專利名稱：光波導(dǎo)器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光波導(dǎo)器件的結(jié)構(gòu)，該光波導(dǎo)器件在將一個完成光學(xué)分路、耦合、開關(guān)等作用的功能部件插入光波導(dǎo)的光路中時起作用。本發(fā)明特別涉及一種在功能部件的插入?yún)^(qū)域具有低傳輸損耗并易于制造的器件的結(jié)構(gòu)。
一個在一毫米量級的小區(qū)域內(nèi)完成光學(xué)分路、耦合、開關(guān)等作用的光學(xué)器件是使光通訊系統(tǒng)或光檢測器等減小尺寸或增加功能的一個非常重要的組成元件。例如這樣一種光學(xué)器件，即所謂分區(qū)插入式的光波導(dǎo)器件在近年來已引起人們的重視，所述的光波導(dǎo)器件借助插入在光波導(dǎo)中完成光學(xué)功能(例如光分路、耦合和開關(guān)等)的功能部件起作用。
在這種光波導(dǎo)器件中，例如光分路、耦合等功能通常是通過制造一個定向耦合器模型或一個光波導(dǎo)模型來完成，這類模型在一個波導(dǎo)襯底上具有一個例如成Y形或X波導(dǎo)的光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。其開關(guān)功能是通過改變向耦合器的傳播常數(shù)完成的。
同上述方法不同的方法可以通過將一個完成光分路、耦合和開關(guān)等功能的功能部件裝在波導(dǎo)襯底上形成的光波導(dǎo)光路上完成。


圖1示出一個為完成光分路功能的傳統(tǒng)的分區(qū)插入式光波導(dǎo)器件的結(jié)構(gòu)。在這個傳統(tǒng)的光波導(dǎo)器件中，用作分束的功能部件半透明反射鏡2被插在T形光波導(dǎo)1的相貫部分(需插入功能部件的插入?yún)^(qū)域)。半透明反射鏡2相對入射到它上面的光的光路成45°角。在這種傳統(tǒng)的光波導(dǎo)器件內(nèi)，光波導(dǎo)1的纖芯寬度是不變的(在纖芯和金屬之間的折射率之差也是常數(shù))。在這種結(jié)構(gòu)中，透過入射側(cè)光波導(dǎo)1a(半透明反射鏡2的入射側(cè))的光被半透明反射鏡2分束到透射側(cè)光波導(dǎo)1b(半透明反射鏡2出射側(cè)光波導(dǎo))和反射側(cè)光波導(dǎo)1c(半透明反射鏡2的反射側(cè)光波導(dǎo))中。
下面將描述這種傳統(tǒng)的光波導(dǎo)器件的制作步驟。用激光束加工等工藝除去事先在光波導(dǎo)襯底(在圖1中用一個矩形表示的部分上形成的T形光波導(dǎo)1的相貫區(qū)段(待插入那個光功能部件的插入?yún)^(qū)域)的部分，以便形成供插入半透明反射鏡2的間隙。然后將作為功能部件的半透明反射鏡2插入。
傳統(tǒng)的光波導(dǎo)器件是通過完成上述制作步驟制作的。
制作用于光分路的光波導(dǎo)器件步驟的例子如下將先在光波導(dǎo)襯底上形成的T形光波導(dǎo)1的相貫區(qū)域的部分用激光束加工等工藝除去，以便在去掉的那部分位置上插入一個功能部件(例如半透明反射鏡或分束鏡。然后將能完成所需要功能的功能部件插入到用激光工藝等形成的間隙中。通常制成這種光波導(dǎo)的材料和加工出的間隙具有不同的折射率，因此，由于在這個區(qū)段發(fā)生衍射而引起附加損耗。這種附加損耗是一種由于不同于傳輸光的衰減的其它因素引起的透射損耗。如果半透明反射鏡插入的位置不正確，使入射在這個半透明反射鏡上的光的傳播路徑發(fā)生改變，又再次引起附加損耗。
因此，為了精確插入功能部件，必需要以微米或亞微米精度的量級進行。采用本發(fā)明的光波導(dǎo)器件，不需要采用上述為了降低由衍射引起的附加損耗及提高差的分區(qū)插入精度的那種防范措施。此外，這種器件便于加工，且重復(fù)性好(不需要高精度的工藝)，并且同傳統(tǒng)的器件相比，能降低在插入?yún)^(qū)域的透射損耗。
本發(fā)明的光波導(dǎo)器件不限于用于光學(xué)分路的光波導(dǎo)器件，還可以適用于為完成光耦合，開關(guān)等功能而插入一個功能部件的其它分區(qū)插入式光波導(dǎo)器件。
本發(fā)明的光波導(dǎo)器件包括一個光波導(dǎo)襯底和一個在光波導(dǎo)襯底上形成的并具有一個傳輸光的纖芯及覆蓋在該芯上的包層的光波導(dǎo)。該光波導(dǎo)包括一個或至少兩個作為光信號透射光路的光波導(dǎo)區(qū);一個具有至少一個光信號的輸入/輸出端的插入?yún)^(qū)，用于完成所要求功能的光學(xué)部件被插入該插入?yún)^(qū)中;還包括一個具有直接同光波導(dǎo)區(qū)的一端相連接的第一輸入/輸出端和直接同插入?yún)^(qū)域的輸入/輸出端相連的第二輸入/輸出端的第一光連接區(qū)域。在插入?yún)^(qū)中的光傳輸模場寬度比光波導(dǎo)區(qū)任意部分的光的模場寬度大。
