專利名稱：減壓真空導入裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型提供一種減大氣壓的真空導入裝置，涉及真空技術領域。
真空環(huán)境中執(zhí)行運動，通常利用波紋管的可伸縮性或其它變形來實現(xiàn)。現(xiàn)有技術中的導入真空的運動執(zhí)行裝置，波紋管內外壁的壓差很大，它的變形阻力也相應增大。根據(jù)計算，當波紋管一側為真空，另一側為大氣時，直徑φ30的波紋管在軸向受到7kg大氣壓力。因此，該裝置在執(zhí)行真空內的運動時，必須同時克服很強的大氣壓力，致使效率低，而且常常會延遲響應時間。美國威斯康辛大學同步輻射裝置上使用鋼絲和平衡錘來平衡大氣壓力，雖解決了壓力問題，但錘的慣性會影響運動速度。使用彈簧來克服壓力會影響速度的穩(wěn)定性問題。這兩種結構都有結構繁瑣、不緊湊的缺點。
本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術中的不足，改進現(xiàn)有裝置的結構，提供一種本身阻力很小的導入真空的運動執(zhí)行裝置。
本實用新型是現(xiàn)有導入真空運動執(zhí)行裝置的改進。它包括有驅動系統(tǒng)、導入件和波紋管，其特征在于所述波紋管的內、外壁中的一面處于工作真空腔室中，另一面處于粗密封環(huán)境中，該粗密封環(huán)境與另一減壓裝置相接通。所述減壓裝置可以是一個專用或兼用抽氣泵。當減壓裝置工作時，可以保證粗密封環(huán)境內處于低度真空狀態(tài)，從而大大減小了波紋管內外壁的壓力差，使其伸縮方便。當導入件受驅動系統(tǒng)帶動作運動時，與它固連的波紋管即隨之伸縮或變形，固連在波紋管端的動作件也就產(chǎn)生了運動，整個執(zhí)行過程無強大氣壓作用，因此動作件的運動比較靈活、輕便。
本實用新型所述的驅動系統(tǒng)，可以使用直線步進電機，使其主軸直接和導入件鋼性連接；或者是旋轉式電機配置上合適的機械傳動機構，以使導入件有直線運動、擺動或其它形式的運動。這種機械傳動機構可以為齒輪、齒條傳動機構、螺母絲桿傳動，或者為曲柄滑塊、曲柄滾輪機構等。還可以使用完全人力驅動的機械裝置，例如，用手轉動手輪作為旋轉運動的驅動。為了實現(xiàn)過程自動化，所用的步進電機可以由微機控制。在具體結構設計時，也可以使驅動系統(tǒng)包含在粗密封環(huán)境中，電源線及控制電纜線從中引出，以進行控制。當粗密封環(huán)境中有運動件伸出到外界大氣空間時，其接觸處使用密封件，以求間隙最小，漏氣最少。
下面結合實施例和附圖作進一步描述


圖1是本實用新型的示意框圖。圖中，1為驅動系統(tǒng)。2為導人體，3為波紋管，4為工作真空腔室，5為粗密封環(huán)境，6為動作件，7為通道，8為減壓裝置，9為密封件。圖中虛線是表示粗密封環(huán)境中包含有驅動系統(tǒng)的情況。
圖2是用于同步輻射光刻系統(tǒng)中曝光快門動作裝置的結構示意圖。圖中，11為旋轉步進電機，12為導入桿，13為密封件，14為快門片，15為工作真空腔室，16為減壓裝置接口，17為滾動軸承，18為撥桿。
圖3是圖2A－A剖視放大圖。圖中，19為連接軸，20為墊圈，21為螺母。
在該實施例中，當電機11轉動時，帶動固連在其主軸上的撥桿18轉動，滾動軸承17外圈與撥桿18的上下內框面動配合，軸承內圈安裝在軸19上，通過螺母21與導入桿剛性連接，從而使電機運動傳遞給導入桿，把電機轉動轉換為導入桿的上下直線運動，使固連在導入桿的下端的快門片打開或關閉光路。
本裝置具有運動靈活輕便，運動阻力小，效率高，結構緊湊，制造方便等特點，并能實現(xiàn)快速真空導入，可廣泛用于執(zhí)行各種真空環(huán)境中的運動。
權利要求1.一種減壓真空導入裝置，它包括有驅動系統(tǒng)1，導入件2和波紋管3，其特征在于所述波紋管的內外壁面中的一面處于工作真空腔室4中，另一面處于粗密封環(huán)境5中，該粗密封環(huán)境5與減壓裝置8相接通。
2.根據(jù)權利要求1所述的真空導入裝置，其特征在于所述驅動系統(tǒng)1可以包含在粗密封環(huán)境5中。
3.根據(jù)權利要求1所述的真空導入裝置，其特征在于所述減壓裝置8是專用或兼用抽氣泵。
4.根據(jù)權利要求1所述的真空導入裝置，其特征在于所述驅動系統(tǒng)1可以是直線步進電機，或者是旋轉式步進電機配置機械傳動機構，也可以是人工驅動的機械裝置。
專利摘要本實用新型提供一種減壓真空導入裝置，涉及真空技術領域。該裝置用波紋管把運動導入工作真空腔室，波紋管的一側為工作真空腔室，它的另一側處于粗密封環(huán)境，并與一減壓裝置相接通，工作時形成低真空，使波紋內外壁的壓差大幅度減小，從而有利于導入件的運動，動作靈活，響應時間短。該裝置可廣泛用于執(zhí)行各種真空環(huán)境中的運動。
文檔編號G03F7/20GK2074023SQ9020935
公開日1991年3月27日 申請日期1990年6月29日 優(yōu)先權日1990年6月29日
發(fā)明者錢石南, 劉萬波, 劉澤文, 闞婭 申請人:中國科學技術大學