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光調(diào)制器以及圖像顯示裝置的制造方法_4

文檔序號:9707384閱讀:來源:國知局
所示的第一梳齒電極303RA以及第二梳齒電極303RB由于作為構(gòu)成基板301的材料使用具有與結(jié)晶的Z軸相垂直的切面的基板(Z切結(jié)晶基板),所以成為沿著Z軸高效地施加電場的形狀以及配置。
[0169]圖12是表示各梳齒電極的其他構(gòu)成例的圖。圖12所示的事項中,對于與圖8所示的事項相同的部件,標(biāo)注相同符號。
[0170]圖12所示的第一梳齒電極303RA以及第二梳齒電極303RB由于作為構(gòu)成基板301的材料使用具有與結(jié)晶的X軸相垂直的切面的基板(X切結(jié)晶基板),所以成為與圖8所示的各梳齒電極不同的形狀以及配置。
[0171]具體而言,圖12所示的第一梳齒電極303RA以及第二梳齒電極303RB被配置為在基板301的俯視時,第一電極3031RA以及第二電極3031RB與光導(dǎo)波路徑302的芯部3021不重疊。第一電極3031RA和第二電極3031RB構(gòu)成為在光導(dǎo)波路徑302的光導(dǎo)波方向上為相同的位置。換句話說,第一電極3031RA以及第二電極3031RB以隔著光導(dǎo)波路徑302的芯部3021成對的方式被設(shè)置。由此,在第一梳齒電極303RA與第二梳齒電極303RB之間電力線容易集中,容易沿該方向施加電場。
[0172]即使根據(jù)這樣的圖12所示的第一梳齒電極303RA以及第二梳齒電極303RB,也與圖8所示的各梳齒電極一樣,能夠高效地形成第一折射率分布3021N。
[0173]光調(diào)制部
[0174]在波長選擇部303的出射面?zhèn)扰渲糜泄庹{(diào)制部304。該光調(diào)制部304只要是能夠?qū)υ诠鈱?dǎo)波路徑302中傳播的光的強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)制的部件,可以是任意單元,在本實(shí)施方式中,對采取馬赫曾德爾型的光調(diào)制方式的光調(diào)制部進(jìn)行特別說明。
[0175]在與本實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制部304對應(yīng)的部分中,如圖6、7所示,芯部3021在分支部3023分支為芯部3021a和芯部3021b兩個。光調(diào)制部304具備被設(shè)置于該分支出的芯部的電極3040。
[0176]芯部3021a與芯部3021b之間隔開規(guī)定的距離而分離。芯部3021a以及芯部3021b在合流部3024再次合流為一個芯部3021。合流后的芯部3021能夠從出射端(出射面)出射出射光L。
[0177]電極3040由信號電極304a和接地電極304b構(gòu)成。
[0178]其中,信號電極304a被配置為在基板301的俯視時,與芯部3021a重疊。另一方面,接地電極304b被配置為在基板301的俯視時,與芯部3021b重疊。
[0179]對接地電極304b給予基準(zhǔn)電位。作為一個例子,接地電極304b電接地。另一方面,對信號電極304a給予基于圖像信息的電位以使得其與接地電極304b之間產(chǎn)生電位差。若這樣在信號電極304a與接地電極304b之間產(chǎn)生電位差,則對在它們之間產(chǎn)生的電力線通過的芯部3021a施加電場。其結(jié)果,芯部3021a的折射率基于電光效應(yīng)變化。
[0180]在這里,信號電極304a與接地電極304b相比其寬度變窄。因此,電力線集中在位于信號電極304a正下方的芯部3021a。即,從信號電極304a對芯部3021a施加相對較大的電場。另一方面,接地電極304b的寬度被充分寬地設(shè)定。因此,電力線在位于接地電極304b正下方的芯部3021b不太集中。S卩,從接地電極304b對芯部3021b施加相對較小的電場。