具體地說，第一光學(xué)連接區(qū)有一個適合于將具有傳輸光的不同模場寬度的插入?yún)^(qū)同光波導(dǎo)區(qū)相連的結(jié)構(gòu)。換句話說，第一光學(xué)連接區(qū)具有這樣一個結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)用于將從光波導(dǎo)區(qū)側(cè)入射的光的模場寬度改變?yōu)榘l(fā)射到插入?yún)^(qū)側(cè)的光模場寬度，或?qū)牟迦雲(yún)^(qū)側(cè)輸入的光的模場寬度變?yōu)榘l(fā)射到光波導(dǎo)區(qū)側(cè)的光的模場寬度。就一個具體結(jié)構(gòu)而言，第一光連接區(qū)的纖芯的尺寸(例如在相對光波導(dǎo)襯底的主面的水平方向的纖芯寬度)從同光波導(dǎo)區(qū)相連的第一輸入/輸出端朝向同插入?yún)^(qū)相連的第二輸入/輸出端是逐漸增加的。上述第一連接區(qū)的纖芯的尺寸從同光波導(dǎo)區(qū)相連的第一輸入/輸出端到同插入?yún)^(qū)相連的第二輸入/輸出端是逐漸減少的。這時，調(diào)整這個芯尺寸，使得在同插入?yún)^(qū)連接的表面附近的第一光連接區(qū)的纖芯尺寸比具有最小傳輸光模場寬度的纖芯尺寸小。在這種布置下，在沿著光波導(dǎo)襯底的表面的水平方向纖芯的截面形狀以予定的錐角沿光傳輸?shù)姆较蜃冋蜃儗?。換言之，這個纖芯截面的形狀可以類似一個梯形。
本發(fā)明光波導(dǎo)器件的光波導(dǎo)也可以包括一些插入?yún)^(qū)，在這種情況下，在每對插入?yún)^(qū)之間配置一個第二光連接區(qū)，以便提供一個同在這些插入?yún)^(qū)傳輸光的模場寬度基本相同的模場寬度。第二連接區(qū)的纖芯尺寸基本上同每對插入?yún)^(qū)的纖芯尺寸相同。這個纖芯尺寸在入射側(cè)和出射側(cè)基本上不變化。
如上所述，借助于將光波導(dǎo)區(qū)，第一和第二光連接區(qū)和插入?yún)^(qū)任意組合在光波導(dǎo)襯底上形成的光波導(dǎo)中，在配置有直接同插入?yún)^(qū)相連的那個第一和/或第二光連接區(qū)的纖芯和包層之間的折射率的差比在光波導(dǎo)區(qū)預(yù)定段的纖芯和外包層之間的折射率差小。
圖2示出了在本發(fā)明的光波導(dǎo)器件中的光波導(dǎo)的光軸產(chǎn)生偏離時的附加光損耗與軸偏離的關(guān)系曲線。圖2中虛線表示將傳輸光的模場寬度到8μm時光波導(dǎo)的情況，實線表示將傳輸光的模場寬度調(diào)到18μm時光波導(dǎo)的情況。
模斑尺寸是一個用二維表示的傳輸光的分布參數(shù)，該傳輸光是位于光波導(dǎo)襯底上的光波導(dǎo)的預(yù)定部分上的傳輸光。換句話說，假如將光波導(dǎo)垂直于光傳播方向切割，模斑尺寸意指在光波導(dǎo)的這個截面上具有預(yù)定光強或大于該預(yù)定光強的光分布尺寸。具體地說，可以通過將橫座標軸設(shè)定為離開纖芯的光軸的距離，將光強度設(shè)為縱軸來表示這種二維分布。
在本說明書中，在光波導(dǎo)襯底的水平方向的光強的光分布面積為1/e2或大于1/e2，其峰值被定義為模場。模場寬度統(tǒng)一由按上述方式限定模場的水平方向最大的總寬度限定。另一方面，模斑尺寸(通用的參數(shù))可以用來代替模場寬度，以便表示本發(fā)明的特性。
從圖2中可以明顯地看出，當(dāng)增大模場寬度時，由偏離光軸引起的附加光損耗的絕對值減少。換言之，附加光損耗的離軸相關(guān)性降低。因此，在本發(fā)明的光波導(dǎo)器件中，傳輸光的光波導(dǎo)光路具有一個使在插入一個光功能部件(例如半透明反射鏡或分束器)的插入?yún)^(qū)的模場寬度比在其它區(qū)的模場寬度增加的結(jié)構(gòu)。據(jù)此，即使不能準確地插入功能部件，同傳統(tǒng)的不能使模場寬度增加的情況相比，其附加光損耗可被抑制。
模場寬度隨著傳輸光的波長、在光波導(dǎo)纖芯和包導(dǎo)間的折射率的差、纖芯的寬度、纖芯的厚度等而改變。因此，在插入功能部件的插入?yún)^(qū)的模場寬度可以增加。如果將在插入?yún)^(qū)的輸入/輸出端的纖芯寬度調(diào)整到與其它區(qū)的纖芯寬度不同的數(shù)值(大于或小于其它區(qū)的纖芯寬)，就可以有效地改變模場寬度。
由于這個理由，根據(jù)本發(fā)明的方案，在第一和第二輸入/輸出端之間設(shè)置一個具有能使上面纖芯的尺寸(芯寬)線性變化的結(jié)構(gòu)的連接區(qū)。
圖3為表示位于光波導(dǎo)襯底上的光波導(dǎo)纖維的纖芯寬度和模場寬度之間關(guān)系的曲線圖，圖3所示的例子的光波導(dǎo)器件是通過將光波導(dǎo)調(diào)整成SiO2-TiO2型、在作為予期的光波導(dǎo)的纖芯和包層之間的折射率差為0.30%，纖芯的厚度為7μm而制成的。
從圖3中還可以看出，如果這個光波導(dǎo)上的光波導(dǎo)區(qū)的纖芯寬度例如為7μm時，則通過增大插入?yún)^(qū)內(nèi)的纖芯寬度使其大于7μm(由圖3中的P所指示的范圍)可使這個區(qū)(插入?yún)^(qū))的模場寬度增加。另一方面，如圖3所示，當(dāng)纖芯寬度減小到小于予定值時，模場寬度也增加。這是因為當(dāng)纖芯寬度減小時，纖芯的光功率限制能力超過其極限值，因此，在圖3的例子中，當(dāng)光波導(dǎo)區(qū)的纖芯寬度為4μm時，通過使插入?yún)^(qū)的纖芯寬度降低到約2μm在圖3中用Q指示的范圍)(注意上述所有纖芯寬度是在纖芯的厚度為7μm的情況下的值)可以提高模場寬度。
為了增加模場寬度，還可以采用一種使光波導(dǎo)的纖芯和包層之間的折射率差減少的措施。圖4為表示纖芯和包層之間的折射率的差同模場寬度之間的關(guān)系曲線圖。在圖4示出的例子的光波導(dǎo)器件中，其光波導(dǎo)被調(diào)整成SiO2-TiO2型，作為予期的光波導(dǎo)的寬度和厚度二者都被調(diào)整到2μm。
從圖4中可以看出，通過減少纖芯和包層間的折射率差可以增加模場寬度。
