在本實(shí)施方式中，在對(duì)第一促動(dòng)器18以及第二促動(dòng)器21施加正的電壓時(shí)第三軸部25向+Z方向移動(dòng)，在施加負(fù)的電壓時(shí)第三軸部25向一 Z方向移動(dòng)。
[0094]同樣，第三主掃描電壓波形47與第四主掃描電壓波形49是相同的波形。因此，對(duì)第三促動(dòng)器23與第四促動(dòng)器24施加相同的波形的電壓。在對(duì)第三促動(dòng)器23以及第四促動(dòng)器24施加正的電壓時(shí)第四軸部26向+Z方向移動(dòng),在施加負(fù)的電壓時(shí)第四軸部26向一Z方向移動(dòng)。
[0095]在主掃描電壓波形中第一主掃描電壓波形41與第二主掃描電壓波形45是相同的波形，第三主掃描電壓波形47與第四主掃描電壓波形49為相同的波形。而且,第一主掃描電壓波形41與第三主掃描電壓波形47為反轉(zhuǎn)的波形。因此，對(duì)第一促動(dòng)器18以及第二促動(dòng)器21施加的電壓與對(duì)第三促動(dòng)器23以及第四促動(dòng)器24施加的電壓的極性正負(fù)相反。
[0096]接下來(lái)，如圖6 (b)所示，對(duì)第一促動(dòng)器18以及第二促動(dòng)器21施加負(fù)的電壓。此時(shí)對(duì)第三促動(dòng)器23以及第四促動(dòng)器24施加正的電壓。而且，第三軸部25向一 Z方向移動(dòng)，第四軸部26向+Z方向移動(dòng)。由此，位移部27以及可動(dòng)板30以垂直軸12為中心旋轉(zhuǎn)，所以反射面5a傾斜而朝向+X方向側(cè)。而且，入射至反射面5a的描繪用激光3朝向+X方向側(cè)行進(jìn)。
[0097]接下來(lái)，如圖6(c)所示，對(duì)第一促動(dòng)器18以及第二促動(dòng)器21施加O伏特的電壓。此時(shí)也對(duì)第三促動(dòng)器23以及第四促動(dòng)器24施加O伏特的電壓。然后，第一促動(dòng)器18?第四促動(dòng)器24不使第一梁部17以及第二梁部22彎曲。因此，第一梁部17以及第二梁部22返回到筆直的柱狀。由此，可動(dòng)板30不傾斜，反射面5a朝向+Z方向側(cè)。而且，入射至反射面5a的描繪用激光3朝向Z方向側(cè)行進(jìn)。
[0098]接下來(lái)，如圖6(d)所示，對(duì)第一促動(dòng)器18以及第二促動(dòng)器21施加正的電壓。此時(shí)對(duì)第三促動(dòng)器23以及第四促動(dòng)器24施加負(fù)的電壓。而且，第三軸部25向+Z方向移動(dòng)，第四軸部26向一 Z方向移動(dòng)。由此，位移部27以及可動(dòng)板30以垂直軸12為中心旋轉(zhuǎn)，所以反射面5a傾斜而朝向一 X方向側(cè)。而且，入射至反射面5a的描繪用激光3朝向一 X方向側(cè)行進(jìn)。
[0099]第一主掃描電壓波形41?第四主掃描電壓波形49是周期波形，所以在光掃描儀5的狀態(tài)按照?qǐng)D6 (a)、圖6 (b)、圖6 (C)、圖6 (d)的順序推移后，返回到圖6 (a)，反復(fù)圖6 (a)?圖6(d)。由此，可動(dòng)板30以垂直軸12為旋轉(zhuǎn)軸擺動(dòng)，描繪用激光3在X方向上掃描。另夕卜，主掃描電壓波形的頻率與第一振動(dòng)系統(tǒng)的扭轉(zhuǎn)共振頻率相等，所以通過(guò)共振振動(dòng)，第一促動(dòng)器18?第四促動(dòng)器24能夠使可動(dòng)板30大幅擺動(dòng)。
