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光學顯微鏡和及其控制方法_2

文檔序號:8227499閱讀:來源:國知局
次一個部分成像的樣品的光切分成為可能。在多個實施方案中,光學顯微鏡200可以是具有光切分能力的超快光學顯微鏡。
[0042]在多個實施方案中,掃描裝置202可以移動照明圖案以相繼地覆蓋樣品的整個視場。
[0043]在多個實施方案中,調制器設備203可以選擇性地將樣品的焦平面內的照明圖案的入射光強度分布作為時間的周期性函數(shù)調制,同時確保焦平面外的激發(fā)光強度可以至少基本上恒定。
[0044]在多個實施方案中,接收各個返回光的檢測器的各個部分的次序可以對應于通過照明圖案照明的樣品的各個部分的次序。
[0045]在多個實施方案中,檢測器的各個部分的彼此相對的各位置可以對應于樣品的各個部分的彼此相對的各位置。
[0046]在多個實施方案的內容中,引導至樣品的部分上的照明圖案和對應的返回光可以遵循至少基本上相同的光路或光程。
[0047]在多個實施方案的內容中,返回光可以由樣品的部分響應樣品的所述部分通過照明圖案,例如通過其中其光強度分布可以在樣品上對應于樣品的所述部分的焦平面內或上調制的照明圖案的照明而引發(fā)。
[0048]在多個實施方案的內容中,各返回光的任一個或每一個可以包括由樣品反射的照明圖案光或激發(fā)光的部分。在多個實施方案的內容中,各返回光的任一個或每一個可以包括由樣品發(fā)射的熒光或熒光性光。
[0049]在多個實施方案的內容中,掃描裝置202可以是用于移動照明圖案以一個接著另一個相繼地覆蓋樣品的各個部分的可移動鏡或反射鏡或光引導器。
[0050]在多個實施方案的內容中,掃描裝置202可以安置在光學顯微鏡200的照明光程中或沿其安置。掃描裝置202還可以安置在光學顯微鏡200的檢測光程的一部分中。檢測器設備204可以安置在光學顯微鏡200的檢測光程中或沿其安置。
[0051]在多個實施方案的內容中,檢測器設備204可以與掃描裝置202的運動或掃描運動同步。作為非限制性實例,掃描裝置202的運動可以與由檢測器設備204提供的觸發(fā)信號(例如幀觸發(fā)器)同步。
[0052]在多個實施方案中,照明圖案可以包括一個或多個點、像素或線中的至少一種。例如,照明圖案在樣品的視場內可以包括一個或多個的衍射受限制的點,或像素。作為非限制性實例,在照明圖案包括線的情況下,掃描裝置202可以進行樣品的線掃描,意味著可以將樣品一條線接著一條線掃描,每次一條線。在多個實施方案中,掃描裝置202可以是一維掃描裝置,例如其可以以一維形式(例如線)引導光。
[0053]在多個實施方案中,檢測器設備204可以包括檢測器。檢測器可以是可移動的。這可以意味著可以移動檢測器以使得檢測器的各個部分可以接收各返回光。
[0054]在多個實施方案中,掃描裝置202的運動或掃描運動可以與檢測器同步。在多個實施方案中,檢測器的移動可以與掃描裝置202的運動同步。這可以意味著可以將檢測器與掃描裝置202的運動同步移動。作為非限制性實例,檢測器的運動和掃描裝置202的運動可以與由檢測器提供的觸發(fā)信號(例如幀觸發(fā)器)同步。
[0055]在多個實施方案的內容中,與線檢測器或作為一維(ID)檢測器的傳感器不同,檢測器可以是二維(2D)檢測器。
[0056]在多個實施方案的內容中,檢測器可以是圖像傳感器。
[0057]在多個實施方案的內容中,檢測器可以是或可以包括能夠在照相機的各個部分上接收各返回光用于產生樣品的二維(2D)圖像的照相機。作為非限制性實例,照相機可以是電荷耦合裝置(CCD)照相機或互補金屬-氧化物-半導體(CMOS)照相機。
