專利名稱：氣體放電型顯示裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用氣體放電顯示文字和圖象等的氣體放電型顯示裝置及其制造方法，特別涉及構(gòu)成放電室的隔壁結(jié)構(gòu)及其制造方法。
近年來氣體放電型顯示裝置(等離子顯示面板)作為平面型顯示裝置用在便攜式計算機等信息終端機上。由于這種氣體放電型顯示裝置顯示鮮明，并比液晶板的視野角寬，所以其應(yīng)用范圍正在擴大。
隨著電視接收機的大型化，與此相應(yīng)利用投射陰極射線管或液晶板的投射式電視等也正在商品化?？墒窃诋嬅娴牧炼群脱b置大小上都存在著問題。
氣體放電型顯示裝置隨著最近其彩色化技術(shù)的顯著進步，其進深可以做得比陰極射線管薄許多，所以其作為高清晰度用壁掛式電視機而引人注目，并且期待著再現(xiàn)真實顏色和亮度及壽命的提高。
以下就已有的存儲驅(qū)動方式和直流形氣體放電型顯示裝置的一個例子參照圖8進行說明。如圖8所示，在由透明玻璃等組成的前面板21上形成若干個條狀陰極線22。而在由透明玻璃等組成的后面板23上形成若干條狀的陽極母線24a。前面板21和后面板23按照陰極線22與陽極母線24a互相垂直地配置而夾著若干個隔壁25、并彼此相對。據(jù)此，由隔壁25包圍的多個放電室26形成矩陣狀。組合的前面板21和后面板23的周圍被低融點玻璃等密封，在放電室26的內(nèi)部封入以稀有氣體為主體的放電氣體。
在后面板23的上面與各自的放電室26相對應(yīng)分別形成了陽極電極24b。在各陽極電極24b的上面位于放電室26內(nèi)形成了顯示電極體27。顯示電極體27通過電阻28與陽極母線24a相連接。這樣，通過陰極線22和顯示電極體(陽極)27在放電室26內(nèi)形成一對放電電極。另外，在圖8中31是為了使放電室26的放電容易開始而用于產(chǎn)生輔助放電的輔助電極。
在形成陽極母線24a、陽極電極24b和電阻28的后面板23的上面除去顯示電極體27之外的部分上形成層間絕緣膜30。借此防止放電室26內(nèi)的等離子體與陽極母線24a或電阻體28之間的放電。另外，在放電室26內(nèi)的層間絕緣膜30上除去顯示電極體27之外的部分上涂敷熒光體29。
前面板21除去陰極線22之外的部分是透明的，并處在通過放電室26可直接觀察熒光體29表面的狀態(tài)。
陰極線22、陽極母線24a、陽極電極24b、顯示電極體27、電阻28、層間絕緣膜30、熒光體29和隔壁25等是利用厚膜印刷技術(shù)而形成在由玻璃板等組成的前面板21或后面板23上。
在上述構(gòu)成中，為了象上述高清晰度電視那樣提高像素密度并再生出高精細的圖象，有必要超精細地形成構(gòu)成放電室的隔壁。具體地講，必須形成具有高160-200μm、寬50-60μm形成尺寸的精細的隔壁。特別是為了顯示彩色圖象必須使一個點由R、G、B的三個放電室構(gòu)成，如果要獲得高精細度的顯示圖象，則必須具有非常微細和高精度地形成的形狀尺寸的隔壁。
下面參照


已有的氣體放電型顯示裝置中的隔壁的形成方法。圖9是表示已有的氣體放電型顯示裝置中的隔壁形成方法的工藝圖，圖10是表示這種噴砂工藝的概略圖。另外，在圖9和10略去了與形成隔壁沒有關(guān)系的構(gòu)成要素。
首先如圖9(a)所示，在由形成有陽極電極24b的透明玻璃等組成的后面板23的上面，利用刮涂法涂敷用于形成隔壁25的活性膏32。接著在使活性膏32干燥固化后，按圖9(b)所示，在活性膏32上貼上感光膜33。接著按圖9所示，通過形成有隔壁圖形的曝光掩模向感光膜33上照射紫外線，使感光部分經(jīng)顯影除去后就形成掩膜圖形34。接著按圖9(d)所示，利用裝有噴槍35的噴砂裝置，把由玻璃絲等組成的研磨砂吹到活性膏32上。借此除去形成掩膜圖形34之外的部分活性膏32被切削。最后按圖9(e)所示，利用剝離劑除去掩膜圖形34。通過以上的工藝在后面板23上形成隔壁25。
如圖10所示，在上述工藝(d)中，后面板23向一個方向移動，而噴砂裝置(噴槍35)對著后面板23的移動方向沿直角方向在后面板23上的掩膜圖形34的上方往復(fù)運動。在這種狀態(tài)下，玻璃絲等組成的研磨砂從噴槍35的噴嘴噴射出，對沒有形成掩膜圖形34的部分的活性膏32進行切削。