[0181]由于在芯部3021a與芯部3021b之間存在上述那樣的差異,所以若相對于電極3040產(chǎn)生上述那樣的電位差,則與信號電極304a相對應(yīng)地存在的芯部3021a的折射率主要變化,芯部3021b的折射率幾乎不變化。其結(jié)果,芯部3021a與芯部3021b產(chǎn)生折射率的偏差,在芯部3021a中傳播的光與在芯部3021b中傳播的光之間產(chǎn)生基于折射率的偏差的相位差。像這樣產(chǎn)生了相位差的兩束光若在合流部3024被合波,則生成相對于入射強(qiáng)度衰減的合波光。該合波光從芯部3021的出射端向光檢測部34射出。
[0182]此時,由于能夠通過調(diào)整對信號電極304a與接地電極304b之間給予的電位差來控制在芯部3021a中傳播的光與在芯部3021b中傳播的光的相位差,所以能夠控制合波光相對于入射強(qiáng)度的衰減幅度。
[0183]例如,若對在信號電極304a與接地電極304b之間產(chǎn)生的電位差進(jìn)行調(diào)整,以使得在芯部3021a中傳播的光的相位與在芯部3021b中傳播的光的相位的差在合流部3024相互偏移半波長的量,則在合流部3024兩束光相互抵消,光強(qiáng)度實(shí)際上為零。另外,通過適當(dāng)?shù)馗淖兿辔坏钠屏?,能夠?qū)喜ü獾墓鈴?qiáng)度進(jìn)行調(diào)制。
[0184]另一方面,若在合流部3024兩束光的相位一致,則能夠得到與入射強(qiáng)度幾乎等同的光強(qiáng)度的合波光。
[0185]在本實(shí)施方式中,紅色光LR、綠色光LG以及藍(lán)色光LB分時入射至該光調(diào)制部304。因此,在紅色光LR入射的時間段中,以基于圖像信息對紅色光LR的強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)制的方式驅(qū)動光調(diào)制部304。同樣地,在綠色光LG入射的時間段中,以基于圖像信息對綠色光LG的強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)制的方式驅(qū)動光調(diào)制部304,在藍(lán)色光LB入射的時間段中,以基于圖像信息對藍(lán)色光LB的強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)制的方式驅(qū)動光調(diào)制部304。由此,能夠在一個光調(diào)制部304中,進(jìn)行紅色光LR、綠色光LG以及藍(lán)色光LB的3種顏色的光的強(qiáng)度調(diào)制。其結(jié)果,能夠?qū)崿F(xiàn)光調(diào)制器30的小型化以及構(gòu)造的簡單化。
[0186]根據(jù)圖像顯示裝置1,能夠在光調(diào)制部304中對3種顏色的光的強(qiáng)度分別進(jìn)行外部調(diào)制。因此,與在光源部311對從光源部311射出的3種顏色的光的強(qiáng)度直接進(jìn)行調(diào)制的情況相比,能夠高速調(diào)制。除此之外,通過使施加到電極3040的電壓細(xì)微變化,能夠以更高的分辨率對從光調(diào)制器30出射的光的強(qiáng)度進(jìn)行微調(diào)。其結(jié)果,能夠進(jìn)一步增加在眼睛EY的視網(wǎng)膜描繪的圖像灰度,能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)高分辨率化。
[0187]并且,由于在圖像顯示裝置1中,無需使光源部311直接調(diào)制,所以以射出一定的強(qiáng)度的信號光的方式驅(qū)動光源部311即可。因此,能夠以發(fā)光效率最高的條件或者發(fā)光穩(wěn)定性、波長穩(wěn)定性最高的條件驅(qū)動光源部311,能夠?qū)崿F(xiàn)圖像顯示裝置1的低消耗電力化或者動作的穩(wěn)定化,并且實(shí)現(xiàn)在眼睛EY的視網(wǎng)膜描繪的圖像的高畫質(zhì)化。另外,由于無需為了直接調(diào)制光源部311所需要的驅(qū)動電路,連續(xù)驅(qū)動光源部311的電路相對簡單且低成本,所以能夠?qū)崿F(xiàn)光源部311所花費(fèi)的成本的削減以及光源部311的小型化。
[0188]在作為反射部6使用了后述的全息衍射光柵的情況下,由于能夠提高信號光的波長穩(wěn)定性,所以能夠使靠近設(shè)計波長的信號光入射至全息衍射光柵。其結(jié)果,能夠減小距離全息衍射光柵中的衍射角的設(shè)計值的偏差,能夠抑制圖像模糊。
