本發(fā)明涉及集成光電子器件領(lǐng)域，具體涉及一種光偏振旋轉(zhuǎn)器。

背景技術(shù)：

偏振是光的固有屬性，在集成光波導(dǎo)中光具有橫電模(te)和橫磁模(tm)兩種偏振態(tài)。偏振旋轉(zhuǎn)器(polarizationrotator)即用于在兩種偏振態(tài)的基模之間(te0與tm0)進(jìn)行模式轉(zhuǎn)換。但集成光波導(dǎo)屬平面波導(dǎo)，其本身的保偏特性非常好，要改變平面波導(dǎo)中模式的光軸非常困難，因而集成偏振旋轉(zhuǎn)器也是近幾年世界集成光電子領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)和難點(diǎn)。

目前，領(lǐng)域內(nèi)已有多種結(jié)構(gòu)方案，這些方案都能實(shí)現(xiàn)偏振旋轉(zhuǎn)功能，但由于加工工藝問題都難以實(shí)用。側(cè)壁傾斜型波導(dǎo)結(jié)構(gòu)需要特殊光刻工藝；局部淺刻蝕型波導(dǎo)特征尺寸為70nm甚至更??；寬度漸變型非對(duì)稱波導(dǎo)大多數(shù)都需要額外的包層處理來實(shí)現(xiàn)波導(dǎo)厚度方向的非對(duì)稱性，而且這種方案會(huì)使得器件長(zhǎng)度達(dá)到百微米甚至更長(zhǎng)；方向耦合器型方案則對(duì)工藝誤差非常敏感；混合表面等離子體波導(dǎo)需要特殊工藝處理且器件損耗較大。綜上，領(lǐng)域內(nèi)尚沒有可利用商用集成光電子標(biāo)準(zhǔn)流片工藝加工的可靠偏振旋轉(zhuǎn)器方案。

因此，如何設(shè)計(jì)一種不影響偏振旋轉(zhuǎn)精度且對(duì)加工工藝要求低的光偏振旋轉(zhuǎn)器，是亟待解決的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本發(fā)明提供一種光偏振旋轉(zhuǎn)器，該光偏振旋轉(zhuǎn)器通過新型結(jié)構(gòu)的設(shè)置降低了加工工藝的難度及成本，并提高了其實(shí)現(xiàn)光偏振旋轉(zhuǎn)的精度，實(shí)現(xiàn)了對(duì)偏振旋轉(zhuǎn)器的快速且可靠的批量加工生產(chǎn)，并在批量加工生產(chǎn)的同時(shí)，保證了其光偏振旋轉(zhuǎn)的精確性。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案：

本發(fā)明提供了一種光偏振旋轉(zhuǎn)器，所述光偏振旋轉(zhuǎn)器的長(zhǎng)度方向上的兩端分別為光輸入端和光輸出端，且所述光偏振旋轉(zhuǎn)器上的光輸入端與光輸出端之間的部分為偏振旋轉(zhuǎn)區(qū)域；

所述偏振旋轉(zhuǎn)區(qū)域?yàn)闄M截面呈凹字型的凹字型溝道波導(dǎo)。

進(jìn)一步的，所述光輸入端為輸入用條形波導(dǎo)，且該輸入用條形波導(dǎo)與所述凹字型溝道波導(dǎo)的一端導(dǎo)通連接。

進(jìn)一步的，所述輸入用條形波導(dǎo)與所述凹字型溝道波導(dǎo)之間設(shè)有用于導(dǎo)通連接二者的波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器。

進(jìn)一步的，所述波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器為多模干涉型波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器；

該多模干涉型波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器包括：多模波導(dǎo)區(qū)域、寬度漸變的凹字型溝道波導(dǎo)區(qū)域；

