述高壓放電燈的制造方法。
本發(fā)明的第三目的在于提供使高壓放電燈的壽命比較長、并且不易產(chǎn)生跳弧的點火方法。
本發(fā)明的第四目的在于提供使高壓放電燈的壽命比較長、并且不易產(chǎn)生跳弧的點火裝置。
上述第一目的通過高壓放電燈來實現(xiàn)，該高壓放電燈包括發(fā)光管，有氣密密封的放電室，在該放電室中封入發(fā)光物質(zhì)；第1和第2電極，被設(shè)置在所述放電室內(nèi)，各個電極有其基端被支撐在所述發(fā)光管上的電極軸，各電極軸大致同軸地向所述放電室延伸，在與其前端接近的狀態(tài)下被保持；其中，將第1電極和第2電極內(nèi)至少一個電極形成在該電極軸的前端，并且有軸方向的平均單位長度的體積比該電極軸大的頭部、以及在該頭部的與另一個電極對置位置上設(shè)置的突起部。
上述第二目的通過以下制造方法來實現(xiàn)，該高壓放電燈的制造方法配有第1和第2電極，使得其前端部之間在發(fā)光管內(nèi)對置，該方法包括以下步驟頭部形成步驟，在第1電極和第2電極內(nèi)至少一個電極的電極軸的前端，形成軸方向的平均單位長度的體積比該電極軸大的頭部；密封步驟，將第1和第2電極在其前端部之間處于規(guī)定的間隔狀態(tài)下對置密封在發(fā)光管中；以及突起部形成步驟，在所述頭部的、與另一個電極前端對置的位置上形成突起部。
上述第三目的通過以下點火方法來實現(xiàn)，該高壓放電燈的點火方法在電極軸的前端部有比該電極軸粗的頭部，在該頭部前端形成突起的一對電極在發(fā)光管內(nèi)按所述頭部之間對置那樣來配置，該方法包括以下步驟放電電弧電流增大步驟，在所述一對電極間的監(jiān)視電壓低于規(guī)定電壓的情況下，使兩電極間進行通電的放電電弧電流增大；放電電弧電流減少步驟，在所述一對電極間的監(jiān)視電壓達到所述規(guī)定電壓以上的情況下，使兩電極間進行通電的放電電弧電流減少；
其中，所述放電電弧電流增大步驟和所述放電電弧電流減少步驟被交替重復(fù)進行。
此外，上述第三目的通過以下點火方法來實現(xiàn)，該高壓放電燈的點火方法在電極軸的前端部有比該電極軸粗的頭部，在該頭部前端形成突起的一對電極在發(fā)光管內(nèi)按所述頭部之間對置那樣來配置，該方法包括以下步驟第1步驟，如果所述一對電極間的監(jiān)視電壓上升至第1電壓，則將兩電極間通電的交流電流的頻率設(shè)定為第1頻率；第2步驟，如果所述一對電極間的監(jiān)視電壓下降至比第1電壓低的第2電壓，則將兩電極間通電的交流電流的頻率設(shè)定為第2頻率；其中，將所述第1步驟和第2步驟重復(fù)進行。
上述第四目的通過以下點火裝置來實現(xiàn)，該高壓放電燈的點火裝置在電極軸的前端部有比該電極軸粗的頭部，在該頭部前端形成突起的一對電極在發(fā)光管內(nèi)按所述頭部之間對置那樣來配置，該裝置包括電流生成部件，生成所述一對電極間通電的電流；電壓檢測部件，檢測在所述一對電極間施加的電壓；控制部件，根據(jù)所述電壓檢測部件的檢測結(jié)果，對所述電流生成部件進行控制，使所述一對電極間的通電量變化。
此外，本發(fā)明的第四目的通過以下點火裝置來實現(xiàn)，該高壓放電燈的點火裝置在電極軸的前端部有比該電極軸粗的頭部，在該頭部前端形成突起的一對電極在發(fā)光管內(nèi)按所述頭部之間對置那樣來配置，該裝置包括電流生成部件，生成所述一對電極間通電的電流；電壓檢測部件，檢測在所述一對電極間施加的電壓；控制部件，根據(jù)所述電壓檢測部件的檢測結(jié)果，對所述電流生成部件進行控制，使所述交流電流的頻率變化。
附圖的簡單說明本發(fā)明的這些和其它目的、優(yōu)點和特點通過下面結(jié)合附圖示例性地示出的本發(fā)明實施例的下述描述將會變得更加清楚。其中圖1表示現(xiàn)有的短電弧型高壓放電燈電極的前端形狀的圖。
圖2表示上述短電弧型高壓放電燈電極中的跳弧現(xiàn)象發(fā)生狀態(tài)的圖。
圖3表示本發(fā)明實施例的超高壓汞燈的結(jié)構(gòu)剖面圖。
圖4表示使用上述超高壓汞燈的燈組件結(jié)構(gòu)的部分剖面斜視圖。
圖5表示上述超高壓汞燈中的電極形狀的圖。
圖6表示實驗1的結(jié)果的圖。
圖7A、7B表示制造上述電極的電極前端部的熔融加工的步驟說明圖。
圖8表示對上述電極前端部進行熔融、加工的氬等離子體焊接裝置的結(jié)構(gòu)圖。
圖9表示實驗2的結(jié)果的圖。
圖10表示上述超高壓汞燈中的電極間的電弧放電情況的圖。
圖11表示實驗5的調(diào)查因形成電極前端部的突起部造成的燈電壓變動的實驗結(jié)果的圖。
圖12表示實驗5的調(diào)查對電極間距離De進行事前校正的燈中燈電壓變動的實驗結(jié)果的圖。
圖13表示實驗6的通過放電電流的增減來嘗試調(diào)整電極間距離De的實驗結(jié)果的圖。
圖14表示上述超高壓汞燈的點火裝置的結(jié)構(gòu)方框圖。
圖15表示實驗6的通過點火頻率的增減來嘗試調(diào)整電極間距離De的實驗結(jié)果的圖。
以下，基于附圖來說明本發(fā)明的實施例。
圖3表示本發(fā)明實施例的超高壓汞燈100的發(fā)光管結(jié)構(gòu)的圖，為了便于說明，示出露出電極部分的剖面圖。