如上所述，在已有的氣體放電型顯示裝置的制作過程中，是在利用厚膜印刷技術(shù)在玻璃基板的整個表面上涂敷形成隔壁的材料后，利用噴砂加工法除去不要部分來形成隔壁。在這種情況下，由于作為隔壁材料通常采用一種材料，所以在進行噴砂時存在下述的問題。即隔熱材料作為必備的特性應(yīng)具有(1)對玻璃基板的密合性，(2)對噴砂加工法的切削性，(3)對用于進行噴砂時的掩膜的抗蝕劑的密合性，(4)對在切削活性膏后剝離除去抗蝕劑時的剝離劑的耐久性。可以，利用已有的由一種組成的隔壁材料同時滿足這些不同的特性是非常困難的。
另外，具有上述已有構(gòu)成的隔壁或其制造方法形成具有下述尺寸的用于構(gòu)成可再生高精細圖象的象素的微細并高密度的隔壁和放電室是困難的，在隔壁形狀尺寸中，隔壁的寬為(100±10)μm左右，高為(200±5)μm左右，放電室的間距為(650±10)μm左右。
另外，在已有的氣體放電型顯示裝置的制造方法中。利用噴砂加工切除活化膏通常是用具有一個噴槍的噴砂裝置完成的。在圖11中示出了采用一個噴槍的噴砂裝置中的研磨砂的噴射壓力對活化膏的切削速率和隔壁的側(cè)沖蝕量的影響。在圖12中示出了利用一個噴槍的噴砂裝置中的噴射距離即活化膏與噴槍間的距離對活化膏的切削速率和隔壁的側(cè)沖蝕量的影響。如圖11所示，隨著噴射壓力P的上升，活化膏的切削速率Rs上升，同時隔壁的側(cè)沖蝕量Es也以比切削速率Rs更大的比例增加。另外，當噴射壓力P的相對值下降到側(cè)沖蝕量Es小于3以下，為了使已下降的切削速率Rs上升，而使噴射距離變短時，則如圖12所示，側(cè)沖蝕量又上升。如圖13(a)所示，隔壁25其截面本來應(yīng)是長方形，但在這種情況下卻如圖13(b)所示，隔壁25的壁面變成凹曲面，隔壁中央截面的寬度變窄。因此存在使隔壁的精度、強度一起降低的問題。
本發(fā)明是為了解決已有技術(shù)中的上述課題而提出的，它提供裝備有形成適合于顯示高精度彩色圖象的放電室所必要的隔壁結(jié)構(gòu)的氣體放電型顯示裝置及其制造方法。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置的構(gòu)成包括第一基板、在上述第一基板上形成的第一電極、與上述第一基板相對配置的第二基板、在上述第二基板上形成的第二電極、為構(gòu)成放電室而在上述第一基板和上述第二基板之間形成的隔壁、封入在上述放電室內(nèi)的放電氣體；其特征在于，上述隔壁由從上述第二基板側(cè)開始順序重疊的第一隔壁層、第二隔壁層和第三隔壁層的三層疊層構(gòu)造體所組成。按照該氣體放電型顯示裝置的構(gòu)成，借助第一壁層可以使相對第二基板的隔壁的密合性提高，同時可以使相對抗蝕剝離劑的隔壁的耐心性提高。另外借助第二隔壁層可以改善對噴砂加工法的切削性。另外，借助第三隔壁層可以使對成為噴砂時的掩模的抗蝕劑的隔壁的密合性得到提高。
另外在上述本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置的構(gòu)成中，隔壁最好是把以1.0-3.0重量百分比的樹脂粘合劑和玻璃料為主要成分的第一隔壁層、以0.5-1.5重量百分比的樹脂粘合劑和玻璃料為主要成分的第二隔壁層、以2.0-5.0重量百分比的樹脂粘合劑和玻璃料為主要成分的第三隔壁層順序重疊、然后在所定溫度下燒接而形成。如果采用這個最好的例子，可以產(chǎn)生如下的效果。即，由于第三隔壁層的樹脂粘合劑的含量相當大，所以隔壁與掩膜圖形用的抗蝕劑之間的密合性良好，而且由于切削速率開始也比較慢，所以在噴砂初期可以正確地切削放電室開口部。另外，由于第二隔壁層的樹脂粘合劑的含量設(shè)定的很小，所以其切削速率很快，提高了制造裝置的生產(chǎn)率。另外由于使第一隔壁層的樹脂粘合劑的含量比第二隔壁層的樹脂粘合劑的含量高一些，所以提高了第一隔壁層相對隔壁的第二基板的接合性。其結(jié)果是，在噴砂工藝結(jié)束后在除去隔壁上的抗蝕劑工藝中不會發(fā)生剝離劑侵入隔壁與第二基板之間的危害。另外，在這種情況下，樹脂粘合劑最好是纖維素系高分子粘合劑。按照這個可取的例子，由于在燒結(jié)成隔壁時在隔壁內(nèi)不殘留樹脂粘合劑，所以不會在氣體放電型顯示裝置完成后由于樹脂粘合劑產(chǎn)生不純氣體。
