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光調(diào)制器以及圖像顯示裝置的制造方法_3

文檔序號(hào):9707384閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
方向(電場(chǎng)的方向)折射率的變化方式也改變。
[0133]在第一電場(chǎng)施加部303R中,屬于第一梳齒電極303RA的第一電極3031RA和屬于第二梳齒電極303RB的第二電極3031RB以沿光導(dǎo)波方向交替排列的方式被配置。因此,沿著光導(dǎo)波方向交替產(chǎn)生在芯部3021產(chǎn)生的電力線的方向也為相互相反的方向電力線。其結(jié)果,在芯部3021交替產(chǎn)生折射率相對(duì)升高的部分和折射率相對(duì)降低的部分。電力線的方向和折射率的變化方向隨著具有電光效應(yīng)的材料的構(gòu)造而變化。在圖9中,作為一個(gè)例子,在芯部3021中,將折射率相對(duì)升高的部分作為“高折射率部3021H”并用相對(duì)密集的點(diǎn)來(lái)表示,將折射率相對(duì)降低的部分作為“低折射率部3021L”并用相對(duì)稀疏的點(diǎn)來(lái)表示。
[0134]若像這樣驅(qū)動(dòng)第一電場(chǎng)施加部303R,則形成沿著光導(dǎo)波方向周期性地設(shè)置有高折射率部3021H和低折射率部3021L的第一折射率分布3021N。
[0135]通過(guò)像上述那樣組合使用第一梳齒電極303RA和第二梳齒電極303RB,能夠?qū)崿F(xiàn)電極構(gòu)造的簡(jiǎn)單化、連接電極和外部電源的布線長(zhǎng)度的縮短。
[0136]另一方面,在未對(duì)第一梳齒電極303RA與第二梳齒電極303RB之間給予電位差的情況下,由于未對(duì)這些電極附近的芯部3021 (光導(dǎo)波路徑302)施加電場(chǎng),所以折射率不變化,未形成第一折射率分布3021N。因此,如圖8 (b)所示,紅色光LR、綠色光LG以及藍(lán)色光LB均未被反射而透過(guò)。
[0137]然而,若在芯部3021的中途設(shè)置如該第一折射率分布3021N這樣的周期性地出現(xiàn)的折射率變化(分級(jí)),則能夠僅使在芯部3021中傳播的光中與折射率變化的周期對(duì)應(yīng)的特定波長(zhǎng)的光反射。因此,通過(guò)適當(dāng)?shù)剡x擇折射率變化的周期,能夠僅使被上述的合波部合波的紅色光LR、綠色光LG以及藍(lán)色光LB的合波光中任一顏色的光反射,并不使其透過(guò)。
[0138]該反射基于所謂的布拉格反射。在布拉格反射中,基于折射率變化中的有效折射率(例如變化前后的折射率的平均)和折射率變化的周期(第一周期)來(lái)決定被反射的波長(zhǎng)。其中,有效折射率能夠基于具有電光效應(yīng)的材料和對(duì)光導(dǎo)波路徑302施加的電場(chǎng)的強(qiáng)度來(lái)決定。另一方面,折射率變化的周期能夠基于多個(gè)第一電極3031RA以及多個(gè)第二電極3031RB的配置的周期來(lái)決定。
[0139]因此,在第一電場(chǎng)施加部303R中,為了通過(guò)布拉格反射僅反射紅色光LR,選擇具有電光效應(yīng)的材料,或調(diào)整對(duì)光導(dǎo)波路徑302施加的電場(chǎng)的強(qiáng)度,或調(diào)整多個(gè)第一電極3031RA以及多個(gè)第二電極3031RB的配置周期即可。因此,換言之,可以說(shuō)第一電場(chǎng)施加部303R是能夠利用布拉格反射來(lái)反射紅色光LR(第一波長(zhǎng)的光)的反射部(第一反射部)。