如圖所示，超高壓汞燈100在石英形成的大致旋轉(zhuǎn)橢圓形狀的發(fā)光管1中，一對鎢電極2和3處于發(fā)光管兩端部，在連接各自鉬箔4、5的狀態(tài)下被氣密密封。鉬箔4、5在其外側(cè)連接各自的外部鉬引線6和7，并被導出到發(fā)光管1外部。
這里，鎢電極2和3的前端部之間的間隔、即電極間距離De以往被設(shè)定在2.0～5.0mm的范圍內(nèi)，但本實施例中，為了進一步提高燈的光利用效率，將De的值設(shè)定在0.5～2.0mm的范圍內(nèi)。在本說明書中，在表示為n1～n2的情況下，表示包括下限n1和上限n2的數(shù)值的范圍。
在發(fā)光管1內(nèi)部的放電室(發(fā)光空間)8內(nèi)，封入作為發(fā)光物質(zhì)的汞9和用作輔助起動的氬、氪、氙等稀有氣體，以及碘、溴等鹵化物物質(zhì)。這種情況下，將所述汞9的封入量設(shè)定在發(fā)光管平均容積150～350mg/cm3(作為燈定常點火時的汞封入壓力，相當于約15MPa～35MPa)的范圍內(nèi)，將所述稀有氣體的燈冷卻時的封入壓力設(shè)定在0.01MP和1MPa的范圍內(nèi)。
作為上述鹵化物物質(zhì)，以往使用1×10-10～1×10-4mol/cm3范圍的溴，這是因為通過所謂的鹵化物循環(huán)作用，使從電極蒸發(fā)的鎢不附著在石英發(fā)光管內(nèi)面而返回到原來的電極上，以便具有抑制發(fā)光管黑化這樣的功能而被封入的。
而且，將所述發(fā)光管1的管壁負荷We(將燈輸入除以所述發(fā)光管1的容器整個內(nèi)表面積所得的值)設(shè)定在0.8W/mm2以上的比較高的范圍內(nèi)，以便實現(xiàn)石英發(fā)光管可獲得的接近最高燈效率。即，由于高壓放電燈的燈效率基本上與管壁負荷We一起上升，所以為了提高燈效率，將We值提高到定常點火下與石英發(fā)光管可以允許的限度溫度(約1350K)相當?shù)姆秶?br> 圖4表示組裝上述超高壓汞燈100的燈組件200的結(jié)構(gòu)的局部剖切斜視圖。如圖所示，燈組件200在發(fā)光管1的單向管端部上安裝燈頭10，通過襯套11在其放電電弧的位置被調(diào)整到與反射鏡12的光軸一致的狀態(tài)下安裝在反射鏡12上。通過穿過反射鏡12的通孔15而拉出到外側(cè)的引線14和端子13來對超高壓汞燈100的兩電極分別供給電流。
圖5表示電極2的前端部的形狀的圖。在鎢的電極軸21的前端有比該電極軸21直徑大、朝向前端部大致為半球狀的電極部22，在其頂點部形成突起部24。由此，可以獲得長壽命的燈和防止發(fā)生跳弧的效果，再有，由于電極3都是完全相同的形狀，所以以下在說明電極的形狀等時，除了特別的情況以外，僅使用圖5對電極2所附的標號。
下面與實驗結(jié)果一起來詳細說明發(fā)明圖5所示的電極形狀的經(jīng)過和通過這樣的形狀所獲得的效果。
首先，本發(fā)明人除了電極前端部的形狀以外，使用具有與圖3的超高壓汞燈100相同的基本結(jié)構(gòu)的多個試驗燈，進行有效地阻止隨著經(jīng)過點火時間而產(chǎn)生的跳弧現(xiàn)象的一連串研討。
這里，作為使用的試驗燈的具體發(fā)光管設(shè)計，將燈輸入W1a設(shè)定為150W，所述發(fā)光管1的管尺寸按管中央部的最大管外徑D0為9.4mm(最大管內(nèi)徑Di為4.4mm)、電極間距離De為1.1mm、管體總內(nèi)容積為0.06cm3、管總長L0為57mm、容器總內(nèi)表面積SI為160mm2來設(shè)定。在該管的尺寸中，所述發(fā)光管1的管壁負荷We為0.9W/mm2。
此外，在管內(nèi)封入汞13.8mg(平均管內(nèi)單位容積230mg/cm3，相當于點火時的汞蒸汽壓約23MPa)和氬20kPa。此外，作為所述鹵化物，按CH2Br2的組成封入10-6mol/cm3的溴。這里，溴的封入組成也可以由HBr或HgBr2構(gòu)成。
所述試驗燈的點火試驗這樣進行，組裝圖4所示的所述燈組件200，使用矩形波點火的全橋方式電子穩(wěn)壓器，將發(fā)光管1保持在水平位置來進行3.5小時點火/0.5小時熄火循環(huán)。這種情況下，為了研究發(fā)生上述的跳弧現(xiàn)象成為左右使用的電子穩(wěn)壓器的頻率的主要因素，試著在50～1000Hz的范圍中來改變所述矩形波點火的頻率。跳弧現(xiàn)象的觀測按將經(jīng)過特定點火時間后的所述試驗燈(每種試驗的燈數(shù)為5)點火2小時，調(diào)查其間有無發(fā)生跳弧現(xiàn)象。
(實驗1)首先，本發(fā)明人在最初的預(yù)備研討中，作為所述電極，準備使用圖1所示的現(xiàn)有的長電弧型燈用的電極50的試驗燈，調(diào)查隨著經(jīng)過點火時間的跳弧現(xiàn)象的發(fā)生狀態(tài)。
這種情況下，在線徑0.4mm的鎢制電極軸51的前端部上，使用插入固定線徑0.2mm的鎢線的雙層卷繞的線圈52(線圈卷繞數(shù)8匝)的線圈。作為所述電極軸51和所述線圈52的材料，使用將副成分組成Alo、Ca、Cr、Cu、Fe、Mg、Mn、Ni、Si、Sn、Na、K、Mo、U和Th等元素的總含量抑制在10ppm以下的高純度鎢。采用這樣的高純度鎢材料來抑制燈壽命中的發(fā)光管黑化而具有改善光束維持率的效果是已知的。通過該預(yù)備試驗，可獲得圖6所示的結(jié)果。