[0189]電極3040與上述的波長選擇部303的第一電場施加部303R、第二電場施加部303G以及第三電場施加部303B所具備的第一梳齒電極以及第二梳齒電極相同,例如,能夠通過在將導(dǎo)電性材料成膜之后,使用光刻技術(shù)、蝕刻技術(shù)來圖案化為目標(biāo)形狀而形成。
[0190]因此,在形成波長選擇部303的各梳齒電極時,也能夠一并形成電極3040。其結(jié)果,能夠高效地制造光調(diào)制部304,并能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。除此之外,由于在波長選擇部303的各梳齒電極與光調(diào)制部304的電極3040之間,容易嚴(yán)密地控制位置精度,所以能夠?qū)崿F(xiàn)較高的位置精度。其結(jié)果,能夠高精度地進(jìn)行光的顏色的選擇和強(qiáng)度調(diào)制,能夠?qū)崿F(xiàn)顯示的圖像的進(jìn)一步的高畫質(zhì)化。
[0191]另外,在本實(shí)施方式中,將使3根芯部3021R、3021G、3021B在合流部3025合流的部分(合波部)、波長選擇部303以及光調(diào)制部304配置于同一基板301上(單片構(gòu)造)。因此,與由相互獨(dú)立的部件構(gòu)成這些部分的情況相比,能夠?qū)崿F(xiàn)光調(diào)制器30的小型化,并能夠?qū)崿F(xiàn)圖像顯示裝置1的小型化。另外,由于能夠?qū)崿F(xiàn)各部分之間的光耦合損失的減少,所以能夠抑制光調(diào)制器30的內(nèi)部損失。由此,能夠?qū)崿F(xiàn)圖像的高畫質(zhì)化,并且能夠?qū)崿F(xiàn)消耗電力的降低。
[0192]具備光導(dǎo)波路徑302的光調(diào)制器30起到提高出射光L的光束質(zhì)量、減少過度的光這樣的次要效果。由此,能夠?qū)崿F(xiàn)顯示的圖像的進(jìn)一步的高畫質(zhì)化。
[0193]在該次要效果中,前者的效果是由于光的光束的修整(非主要部分的切除)起到的。即,從光源部311出射的光的光束通常其橫剖面中的中心部分的品質(zhì)較高(波長的分布寬度較小),另一方面周邊部分的品質(zhì)較低。因此,通過對光調(diào)制器30設(shè)置光導(dǎo)波路徑302,能夠在光導(dǎo)波路徑302中對光束的周邊部分進(jìn)行修整。其結(jié)果,能夠僅對品質(zhì)較高的光束的中心部分進(jìn)行調(diào)制,并射出。
[0194]另一方面,次要的效果中的后者的效果是光在光導(dǎo)波路徑302中傳播時,利用適當(dāng)?shù)卦O(shè)定芯部3021的形狀從而一部分光泄漏,能夠容易地使光量減少。
[0195]電極3040的形狀例如根據(jù)基板301的結(jié)晶軸的方向適當(dāng)?shù)卦O(shè)定,例如,也可以是與不和芯部3021a、芯部3021b重疊的位置對應(yīng)地配置的形狀。
[0196]另外,由于對如光導(dǎo)波路徑302這樣的剖面狹窄的區(qū)域施加電壓,所以與對大塊的電光材料施加電壓施加的情況相比,能夠使用于產(chǎn)生信號光的調(diào)制所需要的相位差的折射率變化所需要的施加電壓變小。并且,通過適當(dāng)?shù)剡x擇光導(dǎo)波路徑302 (芯部3021)的剖面積,能夠提尚強(qiáng)度調(diào)制的控制性。
[0197]另外,上述的光調(diào)制部304利用電光效應(yīng)對信號光的強(qiáng)度進(jìn)行外部調(diào)制,但是替代電光效應(yīng),也可以使用聲光效應(yīng)、磁光效應(yīng)、熱光效應(yīng)、非線性光學(xué)效應(yīng)等光調(diào)制效應(yīng)。
[0198]在采用利用了電光效應(yīng)的馬赫曾德爾型的光調(diào)制方式的情況下,由于能夠進(jìn)行特別高速下的調(diào)制,所以對所顯示的圖像的高畫質(zhì)化的貢獻(xiàn)顯著。