其中，所述多模波導(dǎo)區(qū)域的一端用于連接輸入波導(dǎo)，另一端連接所述寬度漸變的凹字型溝道波導(dǎo)區(qū)域的一個(gè)波導(dǎo)端面，所述寬度漸變的凹字型波導(dǎo)區(qū)域的另一波導(dǎo)端面用于連接偏振旋轉(zhuǎn)區(qū)域；所述波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器用于連接波導(dǎo)旋轉(zhuǎn)區(qū)域的端面橫截面形狀與所述偏振旋轉(zhuǎn)區(qū)域的橫截面形狀相同。

進(jìn)一步的，所述光輸出端包括兩個(gè)輸出用條形波導(dǎo)，且該兩個(gè)輸出用條形波導(dǎo)分別與所述凹字型溝道波導(dǎo)的遠(yuǎn)離光輸入端的另一端導(dǎo)通連接。

進(jìn)一步的，光從光輸出端輸入并從光輸入端輸出。

進(jìn)一步的，所述輸出用條形波導(dǎo)包括：相移區(qū)域，耦合區(qū)域，輸出區(qū)域；

使得經(jīng)所述凹字型溝道波導(dǎo)輸出至兩個(gè)所述輸出用條形波導(dǎo)的兩束光，先經(jīng)所述相移區(qū)域產(chǎn)生相位差，再經(jīng)所述耦合區(qū)域發(fā)生相互耦合后，自所述輸出用條形波導(dǎo)的輸出端輸出。

進(jìn)一步的，所述光偏振旋轉(zhuǎn)器為電介質(zhì)、半導(dǎo)體或有機(jī)物材料波導(dǎo)。

進(jìn)一步的，所述電介質(zhì)為二氧化硅、二氧化鈦或氧化鎵。

進(jìn)一步的，所述半導(dǎo)體為硅、鍺、氮化硅或三五族光電子化合物材料，且其中的所述三五族光電子化合物材料為磷化銦或氮化鎵。

由上述技術(shù)方案可知，本發(fā)明所述的一種光偏振旋轉(zhuǎn)器，該光偏振旋轉(zhuǎn)器的長(zhǎng)度方向上的兩端分別為光輸入端和光輸出端，且所述光偏振旋轉(zhuǎn)器上的光輸入端與光輸出端之間的部分為偏振旋轉(zhuǎn)區(qū)域；所述偏振旋轉(zhuǎn)區(qū)域?yàn)闄M截面呈凹字型的凹字型溝道波導(dǎo)，且所述凹字型溝道波導(dǎo)與所述光輸入端的長(zhǎng)度方向相同；本發(fā)明能夠在幾個(gè)微米的尺寸內(nèi)實(shí)現(xiàn)偏振旋轉(zhuǎn)且對(duì)加工工藝要求低，結(jié)構(gòu)中需加工的最小線寬可以≥200nm，因此采用目前已經(jīng)普及商用的中低端0.18μm微納加工工藝即可完成批量加工生產(chǎn)，從而具有低成本的特點(diǎn)，在集成光電子領(lǐng)域具有很高的應(yīng)用價(jià)值。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發(fā)明的一種光偏振旋轉(zhuǎn)器的第一種具體實(shí)現(xiàn)方式的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明的一種光偏振旋轉(zhuǎn)器的第二種具體實(shí)現(xiàn)方式的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本發(fā)明的波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器40的矩形過渡結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本發(fā)明的波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器40的流線型過渡結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本發(fā)明的波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器40的直線過渡結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是本發(fā)明的光輸出端30連接一個(gè)輸出用條形波導(dǎo)31的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是本發(fā)明的光輸出端30連接兩條輸出用條形波導(dǎo)31的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8是本發(fā)明的兩個(gè)輸出用條形波導(dǎo)31的一種具體實(shí)現(xiàn)方式的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖9是本發(fā)明的應(yīng)用實(shí)例中的凹字型溝道波導(dǎo)20的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖10是本發(fā)明的應(yīng)用實(shí)例中的凹字型溝道波導(dǎo)的本征模分析示意圖。

圖11是本發(fā)明的應(yīng)用實(shí)例中的輸入用條形波導(dǎo)11的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖12是本發(fā)明的應(yīng)用實(shí)例中的波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器40的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖13是本發(fā)明的應(yīng)用實(shí)例中的舉例一中的偏振旋轉(zhuǎn)器光場(chǎng)分布圖。