通過本實驗，判明以下事實。
(1)在使用現(xiàn)有的長電弧燈用電極50的所有試驗燈中，在點火時間500小時以內(nèi)發(fā)生了跳弧現(xiàn)象。調(diào)查實驗后的試驗燈的電極后，觀測到其前端部的變形、損耗明顯。
(2)如果觀察跳弧現(xiàn)象的發(fā)生狀態(tài)和矩形波點火頻率的相關(guān)關(guān)系，則如圖6所示，可確認跳弧現(xiàn)象發(fā)生前的點火時間在點火頻率700Hz以下的范圍時變長，在比700Hz高的范圍時，有變短的傾向。
由以上可知，僅使用現(xiàn)有的長電弧型燈用電極50，根據(jù)本發(fā)明的目的，不能獲得可靠地抑制短電弧型中跳弧現(xiàn)象的高壓放電燈。此外，還判明跳弧現(xiàn)象的發(fā)生和矩形波點火頻率之間是什么樣的相關(guān)關(guān)系。
(實驗2)本發(fā)明人作為第二研討，期待通過抑制燈電極前端部的變形、損耗來使跳弧現(xiàn)象被抑制，進行在電極前端部使用有大直徑部的電極的實驗。
圖7B是表示該電極的前端部形狀的局部剖切剖面圖。在電極軸21的前端形成大致半球狀的電極部22。
首先，如圖7A所示，在鎢的電極軸21的前端部上安裝鎢線圈23，通過熔融、加工該電極軸21的前端部和線圈23的一部分來獲得這樣的形狀。在本實驗例中，具體地說，在線徑0.4mm的鎢電極軸21上插入、固定線徑0.2mm的鎢線的雙層卷繞線圈23(線圈卷繞數(shù)8匝)，通過使用氬等離子體焊接裝置的放電加工方法來熔融加工鎢電極軸21和所述線圈23的前端部。
圖8表示該氬等離子體焊接裝置的結(jié)構(gòu)圖。如圖所示，等離子體噴燈40在噴嘴41內(nèi)活動自如地插入電極棒42來構(gòu)成，電極軸21和電極軸42之間施加高電壓，并且進行電弧放電，經(jīng)噴嘴41，通過供給包含氬的工作氣體來產(chǎn)生高溫的等離子體，對與等離子體噴燈40對置側(cè)的電極前端部進行熔融加工。
熔融的前端部(熔融的鎢)因其表面張力而縮成球狀。其結(jié)果，前端部被形成大致半球狀。由于形成的前端部的形狀受重力的影響，所以為了將半球表面形狀(凸曲面形狀)形成為與電極的軸心對稱的形狀，最好使電極軸21和等離子體噴燈40按與各個軸心呈垂直方向的姿態(tài)來進行熔融加工。此外，為了使電極的前端部形狀形成更接近半球狀的形狀，將電極軸21設(shè)置在上方，而將等離子體噴燈40設(shè)置在下方，即對兩者進行配置，使得形成的半球狀的凸曲面朝向下方。
此外，在該放電加工中，作為制造處理條件，通過組合多次發(fā)生間斷的放電加工(電弧電流32A×時間30sec中發(fā)生5～8)和特定的冷卻時間(1.5～3.0sec)，來適當?shù)乜刂扑鲭姌O部22的加工溫度，以使得在熔融加工的所述電極部22的內(nèi)部不殘留空穴等缺陷。
通過在這樣的該電極軸21的前端設(shè)置大直徑部的電極部22，由于前端部的熱容量增大，所以不易因電弧放電而產(chǎn)生熔融變形，并且通過熔融加工，電極部22大致作為一體而連接在線圈23上，所以熱被迅速地傳導到線圈23，電極部22的溫度不易上升，電極物質(zhì)的熔融、蒸發(fā)等造成的電極前端部的變形、損耗被抑制，可得到壽命長的燈。
形成上述圖7所示的改良電極，制作試驗燈，與上述實驗1同樣，在調(diào)查點火時間和跳弧現(xiàn)象的發(fā)生有無關(guān)系時，得到圖9所示的實驗結(jié)果。
除了在該實驗中使用的試驗燈的電極結(jié)構(gòu)以外，具體的燈和發(fā)光管設(shè)計與上述實驗1中使用的結(jié)構(gòu)相同。
如圖9所示，在使用配有熔融加工過的所述電極部的電極的試驗燈中，發(fā)現(xiàn)跳弧現(xiàn)象的發(fā)生和電子穩(wěn)壓器的矩形波點火頻率的相關(guān)關(guān)系更明確。即，在點火頻率比700Hz高的范圍中進行點火的所有試驗燈中，跳弧現(xiàn)象在點火時間500小時以內(nèi)發(fā)生。這與使用實驗1的長電弧型燈用電極的燈的結(jié)果大致相同。另一方面，在點火頻率50～700Hz范圍中進行點火的所述試驗燈中，發(fā)生跳弧現(xiàn)象前的點火時間顯著變長，在實驗中被試驗的25個所述實驗燈中，23個燈在點火時間直至3000小時都未發(fā)生跳弧現(xiàn)象，與實驗1的情況相比，燈壽命明顯延長。
這樣，以700Hz的點火頻率為界，在實驗結(jié)果中產(chǎn)生大的差距的原因被認為不只是在于將電極軸21的前端簡單地形成大直徑部。因此，本發(fā)明人詳細觀察電弧放電中的電極前端部的變形狀況，在點火頻率比700Hz高的范圍中進行點火，在點火時間500小時以內(nèi)發(fā)生跳弧現(xiàn)象的試驗燈的電極的前端部變形、損耗比較快，判明難以維持當初的半球狀。對此，在點火頻率50～700Hz范圍下進行點火，在3000小時前未發(fā)生跳弧現(xiàn)象的所述試驗燈中，觀察到半球狀的電極前端部的變形、損耗輕微，并且在其電極軸的大致延長線上(半球狀的中心部附近)形成突起部的情況。