根據(jù)下述的詳細說明的附圖，可以更清楚地理解本發(fā)明，這些說明和附圖只是作為舉例而不應(yīng)認為是對本發(fā)明的限制。
從下述的詳細說明可以使本發(fā)明的使用范圍更加清楚，但是不難理解，在指出本發(fā)明的最佳實施例的同時，這個詳細說明和具體的例子只是作為舉例，因為本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上面的詳細說明可以在本發(fā)明的范圍內(nèi)作出各種改變和改型。
圖1為表明一個傳統(tǒng)的光波導(dǎo)器件的結(jié)構(gòu)視圖;
圖2表示將一個光學(xué)功能部件插入插入?yún)^(qū)后引起的光軸的偏差和在具有不同模場寬度的兩類光波導(dǎo)的每一個光波導(dǎo)中的附加光損耗之間的關(guān)系曲線;
圖3為表示纖芯寬度和具有恒定纖芯厚度的光波導(dǎo)的模場寬度之間的關(guān)系曲線圖;
圖4為表示在纖芯和覆蓋在纖芯上的包層之間折射率差和在光波導(dǎo)中傳輸?shù)墓饽鰧挾乳g的關(guān)系曲線圖;
圖5為表示本發(fā)明的完成光分路功能的一個實施例的光波導(dǎo)布置視圖;
圖6為用于說明圖5中所示的由該光波導(dǎo)構(gòu)成的光波導(dǎo)器件的各個區(qū)的視圖;
圖7為用于說明等同于圖5中所示的由該光波導(dǎo)構(gòu)成的光波導(dǎo)器件的各個區(qū)的視圖;
圖8為圖5所示的光波導(dǎo)器件和圖15中所示的光波導(dǎo)器件沿線X-X剖開的光波導(dǎo)區(qū)A剖視圖;
圖9為圖5和15中所示的光波導(dǎo)器件沿線Y-Y和Z-Z剖開的光波導(dǎo)區(qū)A的視圖;
圖10為圖5所示的光波導(dǎo)器件(20個樣品)的損耗頻率分布曲線圖;
圖11為圖1所示的傳統(tǒng)的光波導(dǎo)器件(20個樣品)的損耗頻率分布曲線圖;
圖12為在沿傳輸?shù)焦獠▽?dǎo)的光的傳播方向看去的連接區(qū)C的長度(錐長)和在本發(fā)明的光波導(dǎo)器件中的附加損耗之間的關(guān)系曲線圖;
圖13為表示作為在圖15中所示的光波導(dǎo)器件的比較例子的光波導(dǎo)型開關(guān)的結(jié)構(gòu)的視圖;
圖14為說明構(gòu)成在本發(fā)明的光波導(dǎo)器件應(yīng)用中的光波導(dǎo)的各個區(qū)域的視圖;
圖15為表示作為本發(fā)明的光波導(dǎo)器件一種應(yīng)用的光波導(dǎo)型開關(guān)結(jié)構(gòu)的視圖;
圖16為表示作為一個傳統(tǒng)的光波導(dǎo)器件的光波導(dǎo)型開關(guān)的結(jié)構(gòu)視圖，以便用于同圖15所示的光波導(dǎo)器件相比較;
圖17為表示圖13所示的那種光波導(dǎo)器件(20個樣品)的損耗頻率分布曲線圖;
圖18為表示圖15所示的那種光波導(dǎo)器件(20個樣品)的損耗頻率曲線圖;以及圖19為表示圖16所示的傳統(tǒng)的光波導(dǎo)器件(20個樣品)的損耗頻率曲線圖。
下面參考圖5-19描述本發(fā)明的光波導(dǎo)器件。注意在附圖中相同的部分用相同的標號表示，其具體說明從略。
圖5示出作為本發(fā)明光波導(dǎo)器件的一個典型實施例的具有光分路功能的分區(qū)插入式光波導(dǎo)器件的結(jié)構(gòu)。該光波導(dǎo)器件由一個波導(dǎo)襯底和一個形成在波導(dǎo)襯底上的T形隱埋式SiO2-TiO2光波導(dǎo)10組成。作為光功能部件的半透明反射鏡2插在光波導(dǎo)10的相貫部分(可能適合插入功能部件的插入?yún)^(qū))?？梢杂靡粋€介電薄膜作為這種光功能元件。
如圖6所示，光波導(dǎo)10至少由三種類型的區(qū)域A、B和C組成。
區(qū)域A是一個具有至少兩個輸入/輸出端的光波導(dǎo)區(qū)，區(qū)域A適合用作光傳輸?shù)耐ǖ馈?br> 區(qū)域B是一個至少具有一個透過光的輸入/輸出端的區(qū)域。這個區(qū)域是一個適合于插入一個用于完成予定功能的光功能元件的插入?yún)^(qū)。在區(qū)域B中傳輸?shù)墓獾哪鰧挾却笥谠诠獠▽?dǎo)區(qū)域的予定部分的光模場寬度。
區(qū)域C是一個具有直接同光波導(dǎo)區(qū)域的一個輸入/輸出端相連的第一輸入/輸出端和同插入?yún)^(qū)域的輸入/輸出端直接相連的第二輸入/輸出端的區(qū)域。區(qū)域C是可用于改變在其上的傳輸光的模場寬度的第一光連接區(qū)。
圖5、6和7所示的每種光波導(dǎo)器件都具有一個借助連續(xù)改變第一連接區(qū)C的纖芯寬度來改變傳輸光的模場寬度的結(jié)構(gòu)。
具體地說，可以利用濺射、化學(xué)氣相沉積火焰噴鍍等工藝制造形成在光波導(dǎo)襯底上的光波導(dǎo)10。如果打算形成以石英為基的光波導(dǎo)，則用火焰噴鍍是有效的，因為這樣可以降低損耗。用火焰噴鍍的方法制造SiO2-TiSO2光波導(dǎo)10的工藝公開在<<Optoronics>>(1992) No 6“Small-LOSS Quartz-Based Optical Waveguide”中，其內(nèi)容概括如下更具體地說，將利用在氫氧火焰中燃燒的SiCL4和TiCL4的氣體混合材料所獲得的細玻璃顆粒沉積在Si襯底(波導(dǎo)襯底)11上。在這種火焰噴鍍中對細玻璃顆粒的組分進行控制，借此形成一種由一個下層SiO2包層(作為光波導(dǎo)10的予期包層的一層)和一個SiO2-TiO2芯層(作為光波導(dǎo)10的纖芯)組成的兩層細顆粒膜層。
