本發(fā)明涉及一種卷繞體。具體而言,本發(fā)明涉及一種轉(zhuǎn)印膜的卷繞體,該轉(zhuǎn)印膜依次具有支承體、組合物層及保護(hù)膜且組合物層包含感光性組合物層。并且,本發(fā)明還涉及一種使用上述卷繞體而成的具有樹(shù)脂圖案的層疊體的制造方法及具有導(dǎo)體圖案的層疊體的制造方法。
背景技術(shù):
1、在具備靜電電容型輸入裝置等觸摸面板的顯示裝置(有機(jī)電致發(fā)光(el)顯示裝置及液晶顯示裝置等)中,在觸摸面板內(nèi)部設(shè)置有相當(dāng)于視覺(jué)辨認(rèn)部的傳感器的電極圖案、周邊布線部分及引出布線部分的布線等導(dǎo)電層圖案。并且,在印刷基板布線等中,也會(huì)通過(guò)蝕刻及鍍覆工序而形成布線圖案。
2、通常在形成已圖案化的層時(shí),用于獲得所需圖案形狀的工序數(shù)少,因此廣泛利用對(duì)使用轉(zhuǎn)印膜在任意基板上配置感光性組合物層,并隔著掩模對(duì)該感光性組合物層進(jìn)行曝光之后進(jìn)行顯影的方法。
3、例如,在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中,公開(kāi)了一種感光性元件,其為由支承膜(支承體)、感光性樹(shù)脂組合物層(感光性組合物層)及保護(hù)膜構(gòu)成的感光性元件(轉(zhuǎn)印膜),并且其滿(mǎn)足規(guī)定的要件。
4、專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2003-248320號(hào)公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、轉(zhuǎn)印膜例如依次具有臨時(shí)支承體、組合物層及保護(hù)膜,并以卷繞體來(lái)供給。
2、在使用轉(zhuǎn)印膜在基板上配置組合物層時(shí),首先,從卷繞體放出轉(zhuǎn)印膜,并從放出的轉(zhuǎn)印膜剝離保護(hù)膜而使組合物層(例如,感光性組合物層)露出。然后,貼合(層壓)已剝離保護(hù)膜的轉(zhuǎn)印膜與基板,以使露出的組合物層與基板的所期望的面對(duì)置。
3、在上述工序中,從轉(zhuǎn)印膜剝離保護(hù)膜時(shí),需要保護(hù)膜的剝離性?xún)?yōu)異。在此,若保護(hù)膜的剝離性差,則從轉(zhuǎn)印膜剝離保護(hù)膜時(shí),在臨時(shí)支承體與組合物層之間也會(huì)產(chǎn)生剝離,從而會(huì)產(chǎn)生無(wú)法將組合物層正常地貼合到另一基板上的情況。
4、并且,在將組合物層轉(zhuǎn)印到基板之后,要求被貼合的組合物層的表面性狀優(yōu)異,特別是要求在被貼合的組合物層的端部抑制褶皺等的產(chǎn)生。以下,將如上所述的、在被貼合的組合物層的端部抑制褶皺等的產(chǎn)生的情況稱(chēng)為端部的層壓性?xún)?yōu)異。
5、本發(fā)明人等將上述專(zhuān)利文獻(xiàn)1中所記載的轉(zhuǎn)印膜(感光性元件)作為卷繞體進(jìn)行了研究,其結(jié)果,發(fā)現(xiàn)上述的保護(hù)膜的剝離性及端部的層壓性中的至少一者有時(shí)未達(dá)到最近要求的水準(zhǔn),需要進(jìn)行改善。
6、
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
7、因此,本發(fā)明的課題在于提供一種卷繞體,從該卷繞體放出的轉(zhuǎn)印膜中的保護(hù)膜的剝離性及端部的層壓性?xún)?yōu)異。
8、并且,本發(fā)明的課題還在于提供一種使用上述卷繞體而成的具有樹(shù)脂圖案的層疊體的制造方法及具有導(dǎo)體圖案的層疊體的制造方法。
9、本發(fā)明人等為了解決上述課題而進(jìn)行了深入研究,其結(jié)果,發(fā)現(xiàn)了通過(guò)以下結(jié)構(gòu)能夠解決課題。
10、〔1〕一種卷繞體,其為依次具有臨時(shí)支承體、組合物層及保護(hù)膜的轉(zhuǎn)印膜的卷繞體,上述組合物層包含感光性組合物層,
11、對(duì)從上述卷繞體放出的上述轉(zhuǎn)印膜,沿上述轉(zhuǎn)印膜的長(zhǎng)度方向隔開(kāi)8cm的間隔在不同的5處進(jìn)行以下的截面觀察,在各截面觀察中所獲得的5個(gè)位置x及5個(gè)位置y中的最小值及最大值均在-40~40μm的范圍內(nèi),
12、截面觀察:將從上述卷繞體放出的上述轉(zhuǎn)印膜沿上述轉(zhuǎn)印膜的寬度方向切割,從露出的兩個(gè)截面中的一個(gè)截面的法線方向觀察上述一個(gè)截面時(shí),