圖10是表示此時的電極2、3的形狀的圖。在各個電極部22、32的半球部的中心附近(與對方電極最近的地方)形成突起部24、34，放電電弧在兩突起部24、34間穩(wěn)定形成，變?yōu)椴灰装l(fā)生跳弧現(xiàn)象的狀態(tài)。
由此可清楚地了解到，只有在電極軸的前端部的大直徑部中朝向?qū)Ψ诫姌O方向形成構(gòu)成凸曲面的電極部，并在其前端的中心附近形成突起部，才是具有可以可靠地抑制短電弧中跳弧現(xiàn)象的有效結(jié)構(gòu)。
而且，在詳細調(diào)查上述突起部通過上述試驗燈的點火試驗而形成的過程后，可確認該突起部在點火時間為10小時以內(nèi)(平均2～3小時)的初始階段形成。形成這樣的突起部的現(xiàn)象可認為是通過封入溴的鹵化物循環(huán)作用，從所述電極中蒸發(fā)的鎢主要返回集中到最高溫的所述電極部前端部的中心附近而產(chǎn)生的。
一般地，鹵化物循環(huán)的程度較多地受到電極部的溫度和管壁溫度及鹵化物物質(zhì)的量的影響。而且，通過形成大直徑的電極部22使熱容量變大，其升溫與長電弧型的電極情況比被抑制，鎢容易累積在僅集中在前端部電弧放電產(chǎn)生的高溫部，所以形成突起部。
與形成的突起部有關(guān)的一個特征是，初始點火產(chǎn)生的所述突起部24的形狀在其后的3000小時點火時間中保持不變?？梢哉J為這是因為突起部達到某種特定的大小(在本實驗例中，突起部的平均高度約0.05mm)后，突起部24中的鎢物質(zhì)的因上述鹵化物循環(huán)作用而產(chǎn)生的積累和因溫度而產(chǎn)生的蒸發(fā)達到均衡。而且，可以認為通過3000小時點火，放電電弧被穩(wěn)定集束在所述電極前端部的中心附近，可抑制跳弧現(xiàn)象的發(fā)生。
另一方面，矩形波點火頻率比700Hz高后，可以認為跳弧現(xiàn)象斷續(xù)地顯著發(fā)生的原因在于，在以本發(fā)明為標準的電極管距離De在0.5～2.0mm這樣短的范圍內(nèi)、并且發(fā)光管內(nèi)的汞蒸汽壓在15MPa～35MPa這樣高的范圍的超高壓汞燈中，發(fā)光管內(nèi)的聲音共鳴在高于700Hz、低于1000Hz的點火頻率區(qū)域內(nèi)也容易發(fā)生，這種共鳴基本上與放電電弧的不穩(wěn)定性相關(guān)，并使電極前端部的變形、損耗加快，可以認為是最終產(chǎn)生跳弧現(xiàn)象的誘因。
從以上觀察可知，就短電弧型的超高壓汞燈來說，在實際上確實可靠地抑制隨著點火時間而產(chǎn)生的跳弧現(xiàn)象中，可以在基本上以形成凸曲面形狀來加工的電極前端部的中心附近設(shè)置使放電電弧穩(wěn)定的突起部。
(實驗3)本發(fā)明人為了弄清楚在所述電極部22的中心附近形成突起部24的現(xiàn)象和進行鹵化物循環(huán)作用的溴的封入量的關(guān)系，準備在1×10-10～1×10-4mol/cm3范圍內(nèi)改變所述發(fā)光管1的溴封入量的試驗燈，調(diào)查在點火頻率150Hz的矩形波點火產(chǎn)生的老化下形成所述突起部24的現(xiàn)象。
這種情況下，除了溴封入量外，燈和發(fā)光管的設(shè)計與上述實驗2時相同。通過該實驗可知，如果所述發(fā)光管1的溴封入量在1×10-9～1×10-5mol/cm3的范圍，在初始點火10小時以內(nèi)，便可在所述電極部22的中心附近形成可以集束放電電弧的形狀的所述突起部24。并且可確認這樣的燈直至點火時間3000小時跳弧現(xiàn)象實際上確實被抑制。
這種情況下，如果溴封入量變得比所示范圍少，則鹵化物循環(huán)作用弱，集束放電電弧的突起部24未形成在所述電極部22上，因此，不能抑制跳弧現(xiàn)象。另一方面，如果比所述范圍大，雖然突起部24本身能夠形成，但相反地，由于鹵化物循環(huán)作用過剩，突起部24成為針狀比較大的部分，所述電極部21已經(jīng)變形而不構(gòu)成半球狀的凸曲面的形狀，因而電極前端部的損耗顯著增大。
如上所述，通過將溴封入量規(guī)定在所述范圍內(nèi)，可以在初期點火階段比較容易地形成具有本發(fā)明特征的抑制跳弧現(xiàn)象效果大的所述突起部24。
(實驗4)作為第4研討，本發(fā)明人為了對所述突起部24與跳弧現(xiàn)象抑制的效果進行進一步的旁證，在加工形成半球狀的凸面形狀的電極前端部的中心附近事先準備設(shè)有突起部的電極，調(diào)查通過點火頻率150Hz的矩形波點火來老化使用該電極的燈時的跳弧現(xiàn)象的發(fā)生狀態(tài)。
這種情況下，作為所述電極2和3，按以下處理來制作(i)首先準備與上述第2研討中使用的經(jīng)熔融加工而成為前端部形成凸曲面的形狀的電極相同的電極，(ii)接著，在形成該凸曲面形狀的所述電極部22的中心附近，通過所述電弧等離子體焊接裝置來熔融焊接鎢線的小片(φ0.15mm×0.7mm)，形成與所述突起部24相同的突起部。
此外，將所述發(fā)光管1的溴封入量設(shè)定為通過上述結(jié)果中初期點火而未形成所述突起部24的范圍的0.4×10-9mol/cm3的值。除了電極和溴封入量以外，燈和發(fā)光管設(shè)計與上述第2研討時相同。根據(jù)該研討結(jié)果，也可確認正常點火時的放電電弧被穩(wěn)定集束在所述電極部22前端的中心附近，直至點火時間3000小時跳弧現(xiàn)象實際上被可靠地抑制。