接著，在電爐中將上述二層細顆粒層(下層SiO2包層和SiO2-TiO2纖芯層)加熱到1000℃或更高溫度，以便形成一個透明的平面的光波導(dǎo)層。然后用活化離子刻蝕除去不需要的玻璃層部分而形成脊狀纖芯。
最后再用火焰噴涂工藝在纖芯上覆蓋一層SiO2頂包層，并使之變成一層透明玻璃層，以構(gòu)成光波導(dǎo)10的包層，從而制造出光波導(dǎo)器件。
圖5所示的由入射側(cè)(功能部件的入射側(cè))，透射側(cè)和反射側(cè)(二者均在該功能部件的反射側(cè))的光波導(dǎo)10a、10b和10c構(gòu)成的實施例中，每個連接區(qū)域C的纖芯寬度在朝向功能部件的T形插入?yún)^(qū)(具有三個輸入/輸出端)的方向以錐形方式增加。
此外，在圖7所示的由入射側(cè)(功能部件的入射側(cè))，透射側(cè)和反射側(cè)(二者均在該功能部件的反射側(cè))的光波導(dǎo)10a、10b和10c構(gòu)成的實施例中，每個連接區(qū)域C的纖芯寬度在朝向功能部件的T型插入?yún)^(qū)(具有三個輸入/輸出端)的方向呈錐形減小。在按這個錐度變寬之前的光波導(dǎo)部分(例如光波導(dǎo)區(qū)A)纖芯寬度W1為例如7μm。更具體地說，這種情況相當(dāng)于圖5中的由線X-X指示的那部分(12b的纖芯寬度。圖8為該光波導(dǎo)的這部分的剖視圖。在插入?yún)^(qū)域B的纖芯寬度W2是例如20μm。更具體地說，這相當(dāng)于圖5中的線Y-Y指示的那部分12a的纖芯寬度。圖9為插入?yún)^(qū)B的剖視圖。第一光連接區(qū)域C的長度為2mm，在區(qū)域C內(nèi)纖芯寬度是按照同光軸(即同錐體長度L)成予定的錐角逐漸變化的。纖芯12a或12b的厚度T保持2μm不變，纖芯12a或12b同包層13之間的折射率之差為0.3%。
半透明反射鏡2插入在光波導(dǎo)10上加工或T形的插入?yún)^(qū)B中。半透明反射鏡2相對通過入射側(cè)光波導(dǎo)10a的入射光的光軸成45°固定?？梢杂酶鞣N方法固定半透明反射鏡。通常是用適合的方法(例如激光束加工，化學(xué)蝕刻或機械切削等)在光波導(dǎo)10的插區(qū)B的相應(yīng)部分加工出一道供插入半透明反射鏡用的槽。然后將半透明反射鏡插入在這個成形槽中。
具體地說，本實施例的半透明反射鏡的厚度為15μm，垂直和水平側(cè)長各是1mm，這個半透明反射鏡2被設(shè)計為對波長為1.31μm的光的透射率和反射率各為50%。
在上述結(jié)構(gòu)中，在光波導(dǎo)區(qū)A中的纖芯12b的寬度是7μm，其模場寬度約8μm。在位于半透明反射鏡2附近插入?yún)^(qū)B輸入/輸出端的纖芯12a的寬度為20μm。于是，當(dāng)波長為1.31μm的光入射到光波導(dǎo)10a的入射側(cè)時，此光的模場在水平方向被拉長，因此此光在第一光連接區(qū)C靠近半透明反射鏡2。當(dāng)光入射在插入?yún)^(qū)B時，50%的入射光被引導(dǎo)到透射側(cè)光波導(dǎo)10b，而入射光的其余50%由半透明反射鏡2引導(dǎo)到反射側(cè)光波導(dǎo)10c中。
此時，應(yīng)研究由于在插入?yún)^(qū)B的半透明反射鏡2的插入定位精度差而使透射和反射光的光軸偏離的情況。在這種情況下，因為模場寬度增加，所以使光以小的損耗按照參考圖2的上述方式傳輸?shù)礁鞫喂獠▽?dǎo)10b和10c中。利用圖10和圖11可以進一步說明其損耗降低的效果。
更具體地說，圖10為損耗頻率分布曲線圖，圖中曲線評價了在反射側(cè)光波導(dǎo)10c中的附加損耗，它是用20個各自具有上述結(jié)構(gòu)的光波導(dǎo)器件得出的。圖11是纖芯厚度恒定為7μm并將其它條件調(diào)整到同上述結(jié)構(gòu)相同的情況下的傳統(tǒng)光波導(dǎo)器件的損耗頻率分布曲線圖。
上述附加損耗被認為主要是由于在制造過程中半透明反射鏡2的定位精度差而使反射光的光軸和反射側(cè)的光波導(dǎo)10c的纖芯12a的中心不對中引起的。從圖10和圖11的對比可以看出，在本發(fā)明的光波導(dǎo)器件中，上述附加損耗小于傳統(tǒng)的光波導(dǎo)器件的附加損耗，并且光的損耗的重復(fù)性也獲得了改善。也就是說，本發(fā)明的光波導(dǎo)器件受插入精度的影響較小。
在上述實施例中，通過增加相應(yīng)于待半透明反射鏡2插入的那個插入?yún)^(qū)B的一個輸入/輸出端的一部分上的纖芯12a的寬度，使之大于光波導(dǎo)區(qū)A的纖芯12b的寬度而使上述模場寬度增加。如上所述，該模場寬度也可以通過減小纖芯寬度獲得。當(dāng)在同上述實施例的工作狀態(tài)相同的實施例中的纖芯寬度是7μm時，可以通過將在待插入半透明反射鏡2的插入?yún)^(qū)B的一個輸入/輸出端處的纖芯12a的寬度減小到2μm或更小來增加模場寬度。在這種情況下，同樣可以使附加損耗以同使纖芯寬度增加的場合下相同的方式降低(圖3中的范圍Q)。
即使上述纖芯寬度是不變的，通過使插入?yún)^(qū)B的一個輸入/輸出端處的纖芯12a和包層13間的折射率差降低成小于光波導(dǎo)區(qū)A的纖芯12b和包層13之間的折射率差，也可以增加這個模場寬度(圖4)。為了局部降低比折射率中的差，可以局部地降低在插入?yún)^(qū)B的纖芯12a的折射率。具體地說，在上述的實施例中，通過使SiO2-TiO2纖芯12a中的TiO2擴散到周圍的包層13中可以降低折射率。
