技術編號：11684958
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及光刻機鏡頭技術領域，具體地說涉及一種DMD光刻投影鏡頭。背景技術DMD數(shù)字無掩模光刻系統(tǒng)是成熟的現(xiàn)有技術，新一代基于數(shù)字微鏡陣列(DigitalMicro-mirrorDevice，DMD)空間光調(diào)制器的數(shù)字無掩模光刻技術大幅簡化了傳統(tǒng)光刻掩膜制作工藝的繁瑣流程，使得新犁數(shù)字光刻掩膜的制作變得簡單易控，顯著提升了光刻圖形的復雜度，并進一步改善了光刻的精度和效率。光刻投影鏡頭需要將鏡頭中的每個鏡片精確定位，位置精度需要達到微米甚至是亞微米的水平，同時，傾斜偏差度要小于一微米。目前，現(xiàn)...
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