[0199]另外,光調(diào)制部304中的調(diào)制原理也并不限定于上述的馬赫曾德爾型的調(diào)制原理。作為能夠代替的調(diào)制構(gòu)造,例如列舉定向耦合型調(diào)制器、分支干涉型調(diào)制器、環(huán)形干涉型調(diào)制器、使用了 Y切交叉導(dǎo)波路的內(nèi)部全反射型光開關(guān)、分支開關(guān)、截止型光調(diào)制器、平衡橋型光調(diào)制器、布拉格衍射型光開關(guān)、電吸收型(EA)調(diào)制器等。
[0200]由于馬赫曾德爾型的調(diào)制構(gòu)造能夠以相對簡單的構(gòu)造來實(shí)現(xiàn),并且,容易對調(diào)制寬度任意地進(jìn)行調(diào)整,所以作為光調(diào)制部304的調(diào)制構(gòu)造是有用的。由于能夠通過任意調(diào)整調(diào)制寬度,來任意調(diào)整信號光的強(qiáng)度,所以例如能夠?qū)崿F(xiàn)顯示圖像的高對比度化。
[0201]另外,緩沖層305被設(shè)置于基板301與各電極之間,例如由氧化硅、氧化鋁等對在光導(dǎo)波路徑302中導(dǎo)波的光的吸收少的介質(zhì)構(gòu)成。
[0202]像這樣根據(jù)圖像信息被光調(diào)制器30調(diào)制后的出射光L作為信號光入射至第一光纖71的一端部。這樣的信號光依次通過第一光纖71、連接部5以及第二光纖72,傳播至后述的掃描光出射部4的光掃描部42。
[0203]在這里,在第一光纖71的信號光的入射側(cè)的端部附近設(shè)置有光檢測部34。該光檢測部34檢測信號光。另外,第一光纖71的一端部以及光檢測部34被固定于固定部35。
[0204]驅(qū)動信號生成部32是生成驅(qū)動后述的掃描光出射部4的光掃描部42 (光掃描儀)的驅(qū)動信號的部件。
[0205]該驅(qū)動信號生成部32具有:驅(qū)動電路321,其生成用于在光掃描部42的第一方向上的掃描(水平掃描)的第一驅(qū)動信號;以及驅(qū)動電路322,其生成用于在與光掃描部42的第一方向正交的第二方向上的掃描(垂直掃描)的第二驅(qū)動信號。
[0206]這樣的驅(qū)動信號生成部32經(jīng)由未圖示的信號線與后述的掃描光出射部4的光掃描部42電連接。由此,由驅(qū)動信號生成部32生成的驅(qū)動信號被輸入至后述的掃描光出射部4的光掃描部42。
[0207]上述那樣的信號光生成部31的驅(qū)動電路312R、312G、312B以及驅(qū)動信號生成部32的驅(qū)動電路321、322與控制部33電連接。
[0208]控制部33具有基于影像信號(圖像信號)控制信號光生成部31的驅(qū)動電路312R、312G、312B以及驅(qū)動信號生成部32的驅(qū)動電路321、322的驅(qū)動的功能。S卩,控制部33具有控制掃描光出射部4的驅(qū)動的功能。由此,信號光生成部31生成根據(jù)圖像信息調(diào)制后的信號光,并且驅(qū)動信號生成部32生成與圖像信息相應(yīng)的驅(qū)動信號。
[0209]另外,控制部33具有控制光調(diào)制器30的驅(qū)動的功能。具體而言,控制部33能夠分別獨(dú)立并且相互協(xié)調(diào)地驅(qū)動光調(diào)制器30所包含的波長選擇部303以及光調(diào)制部304。由此,能夠在波長選擇部303使波長不同的光在時間軸上相互排他地(分時)透過,并且與該透過的時機(jī)一致地在光調(diào)制部304對透過光的強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)制。
[0210]并且,控制部33構(gòu)成為能夠基于由光檢測部34檢測出的光的強(qiáng)度來控制信號光生成部31的驅(qū)動電路312R、312G、312B的驅(qū)動。
[0211]掃描光出射部
[0212]如圖1以及圖2所示,掃描光出射部4被安裝于上述的框架2的鼻梁部26附近(換句話前部22的中心附近)。
[0213]如圖4所不,這樣的掃描光出射部4具備殼體41 (機(jī)殼)、光掃描部42、透鏡43 (親合透鏡)、透鏡45 (聚光透鏡)、以及支承部件46。
[0214]殼體41經(jīng)由支承部件46被安裝于前部22。
[0215]另外,殼體41的外表面與支承部件46的與框架
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