在上述實施例中，SiO2-TiO2光波導(dǎo)被示出為光波導(dǎo)10，此外，SiO2-GeO2光波導(dǎo)也可以用作低損耗的光波導(dǎo)。當(dāng)使用SiO2-GeO2光波導(dǎo)時，為了降低纖芯的折射率，可以GeO2從光波導(dǎo)上的一個所要求的部分擴散。
上面已經(jīng)描述了為了提供光分路功能而在光波導(dǎo)10的T形插入?yún)^(qū)B內(nèi)插入半透明反射鏡2的光波導(dǎo)器件。本發(fā)明不限于這個特定的實施例，它也可以適用于能完成光開關(guān)、耦合等功能的其它光波導(dǎo)器件。
通過計算可獲得錐體長度L(沿光通過方向看去的連接區(qū)B的長度)和附加損耗間的關(guān)系，其中所用的光波導(dǎo)的纖芯寬度按照7μm-20μm-7μm的錐部形狀(纖芯的寬度逐漸增加或減小)變化。圖12示出與光波導(dǎo)有關(guān)的數(shù)據(jù)，在該光波導(dǎo)中，光波導(dǎo)區(qū)A，第一光連接區(qū)C，插入?yún)^(qū)B，第一光連接區(qū)C和光波導(dǎo)區(qū)A按上述方式串聯(lián)連接。
從圖12中可以看出，當(dāng)錐體長度為600μm或更長時，可以將損耗減到足夠小的程度。
此外，由于上述影響，當(dāng)具有長度(錐體長度)為600μm或更大的兩個第一光連接區(qū)C(在上述實施例中為800μm)直接同插入?yún)^(qū)B的四個輸入/輸出端(功能部件的入射側(cè)和出射側(cè))相連，而且每個都具有這種結(jié)構(gòu)的四個插入?yún)^(qū)B以方陣的形式構(gòu)成為一個光波導(dǎo)時，就構(gòu)成一個在每個插入?yún)^(qū)B內(nèi)相對入射光的光軸成45°角插入一些半透明反射鏡的光波導(dǎo)型開關(guān)。在具有這種結(jié)構(gòu)的光波導(dǎo)器件中，如圖13所示，兩個第一光波導(dǎo)連接區(qū)C和一個光波導(dǎo)區(qū)A位于每對插入?yún)^(qū)B之間，使該光波導(dǎo)器件的尺寸相應(yīng)增加。通過將半透明反射鏡2(圖13中未示出)相對相應(yīng)的光波導(dǎo)10傳輸?shù)墓獾墓廨S成45°角固定在各自的每個插入?yún)^(qū)域B中或者將半透明反射鏡2移開，便可制成一個能夠沿直線透射光或改變光的傳播路徑的光波導(dǎo)型開關(guān)。
本發(fā)明也可以適用于在光波導(dǎo)中插入一個濾光片以便選擇光的波長的光波導(dǎo)器件。當(dāng)插入濾光片時，很少引起離軸附加損耗。可是因為可以通過增加模場寬度降低由于在為插入濾光片而加工出的槽和光波導(dǎo)之間的折射率的差引起的附加損耗。所以本發(fā)明也適用于這類光波導(dǎo)器件。
作為本發(fā)明的光波導(dǎo)器件的應(yīng)用，不面將描述由若干個插入?yún)^(qū)B構(gòu)成的用于完成上述光開關(guān)、耦合等功能的光波導(dǎo)器件(圖14和15)。
如上所述，本發(fā)明的光波導(dǎo)是通過改變每個區(qū)域內(nèi)的纖芯寬度而形成的，從而使在每個插入?yún)^(qū)域B傳輸光的模場寬度變?yōu)榇笥谠谙鄳?yīng)的光波導(dǎo)區(qū)域A中傳輸?shù)墓獾哪鰧挾?。此外，為了防止由于纖芯寬度陡變而增加附加損耗，將纖芯寬度從第一輸入/輸出端到第二輸入/輸出端逐漸變化的第一光波導(dǎo)連接區(qū)C配置在插入?yún)^(qū)B和光波導(dǎo)區(qū)A之間。
圖14示出本發(fā)明的光波導(dǎo)器件的一種應(yīng)用。值得注意的是，插入?yún)^(qū)B和第一光連接區(qū)C可以具有圖7中所示的那種結(jié)構(gòu)。
參考圖14，每個光波導(dǎo)10都有一個至少帶有兩個輸入/輸出端的光波導(dǎo)區(qū)A，區(qū)域A適合作為透射光通路，并相對該光束提供一個予定的模場寬度。每個光波導(dǎo)10也都有一個至少帶有一個光輸入/輸出端的插入?yún)^(qū)B，區(qū)域B適合于插入一個用于實現(xiàn)予定功能的光功能部件。在區(qū)域B傳輸?shù)墓獾哪鰧挾缺仍诠獠▽?dǎo)區(qū)域A予定部分中傳輸?shù)墓獾哪鰧挾却?。每個光波導(dǎo)10還都有帶有直接同光波導(dǎo)區(qū)A的一個輸入/輸出端相連的第一輸入/輸出端和直接同插入?yún)^(qū)B的那個輸入/輸出端相連的第二輸入/輸出端的第一連接區(qū)C，以便改變在其中傳輸光的模場寬度。
另外，光波導(dǎo)10有一個帶有直接同一個插入?yún)^(qū)域B的那個輸入/輸出端相連的第一輸入/輸出端和直接同另一個插入?yún)^(qū)B的那個輸入/輸出端相連的第二輸入/輸出端的第二光連接區(qū)D。第二光連接區(qū)D的第一和第二輸入/輸出端的纖芯尺寸等于同第二光連接區(qū)D相連的相應(yīng)的插入?yún)^(qū)B的那個輸入/輸出端的纖芯尺寸。因此，在插入?yún)^(qū)B內(nèi)傳輸?shù)墓獾哪鰧挾纫驳扔谠诘诙B接區(qū)D傳輸?shù)墓獾哪鰧挾取?br> 更具體地說，如圖15所示，在傳輸光通過幾段插入?yún)^(qū)B之前，第一光連接區(qū)域C的纖芯寬度是遞增的。也就是說，在光的單程增加的模場寬度由第二光連接區(qū)域D保持的條件下，傳輸光通過上述幾段插入?yún)^(qū)B，然后該模場寬度通過第一光連接區(qū)域C恢復(fù)到原來的尺寸。借助這種結(jié)構(gòu)，使光波導(dǎo)器件的尺寸減小并使光功能部件的集成度提高。