圖14是本發(fā)明的應(yīng)用實(shí)例中的舉例二中的偏振旋轉(zhuǎn)器光場(chǎng)分布圖。

其中，10-光輸入端；11-輸入用條形波導(dǎo)；20-凹字型溝道波導(dǎo)；30-光輸出端；31-輸出用條形波導(dǎo)；311-相移區(qū)域；312-輸出區(qū)域；313-耦合區(qū)域；40-波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

本發(fā)明的實(shí)施例一公開了一種光偏振旋轉(zhuǎn)器的第一種具體實(shí)現(xiàn)方式，參見圖1，該光偏振旋轉(zhuǎn)器具體包括如下內(nèi)容：

所述光偏振旋轉(zhuǎn)器的長(zhǎng)度方向上的兩端分別為光輸入端10和光輸出端30，且所述光偏振旋轉(zhuǎn)器上的光輸入端10與光輸出端30之間的部分為偏振旋轉(zhuǎn)區(qū)域。

在上述描述中，光偏振旋轉(zhuǎn)器的總體結(jié)構(gòu)為一種沿長(zhǎng)度方向延伸的結(jié)構(gòu)，且該結(jié)構(gòu)中起到偏振旋轉(zhuǎn)作用的部分為位于光輸入端10與光輸出端30之間的偏振旋轉(zhuǎn)區(qū)域，根據(jù)實(shí)際應(yīng)用情況，所述光偏振旋轉(zhuǎn)器用于在兩種偏振態(tài)的基模(te0與tm0)之間進(jìn)行模式轉(zhuǎn)換，光線從光輸入端10進(jìn)入所述偏振旋轉(zhuǎn)區(qū)域，經(jīng)偏振旋轉(zhuǎn)后，經(jīng)光輸出端30輸出；另外，所述光偏振旋轉(zhuǎn)器為電介質(zhì)、半導(dǎo)體或有機(jī)物材料波導(dǎo)；所述電介質(zhì)為二氧化硅、二氧化鈦或氧化鎵；所述半導(dǎo)體為硅、鍺、氮化硅或三五族光電子化合物材料，且其中的所述三五族光電子化合物材料為磷化銦或氮化鎵。

所述偏振旋轉(zhuǎn)區(qū)域?yàn)闄M截面呈凹字型的凹字型溝道波導(dǎo)20。

在上述描述中，凹字型溝道波導(dǎo)20由條形波導(dǎo)11中間淺刻蝕去除一部分波導(dǎo)材料構(gòu)成，去除部分的深度小于波導(dǎo)總厚度。進(jìn)一步的，所述的光偏振旋轉(zhuǎn)器的整個(gè)結(jié)構(gòu)中，在加工時(shí)所需加工的最小線寬可以≥200nm，使得其采用目前已經(jīng)普及商用的中低端的0.18μm微納米加工工藝即可完成批量加工生產(chǎn)，同時(shí)該偏振旋轉(zhuǎn)器可以在0.725μm×6.46μm的超小尺寸下實(shí)現(xiàn)偏振旋轉(zhuǎn)。

從上述描述可知，本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種具有新型結(jié)構(gòu)的光偏振旋轉(zhuǎn)器，其通過結(jié)構(gòu)的設(shè)置降低了加工工藝的難度及成本，并提高了其實(shí)現(xiàn)光偏振旋轉(zhuǎn)的精度，實(shí)現(xiàn)了對(duì)偏振旋轉(zhuǎn)器的快速且可靠的批量加工生產(chǎn)，并在批量加工生產(chǎn)的同時(shí)，保證了其光偏振旋轉(zhuǎn)的精確性。

本發(fā)明的實(shí)施例二公開了一種光偏振旋轉(zhuǎn)器的第二種具體實(shí)現(xiàn)方式，參見圖2，該光偏振旋轉(zhuǎn)器中還具體包括如下內(nèi)容：