另外，在上述本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置的構(gòu)成中，最好第一隔壁層的厚度為5-15μm，第二隔壁層的厚度為100-250μm，第三隔壁層的厚度為5-30μm。按照這個可取的例子，即使在提高切削速率的情況下，也可以得到側(cè)沖蝕量是非常小的隔壁。
另外，在上述本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置的構(gòu)成中，最好是在第二基板上形成絕緣膜，在第一基板與上述絕緣膜之間形成隔壁。按照這個可取的例子，可以防止封入在放電室內(nèi)的放電氣體和第二電極之間的放電。
另外，在上述本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置的構(gòu)成中，最好是第一電極由陰極線組成，第二電極由陽極母線、通過電阻與上述陽極母線相連的陽極電極、在上述陽極電極上形成的顯示電板體所組成，在第二基板上除去上述顯示電極體部分形成絕緣膜，并在第一基板與上述絕緣膜之間形成隔壁。
另外，在上述本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置的構(gòu)成中，第二隔壁層最好是由若干個隔壁膜的疊層構(gòu)造體所組成。按照這個可取的例子，可產(chǎn)生如下的效果。即通過改變?nèi)舾蓚€隔壁膜的材料構(gòu)成(具體的講為樹脂粘合劑的含量)，使切削速率在第二隔壁層中央附近變小，如果隨著遠離中心切削速率逐漸增加，則便可以在盡可能防止側(cè)沖蝕的同時對具有微細形狀尺寸的隔壁進行精密加工。
另外，在上述本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置的構(gòu)成中，第三隔壁層最好是由黑色材料組成。按照這個可取的例子，可以防止在形成噴砂用的掩模圖形時抗蝕劑曝光時的光暈。其結(jié)果是，由于可以形成正確的掩膜圖形，因而可以形成用于顯示高精細度的圖象的放電室形成所必要的超微細和高精度的隔壁。另外，該黑色膏由于在作為完成的氣體放電型顯示裝置再生圖象時起黑底的作用，所以還具有使顯示圖象的對比度提高的效果。
另外，本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置的制造方法的特征在于，該顯示裝置包括第一基板、形成在上述第一基板上的第一電極、與上述第一基板相對配置的第二基板、在上述第二基板上形成的第二電極、為構(gòu)成放電室而在上述第一基板與第二基板之間形成的隔壁和封在上述放電室內(nèi)的放電氣體，它包括以下步驟在上述第二基板上形成上述第二電極的步驟，在形成上述第二電極的第二基板上形成絕緣層的步驟，在上述絕緣層的上面形成耐噴砂性的掩膜圖形的步驟，利用裝備有若干個噴槍的噴砂裝置、通過一邊控制上述若干個噴槍的切削速率一邊除去沒有形成上述掩膜圖形部分的上述絕緣層而形成隔壁的步驟。按照這種氣體放電型顯示裝置的制造方法，通過使若干個噴槍沿第二基板移動方向配置、并調(diào)整各噴槍的切削速率以便使各噴槍的切削速率朝向第二基板移動方向按順序變小，從而可以控制隔壁的側(cè)沖蝕量為較小，同時使制造裝置的生產(chǎn)率提高。即，在注意某個特定位置上的絕緣層的情況下，因為該特定位置的絕緣層是在逐漸變小的切削速率下被切除的，所以可以控制側(cè)沖蝕量為較小。另外，由于使用裝備有若干個噴槍的噴砂裝置，所以也不會降低制造裝置的生產(chǎn)率。
另外，在上述本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置的制造方法中還包括在形成絕緣層之前在第二基板上形成絕緣膜的步驟，最好使該絕緣層形成在上述絕緣膜上。
另外，在上述本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置的制造方法中，第二電極由陽極母線、通過電阻與上述陽極母線相連接的陽極電極和在上述陽極電極上形成的顯示電板體所組成，最好還包括在除去上述顯示電板體部分之外的第二基板上形成絕緣膜的步驟，以使絕緣層形成在上述絕緣膜上。