如上可知，通過在加工成構(gòu)成本發(fā)明那樣的半球狀的凸曲面的電極前端部的中心附近形成突起部，而將放電電弧穩(wěn)定聚束在所述電極前端部的中心附近，由此可靠地抑制燈壽命中的跳弧現(xiàn)象的發(fā)生。而且可知，通過將發(fā)光管的溴封入量規(guī)定在特定范圍內(nèi)，接著使燈短時間點火這樣的簡單方法來形成所述突起部。
(實驗5)最后，本發(fā)明人研討了將通過上述初始點火形成突起部24的方法應(yīng)用于實際的燈時所引起的問題。
即，在利用鹵化物循環(huán)形成突起部而使電極間距離De減少的情況下，燈電壓會下降比較大，在該燈電壓下降到由穩(wěn)壓器的設(shè)計決定的規(guī)定的燈電壓值的情況下，由于燈輸入功率降低，所以顯然燈的輸出、即屏面上的亮度下降。
圖11表示由電極前端中的突起部形成所造成的燈電壓的變動量ΔV1a的值的實驗結(jié)果。
該圖表示測定上述圖9的試驗燈的初始點火10小時后的燈電壓變動ΔV1a的結(jié)果。這里，試驗燈的燈電壓在以頻率50～700Hz的矩形波點火下、在所述電極部22前端的中心附近形成所述突起部24的燈中ΔV1a平均降低6.2V，在另一個用比700Hz高的頻率點火、在所述突起部24未形成的燈中，ΔV1a卻相反地上升5.7V。由形成這樣的小的突起部24而產(chǎn)生比較大的燈電壓下降的原因在于，在電極間距離De為2.0mm以下的短電弧型的燈中，即使在突起部的高度上產(chǎn)生小的變動Δde，變動與電極間距離De的比例Δde/De的值變得比較大。
通過形成突起部24，即使可以盡力抑制作為短電弧型燈中固有問題的跳弧現(xiàn)象的發(fā)生，但除非解決附帶產(chǎn)生的燈電壓下降的問題，否則本發(fā)明的高壓放電燈的實用化難以進行。
因此，為了解決上述燈電壓下降的問題，預(yù)先將電極間距離設(shè)定為僅增加相當于突起部的成長部分(圖10中的d1＋d2)的量。
根據(jù)圖11，由于試驗燈的放電電弧的平均電位梯度E1a＝(平均初始燈電壓V1a)/(電極間距離De)＝61.6/1.1＝56V/mm，所以突起部形成造成的平均燈電壓變動(下降)ΔV1a＝-6.2V與作為電極間距離De的變動Δde約0.1mm相當。
因此，初始點火造成的平均燈電壓變動(下降)ΔV1a為-6.2V，即注意電極間距離變動Δde約為0.1mm，制作在燈制造之前將電極間距離Deo設(shè)定為1.2mm的試驗燈，調(diào)查突起部的形成和10小時點火的燈電壓變動ΔV1a的結(jié)果示于圖12。
以下的試驗燈的發(fā)光管設(shè)計只要沒有變更記述，則與上述實驗2的情況相同，點火頻率為150Hz。
如圖12所示，觀測10小時的初始點火產(chǎn)生的突起部的形成情況，此時的平均燈電壓變動ΔV1a為-6.2V，老化點火后的平均燈電壓V1a可獲得燈原來的額定值61V附近的值。如上所述，這里形成的所述突起部24的形狀經(jīng)過其后的點火時間為3000小時仍保持著沒有什么變化，因此，燈電壓V1a值比較穩(wěn)定，此外，跳弧現(xiàn)象的發(fā)生也被可靠地抑制。
這樣，通過將燈電極間距離De僅事先校正由初始點火形成的突起部的變動部分Δde，可以獲得期望的光輸出。
(實驗6)接著，本發(fā)明人研討通過改變點火條件來調(diào)整電極間距離De的方法，考慮以下兩種方法。第1方法是強制地增減放電電弧電流的方法，第2方法是使點火頻率變化的方法。以下詳細說明。
(1)放電電弧電流的增減如果將放電電弧電流增大到規(guī)定值以上，則電極部的中心附近的溫度上升，認為這樣的溫度產(chǎn)生的鎢物質(zhì)的蒸發(fā)大于因鹵化物循環(huán)作用產(chǎn)生的集聚而使所述突起部縮小。
因此，將所述放電電弧電流以平均值增大到2.45A至2.72A來進行測定燈電壓的實驗時，可以獲得以下圖13所示的實驗結(jié)果。
如圖13所示，初始燈電壓平均為61.2V，然后通過點火10小時，平均下降6.1V。但是，如果使放電電弧電流增大，則燈電壓上升，與所述試驗燈的初始燈電壓相比，恢復(fù)到平均下降3.8V。與此相對，確認出突起部的形狀也縮小。
由以上得到下述實證在燈電壓比正規(guī)值低的情況下，通過增加電弧放電電流，突起部長度縮小并可以恢復(fù)燈電壓。相反，在燈電壓比正規(guī)值大的情況下，可以認為突起部的長度過短，通過將電弧放電電流下降規(guī)定量來使突起部的長度被恢復(fù)，可以經(jīng)常在燈電壓最佳的狀態(tài)下點火。
觀察該點火方法的確認實驗的結(jié)果，試驗燈經(jīng)過點火時間3000小時，燈電壓比較穩(wěn)定，此外，還可確認跳弧現(xiàn)象的發(fā)生被抑制。由此，根據(jù)本點火方法，可以獲得屏面上的亮度變動低并且壽命長的光輸出。
圖14表示執(zhí)行上述點火方法的燈點火裝置(穩(wěn)壓器)300的結(jié)構(gòu)方框圖。如圖所示，本燈點火裝置300由DC電源301、DC/DC轉(zhuǎn)換器302、DC/AC逆變器303、高壓發(fā)生器304、控制部305、電流檢測器306和電壓檢測器307構(gòu)成。