為了進一步證明本發(fā)明的上述光波導(dǎo)器件(圖15)的效果，本發(fā)明人在實驗的基礎(chǔ)上制出了下述光波導(dǎo)器件(1)一種作為一個第一對比例子的光波導(dǎo)型開關(guān)如圖13所示，它由四個以方陣的形式組成的插入?yún)^(qū)B加工而成，然后在每對插入?yún)^(qū)B之間沉積一個光波導(dǎo)區(qū)A和第一光連接區(qū)C。在這個光波導(dǎo)器件(第一對比例子)中，纖芯和包層之間的折射率之差是0.3%，纖芯寬度為7μm。光波導(dǎo)區(qū)A的纖芯寬度是7μm，插入?yún)^(qū)B的纖芯寬度為20μm。用于使纖芯寬度從7μm變化到20μm或從20μm變化到7μm的第一光連接區(qū)C的長度(即錐體長度L)為800μm，在每對插入?yún)^(qū)B的纖芯的中心間的距離為1850μm。
(2)作為本發(fā)明光波導(dǎo)器件的一個應(yīng)用，所制作的一種光波導(dǎo)型開關(guān)如圖15所示。在這種光波導(dǎo)器件中，纖芯和包層之間的折射率差是0.3%，纖芯的寬度為7μm，四個插入?yún)^(qū)B組成一個方陣。位于每對插入?yún)^(qū)B之間的每個第二光連接區(qū)域D的纖芯寬度為20μm，這個寬度同每個插入?yún)^(qū)B的纖芯寬度相同。用于使纖芯寬度從7μm變化到20μm或從20μm變化到7μm的第一光連接區(qū)域C的長度(即錐體長度L)為800μm，在每對插入?yún)^(qū)B之間的纖芯中心之間距離為250μm。注意，在圖13和15中的各部分的尺寸和相應(yīng)的指示值不一定以相同的比例給出。
(3)作為一個第二對比例子的光波導(dǎo)開關(guān)是加工成傳統(tǒng)的光波導(dǎo)器件(如圖16所示)。在這個傳統(tǒng)的光波導(dǎo)器件(第二對比例子)中，光波導(dǎo)的纖芯和包層之間的折射率的差是0.3%，纖芯的寬度保持7μm不變，在光波導(dǎo)1的相貫部分的纖芯中心之間距離為250μm。
對于三種類型的光波導(dǎo)器件的每種都制作20個作為用于波長為1.31μm的光的光開關(guān)的光波導(dǎo)器件樣品，然后對在反射側(cè)的附加損耗進行評價，其結(jié)果示于圖17至19中。
圖17為表示第一對比例子的附加損耗頻率分布的曲線圖。圖18為表示本發(fā)明光波導(dǎo)器件附加損耗分布的曲線圖。圖19為表示第二個對比例子(傳統(tǒng)的光波導(dǎo)器件如圖16所示)的附加損耗頻率分布的曲線圖。
這種附加損耗被認為主要是由于半透明反射鏡的插入定位的精度差而使反射光的光軸和反射側(cè)的光波導(dǎo)纖芯的中心不對中而引起的。從圖17-19可以看出，當(dāng)將第一對比例子的光波導(dǎo)器件和本發(fā)明的光波導(dǎo)器件(圖15)同第二對比例子的光波導(dǎo)器件(傳統(tǒng)的光波導(dǎo)器件)對比時，說明了在待插入半透明反射鏡2(光功能部件)的插入?yún)^(qū)B中具有錐狀纖芯的光波導(dǎo)10的附加損耗比具有一個寬度不變的纖芯的光波導(dǎo)1(第二對比例子)的附加損耗小，并且損耗的復(fù)測不變性也獲得改善。
當(dāng)將第一對比例子同本發(fā)明的光波導(dǎo)器件對比時，說明了本發(fā)明的光波導(dǎo)器件具有比較小的損耗，而且其尺寸比第一對比例子中的器件尺寸小得多。換言之，如果圖14中的光波導(dǎo)器件可以提供同第一個對比例子相同的效果，則其尺寸可以縮小。
上述圖5中示出的光波導(dǎo)器件的其它一些例子(可適用的實施例)可以適用于在圖15中的光波導(dǎo)器件。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的方案，為了增加光波導(dǎo)的待插入一個功能部件(例如一個反射鏡)的插入?yún)^(qū)的模場寬度，使這大于光波導(dǎo)區(qū)的模場寬度，可以在插入?yún)^(qū)和光波導(dǎo)區(qū)之間以緊密接觸的方式配置一個連接區(qū)域，借此完成所需要的功能。因此，同傳統(tǒng)的光波導(dǎo)器件相比，可以使由于功能部件插入引起的透射損耗降低。
另外，根據(jù)本發(fā)明的應(yīng)用，若本發(fā)明的光波導(dǎo)器件同傳統(tǒng)的光波導(dǎo)器件具有相同的效果，則可以使本發(fā)明的光波導(dǎo)器件尺寸進一步縮小。這些光波導(dǎo)器件可以用作使光通訊系統(tǒng)、光傳感器件等的尺寸減少和性能改進的光學(xué)器件。因此，可以提供一種易于批量生產(chǎn)而不需高精度工藝的光波導(dǎo)器件。
根據(jù)本發(fā)明的上述描述，本技術(shù)領(lǐng)域的普通專業(yè)人員可以在本發(fā)明的限定范圍內(nèi)作出各種改型和等同替換，所有這些改型和等同替換都是顯而易見的，并都在本發(fā)明后附的權(quán)利要求書的限定范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種光波導(dǎo)器件，包括一個光波導(dǎo)襯底和一個位于所述波導(dǎo)襯底上并由里面能傳輸光的纖芯和覆蓋在所述纖芯上的包層構(gòu)成的光波導(dǎo)，所述的光波導(dǎo)具有帶有一個至少具有兩個輸入/輸出端的光波導(dǎo)區(qū)，所述的光波導(dǎo)區(qū)適合作為光的透射通路；帶有至少一個輸入/輸出端的插入?yún)^(qū)，在該區(qū)內(nèi)傳輸光的模場寬度大于所述光波導(dǎo)區(qū)的予定部分傳輸光的模場寬度，所述插入?yún)^(qū)適合于插入用于完成一予定功能的光功能部件；以及帶有直接同所述光波導(dǎo)區(qū)的一個輸入/輸出端相連的第一輸入/輸出端和直接同所述插入?yún)^(qū)的所述輸入/輸出端相連的第二輸入/輸出端的第一光連接區(qū)，所述第一光連接區(qū)適合作為一個改變在里面?zhèn)鬏敼獾哪鰧挾鹊膮^(qū)域。