[0100]接下來(lái)，對(duì)以水平軸11為旋轉(zhuǎn)軸的可動(dòng)板30的擺動(dòng)進(jìn)行說(shuō)明。在副掃描電壓波形中第一副掃描電壓波形43與第三副掃描電壓波形48是相同的波形，第二副掃描電壓波形46與第四副掃描電壓波形50為相同的波形。而且，第一副掃描電壓波形43與第二副掃描電壓波形46為反轉(zhuǎn)后的波形。
[0101]如圖7(a)所示，在對(duì)第一促動(dòng)器18?第四促動(dòng)器24施加的電壓是O伏特時(shí)，第一促動(dòng)器18?第四促動(dòng)器24不使第一梁部17以及第二梁部22彎曲。因此，第一梁部17以及第二梁部22為筆直的柱狀。此時(shí)，反射面5a朝向Z方向，所以入射至反射面5a的描繪用激光3朝向Z方向側(cè)行進(jìn)。第一副掃描電壓波形43?第四副掃描電壓波形50是被同步的波形，按照每半周期，電壓成為O伏特。
[0102]接下來(lái)，如圖7(b)所示，對(duì)第一促動(dòng)器18以及第三促動(dòng)器23施加負(fù)的電壓。對(duì)第二促動(dòng)器21以及第四促動(dòng)器24施加正的電壓。而且，第一梁部17以及第二梁部22都以Y方向側(cè)向一 Z方向突出的方式彎曲，以一 Y方向側(cè)向Z方向突出的方式彎曲。由此，第三軸部25以及第四軸部26以水平軸11為旋轉(zhuǎn)軸逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)。而且，位移部27以及可動(dòng)板30朝向Y方向，所以反射面5a也以朝向Y方向的方式傾斜。而且，入射至反射面5a的描繪用激光3朝向Y方向側(cè)行進(jìn)。
[0103]接下來(lái)，如圖7(c)所示，對(duì)第一促動(dòng)器18以及第三促動(dòng)器23施加O伏特的電壓。此時(shí)也對(duì)第二促動(dòng)器21以及第四促動(dòng)器24施加O伏特的電壓。而且，第一促動(dòng)器18?第四促動(dòng)器24不使第一梁部17以及第二梁部22彎曲。因此，第一梁部17以及第二梁部22成為筆直的柱狀。由此，可動(dòng)板30不傾斜，反射面5a朝向Z方向側(cè)。而且，入射至反射面5a的描繪用激光3朝向Z方向側(cè)行進(jìn)。
[0104]接下來(lái)，如圖7(d)所示，對(duì)第一促動(dòng)器18以及第三促動(dòng)器23施加正的電壓。此時(shí)對(duì)第二促動(dòng)器21以及第四促動(dòng)器24施加負(fù)的電壓。而且，第一梁部17以及第二梁部22以Y方向側(cè)向+Z方向突出的方式彎曲，以一 Y方向側(cè)向一 Z方向突出的方式彎曲。由此，第三軸部25以及第四軸部26以水平軸11為旋轉(zhuǎn)軸順時(shí)針旋轉(zhuǎn)。而且，位移部27以及可動(dòng)板30朝向一 Y方向，所以反射面5a也以朝向一 Y方向的方式傾斜。而且，入射至反射面5a的描繪用激光3朝向一 Y方向側(cè)行進(jìn)。
[0105]第一副掃描電壓波形43?第四副掃描電壓波形50的副掃描電壓波形是周期波形，所以在光掃描儀5的狀態(tài)按照?qǐng)D7 (a)、圖7 (b)、圖7 (c)、圖7 (d)的順序推移后，返回到圖7(a)，反復(fù)圖7(a)?圖7(d)。由此，可動(dòng)板30以水平軸11為旋轉(zhuǎn)軸擺動(dòng)，描繪用激光3在Y方向上掃描。
[0106]與主掃描電壓波形的頻率相比，將副掃描電壓波形的頻率設(shè)定得極低。而且，將第二振動(dòng)系統(tǒng)的扭轉(zhuǎn)共振頻率設(shè)定為比第一振動(dòng)系統(tǒng)的扭轉(zhuǎn)共振頻率低。因此，抑制可動(dòng)板30以副掃描電壓波形的頻率以垂直軸12為旋轉(zhuǎn)軸擺動(dòng)。