[0140]反射方向取決于第一折射率分布3021N中的折射率的變化方向,進(jìn)而取決于第一電極3031RA以及第二電極3031RB的長(zhǎng)邊方向與光導(dǎo)波路徑302的光導(dǎo)波方向的交叉角度。因此,通過(guò)適當(dāng)?shù)卦O(shè)定第一電極3031RA以及第二電極3031RB的形狀(長(zhǎng)邊方向的朝向),能夠調(diào)整紅色光LR的反射方向,防止反射光向光源311R側(cè)逆行、或反射光變?yōu)殡s散光。
[0141]如圖10(a)所示,波長(zhǎng)選擇部303中的第二電場(chǎng)施加部303G具備多個(gè)第一電極3031GA以及多個(gè)第二電極3031GB。以與第一電極3031RA以及第二電極3031RB相同的方式構(gòu)成第一電極3031GA以及第二電極3031GB。
[0142]多個(gè)第一電極3031GA彼此經(jīng)由連接部3032GA電連接。由此,由多個(gè)第一電極3031GA和連接部3032GA構(gòu)成第一梳齒電極303GA。
[0143]另一方面,多個(gè)第二電極3031GB彼此經(jīng)由連接部3032GB電連接。由此,由多個(gè)第二電極3031GB和連接部3032GB構(gòu)成第二梳齒電極303GB。
[0144]若使這樣的第一梳齒電極303GA與第二梳齒電極303GB之間產(chǎn)生電位差,則與第一電場(chǎng)施加部303R相同,沿著光導(dǎo)波方向形成折射率以第二周期變化而成的第二折射率分布ο
[0145]在第二電場(chǎng)施加部303G中,為了通過(guò)布拉格反射僅反射綠色光LG,選擇具有電光效應(yīng)的材料、或調(diào)整對(duì)光導(dǎo)波路徑302施加的電場(chǎng)的強(qiáng)度、或調(diào)整多個(gè)第一電極3031GA以及多個(gè)第二電極3031GB的配置的周期即可。因此,換言之,可以說(shuō)第二電場(chǎng)施加部303G是能夠利用布拉格反射來(lái)反射綠色光LG (第二波長(zhǎng)的光)的反射部(第二反射部)。
[0146]如圖10(b)所示,波長(zhǎng)選擇部303中的第三電場(chǎng)施加部303Β具備多個(gè)第一電極3031ΒΑ以及多個(gè)第二電極3031ΒΒ。以與第一電極3031RA以及第二電極3031RB相同的方式構(gòu)成第一電極3031ΒΑ以及第二電極3031ΒΒ。
[0147]多個(gè)第一電極3031ΒΑ彼此經(jīng)由連接部3032ΒΑ電連接。由此,由多個(gè)第一電極3031ΒΑ和連接部3032ΒΑ構(gòu)成第一梳齒電極303ΒΑ。
[0148]另一方面,多個(gè)第二電極3031ΒΒ彼此經(jīng)由連接部3032ΒΒ電連接。由此,由多個(gè)第二電極3031ΒΒ和連接部3032ΒΒ構(gòu)成第二梳齒電極303ΒΒ。
[0149]若使這樣的第一梳齒電極303ΒΑ與第二梳齒電極303ΒΒ之間產(chǎn)生電位差,則與第一電場(chǎng)施加部303R、第二電場(chǎng)施加部303G相同,沿著光導(dǎo)波方向形成折射率以第三周期變化而成的第三折射率分布。
[0150]在第三電場(chǎng)施加部303Β中,為了通過(guò)布拉格反射僅反射藍(lán)色光LB,選擇具有電光效應(yīng)的材料、或調(diào)整對(duì)光導(dǎo)波路徑302施加的電場(chǎng)的強(qiáng)度、或調(diào)整多個(gè)第一電極3031ΒΑ以及多個(gè)第二電極3031ΒΒ的配置的周期即可。因此,換言之,可以說(shuō)第三電場(chǎng)施加部303Β是能夠利用布拉格反射來(lái)反射藍(lán)色光LB (第三波長(zhǎng)的光)的反射部(第三反射部)。