2.如權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，所述的第一光連接區(qū)的所述第一輸入/輸出端具有同所述的光波導(dǎo)區(qū)的所述的一個輸入/輸出端的纖芯尺寸相同的纖芯尺寸，以及所述第一光連接區(qū)的所述第二輸入/輸出端具有同所述的插入?yún)^(qū)的那個輸入/輸出端的纖芯尺寸相同的纖芯尺寸，所述的第二輸入/輸出端的纖芯尺寸大于所述第一輸入/輸出端的纖芯尺寸。
3.如權(quán)利要求2所述的器件，其特征在于，所述第一光連接區(qū)纖芯的截面為錐形，其在相對所述波導(dǎo)襯底的主平面的水平方向沿從第一光連接區(qū)的所述第二輸入/輸出端到第一輸入/輸出端的方向相對所述纖芯的光軸成一予定錐角。
4.如權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于所述的第一光連接區(qū)的所述第一輸入/輸出端的纖芯尺寸同所述的光波導(dǎo)區(qū)的纖芯尺寸相同，以及所述第一光連接區(qū)的所述第二輸入/輸出端的纖芯尺寸同所述插入?yún)^(qū)的所述這輸入/輸出端的纖芯尺寸相同，所述第二輸入/輸出端的纖芯尺寸小于所述第一輸入/輸出端的纖芯尺寸，而且比一個將所述第一連接區(qū)的傳輸光的模場寬度限制到最小的纖芯尺寸還小。
5.如權(quán)利要求4所述的器件，其特征在于所述的第一光連接區(qū)的纖芯截面為錐形，其在相對所述襯底主平面的水平方向沿從第一光連接區(qū)的所述第一輸入/輸出端到第二輸入/輸出端的方向相對所述纖芯的光軸成一予定錐角。
6.如權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于包括所述的插入?yún)^(qū)和所述的第一光連接區(qū)的區(qū)域中的纖芯和包層之間的折射率的差小于在所述光波導(dǎo)區(qū)的予定部分中的纖芯和包層之間的折射率的差。
7.如權(quán)利要求6所述的器件，其特征在于在所述的第一光連接區(qū)的纖芯和包層之間的折射率差在沿第一光連接區(qū)的所述第一輸入/輸出端到第二輸入/輸出端的方向是連續(xù)減小的。
8.如權(quán)利要求1所述的器件，還包括帶有直接同一個插入?yún)^(qū)的一個輸入/輸出端相連的第一輸入/輸出端和直接同另一插入?yún)^(qū)的一個輸入/輸出端相連的第二輸入/輸出端的第二光連接區(qū)，在所述第二光連接區(qū)內(nèi)傳輸?shù)墓獾哪鰧挾鹊扔谕龅诙膺B接區(qū)域相連的插入?yún)^(qū)內(nèi)傳輸?shù)墓獾哪鰧挾取?br> 9.如權(quán)利要求8所述的器件，其特征在于所述第二光連接區(qū)的所述第一和第二輸入/輸出端的纖芯尺寸等于同所述的第二光連接區(qū)相連的所述插入?yún)^(qū)的所述那些輸入/輸出端的纖芯尺寸，同所述第二光連接區(qū)相連的所述那些插入?yún)^(qū)的纖芯尺寸大于在所述光波導(dǎo)區(qū)予定部分的纖芯尺寸。
10.如權(quán)利要求9所述的器件，其特征在于同所述第二光連接區(qū)相連的所述插入?yún)^(qū)具有至少一個同所述第一光連接區(qū)的所述第二輸入/輸出端相連的輸入/輸出端，所述第一光連接區(qū)的纖芯截面為錐形，其在相對所述波導(dǎo)襯底主平面的水平方向沿從第一光連接區(qū)的所述第二輸入/輸出端到第一輸入/輸出端的方向同所述纖芯的光軸成一予定的錐角。
11.如權(quán)利要求8所述的器件，其特征在于上述第二光連接區(qū)的所述第一和第二輸入/輸出端的纖芯尺寸等于同所述第二光連接區(qū)相連的所述插入?yún)^(qū)的所述輸入/輸出端的纖芯尺寸，所述的同第二光連接區(qū)相連的插入?yún)^(qū)的纖芯尺寸小于所述光波導(dǎo)區(qū)的預(yù)定部分的纖芯尺寸，并且小于使在同所述第二光連接區(qū)相連的所述插入?yún)^(qū)傳輸?shù)墓獾哪鰧挾缺M可能小的纖芯尺寸。
12.如權(quán)利要求11所述的器件，其特征在于同所述的第二光連接區(qū)相連的所述插入?yún)^(qū)具有至少一個同所述第一光連接區(qū)的第二輸入/輸出端相連的輸入/輸出端，所述的第一光連接區(qū)的纖芯截面為錐形，其在相對所述波導(dǎo)襯底的主平面為水平方向上沿從第一光連接區(qū)的第一輸入/輸出端到第二輸入/輸出端的方向同所述的纖芯的光軸成一預(yù)定錐角。
13.如權(quán)利要求8所述的器件，其特征在于在所述第二光連接區(qū)中的纖芯和包層之間的折射率差等于在同第二連接區(qū)相連的插入?yún)^(qū)中的纖芯和包層之間的折射率差，并小于所述光波導(dǎo)區(qū)的預(yù)定部分中的纖芯和包層之間的折射率差。
14.如權(quán)利要求13所述的器件，其特征在于，所述的同第二光連接區(qū)相連的插入?yún)^(qū)具有至少一個同所述第一光連接區(qū)的第二輸入/輸出端相連的輸入/輸出端，在所述的第一光連接區(qū)內(nèi)的纖芯和包層之間的折射率的差沿從第一光連接區(qū)的第一輸入/輸出端到第二輸入/輸出端方向連續(xù)減少。
