本實用新型屬于半導(dǎo)體功率器件技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種低壓超級結(jié)溝槽掩膜板。

背景技術(shù)：

目前，如圖1現(xiàn)有的低壓超級結(jié)溝槽掩膜板為單一源極區(qū)域設(shè)計，導(dǎo)致靠近柵極拐角只能實施直角形溝槽如圖3。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種低壓超級結(jié)溝槽掩膜板，。

本實用新型所采用的技術(shù)方案為：

一種低壓超級結(jié)溝槽掩膜板，其特征在于：

所述溝槽掩膜板的源極區(qū)溝槽為分區(qū)并聯(lián)的圖形，令靠近柵極的溝槽拐角實施直角、弧形、斜角。

所述溝槽拐角位于溝槽掩膜板左邊中間區(qū)域兩個拐角。

本實用新型具有以下優(yōu)點：

本實用新型的低壓超級結(jié)溝槽掩膜板讓靠近柵極的拐角，從只能直角溝槽的單一設(shè)計，修改為該處圖形可以實施直角、弧形、斜角多樣化設(shè)計，使產(chǎn)品達(dá)到應(yīng)用需求的參數(shù)。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有的低壓超級結(jié)溝槽掩膜板結(jié)構(gòu)。

圖2為本實用新型實施例提供低壓超級結(jié)溝槽掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為現(xiàn)有的低壓超級結(jié)溝槽掩膜板靠近柵極拐角只能實施直角形溝槽的情形。

圖4為本實用新型實施直角形溝槽的情形。

圖5為本實用新型實施弧形拐角溝槽的情形。

圖6為本實用新型實施斜角拐角溝槽的情形。

具體實施方式

下面結(jié)合具體實施方式對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)的說明。

本實用新型實施例提供一種新型低壓超級結(jié)溝槽掩膜板，如圖2所示，該新型低壓超級結(jié)溝槽掩膜板的源極區(qū)溝槽分區(qū)并聯(lián)，讓靠近柵極的溝槽拐角設(shè)計從只能直角圖形的設(shè)計，變化為直角、弧形、斜角均可實施的設(shè)計。

所述溝槽拐角設(shè)計區(qū)域位于掩膜板的左邊中間區(qū)域兩個拐角。

所述圖形為直角、弧形、斜角。

本實用新型將源極從大面積單一極性優(yōu)化為多塊源極并聯(lián)設(shè)計，使其可以使用更優(yōu)化的拐角設(shè)計，讓產(chǎn)品達(dá)到應(yīng)用對參數(shù)的要求。

本實用新型的內(nèi)容不限于實施例所列舉，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員通過閱讀本實用新型說明書而對本實用新型技術(shù)方案采取的任何等效的變換，均為本實用新型的權(quán)利要求所涵蓋。