所述光輸入端10為輸入用條形波導(dǎo)11，且該輸入用條形波導(dǎo)11與所述凹字型溝道波導(dǎo)20的一端導(dǎo)通連接；所述輸入用條形波導(dǎo)11與所述凹字型溝道波導(dǎo)20之間設(shè)有用于導(dǎo)通連接二者的波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器40，且所述波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器為多模干涉型光偏振旋轉(zhuǎn)器。

在上述描述中，在實(shí)際應(yīng)用中，波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器40只要能夠?qū)崿F(xiàn)輸入用條形波導(dǎo)11與所述凹字型溝道波導(dǎo)20之間的導(dǎo)通連接即可，因此，波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器40的結(jié)構(gòu)可以為如圖3所示的矩形過渡結(jié)構(gòu)、可以為如圖4所示的流線型過渡結(jié)構(gòu)、也可以為圖5所示的直線過渡結(jié)構(gòu)；相應(yīng)的，所述波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器40的兩端的寬度在保證光輸入端10的光能夠完全進(jìn)入所述凹字型溝道波導(dǎo)20，以及所述凹字型溝道波導(dǎo)20中的光能夠進(jìn)入所述光輸出端30中即可，在一種優(yōu)選的實(shí)現(xiàn)方式中，所述波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器40的用于連接所述輸入用條形波導(dǎo)11的一端的寬度與所述輸入用條形波導(dǎo)11的寬度相同，且該波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器40的用于連接所述凹字型溝道波導(dǎo)20的另一端的寬度與所述凹字型溝道波導(dǎo)20的總寬度相同，且其中的所述波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器40的用于連接所述凹字型溝道波導(dǎo)20的另一端的橫截面形狀與所述凹字型溝道波導(dǎo)20的橫截面形狀相同。

從上述描述可知，本發(fā)明的實(shí)施例采用波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器連接兩種波導(dǎo)的方式，提高了所述光偏振旋轉(zhuǎn)器的偏振旋轉(zhuǎn)性能。

在一種具體實(shí)現(xiàn)方式中，所述光輸出端30可以僅設(shè)置有一個(gè)輸出用條形波導(dǎo)31，如圖6所示，且該輸出用條形波導(dǎo)31可以連接在所述光輸出端30的兩端中的任意一端，僅設(shè)有一條輸出用條形波導(dǎo)31的光偏振旋轉(zhuǎn)器的應(yīng)用場(chǎng)景為某種工作環(huán)境下僅需一個(gè)輸出波導(dǎo)的情況。

相對(duì)的，在另一種更為優(yōu)選的具體實(shí)現(xiàn)方式中，如圖7所示，所述光輸出端30包括對(duì)稱設(shè)置且長(zhǎng)度方向相同的兩個(gè)輸出用條形波導(dǎo)31，且該兩個(gè)輸出用條形波導(dǎo)31分別與所述凹字型溝道波導(dǎo)20的遠(yuǎn)離所述光輸入端10的另一端導(dǎo)通連接；其中，設(shè)有兩條輸出用條形波導(dǎo)31的光偏振旋轉(zhuǎn)器的應(yīng)用場(chǎng)景為某種工作環(huán)境下需要兩個(gè)輸出波導(dǎo)的情況，同時(shí)也同樣適用某種工作環(huán)境下僅需一個(gè)輸出波導(dǎo)的情況，即僅需獲取一個(gè)輸出用條形波導(dǎo)31的輸出波導(dǎo)，不對(duì)另一個(gè)輸出用條形波導(dǎo)31的光功率做處理。

從上述描述可知，本發(fā)明的具體實(shí)現(xiàn)方式提供了光輸出端30的不用設(shè)置方式與應(yīng)用方式，在保證了光偏振旋轉(zhuǎn)器輸出光的準(zhǔn)確性的同時(shí)，也提高了光偏振旋轉(zhuǎn)器適用廣泛性。

