技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種用于強(qiáng)激光系統(tǒng)中光束采樣光柵的增透減反方法，首先利用全息離子束刻蝕方法在熔石英基底上制作亞波長(zhǎng)光柵模板；在亞波長(zhǎng)光柵模板上滴少許PUA紫外壓印膠，然后將PET薄膜蓋到PUA上，利用紫外光照射PUA使其固化，將固化后的PUA與光柵模板分離，得到亞波長(zhǎng)光柵軟模；光束采樣光柵的表面清洗后，在上面旋涂PMMA壓印膠，將亞波長(zhǎng)光柵軟模覆蓋到PMMA上面，軟模光柵條紋方向與光束采樣光柵條紋方向可以平行、垂直或者成角度，用夾持機(jī)構(gòu)將兩者壓緊，放到烘箱中加熱固化，將亞波長(zhǎng)光柵軟模和基底分離，在PMMA上形成亞波長(zhǎng)光柵；然后利用氧等離子體灰化去除PMMA光柵的底層殘余膠，利用到底的PMMA亞波長(zhǎng)光柵掩模，使用CHF3反應(yīng)離子束刻蝕，最后清洗去除殘余膠，即得到具有增透減反效果的光束采樣光柵。

技術(shù)研發(fā)人員：陳火耀;劉穎;梁舉曦;王宇;劉正坤;邱克強(qiáng);徐向東;洪義麟;付紹軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.19
技術(shù)公布日：2017.08.11