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一種多焦點仿生復(fù)眼結(jié)構(gòu)的成形方法與流程

文檔序號:12659592閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種多焦點仿生復(fù)眼結(jié)構(gòu)的成形方法,涉及微細(xì)加工,仿生復(fù)眼等領(lǐng)域。該方法主要步驟為:(1)基材的選擇以及光刻膠旋涂;(2)移動掩模曝光,實現(xiàn)平面連續(xù)面形多焦點復(fù)眼結(jié)構(gòu)的光刻膠成形;(3)將平面多焦點復(fù)眼光刻膠結(jié)構(gòu)刻蝕傳遞到基材上;(4)基于基材上多焦點復(fù)眼結(jié)構(gòu),制備與之互補的柔性多焦點復(fù)眼結(jié)構(gòu)模板;(5)引入光固化材料,利用曲率相互匹配的結(jié)構(gòu)裝置,將平面多焦點仿生復(fù)眼結(jié)構(gòu)信息轉(zhuǎn)移變換為曲面結(jié)構(gòu),形成一體化的多焦點仿生復(fù)眼結(jié)構(gòu)。

技術(shù)研發(fā)人員:曹阿秀;史立芳;鄧啟凌;張滿;龐輝
受保護的技術(shù)使用者:中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所
文檔號碼:201710219871
技術(shù)研發(fā)日:2017.04.06
技術(shù)公布日:2017.06.13

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