另外，在本發(fā)明的上述氣體放電型顯示裝置的制造方法中，最好使絕緣層從第二基板側(cè)開始按第一絕緣層，第二絕緣層，第三絕緣層的順序重疊形成。另外，在這種情況下，最好是把由以1.0-3.0重量百分比的樹脂粘合劑和玻璃料為主要成分的材料組成的第一絕緣層、以0.5-1.5重量百分比的樹脂粘合劑和玻璃料為主要成分的第二絕緣層和以2.0-5.0重量百分比的樹脂粘合劑和玻璃料為主要成分的第三絕緣層重疊、然后在所定的溫度下燒結(jié)。另外，在這種情況下，最好使第一絕緣層的厚度為5-15μm，第二絕緣層的厚度為100-250μm，第三絕緣層的厚度為5-30μm。另外，在這種情況下，最好重疊若干絕緣層以形成第二絕緣層。另外，在這種情況下，最好是第三絕緣層由黑色材料組成。
另外，在本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置的制造方法中，最好是使若干個噴槍的噴射壓力彼此不同。按照這個可取的例子，可以一邊控制若干個噴槍的切削速率一邊除去沒有形成掩膜圖形部分的絕緣層。
另外，在本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置的制造方法中，若干個噴槍噴嘴的孔徑最好是彼此不同的，按照這個可取的例子可以一邊控制若干個噴槍的切削速率一邊除去沒有形成掩模圖形部分的絕緣層。
另外，在上述本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置的制造方法中，最好是使若干個噴槍的前端與基板上的表面物質(zhì)之間的距離彼此不同。按照這個可取的例子，可以一邊控制若干個噴槍的切削速率一邊除去沒有形成掩模圖形部分的絕緣層。
另外在上述本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置的制造方法中，最好使從若干個噴槍噴射出的研磨砂的平均粒徑彼此不同。按照這個可取的例子，可以一邊控制若干個噴槍的切削速率，一邊除去沒有形成掩膜圖形部分的絕緣層。
圖1是本發(fā)明第一實施方式的氣體放電型顯示裝置的部分剖視圖。
圖2是表示本發(fā)明第一實施方式的氣體放電型顯示裝置的制造方法的工藝圖。
圖3是表示在本發(fā)明第一實施方式中的隔壁材料中的纖維素系高分子粘合劑的量與噴砂切削速率和粘著性之間關(guān)系的特性圖。
圖4是本發(fā)明第二實施方式中的氣體放電型顯示裝置的部分剖視圖。
圖5表示在本發(fā)明第三實施方式中用的噴砂裝置的概略斜視圖。
圖6是表示本發(fā)明第三實施方式中的隔壁形成方法的剖視圖。
圖7是表示在本發(fā)明第三實施方式中所獲得的氣體放電型顯示裝置的生產(chǎn)率與隔壁的側(cè)沖蝕量之間的關(guān)系的特性圖。
圖8是已有技術(shù)的氣體放電型顯示裝置的部分剖視圖。
圖9是表示已有技術(shù)中的氣體放電型顯示裝置的制造方法的工藝圖。
圖10是表示已有技術(shù)的噴砂工藝的概略圖。
圖11是表示已有技術(shù)中裝有一個噴槍的噴砂裝置的噴射壓力與活性膏的切削速率和側(cè)沖蝕量之間關(guān)系的特性圖。
圖12是表示已有技術(shù)中裝有一個噴槍的噴砂裝置的噴射距離與活性膏的切削速率和隔壁的側(cè)沖蝕量之間關(guān)系的特性圖。
圖13是表示已有技術(shù)中的隔壁的側(cè)沖蝕狀態(tài)的剖視圖。
下面通過實施方式進一步詳細說明本發(fā)明。
<第一實施方式>
圖1是本發(fā)明第一實施方式的氣體放電型顯示裝置的部分剖視圖。如圖1所示，在由透明玻璃等組成的前面板上形成多個條狀的陰極線2。而在由透明玻璃等組成的后面板3上形成多個條狀陽極母線4a。前面板1和后面板3按陰極線2和陽極母線4a互相垂直地配置而夾著若干個隔壁5并彼此相對。借此由隔壁5包圍的若干個放電室6形成為矩陣狀。將組裝后的前面板1和后面板3的周圍用低融點玻璃等密封，在放電室6的內(nèi)部封入以稀有氣體為主體的放電氣體。
在后面板3上，陽極電極4b對應(yīng)各自的放電室6而單獨形成。在各陽極電極4b上位于放電室6內(nèi)形成顯示電極體7。顯示電極體7通過電阻8與陽極母線4a相連。這樣通過陰極線2和顯示電極體(陽極)7在放電室6內(nèi)形成一對放電電極。另外，11是為了使放電室6內(nèi)的放電容易開始而用于產(chǎn)生輔助放電的輔助陽極。