[0151]如以上所述那樣,由于本實(shí)施方式所涉及的波長(zhǎng)選擇部303具備:第一電場(chǎng)施加部303R,其通過(guò)選擇有無(wú)紅色光LR的反射來(lái)控制紅色光LR的透過(guò);第二電場(chǎng)施加部303G,其通過(guò)選擇有無(wú)綠色光LG的反射來(lái)控制綠色光LG的透過(guò);以及第三電場(chǎng)施加部303B,其通過(guò)選擇有無(wú)藍(lán)色光LB的反射來(lái)控制藍(lán)色光LB的透過(guò),所以能夠從合波光中選擇性地僅使特定的波長(zhǎng)(顏色)的光透過(guò)。由此,在被配置于波長(zhǎng)選擇部303的出射側(cè)的光調(diào)制部304中,能夠針對(duì)特定的波長(zhǎng)(顏色)對(duì)強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)制。其結(jié)果,由于能夠用一個(gè)光調(diào)制部304分別單獨(dú)對(duì)紅色光LR、綠色光LG以及藍(lán)色光LB準(zhǔn)確地進(jìn)行強(qiáng)度的調(diào)制,所以能夠?qū)崿F(xiàn)光調(diào)制器30、具備該光調(diào)制器30的圖像顯示裝置1的小型化,并且能夠顯示由全彩色等多種顏色構(gòu)成的高品質(zhì)的圖像。
[0152]換言之,本實(shí)施方式所涉及的波長(zhǎng)選擇部303由沿著光導(dǎo)波路徑302的光導(dǎo)波方向被配置的第一電場(chǎng)施加部303R、第二電場(chǎng)施加部303G以及第三電場(chǎng)施加部303B構(gòu)成。由于這些電場(chǎng)施加部只要具有以對(duì)光導(dǎo)波路徑302施加電場(chǎng)的方式給予電位差的電極就可以,所以不用將光導(dǎo)波路徑302斷開(kāi)就能夠配置。因此,無(wú)需在波長(zhǎng)選擇部303的內(nèi)部(例如第一電場(chǎng)施加部303R與第二電場(chǎng)施加部303G之間)、波長(zhǎng)選擇部303與光調(diào)制部304之間設(shè)置光學(xué)連接位置。其結(jié)果,不用要求以往的那樣嚴(yán)格地考慮了光路長(zhǎng)度的對(duì)準(zhǔn),難以導(dǎo)致伴隨光連接的光損失的產(chǎn)生。因此,難以導(dǎo)致顯示圖像的光量不足、或者、也能夠消除為了彌補(bǔ)光量不足而提高光源的輸出從而導(dǎo)致消耗電力的增大這一問(wèn)題。
[0153]另外,第一電場(chǎng)施加部303R、第二電場(chǎng)施加部303G以及第三電場(chǎng)施加部303B所具備的第一梳齒電極以及第二梳齒電極例如通過(guò)在將導(dǎo)電性材料成膜之后,使用光刻技術(shù)、蝕刻技術(shù)圖案化為目標(biāo)形狀來(lái)形成。因此,能夠一并形成各梳齒電極、后述的光調(diào)制部304的電極,也有制造容易性高且能夠低成本化這樣的優(yōu)點(diǎn)。
[0154]在這里,如前述那樣,為了在第一電場(chǎng)施加部303R僅反射紅色光LR、為了在第二電場(chǎng)施加部303G僅反射綠色光LG、為了在第三電場(chǎng)施加部303B僅反射藍(lán)色光LB,分別選擇材料、或調(diào)整電場(chǎng)的強(qiáng)度、電極的配置的周期即可,但其中,從在制造過(guò)程中能夠簡(jiǎn)單并且準(zhǔn)確地設(shè)定,并且反射的光的波長(zhǎng)的選擇性高這一觀點(diǎn)來(lái)看,可以說(shuō)電極的配置的周期是容易設(shè)定的參數(shù)。
