本實用新型涉及光刻機鏡頭技術領域，具體地說涉及一種DMD光刻投影鏡頭。

背景技術：

DMD數(shù)字無掩模光刻系統(tǒng)是成熟的現(xiàn)有技術，新一代基于數(shù)字微鏡陣列(Digital Micro-mirror Device，DMD)空間光調(diào)制器的數(shù)字無掩模光刻技術大幅簡化了傳統(tǒng)光刻掩膜制作工藝的繁瑣流程，使得新犁數(shù)字光刻掩膜的制作變得簡單易控，顯著提升了光刻圖形的復雜度，并進一步改善了光刻的精度和效率。光刻投影鏡頭需要將鏡頭中的每個鏡片精確定位，位置精度需要達到微米甚至是亞微米的水平，同時，傾斜偏差度要小于一微米。

目前，現(xiàn)有技術的DMD光刻投影鏡頭主要存在如下問題：1、物方視野小；2、像方分辨率低，有像差、畸變等；3、鏡片之間的空氣間隙控制不好；4、鏡頭中的空氣排出性能差，不能滿足嚴格的公差要求；4、同軸度差；5、齊焦調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)性不好。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于針對上述現(xiàn)有技術的缺陷，提供一種DMD光刻投影鏡頭，以克服上述現(xiàn)有技術的缺陷。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術方案是：

一種DMD光刻投影鏡頭，從物方起到鏡方依次包括：第一雙凸鏡片、第二彎月鏡片、第三鏡片組、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片，所述第三鏡片組、第四彎月鏡片間設置有光闌；所述第三鏡片組和所述第六鏡片組分別由一個雙凸鏡片和一個平凹面鏡片膠合而成；所述第一雙凸鏡片設置在第一鏡筒的內(nèi)腔的前端，所述第二彎月鏡片、第三鏡片組、光闌、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片依次設置在第二鏡筒的內(nèi)腔中，所述第一鏡筒與第二鏡筒螺紋連接；

作為對上述技術方案的改進，所述第二彎月鏡片與第三鏡片組之間、所述第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片相互之間由隔圈相隔開，所述第二彎月鏡片、第三鏡片組、光闌、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片直徑相同，所述第二彎月鏡片前端、第一雙凸鏡片前端分別設置有壓圈，所述第二彎月鏡片由壓圈壓裝在第二鏡筒內(nèi)腔的環(huán)口處，所述第一雙凸鏡片由壓圈壓裝在第一鏡筒內(nèi)腔的環(huán)口處。

作為對上述技術方案的改進，所述第一鏡筒與第二鏡筒的側(cè)面分別設置有放氣孔。

作為對上述技術方案的改進，所第二鏡筒在第二彎月鏡片、第三鏡片組、光闌、第四彎月鏡片、第五平凸鏡片、第六鏡片組、第七彎月鏡片的對應位置處分別設置有頂絲及注膠固定孔。

作為對上述技術方案的改進，所述第二鏡筒的外周套設有外殼。

作為對上述技術方案的改進，所述第一鏡筒的外周旋塞有齊焦法蘭盤。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型具有的優(yōu)點和積極效果是：

本實用新型的DMD光刻投影鏡頭，在光路上，1、物方視野大，數(shù)值孔徑小，采用單片大口徑正透鏡；2、像方后組數(shù)值孔徑大，分辨率高，采用多組鏡片進行結(jié)合，有效消除像差、畸變等；3、光闌位于鏡頭中心附近，采用部分對稱結(jié)構(gòu)，有利于消除像差。在結(jié)構(gòu)上，1、所有的隔圈都抵到環(huán)口處，為了更好的控制鏡片之間的空氣間隔；2、后組公差要求嚴的地方，鏡片的口徑都做成一樣的；3、側(cè)面有放氣孔，為了排除鏡頭中的空氣，以滿足嚴格的公差；4、頂偏芯的工藝孔，以及注膠固定孔用來修正敏感鏡片的同軸度；5、物方工作距配合DMD斜入射照明要求；6、可調(diào)試齊焦法蘭盤用于齊焦調(diào)節(jié)。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的光路示意圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。

如圖1和2所示，本實用新型的DMD光刻投影鏡頭，從物方起到鏡方依次包括：第一雙凸鏡片1、第二彎月鏡片2、第三鏡片組3、第四彎月鏡片4、第五平凸鏡片5、第六鏡片組6、第七彎月鏡片7，所述第三鏡片組3、第四彎月鏡片4間設置有光闌14；所述第三鏡片組3和所述第六鏡片6組分別由一個雙凸鏡片和一個平凹面鏡片膠合而成；所述第一雙凸鏡片1設置在第一鏡筒9的內(nèi)腔的前端，所述第二彎月鏡片2、第三鏡片組3、光闌14、第四彎月鏡片4、第五平凸鏡片5、第六鏡片組6、第七彎月鏡片7依次設置在第二鏡筒12的內(nèi)腔中，所述第一鏡筒9與第二鏡筒12螺紋連接；

作為對上述技術方案的改進，所述第二彎月鏡片2與第三鏡片組3之間由隔圈13相隔開、所述第四彎月鏡片4、第五平凸鏡片5、第六鏡片組6、第七彎月鏡片7之間依次由隔圈15、16、17相隔開，所述第二彎月鏡片2、第三鏡片組3、光闌14、第四彎月鏡片4、第五平凸鏡片5、第六鏡片組6、第七彎月鏡片7直徑相同，所述第二彎月鏡片2前端、第一雙凸鏡片1前端分別設置有壓圈8、11，所述第二彎月鏡片2由壓圈11壓裝在第二鏡筒12內(nèi)腔的環(huán)口處，所述第一雙凸鏡片1由壓圈8壓裝在第一鏡筒9內(nèi)腔的環(huán)口處。

作為對上述技術方案的改進，所述第一鏡筒9與第二鏡筒12的側(cè)面分別設置有放氣孔。

作為對上述技術方案的改進，所第二鏡筒2在第二彎月鏡片2、第三鏡片組3、光闌14、第四彎月鏡片4、第五平凸鏡片5、第六鏡片組6、第七彎月鏡片7的對應位置處分別設置有頂絲及注膠固定孔19。

作為對上述技術方案的改進，所述第二鏡筒12的外周套設有外殼18。

作為對上述技術方案的改進，所述第一鏡筒9的外周旋塞有齊焦法蘭盤10。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型具有的優(yōu)點和積極效果是：

本實用新型的DMD光刻投影鏡頭，在光路上，1、物方視野大，數(shù)值孔徑小，采用單片大口徑正透鏡；2、像方后組數(shù)值孔徑大，分辨率高，采用多組鏡片進行結(jié)合，有效消除像差、畸變等；3、光闌位于鏡頭中心附近，采用部分對稱結(jié)構(gòu)，有利于消除像差。在結(jié)構(gòu)上，1、所有的隔圈都抵到環(huán)口處，為了更好的控制鏡片之間的空氣間隔；2、后組公差要求嚴的地方，鏡片的口徑都做成一樣的；3、側(cè)面有放氣孔，為了排除鏡頭中的空氣，以滿足嚴格的公差；4、頂偏芯的工藝孔，以及注膠固定孔用來修正敏感鏡片的同軸度；5、物方工作距配合DMD斜入射照明要求；6、可調(diào)試齊焦法蘭盤用于齊焦調(diào)節(jié)。