DC電源301將民用交流100V～240V變換為直流電壓，DC/DC變換器302將控制部305控制的規(guī)定大小的直流電流供給DC/AC逆變器303。DC/AC逆變器303接受控制部305的指示，生成規(guī)定頻率的交流矩形電流并送至高壓發(fā)生器304。將高壓發(fā)生器304產(chǎn)生的高電壓施加在超高壓汞燈100上。
另一方面，將檢測超高壓汞燈100的電弧放電電流的電流檢測器306和檢測超高壓汞燈100的燈電壓的電壓檢測器307的各自檢測信號輸入到控制部305，控制部305根據(jù)這些輸入信號來控制DC/DC變換器302，生成規(guī)定值的電流。
具體地說，在控制部305的內(nèi)部存儲器內(nèi)存儲基準電壓值和控制程序，將檢測出的燈電壓和對應(yīng)的基準電壓進行比較，在前者比后者低的情況下，對DC/DC變換器302進行反饋控制，使其提高放電電弧電流A1，相反，在前者比后者高的情況下，對DC/DC變換器302進行反饋控制，使其流出比A1高的放電電弧電流A2。作為基準電壓值，由規(guī)格的燈電壓來設(shè)定，而通過對各種燈進行實驗來預(yù)先求A1、A2的具體值。
根據(jù)檢測出的燈電壓來求燈電壓變動量ΔV1a，如果在該變動量開始達到規(guī)定值以上時，執(zhí)行上述的放電電弧電流的變更，則可以抑制電流切換控制的頻度。
(2)點火頻率的變更此外，如實施例2說明的那樣，著眼于使矩形點火頻率比700Hz高時未形成突起部，通過矩形波頻率150Hz的初始點火來進行形成突起部24的試驗燈的頻率800Hz下的10小時點火，在進行調(diào)查此時的突起部24的形狀變化和燈電壓變動ΔV1a的變化實驗時，得到圖15所示的結(jié)果。
如圖15所示，如果將形成突起部的試驗燈在點火頻率150Hz下進行10小時點火，則燈電壓與初始燈的狀態(tài)相比，平均降低6.0V，但對相同的試驗燈以點火頻率為800Hz點火10小時，則與上述(1)的實驗中突起部的形狀縮小不同，可觀測到突起部基本消散的狀態(tài)。然后，與此相對，將燈電壓變動ΔV1a變小，可看出燈電壓V1a大致接近初始點火前的原來值的水平。
這種突起部的消散的原因在于，通過將點火頻率從150Hz提高到800Hz，所述電極部22的前端部的溫度上升，鎢物質(zhì)的蒸發(fā)增大。而且，如果將所述突起部24消失的所述試驗燈再次在150Hz下進行10小時的老化點火，則可確認所述突起部被再次形成，燈電壓V1a也再次下降。
如上所述，著眼于通過點火頻率來反復(fù)進行所述突起部24的形成和消散的現(xiàn)象，作為燈點火裝置，(i)檢測相對于老化點火中的燈電壓的初始值的增減±ΔV1a，(ii)使用配有在ΔV1a值每次變到-2V時，將矩形波頻率從150Hz切換到800Hz，另一方面，在ΔV1a值每次變到0V時，相反地從800Hz切換到150Hz這樣的反饋控制電路，觀察老化點火時的試驗燈的所述電極部的形狀變化和跳弧現(xiàn)象的發(fā)生狀態(tài)。
結(jié)果可知，就所述試驗燈來說，經(jīng)點火時間3000小時，所述電極前端部的變形、損耗比較輕微，另一方面，跳弧現(xiàn)象也幾乎未發(fā)生。這種情況下的燈輸入變動即屏面上的亮度變動相對于燈電壓變動ΔV1a為-2V，約降低1/3，可判明實用上沒有問題。
這樣，通過改變點火穩(wěn)壓器的矩形波頻率而將老化點火的燈電壓變動ΔV1a抑制控制到比較低的值，也是解決問題的一個具體方式。
切換點火頻率的組不限于150Hz和800Hz的情況。在使突起部24成長的情況下，選擇50Hz以上、700Hz以下的其他適當頻率也可以。相反，在使突起部減少的情況下，可選擇低于50Hz或750Hz以上的其它適當?shù)念l率。
無論是低于50Hz還是在750Hz以上，突起部都減少，但與低于50Hz時相比，在750Hz以上時，可觀察出突起部迅速減少。這是因為如果低于50Hz，極性達至反向的時間(半周期)也相應(yīng)延長。即，可以認為電極間變?yōu)榻咏娭绷麟娏鞯臓顟B(tài)，與頻率高情況相比，電極前端部變?yōu)楦邷?，容易蒸發(fā)。
總之，在使突起部減少的情況下，最好選擇低于50Hz或750Hz以上的頻率，從減少時的速度的觀點來看，最好選擇低于50Hz的頻率。
實施以上說明的點火方法的燈點火裝置具有與圖14所示的燈點火裝置300相同的結(jié)構(gòu)。但是，控制部305的控制內(nèi)容不同。即，根據(jù)電壓檢測器307檢測出的燈電壓，控制部305求燈電壓變動ΔV1a，在該變動量比規(guī)定量大的情況下，按照其變動量的正負，如上所述，選擇突起部可正常增大的頻率，對DC/AC逆變器303進行指示，使得可生成對應(yīng)的點火頻率的矩形波。
根據(jù)上述實驗5、6的研討結(jié)果可知，按照本發(fā)明，為了抑制跳弧現(xiàn)象的發(fā)生，在所述電極部22上形成所述突起部24時，附帶產(chǎn)生的燈電壓變動(下降)導致的燈輸入功率下降的問題可以通過以下3種有效的方法來解決(a)電極間距離De的事先校正，(b)由放電電弧電流來進行電極間距離De的校正控制，(c)由矩形波的點火頻率來進行電極間距離De的校正控制。
如以上說明，按照本發(fā)明，通過在加工成半球狀的凸曲面形狀的電極前端部的中心附近形成突起部，將放電電弧穩(wěn)定聚束在所述電極前端部的中心附近，可以可靠地抑制隨著老化的跳弧現(xiàn)象的產(chǎn)生，而且伴隨產(chǎn)生的燈輸入功率下降這樣的問題也可以通過上述(a)～(c)的3種有效方法來解決，按照目的可獲得短電弧型并且沒有屏面上的亮度變動和下降的高品質(zhì)的超高壓汞燈。