15.一種光波導(dǎo)器件包括一個波導(dǎo)襯底;和一個位于所述波導(dǎo)襯底上并由用于里面?zhèn)鬏敼獾睦w芯和覆蓋所述纖芯的包層構(gòu)成的光波導(dǎo)，所述的光波導(dǎo)具有一個帶有至少兩個輸入/輸出端的光波導(dǎo)區(qū)，所述的光波導(dǎo)區(qū)適合于作為光透射的通路;一個帶有至少一個輸入/輸出端的插入?yún)^(qū)，該輸入/輸出端的纖芯尺寸大于在所述光波導(dǎo)區(qū)的預(yù)定部分的纖芯尺寸，所述插入?yún)^(qū)適合于插入一個用于完成預(yù)定功能的光功能部件;以及一個具有直接同所述的光波導(dǎo)區(qū)的一個輸入/輸出端相連的第一輸入/輸出端和直接同所述的插入?yún)^(qū)的所述輸入/輸出端相連的第二輸入/輸出端的第一光連接區(qū)，所述第一輸入/輸出端的纖芯尺寸等于所述光波導(dǎo)區(qū)的所述輸入/輸出端的纖芯尺寸，所述第二輸入/輸出端的纖芯尺寸等于所述插入?yún)^(qū)的所述輸入/輸出端的纖芯尺寸。
16.如權(quán)利要求15所述的器件，其特征在于所述的第一光連接區(qū)的纖芯截面為錐形，其在相對所述波導(dǎo)襯底的主平面的水平方向沿從第一光連接區(qū)的第二輸入/輸出端到第一輸入/輸出端的方向同所述的纖芯的光軸成一個預(yù)定的錐角。
17.如權(quán)利要求15所述的器件，還包括一個具有直接同一個插入?yún)^(qū)的一個輸入/輸出端相連的第一輸入/輸出端和一個直接同另一個插入?yún)^(qū)的一個輸入/輸出端相連的第二輸入/輸出端的第二光連接區(qū)，所述的第二光連接區(qū)的所述第一和第二輸入/輸出端的纖芯尺寸等于同所述第二光連接區(qū)相連的插入?yún)^(qū)的輸入/輸出端的纖芯尺寸。
18.一種光波導(dǎo)器件包括一個波導(dǎo)襯底和一個位于所述的波導(dǎo)襯底上并由用于在里面?zhèn)鬏敼獾睦w芯和一個覆蓋所述纖芯的包層構(gòu)成的光波導(dǎo);所述光波導(dǎo)具有帶有至少兩個輸入/輸出端和一個予定部分所要求的纖芯尺寸的光波導(dǎo)區(qū)，所述的光波導(dǎo)區(qū)適合作為光的透射通路;一個具有至少一個輸入/輸出端的插入?yún)^(qū)，該輸入/輸出端的纖芯尺寸小于所述光波導(dǎo)區(qū)的纖芯尺寸，所述插入?yún)^(qū)適合于插入一個用于完成予定功能的光功能部件;以及一個帶有直接同所述光波導(dǎo)區(qū)的輸入/輸出端相連接且纖芯尺寸同所述光波導(dǎo)區(qū)的纖芯尺寸相同的第一輸入/輸出端和一個直接同所述插入?yún)^(qū)的所述輸入/輸出端相連接的且纖芯尺寸同所述插入?yún)^(qū)的纖芯尺寸相同的第二輸入/輸出端的第一光連接區(qū)，所述第二輸入/輸出端的纖芯尺寸小于所述的第一輸入/輸出端的纖芯尺寸，且小于一個盡可能使在所述的第一連接區(qū)中的傳輸光的模場寬度小的纖芯尺寸。
19.如權(quán)利要求18所述的器件，其特征在于所述的第一光連接區(qū)的纖芯截面為錐形，其在相對所述波導(dǎo)襯底的主表面的水平方向沿從第一光連接區(qū)的第一輸入/輸出端到第二輸入/輸出端的方向同所述的纖芯的光軸成一預(yù)定的錐角。
20.如權(quán)利要求18所述的器件還包括一個具有直接同一個插入?yún)^(qū)的輸入/輸出端相連的第一輸入/輸出端和直接同另一插入?yún)^(qū)的輸入/輸出端相連的第二輸入/輸出端的第二光連接區(qū)，所述第二光連接區(qū)的所述第一和第二輸入/輸出端的纖芯尺寸等于同所述的第二光連接區(qū)域相連的所述插入?yún)^(qū)的那些輸入/輸出端的纖芯尺寸。
21.一種光波導(dǎo)器件、包括一個波導(dǎo)襯底，和一個位于在所述波導(dǎo)襯底上并由用于在里面?zhèn)鬏敼獾睦w芯和覆蓋所述纖芯的包層構(gòu)成的光波導(dǎo)，該光波導(dǎo)具有一個具有至少兩個輸入/輸出端的光波導(dǎo)區(qū)，所述的光波導(dǎo)區(qū)適合作為一個光透射通道，一個具有至少一個輸入/輸出端的插入?yún)^(qū)，在所述的插入?yún)^(qū)內(nèi)的纖芯和包層之間的折射率差小于在所述的光波導(dǎo)區(qū)的預(yù)定部分的纖芯和包層之間的折射率差，所述的插入?yún)^(qū)適合插入用于完成預(yù)定功能的光功能部件;以及一個具有直接同所述光波導(dǎo)區(qū)的一個輸入/輸出端相連的第一輸入/輸出端和直接同所述的插入?yún)^(qū)的所述輸入/輸出端相連的第二輸入/輸出端的第一光連接區(qū)，在所述的第一光連接區(qū)內(nèi)的纖芯和包層之間的折射率的差沿從其所述的第一輸入/輸出端到第二輸入/輸出端的方向連續(xù)地變小。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種光波導(dǎo)器件，它包括一個光波導(dǎo)襯底和一個位于襯底上的光波導(dǎo)，該光波導(dǎo)具有一個作為光透射通道的光波導(dǎo)區(qū)，一個用于插入一個光功能部件的插入?yún)^(qū)，該插入?yún)^(qū)域內(nèi)傳輸光的模場寬度大于光波導(dǎo)區(qū)中傳輸光的模場寬度，該光波導(dǎo)還具有一個配置在光波導(dǎo)區(qū)和插入?yún)^(qū)之間的光連接區(qū)，以便改變在其里面?zhèn)鬏敼獾哪鰧挾取?br> 文檔編號G02B6/125GK1103719SQ9410544
公開日1995年6月14日 申請日期1994年4月8日 優(yōu)先權(quán)日1993年7月16日
發(fā)明者笹岡英資, 金森弘雄, 管沼寬, 石川真二, 齊藤達彥 申請人:住友電氣工業(yè)株式會社