[0058]在多個實施方案中,檢測器設備204可以包括用于接收各個返回光的另一個掃描裝置,其他掃描裝置是可移動的以將各個返回光引導至檢測器的各個部分上以產生樣品的圖像??梢詫⒏鱾€返回光通過該另外的掃描裝置一個接著另一個引導至檢測器的各個部分上。
[0059]在多個實施方案中,其他掃描裝置的運動或掃描運動可以與掃描裝置202的運動或掃描運動同步。這可以意味著掃描裝置202和其他掃描裝置可以同步移動。
[0060]在多個實施方案中,掃描裝置202和其他掃描裝置的各自的運動可以與檢測器設備204或檢測器同步。作為非限制性實例,掃描裝置202和其他掃描裝置的各自的運動或掃描運動可以與由檢測器設備204或檢測器提供的觸發(fā)信號(例如幀觸發(fā)器)同步。
[0061]在多個實施方案的內容中,其他掃描裝置可以是用于將各個返回光引導至檢測器的各個部分上的可移動鏡或反射鏡或光引導器。
[0062]在多個實施方案中,其他掃描裝置可以構造用于將各個返回光一條線接著一條線引導至檢測器的各個部分上。在多個實施方案中,其他掃描裝置可以是一維掃描裝置,例如其可以以一維形式(例如線)引導光。
[0063]在多個實施方案中,光學顯微鏡200可以是掃描儀或雙掃描儀線掃描顯微鏡,例如掃描儀或雙掃描儀線-掃描共焦顯微鏡。在多個實施方案中,通過提供調制器設備203以調制照明圖案的光強度分布,光學顯微鏡200可以是掃描儀或雙掃描儀線掃描焦點調制顯微鏡(FMM)。
[0064]在多個實施方案中,檢測器設備204可以還包括用于將各個返回光聚焦至檢測器的各個部分上的檢測器透鏡。
[0065]在多個實施方案中,光學顯微鏡200可以還包括安置在掃描裝置202與檢測器設備204之間的檢測孔,用于排除至少一些起源于樣品沒有通過照明圖案照明的部分的光。這可以意味著可以在到達檢測器設備204之前排除或去除可以在各個返回光中存在的來自樣品的離焦光。在多個實施方案中,檢測孔可以是或可以包括縫。
[0066]在多個實施方案中,光學顯微鏡200可以還包括用于過濾各個返回光的濾光器(例如發(fā)射濾光器)。這可以移除從樣品反射的任何入射光。
[0067]在多個實施方案中,光學顯微鏡200可以還包括用于將照明圖案引導和聚焦至樣品上對應于樣品的所述部分的焦平面上的聚焦光學裝置(或聚焦組件)。這可以意味著聚焦光學裝置可以將照明圖案聚焦在樣品中的所選焦平面上。聚焦光學裝置可以包括聚焦透鏡、準直透鏡或物鏡中的至少一種。
[0068]在多個實施方案中,光學顯微鏡200可以還包括用于接收光和將光成形為入射光點的陣列(例如點陣列)以提供照明圖案的成形光學裝置。在多個實施方案中,入射光點的陣列可以排列成線。在多個實施方案中,成形光學裝置可以包括微透鏡陣列或衍射裝置。在采用入射光點的陣列的多個實施方案中,檢測孔可以包括對應于入射光點的陣列的多個開口。
[0069]在多個實施方案中,光學顯微鏡200可以還包括用于接收光和將光成形為線狀形式(或形狀)以提供照明圖案的成形光學裝置。在多個實施方案中,成形光學裝置可以包括線形成透鏡,例如柱面透鏡。
[0070]在多個實施方案中,光學顯微鏡200可以還包括安置在成形光學裝置與掃描裝置202之間的入射孔。入射孔可以是或可以包括縫。
[0071]在多個實施方案中,光學顯微鏡200可以還包括安置在入射孔與掃描裝置202之間用于以準直形式提供照明圖案的透鏡。
[0072]在多個實施方案中,光學顯微鏡200可以還包括安置在掃描裝置202與檢測器設備204之間的用于將各個返回光引導至檢測器設備204的光引導器。光引導器可以是分束器或二向色鏡。
[0073]在多個實施方案的內容中,分束器可以意指可以將光束以反射光和透射光的形式切分為兩束的光學裝置。分束器可以具有任何透射光與反射光的切分比,例如約30: 70至約70: 30,例如約30: 70,約40: 60,約50: 50,約60: 40或約70: 30的透射光:反射光比。