在一種具體實(shí)現(xiàn)方式中，基于上述光輸出端30包括軸對(duì)稱設(shè)置且長(zhǎng)度方向相同的兩個(gè)輸出用條形波導(dǎo)31的情形，也可以為如圖8所示的兩個(gè)輸出用條形波導(dǎo)31，具體包括：用于與所述凹字型溝道波導(dǎo)20連接的相移區(qū)域311、用于輸出光的輸出區(qū)域312，以及，導(dǎo)通連接所述相移端311和輸出區(qū)域312的耦合區(qū)域313；使得經(jīng)所述凹字型溝道波導(dǎo)20輸出至兩個(gè)所述輸出用條形波導(dǎo)31的兩束光，先經(jīng)所述相移端311產(chǎn)生相位差，再經(jīng)所述耦合區(qū)域313發(fā)生相互耦合后，自所述輸出用條形波導(dǎo)31的輸出區(qū)域312輸出。

從上述描述可知，本發(fā)明的具體實(shí)現(xiàn)方式給出了光輸出端30的具體設(shè)置，提高了光輸出的精確性。

為進(jìn)一步的說明本方案，本發(fā)明還提供了一種光偏振旋轉(zhuǎn)器的應(yīng)用實(shí)例，該光偏振旋轉(zhuǎn)器具體包括如下內(nèi)容：

以絕緣體上硅(silicon-on-insulator，soi)材料平臺(tái)為例對(duì)本發(fā)明公開的偏振旋轉(zhuǎn)器進(jìn)行原理說明，波導(dǎo)材料為硅、包層和襯底材料為二氧化硅。本應(yīng)用實(shí)例采用的凹字型溝道波導(dǎo)20如圖9所示，其中h＝220nm、h＝70nm、wslot＝200nm是根據(jù)代工廠商標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)規(guī)則選取，波導(dǎo)寬度w為自由變量用于優(yōu)化器件性能。

當(dāng)w＝725nm時(shí)，該波導(dǎo)可支持3個(gè)本征模，如圖10所示。其中有效折射率neff＝2.12的模式主要橫向光場(chǎng)分量為ex與hy，因此是te偏振狀態(tài)的模式，標(biāo)記為te0^slot模。另2個(gè)模式的4個(gè)橫向光場(chǎng)分量強(qiáng)度相當(dāng)，不存在主要場(chǎng)分量，因而偏振狀態(tài)為混合偏振態(tài)，分別標(biāo)記為em1^slot和em2^slot模。

輸入用條形波導(dǎo)11中tm偏振基模(tm0^strip)的主要橫向光場(chǎng)分量為ey與hx。當(dāng)tm0^strip入射到上述凹字型溝道波導(dǎo)20時(shí)，由于凹字型溝道波導(dǎo)20中不存在主要橫向光場(chǎng)分量為ey與hx的本征模，因此以tm0^strip模式輸入的光波只能轉(zhuǎn)換為em1^slot和em2^slot兩個(gè)模式的疊加態(tài)進(jìn)行傳播。em1^slot和em2^slot兩個(gè)模式存在一定的有效折射率差異，這將在傳播過程中產(chǎn)生差拍振蕩。優(yōu)化凹字型溝道波導(dǎo)20的寬度使得在差拍振蕩的拍長(zhǎng)位置(6.46μm)對(duì)應(yīng)的疊加態(tài)的偏振為te偏振。然后在這一位置連接輸出用條形波導(dǎo)31即可實(shí)現(xiàn)偏振旋轉(zhuǎn)，其中，輸入用條形波導(dǎo)11如圖11所示。

當(dāng)輸入用條形波導(dǎo)11中的te偏振基模(te0^strip)入射到上述凹字型溝道波導(dǎo)20時(shí)，由于te0^strip與te0^slot的主要光場(chǎng)分量都是ex與hy，因而會(huì)轉(zhuǎn)換為te0^slot模在凹字型溝道波導(dǎo)中傳播。傳輸至輸出用條形波導(dǎo)31時(shí)仍為te偏振。