(制造方法)最后，對于上述超高壓汞燈100的制造方法，簡單說明由初始點火來形成電極2的突起部24的情況。該超高壓汞燈100的制造方法可以大致分為3個階段。
(1)電極部形成步驟如圖7A、7B的說明，在鎢的電極軸21的前端部上安裝雙層卷繞的鎢線圈23(圖7A)，用氬等離子體焊接機(參照圖8)來熔融加工其前端部，形成大致半球狀的電極部22(圖7B)。
(2)電極密封步驟將圖7B所示形成的一對電極分別連接鉬箔、外部鉬引線，在該電極間間隔僅比用于獲得正規(guī)輸出的距離De長Δde間隔的對置狀態(tài)下密封發(fā)光管1的兩端部。
此時，抽取內(nèi)部的空氣，同時封入上述量的汞和鹵化物物質(zhì)。Δde的值是與在下面的突起部形成步驟中兩電極上形成的突起部的高度之和大致相等的值，可預(yù)先通過實驗等來求。
(3)突起部形成步驟將密封上述電極的超高壓汞燈100通過矩形波電流僅點火規(guī)定時間，在電極部22的前端形成突起部24。該規(guī)定時間是突起部24成長到規(guī)定高度，通過鹵化物循環(huán)作用使其高度達到穩(wěn)定所需要的時間，因各種條件而有所不同。在本實施例中，被設(shè)定為大約3小時左右。
此時，進行交流的矩形波點火，但其頻率被設(shè)定為50～700Hz范圍內(nèi)的適當頻率。由此，在上述半球狀的電極部的前端的中心部上形成突起部。
按照以上來制造配有圖5所示電極的超高壓汞燈100。
(變形例)不言而喻，本發(fā)明的內(nèi)容不限于上述實施例，可以有以下的變形例。
①在上述實施例中，電極軸前端的電極部形狀大致為半球狀，但通過初始點火產(chǎn)生突起部的電極如果處于接近最初容易產(chǎn)生電弧放電的位置、即最接近對方電極的位置，則即使非半球狀，只要與對方電極相對的面為凸曲面，在該凸曲面的頂部或其附近可穩(wěn)定形成突起部。
此外，不使用初始點火中的鹵化物循環(huán)作用，而按照通過焊接等將鎢的尖端安裝在電極部前端上的方法，不必特別考慮初始點火中突起部容易形成的位置，所以如果前端電極部的熱容量比電極軸的熱容量大，則其形狀不必限定為凸曲面。
這樣，在不將電極前端部限定為凸曲面形狀的情況下，一般地，如果該電極部的軸方向的平均單位長度的體積形成得比電極軸的部分大，則可以使前端電極部的熱容量(嚴格來說，軸方向的平均單位長度的熱容量)比電極軸的部分大。
②在上述實施例中，作為產(chǎn)生鹵化物循環(huán)作用的鹵化物物質(zhì)選擇了溴，但也可以使用其他適當?shù)柠u化物物質(zhì)。
③在上述實施例中，在大致半球狀的電極部22的中心部形成突起部24時，通電50～700Hz范圍的適當頻率的矩形波電流，但不限于矩形波，也可以是sin波交流。
④在上述實施例中，以電極管距離De在0.5～2.0mm的范圍，并且正常點火時的管內(nèi)汞蒸汽壓在15MPa～35MPa范圍的超高壓汞燈為例進行了說明，但不言而喻，本發(fā)明也可以應(yīng)用于除了有跳弧現(xiàn)象問題以外的高壓放電燈。
⑤此外，在上述實施例中，說明了交流型的放電燈，但上述電極形狀的防止跳弧現(xiàn)象的效果在理論上也可以用于直流型的放電燈。這種情況下，至少陽極的電極有帶有上述突起部的凸曲面的前端電極部。
盡管參照附圖利用實施例已經(jīng)說明了本發(fā)明，但應(yīng)該指出，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，各種變更和改進是顯而易見的。
因此，除非這種變更和改進脫離本發(fā)明的范圍，否則它們都應(yīng)該屬于本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種高壓放電燈，包括發(fā)光管，有氣密密封的放電室，在該放電室中封入發(fā)光物質(zhì)；第1和第2電極，被設(shè)置在所述放電室內(nèi)，各個電極有其基端被支撐在所述發(fā)光管上的電極軸，各電極軸大致同軸地向所述放電室內(nèi)延伸，它們的前端被保持成相互接近的狀態(tài)；其中，將第1電極和第2電極內(nèi)至少一個電極具有形成在該電極軸的前端、軸方向的平均單位長度的體積比該電極軸大的頭部，以及在該頭部的與另一個電極對置位置上設(shè)置的突起部。
2.如權(quán)利要求1的高壓放電燈，其中，將所述頭部的與另一個電極對置的面形成凸曲面；將所述突起部設(shè)置在最接近另一電極的位置。
3.如權(quán)利要求1的高壓放電燈，其中，所述發(fā)光物質(zhì)中包含汞；所述第1電極和第2電極間的距離在0.5mm以上、2.0mm以下，正常點火時的發(fā)光管內(nèi)汞蒸汽壓為15Mpa以上、35Mpa以下。
4.如權(quán)利要求1的高壓放電燈，還包括鹵化物物質(zhì)，被封入所述發(fā)光管內(nèi)，封入量為1×10-9mol/cm3以上、1×10-5mol/cm3以下。
5.如權(quán)利要求4的高壓放電燈，其中，所述鹵化物物質(zhì)是溴。