[0074]在多個實施方案的內容中,二向色鏡可以在反射其他顏色的同時選擇性地使小范圍的顏色(或波長)的光通過。
[0075]在多個實施方案中,調制器設備203可以包括時間相位調制器,其構造為接收光并且將光分解為兩個正交的偏振成分并且其后在兩個正交的偏振成分(例如E X和Εγ)之間引入相位差;以及空間相位調制器,其光耦合至時間相位調制器以接收兩個正交的偏振成分,空間相位調制器構造為將兩個正交的偏振成分空間分離并且其后將兩個正交的偏振成分轉換為一個偏振狀態(tài)或方向。這意味著由空間相位調制器接收的兩個正交的偏振成分在它們之間具有相位差。
[0076]在多個實施方案中,可以在兩個正交的偏振成分之間,例如作為時間的函數(shù)周期性地引入相位差。在多個實施方案中,時間相位調制器可以構造為在兩個正交的偏振成分的一個上引入可變相移(例如O至JO。在多個實施方案中,可以僅在兩個正交的偏振成分的一個上引入可變相移。
[0077]在多個實施方案中,空間相位調制器可以將兩個正交的偏振成分轉換為單個偏振狀態(tài)。
[0078]在多個實施方案的內容中,時間相位調制器可以包括構造為將光分解為兩個正交的偏振成分的半波片,以及構造為在兩個正交的偏振成分之間引入相位差的電光調制器。
[0079]在多個實施方案的內容中,半波片是改變或移動線偏振光的偏振狀態(tài)或方向的光學裝置。
[0080]在多個實施方案的內容中,電光調制器(EOM)是其中使用顯示電光效應的信號控制的元件調制光束的光學裝置,其中所述元件可以歸因于電光效應響應電場經歷其光學性質上的改變。
[0081]在多個實施方案的內容中,空間相位調制器可以包括構造為將兩個正交的偏振成分空間分離的空間偏光器,以及構造為將兩個正交的偏振成分轉換為一個偏振狀態(tài)的偏振分析器。
[0082]在多個實施方案中,空間偏光器可以包括用于選擇性地阻擋兩個正交的偏振成分中的一個的第一區(qū)域或區(qū),以及用于選擇性地阻擋兩個正交的偏振成分中的另一個的第二區(qū)域或區(qū)。在多個實施方案中,第一區(qū)域和第二區(qū)域可以肩并肩相鄰安置。在多個實施方案中,第一區(qū)域可以圍繞第二區(qū)域安置。在多個實施方案中,可以將空間偏光器分成兩半以在空間偏光器的各一半限定第一區(qū)域和第二區(qū)域。
[0083]在多個實施方案中,檢測器設備204可以包括構造為產生樣品的對應于通過照明圖案照明的樣品的各個部分的各個光學切分的圖像的處理器,其中所述處理器構造為將通過用于產生各個光學切分的圖像的檢測器產生的圖像(或原圖像)解調。在多個實施方案中,處理器可以構造為從各個返回光的每一個提取AC成分(例如調制成分)的振幅。在多個實施方案中,處理器可以包括用于通過解調通過檢測器拍攝的原圖像產生樣品的光學切分的圖像的圖像處理算法。
[0084]在多個實施方案中,光學顯微鏡200可以還包括構造為提供用于照明圖案的光的光源組件。在多個實施方案中,可以直接提供來自光源的光作為照明圖案,例如在沒有任何修改的情況下。
[0085]在多個實施方案中,光源可以構造為以線狀形式或形狀提供照明圖案。光源可以是縫狀光源以按線狀形式提供照明圖案。
[0086]在多個實施方案的內容中,光源可以是或可以包括一個或多個激光器。因此,在多個實施方案中,光學顯微鏡200可以是具有光切分能力的激光掃描顯微鏡。
[0087]在多個實施方案的內容中,用于入射光所使用的光可以具有約400nm至約700nm,例如約400nm至約500nm,約480nm至約700nm,或約480nm至
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