一種反射鏡支撐調整裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明屬于反射鏡面形檢測技術領域，具體涉及一種反射鏡支撐調整裝置。
【背景技術】
[0002]極紫外光刻相關技術中，對光學元件面形檢測精度達到了亞納米量級，這對光學檢測技術提出了極高的要求。在高精度光學元件面形檢測方法中，要求被測試光學元件能繞其回轉中心按固定角度旋轉，并能夠以被測球面的球心為原點延球面切線方向做一定角度的擺動，實現多維姿態(tài)調整。
[0003]現有技術中大多為獨立的旋轉機構、轉臺、直線位移機構和傾斜調整臺等，能同時滿足要求的產品很少，通過進口的電機驅動位移調整裝置價格極其昂貴，不適用于前期實驗，不具備經濟性。

【發(fā)明內容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提出一種反射鏡支撐調整裝置，解決現有技術存在的功能單一和價格昂貴的問題，實現被測試反射鏡的支撐調整功能，使反射鏡繞回轉中心按固定角度旋轉，并能夠以被測球面的球心為原點沿球面切線方向做一定角度的擺動。
[0005]為實現上述目的，本發(fā)明的一種反射鏡支撐調整裝置包括轉動軸承、滑動臺、立板和底板；
[0006]兩個所述立板垂直固定在底板相對的兩個邊上，兩個立板內側設置有導向溝槽B，所述滑動臺放置在底板中間位置，所述滑動臺和兩個立板相對的側壁上設置有導向溝槽A，滑動臺的兩個側壁上的導向溝槽A分別和兩個立板上的導向溝槽B配合相對滑動，所述轉動軸承垂直放置在所述滑動臺上方中間位置，反射鏡設置在轉動軸承上端，所述導向溝槽A為圓弧形，所述圓弧形導向溝槽A的圓心和反射鏡球面球心處于同一高度。
[0007]所述導向溝槽A和導向溝槽B配合處設置有滾珠。
[0008]所述支撐調整裝置還包括定位珠固定板和定位珠，相對設置的兩個定位珠固定板的下端固定在滑動臺上表面，側壁和轉動軸承外圓柱面貼合，定位珠固定板和轉動軸承外圓柱面貼合位置固定有滾珠，所述轉動軸承外圓柱面上圓周均布六個定位球窩，所述定位球窩和定位珠位于同一水平面上。
[0009]本發(fā)明的有益效果為:本發(fā)明的一種反射鏡支撐調整裝置中轉動軸承外圓周面上設置有六個圓周方向上均勻分布的定位球窩，在反射鏡依靠轉動軸承轉動過程中定位球嵌入定位球窩中，以實現轉動角度的定位?；瑒优_兩側設置有導向溝槽A，導向溝槽A沿圓弧形分布，圓弧形的導向溝槽A的圓心和反射鏡球面球心處于同一高度。兩個立板上設置有導向溝槽B，分別安置于底板兩側，與滑動臺兩側的導向溝槽A配合中間安置有滾珠，進而實現滑動臺的在沿導向溝槽方向的擺動。
[0010]裝置中心設置有轉動軸承，使被測試反射鏡繞其回轉中心旋轉。裝置兩側設置有導向溝槽A和導向溝槽B，配合處設置有滾珠，使反射鏡球面的球心為原點延球面切線方向做一定角度的擺動。將本裝置置于干涉測量系統(tǒng)成像光路中，完成反射鏡的多維姿態(tài)調整需求。
【附圖說明】
[0011]圖1為本發(fā)明的一種反射鏡支撐調整裝置結構示意圖；
[0012]圖2為本發(fā)明的一種反射鏡支撐調整裝置內部結構示意圖；
[0013]其中:1、反射鏡，2、轉動軸承，201、定位球窩，3、定位珠固定板，4、滑動臺，401、導向溝槽A，5、立板，501、導向溝槽B，6、底板，7、定位珠，8、滾珠。
【具體實施方式】
[0014]下面結合附圖對本發(fā)明的實施方式作進一步說明。
[0015]參見附圖1和附圖2，本發(fā)明的一種反射鏡支撐調整裝置包括轉動軸承2、滑動臺4、立板5和底板6 ；