[0107]如以上那樣，在光掃描儀5中，電壓施加部35將主掃描電壓波形以及副掃描電壓波形輸出至第一促動(dòng)器18?第四促動(dòng)器24。由此，使可動(dòng)板30以垂直軸12為旋轉(zhuǎn)軸以主掃描電壓波形的頻率擺動(dòng)，并使可動(dòng)板30以水平軸11為旋轉(zhuǎn)軸以副掃描電壓波形的頻率擺動(dòng)。而且，通過(guò)使可動(dòng)板30繞水平軸11以及垂直軸12這2個(gè)軸擺動(dòng)，來(lái)對(duì)被反射膜31反射的描繪用激光3進(jìn)行二維掃描。
[0108]控制部7具有控制描繪用光源單元4以及光掃描儀5的工作的功能。具體而言，控制部7驅(qū)動(dòng)光掃描儀5使可動(dòng)板30以水平軸11以及垂直軸12為旋轉(zhuǎn)軸擺動(dòng)。并且，控制部7與可動(dòng)板30的擺動(dòng)同步地使描繪用激光3從描繪用光源單元4射出。控制部7具備未圖示的接口，控制部7經(jīng)由接口而輸入從外部計(jì)算機(jī)發(fā)送的圖像數(shù)據(jù)?？刂撇?基于圖像數(shù)據(jù)，使規(guī)定的強(qiáng)度的激光3r、3g、3b從各激光光源8r、8g、8b以規(guī)定的時(shí)機(jī)射出。由此，光掃描儀5以規(guī)定的時(shí)機(jī)射出規(guī)定的顏色以及光強(qiáng)度的描繪用激光3。由此，在屏幕2上顯示與圖像數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的圖像。
[0109]圖8是用于說(shuō)明位移部的動(dòng)作的示意圖。圖8(a)是位移部27以水平軸11為旋轉(zhuǎn)軸順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)的圖。圖8(b)是位移部27成為水平時(shí)的圖。圖8(c)是位移部27以水平軸11為旋轉(zhuǎn)軸逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)的圖。
[0110]電壓施加部35對(duì)第一促動(dòng)器18?第四促動(dòng)器24通電，位移部27以副掃描電壓波形被驅(qū)動(dòng)。而且，位移部27以第三軸部25以及第四軸部26為旋轉(zhuǎn)軸，按照?qǐng)D8(a)、圖8 (b)、圖8 (C)、圖8 (b)、圖8 (a)所示的順序反復(fù)擺動(dòng)。
[0111]第一軸部28以及第二軸部29的一端支承可動(dòng)板30，第一軸部28以及第二軸部29的另一端與位移部27連結(jié)。而且，位移部27支承于第三軸部25以及第四軸部26。第一軸部28以及第二軸部29延伸的方向與第三軸部25以及第四軸部26延伸的方向正交?？蓜?dòng)板30繞垂直軸12的軸擺動(dòng)，位移部27繞水平軸11的軸擺動(dòng)。因此，可動(dòng)板30繞正交的2個(gè)方向的軸擺動(dòng)。
[0112]位移部27具備薄板構(gòu)造部27a和框部27b。框部27b接近第三軸部25以及第四軸部26，薄板構(gòu)造部27a位于遠(yuǎn)離第三軸部25以及第四軸部26的位置。在薄板構(gòu)造部27a未設(shè)置有方筒部34，所以比框部27b薄。而且，與薄板構(gòu)造部27a的厚度和框部27b的厚度相同時(shí)相比，光掃描儀5的位移部27的慣性力矩減小。位移部27的慣性力矩越小，越能夠減小驅(qū)動(dòng)位移部27所消耗的電力。因此，能夠減小驅(qū)動(dòng)光掃描儀5所消耗的電力。