凹字型溝道波導(dǎo)20與輸入用條形波導(dǎo)11的場(chǎng)分布存在一定的差異，因此在后續(xù)舉例中的輸入用條形波導(dǎo)11中將采用圖12所示的波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器40來連接輸入用條形波導(dǎo)11與凹字型溝道波導(dǎo)20。需要指出的是，采用波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器40連接兩種波導(dǎo)可以獲得更好的性能，但并不是本發(fā)明應(yīng)用的必要條件，不應(yīng)將波導(dǎo)模式轉(zhuǎn)換器40視為本發(fā)明應(yīng)用的限制條件。直接將輸入用條形波導(dǎo)11與凹字型溝道波導(dǎo)20相連接或者通過其他類型的波導(dǎo)轉(zhuǎn)換器連接，也可以實(shí)現(xiàn)偏振旋轉(zhuǎn)。

舉例一：

在凹字型溝道波導(dǎo)20末端連接2根相互對(duì)稱的輸出用條形波導(dǎo)31即可實(shí)現(xiàn)光波輸出，如圖13所示。輸入輸出波導(dǎo)都以條形波導(dǎo)為例進(jìn)行展示。其中橫向場(chǎng)分量ex與hy對(duì)應(yīng)于te偏振態(tài)，總是成對(duì)出現(xiàn)，因此圖13中以hy為代表進(jìn)行了展示；橫向場(chǎng)分量ey與hx對(duì)應(yīng)于tm偏振態(tài)，總是成對(duì)出現(xiàn)，因此圖13中以ey為代表進(jìn)行了展示。由場(chǎng)分布可見，條形波導(dǎo)中的te偏振基模(te0^strip)入射時(shí)，經(jīng)過偏振旋轉(zhuǎn)區(qū)域后仍舊保持te偏振態(tài)。隨后，由輸出區(qū)域中相互對(duì)稱的2根輸出用條形波導(dǎo)31輸出為相位差是0的2束te0^strip光波。輸入用條形波導(dǎo)11中的tm偏振基模(tm0^strip)入射時(shí)，經(jīng)過偏振旋轉(zhuǎn)區(qū)域后其主要橫向場(chǎng)分量由ey與hx轉(zhuǎn)變?yōu)榱薳x與hy，即旋轉(zhuǎn)為te偏振態(tài)。隨后，由輸出區(qū)域中相互對(duì)稱的2根輸出用條形波導(dǎo)31輸出為相位差是π的2束te0^strip光波。

舉例二：

如圖14所示，本實(shí)施例的輸入?yún)^(qū)域和偏振旋轉(zhuǎn)區(qū)域同舉例一，區(qū)別在于從輸出區(qū)域中兩輸出用條形波導(dǎo)31輸出的光不是相互對(duì)稱輸出的；光波在輸出區(qū)域中首先經(jīng)過相移區(qū)域，使得兩波導(dǎo)之間存在π/2的相位差；然后經(jīng)過耦合區(qū)域，兩輸出波導(dǎo)中的光波會(huì)發(fā)生相互耦合；最后在兩波導(dǎo)發(fā)生完全耦合的位置將波導(dǎo)分開為2根獨(dú)立的輸出波導(dǎo)。

由光場(chǎng)分布可見，偏振的選擇特性同舉例一。區(qū)別在于，te0^strip光波入射時(shí)，光波以te0^strip模只從下側(cè)輸出波導(dǎo)輸出；tm0^strip光波入射時(shí)，光波以te0^strip模只從上側(cè)輸出波導(dǎo)輸出。

從上述描述可知，本發(fā)明的應(yīng)用實(shí)例提供了一種具有新型結(jié)構(gòu)的光偏振旋轉(zhuǎn)器，其通過結(jié)構(gòu)的設(shè)置降低了加工工藝的難度、成本及時(shí)間，并提高了其實(shí)現(xiàn)光偏振旋轉(zhuǎn)的精度，實(shí)現(xiàn)了對(duì)偏振旋轉(zhuǎn)器的快速且可靠的批量加工生產(chǎn)，并在批量加工生產(chǎn)的同時(shí)，保證了其光偏振旋轉(zhuǎn)的精確性。

以上實(shí)施例僅用于說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。