[0155]因此,在將僅反射紅色光LR的第一折射率分布的周期設(shè)為“第一周期”,將僅反射綠色光LG的第二折射率分布的周期設(shè)為“第二周期”,將僅反射藍(lán)色光LB的第三折射率分布的周期設(shè)為第三周期時(shí),以第一周期、第二周期、第三周期相互不同的方式設(shè)定第一電極3031RA及第二電極3031RB、第一電極3031GA及第二電極3031GB、以及第一電極3031BA及第二電極3031BB的間隔即可。
[0156]在本發(fā)明中,只要能夠在波長(zhǎng)選擇部303中對(duì)芯部3021施加電場(chǎng)而形成必要的折射率分布即可,波長(zhǎng)選擇部303也可以不一定具備電極。但是,在考慮構(gòu)造的簡(jiǎn)單化、低成本化的情況下,優(yōu)選以通過(guò)設(shè)置電極來(lái)施加電場(chǎng)的方式構(gòu)成。
[0157]接下來(lái),對(duì)波長(zhǎng)選擇部303的驅(qū)動(dòng)方法進(jìn)行說(shuō)明。
[0158]在包含本發(fā)明的光調(diào)制器30的信號(hào)生成部3中,使光源311R、311G、311B連續(xù)驅(qū)動(dòng)(CW驅(qū)動(dòng)),并且通過(guò)光調(diào)制器30的波長(zhǎng)選擇部303選擇透過(guò)波長(zhǎng),通過(guò)光調(diào)制部304進(jìn)行強(qiáng)度調(diào)制。
[0159]波長(zhǎng)選擇部303選擇在第一電場(chǎng)施加部303R中是否使紅色光LR透過(guò),并選擇在第二電場(chǎng)施加部303G中是否使綠色光LG透過(guò),并選擇在第三電場(chǎng)施加部303B中是否使藍(lán)色光LB透過(guò)。此時(shí),例如希望波長(zhǎng)選擇部303透過(guò)紅色光LR的時(shí)間段與透過(guò)綠色光LG的時(shí)間段以及透過(guò)藍(lán)色光LB的時(shí)間段相互不重疊。在假設(shè)紅色光LR透過(guò)的時(shí)間段與綠色光LG透過(guò)的時(shí)間段重疊的情況下,由于紅色與綠色混合而成的光入射至光調(diào)制部304,所以存在在光調(diào)制部304中不能進(jìn)行準(zhǔn)確的強(qiáng)度調(diào)制的可能性。其結(jié)果,存在由圖像顯示裝置1顯示的圖像的顏色上產(chǎn)生意想不到的變化,而畫(huà)質(zhì)降低的可能性。
[0160]因此,優(yōu)選設(shè)置在變更波長(zhǎng)選擇部303中透過(guò)的光時(shí),暫時(shí)使全部的光都不透過(guò)的時(shí)間段。通過(guò)設(shè)置這樣的時(shí)間段,由于紅色光LR、綠色光LG以及藍(lán)色光LB全部被反射,光不透過(guò)波長(zhǎng)選擇部303,所以防止例如紅色光LR透過(guò)的時(shí)間段與綠色光LG透過(guò)的時(shí)間段重疊。其結(jié)果,能夠防止由圖像顯示裝置1顯示的圖像的畫(huà)質(zhì)降低。
[0161]圖11是表不用于驅(qū)動(dòng)第一電場(chǎng)施加部303R、第二電場(chǎng)施加部303G以及第三電場(chǎng)施加部303B的電壓施加模式的時(shí)間推移(時(shí)序圖)的一個(gè)例子,以及此時(shí)透過(guò)波長(zhǎng)選擇部303的光的顏色的圖。在圖11中,將對(duì)第一電場(chǎng)施加部303R所具備的第一梳齒電極303RA與第二梳齒電極303RB之間施加的電壓記作“R電極的電壓”。同樣地,將對(duì)第二電場(chǎng)施加部303G所具備的第一梳齒電極303GA與第二梳齒電極303GB之間施加的電壓記作“G電極的電壓”,將對(duì)第三電場(chǎng)施加部303B所具備的第一梳齒電極303BA與第二梳齒電極303BB之間施加的電壓記作“B電極的電壓”。并且,在圖11中,在透過(guò)波長(zhǎng)選擇部303的光的顏色是紅色的情況下記作“R”,在是綠色的情況下記作“G”,在是藍(lán)色的情況下記作“B”,在哪一種光都不透過(guò)的情況下記作“K”。