[0016]兩個所述立板5垂直固定在底板6相對的兩個邊上，兩個立板5內側設置有導向溝槽B501，所述滑動臺4放置在底板6中間位置，所述滑動臺4和兩個立板5相對的側壁上設置有導向溝槽A401，滑動臺4的兩個側壁上的導向溝槽A401分別和兩個立板5上的導向溝槽B501配合相對滑動，所述轉動軸承2垂直放置在所述滑動臺4上方中間位置，反射鏡1設置在轉動軸承2上端，所述導向溝槽A401為圓弧形，所述圓弧形導向溝槽A401的圓心和反射鏡1球面球心處于同一高度，滑動臺4通過滾珠8和導向溝槽A401、導向溝槽B501放置在整個裝置的中心位置。
[00?7] 所述導向溝槽A401和導向溝槽B501配合處設置有滾珠8。
[0018]所述支撐調整裝置還包括定位珠固定板3和定位珠7，相對設置的兩個定位珠固定板3的下端固定在滑動臺4上表面，側壁和轉動軸承2外圓柱面貼合，定位珠固定板3和轉動軸承2外圓柱面貼合位置固定有滾珠8，所述轉動軸承2外圓柱面上圓周均布六個定位球窩201，所述定位球窩201和定位珠7位于同一水平面上。
[0019]本發(fā)明的運動過程為:反射鏡1安置于轉動軸承2上方，轉動軸承2帶動反射鏡1繞其軸向方向轉動。轉動軸承2的外圓周面上設置有六個均勻分布的定位球窩201。定位珠固定板3安置于滑動臺4上，將定位珠7固定，在轉動軸承2運動時，定位珠7將嵌入定位球窩201內，用于轉動軸承2的角度定位。所述滑動臺4兩側立面設置有導向溝槽，用于滾珠8的運動導向。轉動軸承2垂直安置于滑動臺4上方。通過以上調整裝置實現反射鏡1的轉動和擺動姿態(tài)的調整。
【主權項】
1.一種反射鏡支撐調整裝置，其特征在于，包括轉動軸承(2)、滑動臺(4)、立板(5)和底板(6)； 兩個所述立板(5)垂直固定在底板(6)相對的兩個邊上，兩個立板(5)內側設置有導向溝槽B(501)，所述滑動臺(4)放置在底板(6)中間位置，所述滑動臺(4)和兩個立板(5)相對的側壁上設置有導向溝槽A(401)，滑動臺(4)的兩個側壁上的導向溝槽A(401)分別和兩個立板(5)上的導向溝槽B(501)配合相對滑動，所述轉動軸承(2)垂直放置在所述滑動臺(4)上方中間位置，反射鏡(1)設置在轉動軸承(2)上端，所述導向溝槽A(401)為圓弧形，所述圓弧形導向溝槽A(401)的圓心和反射鏡(1)球面球心處于同一高度。2.根據權利要求1所述的一種反射鏡支撐調整裝置，其特征在于，所述導向溝槽A(401)和導向溝槽B (501)配合處設置有滾珠(8)。3.根據權利要求1或2所述的一種反射鏡支撐調整裝置，其特征在于，所述支撐調整裝置還包括定位珠固定板(3)和定位珠(7)，相對設置的兩個定位珠固定板(3)的下端固定在滑動臺(4)上表面，側壁和轉動軸承(2)外圓柱面貼合，定位珠固定板(3)和轉動軸承(2)夕卜圓柱面貼合位置固定有滾珠(8)，所述轉動軸承(2)外圓柱面上圓周均布六個定位球窩(201)，所述定位球窩(201)和定位珠(7)位于同一水平面上。
【專利摘要】一種反射鏡支撐調整裝置屬于反射鏡面形檢測技術領域，目的在于解決現有技術存在的功能單一和價格昂貴的問題，本發(fā)明的一種反射鏡支撐調整裝置包括轉動軸承、滑動臺、立板和底板；兩個所述立板垂直固定在底板相對的兩個邊上，兩個立板內側設置有導向溝槽B，所述滑動臺放置在底板中間位置，所述滑動臺和兩個立板相對的側壁上設置有導向溝槽A，滑動臺的兩個側壁上的導向溝槽A分別和兩個立板上的導向溝槽B配合相對滑動，所述轉動軸承垂直放置在所述滑動臺上方中間位置，反射鏡設置在轉動軸承上端，所述導向溝槽A為圓弧形，所述圓弧形導向溝槽A的圓心和反射鏡球面同心。實現被測試反射鏡轉動和擺動的姿態(tài)調整。
【IPC分類】G02B7/182, G02B7/198
【公開號】CN105445895
【申請?zhí)枴緾N201510962270
【發(fā)明人】張文龍, 于杰, 張海濤, 王輝, 苗亮, 劉鈺, 馬冬梅, 金春水
【申請人】中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
【公開日】2016年3月30日
【申請日】2015年12月21日