在形成陽極母線4a，陽極電極4b和電阻8的后面板3上除去顯示電極體7的部分形成層間絕緣膜10。借此可以防止放電室6內(nèi)的等離子體和陽極母線4a或電阻8之間的放電。另外，在放電室6內(nèi)的層間絕緣膜10的上面除了顯示電極體7的部分涂敷熒光體9。
隔壁5形成從后面板3側(cè)開始順序重疊的第一、第二和第三隔壁層5a、5b和5c的三疊層結(jié)構(gòu)。因此，通過第一隔壁層5a既可以提高隔壁5對層間絕緣膜10的密合性，又可以提高隔壁5對抗蝕剝離劑的耐久性。而通過第二隔壁層5b可以提高噴砂加工法的切削性。另外，通過第三隔壁層5c可以提高隔壁5對噴砂時變成掩膜的抗蝕劑的密合性。
下面說明本發(fā)明第一形態(tài)中的氣體放電型顯示裝置的制造方法。
圖2是表示本發(fā)明第一實施方式的氣體放電型顯示裝置的制造方法的工藝圖。首先按照圖(2)所示，利用絲網(wǎng)印刷法和光刻法在由透明玻璃等組成的3毫米厚的后面板3上形成若干個條狀陽極母線4a、陽極電極4b和輔助陽極1.1。這里陽極母線4a，陽極電極4b和輔助陽極11的厚度為5μm，而寬度為80μm。按照如圖2(b)所示，在陽極母線4a和陽極電級4b之間涂敷一層厚20μm的RuO2膏，將該RuO2膏在約520-600℃溫度下燒結(jié)形成電阻體8。再按圖2(C)所示那樣，在后面板3上除去用于顯示電極體7的開口部的部分涂敷一層35μm厚的玻璃膏，然后在約520-600℃溫度下燒結(jié)形成層間絕緣膜10。接著在陽極電極4b上面形成顯示電極體7。再按圖2(d)所示那樣，在層間絕緣膜10上把以1.0-3.0重量百分比的纖維素系高分子粘合劑和玻璃料為主要成分的材料形成10μm厚的膜，以形成第一絕緣層。接著在第一絕緣層的上面使把以0.5-1.5重量百分比的纖維素系高分子粘接劑和玻璃料為主要成分的材料形成200-210μm厚度的膜，以形成第二絕緣層。再在第二絕緣層上把以2.0-5.0重量百分比的纖維素系高分子粘合劑和玻璃料為主要成分的材料形成10-20μm厚的膜，以形成第三絕緣層。作為纖維素系高分子可以采用例如甲基纖維素、乙基纖維素、丙基纖維素、羥甲基纖維素、羥乙基纖維素、羥丙基纖維素、羥甲基丙基纖維素、羥乙基丙基纖維素等。按上述方式構(gòu)成三層疊層體后，通過掩模圖形利用噴砂加工法中蝕除去三層疊層體的不需要部分，在約500-550℃的溫度下在層間絕緣膜10上燒結(jié)形成由第一、第二和第三隔壁層5a、5b和5c組成的隔壁5。接著在除去顯示電極體7的部分的隔壁5、5之間層間絕緣膜10上涂敷一層20μm厚的熒光體9。在由透明玻璃等組成的前面板1的上面利用絲網(wǎng)印刷法和光刻法形成若干條狀陰極線2。陰極線2的厚度為35μm，寬為170μm[以上為圖2(d)]。接著如圖2(e)所示，使前面板1的陰極線2側(cè)和后面板3的陽極母線4a側(cè)相對并使陰極線2和陽級母線4a正交，使前面板1和后面板3通過隔壁5接合。借此使由隔壁5包圍的大多數(shù)放電室6形成矩陣狀。再用低融點玻璃封住前面板1和后面板3的周圍，在經(jīng)真空排氣后在放電室6的內(nèi)部封入以稀有氣體為主體的放電氣體。通過以上的工藝便可獲得氣體放電型顯示裝置。
如圖3所示，它表示了用于形成隔壁5的玻璃料膏中的纖維素系高分子粘合劑的含量對后面板3的密合性和噴砂時的切削速率的影響。因此，隔壁5中的纖維系高分子粘合劑的含量或其分布狀態(tài)對形成精密和超微細的隔壁5有大的影響。
也就是說，如果第一隔壁層5a的纖維素系高分子粘合劑的含量低于1.0重量百分比時，則使后面板3和層間絕緣膜10的接合強度下降，如果超過3.0重量百分比則使噴砂時的切削速率變慢，從而降低裝置的生產(chǎn)率。另外，如果第二隔壁層5b的纖維素系高分子粘合劑的含量小于0.5重量百分比則使噴砂時的切削速率過快，從而使隔壁5的側(cè)沖蝕量增大，同時使第二隔壁層5b與第一和第三隔壁層5a、5c的密合性降低。此外，如果第二隔壁層5b的纖維素系高分子粘合劑的含量超過1.5重量百分比，則使噴砂時的切削速率變慢，從而降低制造裝置的生產(chǎn)率。另外，如果第二隔壁層5c的纖維素系高分子粘合劑的含量小于2.0重量百分比，則使與噴砂用的抗蝕劑的密合性降低，從而使隔壁5的微細加工困難。如果超過5.0重量百分比則使噴砂時的切削速率變慢，從而使制造裝置的生產(chǎn)率下降。根據(jù)本發(fā)明者的實驗，可以確認在第一和第三隔壁層5a、5c的厚度都薄并且第一和第三隔壁層5a、5c的纖維素系高分子粘合劑的含量多的情況下可以獲得良好的效果。