13、將在上述露出的截面中的在上述轉(zhuǎn)印膜的寬度方向上位于上述臨時(shí)支承體的最外側(cè)的一端的位置設(shè)為第1位置,將在上述轉(zhuǎn)印膜的寬度方向上位于上述保護(hù)膜的最外側(cè)且位于與上述第1位置相同側(cè)的一端的位置設(shè)為第2位置,并且將在上述轉(zhuǎn)印膜的寬度方向上用正值表示以上述第1位置為基準(zhǔn)比上述第1位置更靠沿上述轉(zhuǎn)印膜的寬度方向的外側(cè)位置時(shí)的上述第2位置的位置設(shè)為位置x,
14、將在上述露出的截面中的在上述轉(zhuǎn)印膜的寬度方向上位于上述臨時(shí)支承體的最外側(cè)的另一端的位置設(shè)為第3位置,將在上述轉(zhuǎn)印膜的寬度方向上位于上述保護(hù)膜的最外側(cè)且位于與上述第3位置相同側(cè)的另一端的位置設(shè)為第4位置,并且將在上述轉(zhuǎn)印膜的寬度方向上用正值表示以上述第3位置為基準(zhǔn)比上述第3位置更靠沿上述轉(zhuǎn)印膜的寬度方向的外側(cè)的位置時(shí)的上述第4位置的位置設(shè)為位置y。
15、〔2〕根據(jù)〔1〕所述的卷繞體,其中,
16、上述最小值在0.1~40μm的范圍內(nèi)。
17、〔3〕根據(jù)〔1〕或〔2〕所述的卷繞體,其中,
18、上述感光性組合物層的厚度為2~20μm。
19、〔4〕根據(jù)〔1〕至〔3〕中任一項(xiàng)所述的卷繞體,其中,
20、上述組合物層在上述臨時(shí)支承體與上述感光性組合物層之間具有中間層及熱塑性樹(shù)脂層中的至少一者。
21、〔5〕根據(jù)〔4〕所述的卷繞體,其中,
22、上述中間層的厚度為0.1~10μm。
23、〔6〕根據(jù)〔4〕所述的卷繞體,其中,
24、上述熱塑性樹(shù)脂層的厚度為0.1~10μm。
25、〔7〕一種具有樹(shù)脂圖案的層疊體的制造方法,其具有:
26、放卷工序,從〔1〕至〔6〕中任一項(xiàng)所述的卷繞體放出上述轉(zhuǎn)印膜;
27、剝離工序,從上述轉(zhuǎn)印膜剝離上述保護(hù)膜而使上述組合物層的表面露出;
28、貼合工序,以上述組合物層的露出的表面與在表面具有導(dǎo)電層的基板的上述導(dǎo)電層接觸的方式將上述轉(zhuǎn)印膜與上述具有導(dǎo)電層的基板貼合;
29、曝光工序,對(duì)上述組合物層中所含的上述感光性組合物層進(jìn)行曝光;及
30、顯影工序,對(duì)被曝光的上述感光性組合物層實(shí)施顯影處理而形成樹(shù)脂圖案,
31、上述層疊體的制造方法在上述貼合工序與上述曝光工序之間或上述曝光工序與上述顯影工序之間還具有剝離上述臨時(shí)支承體的臨時(shí)支承體剝離工序。
32、〔8〕一種具有導(dǎo)體圖案的層疊體的制造方法,其具有:
33、放卷工序,從〔1〕至〔6〕中任一項(xiàng)所述的卷繞體放出上述轉(zhuǎn)印膜;
34、剝離工序,從上述轉(zhuǎn)印膜剝離上述保護(hù)膜而使上述組合物層的表面露出;
35、貼合工序,以上述組合物層的露出的表面與在表面具有導(dǎo)電層的基板的上述導(dǎo)電層接觸的方式將上述轉(zhuǎn)印膜與上述具有導(dǎo)電層的基板貼合;
36、曝光工序,對(duì)上述組合物層中所含的上述感光性組合物層進(jìn)行曝光;
37、顯影工序,對(duì)被曝光的上述感光性組合物層實(shí)施顯影處理而形成抗蝕劑圖案;
38、蝕刻工序及鍍覆處理工序中的任一工序,該蝕刻工序?qū)ξ挥谖磁渲糜猩鲜隹刮g劑圖案的區(qū)域的上述導(dǎo)電層進(jìn)行蝕刻處理,該鍍覆處理工序進(jìn)行鍍覆處理;及
39、抗蝕劑圖案剝離工序,剝離上述抗蝕劑圖案,
40、當(dāng)上述具有導(dǎo)體圖案的層疊體的制造方法具有上述鍍覆處理工序時(shí),其還具有:去除工序,去除通過(guò)上述抗蝕劑圖案剝離工序而露出的上述導(dǎo)電層,在上述基板上形成導(dǎo)體圖案,
41、上述具有導(dǎo)體圖案的層疊體的制造方法在上述貼合工序與上述曝光工序之間或在上述曝光工序與上述顯影工序之間還具有剝離上述臨時(shí)支承體的臨時(shí)支承體剝離工序。
42、發(fā)明效果
43、根據(jù)本發(fā)明,能夠提供一種卷繞體,從該卷繞體放出的轉(zhuǎn)印膜中的保護(hù)膜的剝離性及端部的層壓性?xún)?yōu)異。
44、并且,還能夠提供一種使用上述卷繞體而成的具有樹(shù)脂圖案的層疊體的制造方法及具有導(dǎo)體圖案的層疊體的制造方法。