[0162]例如,在第一時(shí)間段TZ1,分別對(duì)G電極和B電極施加電壓,另一方面不對(duì)R電極施加電壓。此時(shí),紅色光LR透過(guò)第一電場(chǎng)施加部303R,另一方面綠色光LG被第二電場(chǎng)施加部303G反射,藍(lán)色光LB被第三電場(chǎng)施加部303B反射。由此,只有紅色光LR傳播至光調(diào)制部304,能夠?qū)t色光LR的強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)制。
[0163]接下來(lái),在第二時(shí)間段TZ2,分別對(duì)R電極和B電極施加電壓,另一方面不對(duì)G電極施加電壓。由此,只有綠色光LG傳播至光調(diào)制部304,能夠?qū)G色光LG的強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)制。
[0164]在這里,在從第一時(shí)間段TZ1向第二時(shí)間段TZ2迀移時(shí),優(yōu)選在第一時(shí)間段TZ1與第二時(shí)間段TZ2之間,設(shè)置對(duì)R電極、G電極以及B電極全部施加電壓的時(shí)間段ΤΖ0。通過(guò)設(shè)置這樣的時(shí)間段ΤΖ0,在波長(zhǎng)選擇部303中所有的光都被反射,沒(méi)有透過(guò)的光。而且,能夠防止第一時(shí)間段TZ1與第二時(shí)間段TZ2重復(fù),并防止紅色光LR與綠色光LG混合而成的光傳播至光調(diào)制部304。
[0165]時(shí)間段ΤΖ0的長(zhǎng)度能夠根據(jù)對(duì)各電極施加規(guī)定的電壓所需要的時(shí)間、其偏差以及停止對(duì)各電極的電壓的施加所需要的時(shí)間、其偏差等因素適當(dāng)?shù)卦O(shè)定,作為一個(gè)例子設(shè)定為1納秒以上100毫秒以下左右。由于若是該程度,也有顯示的圖像的內(nèi)容、個(gè)人差異的影響,但是意識(shí)到任意光都不透過(guò)的狀態(tài)(黑色顯示狀態(tài))并達(dá)到不協(xié)調(diào)的情況是比較少的,所以能夠?qū)⒂蛇M(jìn)行黑色的顯示引起的畫(huà)質(zhì)的降低保持在最低限度。而且,對(duì)于由第一時(shí)間段TZ1與第二時(shí)間段TZ2重復(fù)引起的畫(huà)質(zhì)也能夠保持在最低限度。
[0166]同樣地,在從第二時(shí)間段TZ2向第三時(shí)間段TZ3迀移時(shí),優(yōu)選在它們之間設(shè)置對(duì)R電極、G電極以及B電極全部施加電壓的時(shí)間段ΤΖ0。由此,能夠防止第二時(shí)間段TZ2與第三時(shí)間段TZ3重復(fù),并且能夠防止綠色光LG與藍(lán)色光LB混合而成的光傳播至光調(diào)制部304。
[0167]各梳齒電極的形狀并不限定于圖示的形狀,例如能夠按照構(gòu)成基板301的具有電光效應(yīng)的材料的結(jié)晶軸的方向適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。
[0168]圖8
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