如上所述，如果采用本實施方式，由于第三隔壁層5c的纖維素系高分子粘合劑的含量相當大，所以可以提高隔壁5與掩膜圖形用的抗蝕劑的密合性，并且由于使切削速率比較慢地開始而使噴砂初期可以正確地切削放電室開口部。另外，由于第二隔壁層5b的纖維素系高分子粘合劑的含量設(shè)定得很少，而使其切削速率很快，從而提高了制造裝置的生產(chǎn)率。另外，由于第一隔壁層5a與第二隔壁層5b相比，其纖維素系高分子粘合劑的含量有所增加，因而提高了第一隔壁層5a對隔壁5的層間絕緣膜10的接合性。其結(jié)果是，在噴砂工藝結(jié)束后在除去隔壁5上的抗蝕劑的工藝中不會發(fā)生剝離劑侵入隔壁5與層間絕緣膜10之間的危險。
利用噴砂加工法的隔壁5形成工藝，雖然要求在噴砂的初期，中間期和終期具有不同的噴砂裝置的切削條件和切削的隔壁材料的特性， 但是由于在本實施方式中是重疊分別具有不同材料特性的三種隔壁層，因而可以實現(xiàn)不會使制造裝置的生產(chǎn)率降低并且理想的噴砂工藝。
在第一和第二隔壁層5a、5b中為了提高亮度而使用白色材料。最好在第三隔壁層5c中使用著色成黑色的膏。如果在第三隔壁層5c中使用黑色膏，則可以防止在形成噴砂用的掩膜圖形時抗蝕劑曝光時的光暈。其結(jié)果是，由于可以形成正確的掩模圖形，因而可以形成用于顯示高精細度的圖象的放電室形成所必要的超微細度高精度的隔壁。另外，該黑色膏由于在作為完成的氣體放電型顯示裝置再現(xiàn)圖象時起黑底的作用，所以可以促進顯示圖象的對比度提高。
另外，在本實施方式中，將第一隔壁層5a的厚度設(shè)定為10μm，將第二隔壁層5b的厚度設(shè)定為200-210μm，將第三隔壁層5c的厚度設(shè)定為10-20μm，但各隔壁層的厚度并不一定限定為這些值。如果將第一絕緣層5a的厚度設(shè)定在5-15μm的范圍內(nèi)，將第二絕緣層5b的厚度設(shè)定在100-250μm的范圍內(nèi)，將第三絕緣層5c的厚度設(shè)下在5-30μm的范圍，則可以獲得相同的效果。
<第二實施方式>
圖4是本發(fā)明第二實施方式中的氣體放電型顯示裝置的部分剖視圖。如圖4所示，本實施方式中的第二隔壁層5b通過使若干個隔壁膜5b1、5b2、5b3···5bn進行疊層而形成。即在第一隔壁層5a的上面通過涂敷纖維素系高分子粘合劑的含量分別在0.1-1.5重量百分比范圍內(nèi)變化而調(diào)合的玻璃料膏而疊層以形成由若干個隔壁膜5b1、5b2、···5bn組成的第二隔壁層5b。在這種情況下，各隔壁膜5b1、5b2···5bn的材料組成和隔壁膜的數(shù)目n根據(jù)作為目標的放電室的大小、形狀和氣體放電型顯示裝置的用途作適當選擇。另外，由于其它的構(gòu)成與第一實施方式相同，而省略其說明。
這樣，通過使第二隔壁層5b形成若干個隔壁膜5b1、5b2、5b3···5bn的疊層結(jié)構(gòu)，既可以盡可能防止側(cè)沖蝕又能對具有微細形狀尺寸的隔壁5進行精密加工。
另外，在上述第一和第二實施方式中，雖然在形成隔壁5時采用了纖維素系高分子粘合劑，但并不一定限定于纖維素系高分子粘合劑，也可以使用樹脂粘合劑。這時即使用可以獲得同樣效果的聚合物也沒有關(guān)系。作為聚合物可以采用例如硅系聚合物、聚乙烯、丁二烯/苯乙烯共聚物、聚酰胺、高分子量聚醚、環(huán)氧乙烷和環(huán)氧丙烷的共聚物和各種丙烯系聚合物等。
另外，在上述第一和第二實施方式中，雖然是用印刷法形成隔壁，但并不一定限于這種方法，例如也可以采用利用稱為“綠帶”的絕緣體組成帶材料的方法。
<第三實施方式>
下面說明用在噴砂法中的噴砂裝置。
圖5是表示本發(fā)明第三實施方式中使用的噴砂裝置的簡要斜視圖。如圖5所示，在本實施方式中的噴砂裝置的噴槍16由四個噴槍16a、16b、16c和16d構(gòu)成。后面板3沿一個方向移動，而噴砂裝置(噴槍16)在與后面板3移動方向相對成直角的方向沿后面板3上的掩模圖形14的上方往復(fù)運動。在此狀態(tài)下，玻璃材料等研磨砂等從噴槍16a、16b、16c、16d的噴咀中噴射出，從而切削除去沒有形成掩模圖形14部分的活性膏12。其中，噴槍16a、16b、16c、16d沿后面板3的移動方向按順序配置。
