技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種用于提供自動聚焦圖像的系統(tǒng)包括：包括高速周期調(diào)制的可變焦距(VFL)透鏡的成像系統(tǒng)、VFL透鏡控制器、VFL投射光源、聚焦確定部分、曝光定時調(diào)整電路、和曝光選通時間控制器。聚焦確定部分包括光學(xué)檢測器，其輸入通過VFL透鏡投射到工件并從工件反射的反射的VFL投射光，并提供聚焦偏差信號。曝光定時調(diào)整電路基于聚焦偏差信號提供曝光定時調(diào)整信號，其指示當(dāng)成像系統(tǒng)聚焦Z高度與工件表面Z高度近似重合時的時間。曝光選通時間控制器使用曝光定時調(diào)整信號來調(diào)整圖像曝光時間，使得成像系統(tǒng)聚焦Z高度在調(diào)整后的圖像曝光時間與工件表面Z高度重合。

技術(shù)研發(fā)人員：R.K.布里爾;M.L.德萊尼
受保護的技術(shù)使用者：株式會社三豐
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.03
技術(shù)公布日：2017.11.10