技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種鰭線加載HEMT嵌套結(jié)構(gòu)的太赫茲波快速調(diào)制器，屬于電磁功能器件技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明是通過(guò)將太赫茲波段鰭線?波導(dǎo)傳輸系統(tǒng)與人工電磁諧振結(jié)構(gòu)單元、高電子遷移率晶體管HEMT相結(jié)合而實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明通過(guò)電控HEMT的電磁特性實(shí)現(xiàn)對(duì)人工電磁諧振單元結(jié)構(gòu)中電磁諧振模式的控制，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)鰭線?波導(dǎo)中傳播的太赫茲波幅度、相位進(jìn)行調(diào)制。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)95％以上的調(diào)制深度，同時(shí)對(duì)太赫茲波的插損可小于?1.5dB以?xún)?nèi)。本發(fā)明可通過(guò)運(yùn)用微細(xì)加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)，制備工藝成熟可靠。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體材料與人工微結(jié)構(gòu)陣列、太赫茲傳輸線相結(jié)合的調(diào)制器件，在太赫茲無(wú)線通信、太赫茲波譜技術(shù)、太赫茲安檢成像等領(lǐng)域具有重要的實(shí)際應(yīng)用價(jià)值。

技術(shù)研發(fā)人員：張雅鑫;張亭;孫翰;梁士雄;楊梓強(qiáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：電子科技大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.05
技術(shù)公布日：2017.08.29