圖6表示了利用上述結(jié)構(gòu)的噴砂裝置時的切削狀態(tài)。如圖6所示，處在各個噴槍16a、16b、16c和16d下方的活性膏12按照彼此不同的切削條件被切削。圖6雖然示出了通過使噴槍16a、16b、16c和16d的噴射距離彼此不同來調(diào)整各噴槍的切削速率的情況，但是也可以通過使噴槍16a、16b、16c和16d的噴射壓力、噴槍的噴嘴孔徑或研磨砂的平均粒徑等分別不同來調(diào)整各噴射槍的切削速率。
如果按上述構(gòu)成噴砂裝置、并按序號漸小的方式噴調(diào)整噴槍16a、16b、16c和16d的切削速率，則可以控制隔壁5的側(cè)沖蝕量為較小，同時可以提高制造裝置的生產(chǎn)率。即在注視某個特定位置的活化膏12的情況下，因為這個特定的位置的活性膏12是以緩慢的切削速率被切除，因而可以控制隔壁5的側(cè)沖蝕量為較小。另外，由于利用裝備有若干個噴槍16a、16b、16c和16d的噴砂裝置，所以不會降低制造裝置的生產(chǎn)率。
本實施方式的各噴槍的噴射條件如下(實施例1)
噴槍的噴嘴孔徑固定為9mm，研磨砂的平均粒徑選取為20μm時的各個噴槍的噴射壓力用相對值表示。
噴槍16a4.0噴槍16b2.5噴槍16c1.0噴槍16d0.5(實施例2)設(shè)噴射壓力為一定值(2kg/cm2)，研磨砂的平均粒徑為20μm時的各噴槍的噴嘴孔徑為噴槍16a6mm噴槍16b9mm噴槍16c12mm噴槍16d15mm(實施例3)設(shè)噴射壓力為一定值(2kg/cm2)，研磨砂的平均粒徑為20μm、噴嘴孔徑為9mm時的噴射距離為噴槍16a50mm噴槍16b100mm噴槍16c150mm噴槍16d200mm(實施例4)設(shè)噴射壓力為一定值(2kg/cm2)、噴嘴孔徑為9mm、噴射距離為100mm時的研磨砂的平均粒徑噴槍16a15μm
噴槍16b35μm噴槍16c60μm噴槍16d100μm雖然關(guān)于研磨砂的平均粒徑對在沒有設(shè)置隔壁形成用的掩膜圖形的部分上沒有發(fā)現(xiàn)切削速率的影響，但是由掩膜圖形所包圍的部分通常平均粒徑小的研磨砂的切削速率高。
上述實施例1-4都是對放電室開口部尺寸為550μm×450μm、隔壁的高度為200μm的氣體放電裝置進行實驗的。圖7表示了在本實施方式中獲得的氣體放電裝置的生產(chǎn)率與隔壁的側(cè)沖蝕量間的關(guān)系，并且與已有的例子進行了比較。如圖7所示，如果想要在已有的隔壁形成方法中提高制造裝置的生產(chǎn)率，相對于隔壁的側(cè)沖蝕量增加，在本實施方式中獲得的氣體放電型顯示裝置的隔壁即使在與制造裝置的生產(chǎn)率無關(guān)系、而其尺寸精度很高并且制造裝置的生產(chǎn)率提高的情況下也能使隔壁的側(cè)沖蝕量抑制到很小。其結(jié)果是使氣體放電型顯示裝置的生產(chǎn)率提高。
在上述實施例1-4中雖然是通過改變各噴槍一個噴射條件使各噴槍的切削速率不同，但是也可通過改變各噴槍的若干個噴射條件使各噴槍的切削速率不同。這時，可以對噴槍16a、16b、16c和16d的切削速率按變小的順序進行調(diào)整。
另外，在本實施方式中，雖然是以采用裝有四個噴槍16a、16b、16c和16d的噴砂裝置的情況為例進行說明，但是噴槍的數(shù)目不限于四個，可以使用例如2-10個。噴槍的數(shù)目可以根據(jù)氣體放電型顯示裝置的大小、使用目的、放電室的形狀等適當?shù)刈兏?br> 另外，在上述第一至第三實施方式中，雖然是以直流式氣體放電型顯示裝置為例進行說明，但是本發(fā)明不限于直流式氣體放電型顯示裝置，即使用于交流式氣體放電顯示裝置也可以獲得同樣的效果。
如上所述，按照本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置，利用第一隔壁層既可提高對第二基板的隔壁的密合性又可以提高對抗蝕剝離劑的隔壁的耐久性。另外，利用第二隔壁層還可以改善對噴砂加工法的切削性。通過第三隔壁層可以使對成為噴砂對的掩模的抗蝕劑的隔壁的密合性得到提高。