6.一種高壓放電燈，配有第1和第2電極，使得其前端部之間在發(fā)光管內(nèi)對置，該種高壓放電燈的制造方法包括以下步驟頭部形成步驟，在第1電極和第2電極內(nèi)至少一個電極的電極軸的前端，形成軸方向的平均單位長度的體積比該電極軸大的頭部；密封步驟，將第1和第2電極在其前端部之間處于規(guī)定的間隔狀態(tài)下對置密封在發(fā)光管中；突起部形成步驟，在所述頭部的、與另一個電極前端對置的位置上形成突起部。
7.如權(quán)利要求6的高壓放電燈的制造方法，其中，在所述第1和第2電極的正規(guī)電極間距離為De的情況下，所述密封步驟將第1和第2電極在其前端部的距離比上述De長Δde的狀態(tài)下密封在發(fā)光管中。
8.如權(quán)利要求6的高壓放電燈的制造方法，其中，在所述突起部形成步驟中，以規(guī)定時間使第1和第2電極間通電交流電流而形成突起部。
9.如權(quán)利要求8的高壓放電燈的制造方法，其中，所述通電的交流電流的頻率在50Hz以上、700Hz以下。
10.如權(quán)利要求7的高壓放電燈的制造方法，其中，所述突起部形成步驟在規(guī)定時間使第1和第2電極間通電交流電流而形成突起部。
11.如權(quán)利要求10的高壓放電燈的制造方法，其中，所述Δde的值與因在所述突起部形成步驟中形成的突起部而使電極間的距離縮短的長度大致相等。
12.如權(quán)利要求6的高壓放電燈的制造方法，其中，所述密封步驟還包括汞封入步驟，封入使得正常點火時發(fā)光管內(nèi)的汞蒸汽壓在15Mpa以上、35Mpa以下那樣量的汞。
13.如權(quán)利要求6的高壓放電燈的制造方法，其中，所述密封步驟還包括鹵化物物質(zhì)封入步驟，在發(fā)光管內(nèi)，封入1×10-9mol/cm3～1×10-5mol/cm3的鹵化物物質(zhì)。
14.如權(quán)利要求6的高壓放電燈的制造方法，其中，所述頭部形成步驟還包括以下步驟覆蓋步驟，用線圈來覆蓋所述電極軸的前端部；熔融步驟，將所述電極軸按其前端部朝向下方、其軸心大致為垂直方向的姿勢來保持，將電極軸的前端部和覆蓋的線圈熔融。
15.一種高壓放電燈，在電極軸的前端部有比該電極軸粗的頭部、并在該頭部前端形成突起的一對電極在發(fā)光管內(nèi)按所述頭部之間對置那樣來配置，該種高壓放電燈的點火方法包括以下步驟放電電弧電流增大步驟，在所述一對電極間的監(jiān)視電壓低于規(guī)定電壓的情況下，使兩電極間進行通電的放電電弧電流增大；放電電弧電流減少步驟，在所述一對電極間的監(jiān)視電壓達到所述規(guī)定電壓以上的情況下，使兩電極間進行通電的放電電弧電流減少；其中，所述放電電弧電流增大步驟和所述放電電弧電流減少步驟被交替重復(fù)進行。
16.一種高壓放電燈，在電極軸的前端部有比該電極軸粗的頭部、并在該頭部前端形成突起的一對電極在發(fā)光管內(nèi)按所述頭部之間對置那樣來配置，該種高壓放電燈的點火方法包括以下步驟第1步驟，如果所述一對電極間的監(jiān)視電壓上升至第1電壓，則將兩電極間通電的交流電流的頻率設(shè)定為第1頻率；第2步驟，如果所述一對電極間的監(jiān)視電壓下降至比第1電壓低的第2電壓，則將兩電極間通電的交流電流的頻率設(shè)定為第2頻率；其中，將所述第1步驟和第2步驟重復(fù)進行。
17.如權(quán)利要求16的高壓放電燈的點火方法，其中，所述第1頻率低于50Hz；所述第2頻率在50Hz以上、700Hz以下。
18.如權(quán)利要求16的高壓放電燈的點火方法，其中，所述第1頻率在750Hz以上；所述第2頻率在50Hz以上、700Hz以下。
19.一種高壓放電燈，在電極軸的前端部有比該電極軸粗的頭部、并在該頭部前端形成突起的一對電極在發(fā)光管內(nèi)按所述頭部之間對置那樣來配置，該種高壓放電燈的點火裝置包括電流生成部件，生成所述一對電極間通電的電流；電壓檢測部件，檢測在所述一對電極間施加的電壓；控制部件，根據(jù)所述電壓檢測部件的檢測結(jié)果，對所述電流生成部件進行控制，使所述一對電極間的通電量變化。
20.一種高壓放電燈，在電極軸的前端部有比該電極軸粗的頭部、并在該頭部前端形成突起的一對電極在發(fā)光管內(nèi)按所述頭部之間對置那樣來配置，該種高壓放電燈的點火裝置包括電流生成部件，生成所述一對電極間通電的電流；電壓檢測部件，檢測在所述一對電極間施加的電壓；控制部件，根據(jù)所述電壓檢測部件的檢測結(jié)果，對所述電流生成部件進行控制，使所述交流電流的頻率變化。
全文摘要
一種短電弧型的高壓放電燈,在發(fā)光管內(nèi)有按0.5～2.0mm的間隔設(shè)置的電極。在該電極間產(chǎn)生放電。所述電極包括:電極軸,以及電極部;所述電極部被設(shè)置在該電極軸的放電側(cè)前端部,比該電極軸直徑大;電極部的與相對側(cè)的電極對置的面被形成凸曲面。在所述電極部的前端中央附近,形成突起部。
文檔編號H01J9/395GK1337734SQ0112144
公開日2002年2月27日 申請日期2001年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2000年4月28日
發(fā)明者小野俊介, 北原良樹, 永井治男 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社