[0113]在位移部27以水平軸11為旋轉(zhuǎn)軸擺動(dòng)時(shí)，位移部27使周圍產(chǎn)生氣流51。利用氣流51，薄板構(gòu)造部27a作為旋轉(zhuǎn)速度衰減的阻尼器發(fā)揮作用。而且，位移部27的擺動(dòng)針對(duì)頻率較高的成分阻力增大。由此，針對(duì)頻率較高的主掃描電壓波形的驅(qū)動(dòng)，能夠使位移部27難以反應(yīng)。因此，針對(duì)頻率較高的主掃描電壓波形的驅(qū)動(dòng)，能夠使可動(dòng)板30的以水平軸11為旋轉(zhuǎn)軸的擺動(dòng)難以被影響。其結(jié)果，能夠提高可動(dòng)板30的振動(dòng)性能。換句話說(shuō)，能夠使可動(dòng)板30繞垂直軸12與主掃描電壓波形對(duì)應(yīng)地?cái)[動(dòng)，使位移部27以及可動(dòng)板30繞水平軸11與副掃描電壓波形對(duì)應(yīng)地?cái)[動(dòng)。而且，能夠在使可動(dòng)板30繞水平軸11擺動(dòng)時(shí)，以不受主掃描電壓波形影響的方式使位移部27擺動(dòng)。
[0114]圖9以及圖10是用于說(shuō)明光掃描儀的制造方法的示意圖。接下來(lái)，基于圖9以及圖10，對(duì)光掃描儀5的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，制造構(gòu)造體14。如圖9(a)所示，準(zhǔn)備從圖中上側(cè)開始由第一娃層52、氧化膜15a、第二娃層53以及掩模氧化膜54層疊而成的層疊基板55。氧化膜15a以及掩模氧化膜54是由二氧化娃構(gòu)成的層，能夠氧化第二娃層53來(lái)形成。并不對(duì)各層的厚度進(jìn)行特別限定，但例如在本實(shí)施方式中，第一硅層52為40μπι左右，氧化膜15a為0.5 μ m左右，第二硅層53為250 μ m左右，掩模氧化膜54為0.5 μ m左右的厚度。
[0115]接下來(lái)，在層疊基板55上形成第一促動(dòng)器18?第四促動(dòng)器24的促動(dòng)器56。促動(dòng)器56依次層疊有第一金屬層56a、焦電體層56b、以及第二金屬層56c。第一金屬層56a從第一硅層52側(cè)開始依次層疊有銥、氧化銥、白金的層。銥具備取向控制的功能，氧化銥具備還原氣體阻隔的功能，白金具備作為種晶層的功能。第一金屬層56a例如利用濺射法成膜并圖案化而形成。以下，使用光刻法以及蝕刻法來(lái)進(jìn)行圖案化。
[0116]焦電體層56b的材質(zhì)能夠使用PZT (鋯鈦酸鉛)或者在PZT添加有Nb (鈮)的PZTN0焦電體層56b例如在利用濺射法、溶膠-凝膠法成膜后通過(guò)圖案化來(lái)形成。
[0117]第二金屬層56c的材質(zhì)是導(dǎo)電性良好的金屬即可，進(jìn)一步優(yōu)選具有耐熱性的金屬。在本實(shí)施方式中例如對(duì)于第二金屬層56c的材質(zhì)從焦電體層56b側(cè)開始依次層疊有白金、氧化銥、銥的層。白金具備取向匹配的功能，氧化銥具備還原氣體阻隔的功能，銥具備作為低電阻層的功能。另外，第一金屬層56a以及第二金屬層56c的材質(zhì)并不限于上述的例子，例如，也可以是金、銅、鐵、鋁、鋅、鉻、鉛、鈦等金屬、鎳鉻合金等合金。第二金屬層56c例如利用濺射法成膜并圖案化而形成。接下來(lái)，對(duì)焦電體層56b加熱。對(duì)焦電體層56b加熱的溫度并不特別限定，但在本實(shí)施方式中例如將焦電體層56b加熱到約400°C。PZT由于被加熱而使結(jié)晶生長(zhǎng)。
[0118]接下來(lái)，如圖9(b)所示，與第一硅層52以及促動(dòng)器56重疊形成抗蝕層57。使用旋涂法、浸潰法對(duì)抗蝕層57的材料進(jìn)行涂覆并干燥來(lái)形成抗蝕層57。接著，對(duì)抗蝕層57以及掩模氧化膜54進(jìn)行圖