按照本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置的制造方法，可以容易地形成非常超細度和具有正確的形狀尺寸的隔壁，并且不會使制造裝置的生產(chǎn)率降低，而且不會產(chǎn)生側(cè)沖蝕。
權(quán)利要求
1.一種氣體放電型顯示裝置的制造方法，該氣體放電顯示裝置包括第一基板、在上述第一基板上形成的第一電極、與上述第一基板相對配置的第二基板、在上述第二基板上形成的第二電極、為構(gòu)成放電室而在第一基板與第二基板之間形成的隔壁和封在上述放電室內(nèi)的放電氣體；其特征在于，包括以下步驟在上述第二基板上形成上述第二電極的步驟，在形成上述第二電極的上述第二基板上形成絕緣層的步驟，在上述絕緣層的上面形成耐噴砂性的掩模圖形的步驟，利用裝有若干個噴槍的噴砂裝置、通過有形成一邊控制上述若干個噴槍的切削速率，一邊除去沒有形成上述掩模圖形的部分的上述絕緣層而形成隔壁的步驟。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體放電型顯示裝置的制造方法，其特征在于，還包括在形成絕緣層之前，在第二基板上形成絕緣膜的步驟，以便在上述絕緣膜上形成上述絕緣層。
3.如權(quán)利要求1所述的氣體放電型顯示裝置的制造方法，其特征在于，第二電極由陽極母線、通過電阻與上述陽極母線相連的陽極電極、在上述陽極電極上形成的顯示電極體所組成；還包括在除去上述顯示電極體部分之外的第二基板上形成絕緣膜的步驟，以便在上述絕緣膜上形成絕緣層。
4.如權(quán)利要求1所述的氣體放電型顯示裝置的制造方法，其特征在于，從第二基板側(cè)開始按第一絕緣層、第二絕緣層和第三絕緣層的順序重疊以形成絕緣層。
5.如權(quán)利要求4所述的氣體放電型顯示裝置的制造方法，其特征在于，把由以1.0-3.0重量百分比的樹脂粘合劑和玻璃料為主要成分的材料組成的第一絕緣層、以0.5-1.5重量百分比的樹脂粘合劑和玻璃料為主要成分的第二絕緣層和以2.0-5.0重量百分比的樹脂粘合劑和玻璃料為主要成分的第三絕緣層重疊，以在所定溫度下燒結(jié)。
6.如權(quán)利要求4所述的氣體放電型顯示裝置的制造方法，其特征在于，第一絕緣層形成5-15μm的厚度，第二絕級層形成100-250μm的厚度，第三絕緣層形成5-30μm的厚度。
7.如權(quán)利要求4所述的氣體放電型顯示裝置的制造方法，其特征在于，重疊若干個絕緣層以形成第二絕緣層。
8.如權(quán)利要求4所述的氣體放電型顯示裝置的制造方法，其特征在于，第三絕緣層由黑色材料組成。
9.如權(quán)利要求1所述的氣體放電型顯示裝置的制造方法，其特征在于，若干個噴槍的噴射壓力彼此不同。
10.如權(quán)利要求1所述的氣體放電型顯示裝置的制造方法，其特征在于，若干個噴槍的噴嘴孔徑彼此不同。
11.如權(quán)利要求1所述的氣體放電型顯示裝置的制造方法，其特征在于，若干個噴槍的噴嘴前端與基板上的表面物質(zhì)間的距離彼此不同。
12.如權(quán)利要求1所述的氣體放電型顯示裝置的制造方法，其特征在于，從若干個噴槍噴射出的研磨砂的平均粒徑彼此不同。
13.如權(quán)利要求1所述的氣體放電型顯示裝置的制造方法，其特征在于，第二基板相對噴砂裝置沿一個方向移動，上述噴砂裝置的若干個噴槍沿上述第二基板的移動方向配置，并且上述若干個噴槍的切削速率按照沿上述第二基板的移動方向順序變小地被調(diào)整。
全文摘要
本發(fā)明的氣體放電型顯示裝置，在前面板1上形成若干個陰極線2。在后面板3上形成陽極母線4a、陽極電極4b和輔助電極11、電阻體8、層間絕緣膜10，在陽極電極4b的上面形成顯示電極體7。在層間絕緣膜10上形成樹脂粘合劑含量不同的三層絕緣層，利用噴砂加工法形成由隔壁層5a、5b、5c組成的隔壁5。在放電室6內(nèi)的層間絕緣膜10上涂敷熒光體9。使前面板1和后面板3在陰極線2和陽極母線4a互相正交的狀態(tài)下夾住隔壁5而進行接合。
文檔編號H01J17/49GK1395276SQ0013066
公開日2003年2月5日 申請日期1996年4月20日 優(yōu)先權(quán)日1995年4月20日
發(fā)明者藤原伸也 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社