技術(shù)編號(hào)：9686449
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。極紫外光刻相關(guān)技術(shù)中，對(duì)光學(xué)元件面形檢測(cè)精度達(dá)到了亞納米量級(jí)，這對(duì)光學(xué)檢測(cè)技術(shù)提出了極高的要求。在高精度光學(xué)元件面形檢測(cè)方法中，要求被測(cè)試光學(xué)元件能繞其回轉(zhuǎn)中心按固定角度旋轉(zhuǎn)，并能夠以被測(cè)球面的球心為原點(diǎn)延球面切線方向做一定角度的擺動(dòng)，實(shí)現(xiàn)多維姿態(tài)調(diào)整?，F(xiàn)有技術(shù)中大多為獨(dú)立的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、轉(zhuǎn)臺(tái)、直線位移機(jī)構(gòu)和傾斜調(diào)整臺(tái)等，能同時(shí)滿足要求的產(chǎn)品很少，通過(guò)進(jìn)口的電機(jī)驅(qū)動(dòng)位移調(diào)整裝置價(jià)格極其昂貴，不適用于前期實(shí)驗(yàn)，不具備經(jīng)濟(jì)性。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提出一種反射鏡...
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