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一種基于TEC的光子芯片溫控結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):12593731閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種TEC溫控結(jié)構(gòu),尤其涉及一種基于TEC的光子芯片溫控結(jié)構(gòu),包括溫控目標(biāo)光子芯片、用于引出光子芯片熱調(diào)電極的PCB基板以及導(dǎo)熱板,所述導(dǎo)熱板上設(shè)有導(dǎo)熱凸臺(tái),所述光子芯片粘接在導(dǎo)熱凸臺(tái)上;所述PCB基板上開(kāi)設(shè)有通孔,所述光子芯片凸出于PCB基板的上表面,光子芯片的熱調(diào)電極引出至PCB基板;所述導(dǎo)熱板底端貼在TEC制冷片的冷端,TEC制冷片的熱端貼在散熱底座的上端面,導(dǎo)熱板側(cè)壁開(kāi)孔至導(dǎo)熱凸臺(tái)正下方,孔內(nèi)裝有NTC溫度傳感器。本發(fā)明通過(guò)集成TEC和光子芯片的方法,解決了光子芯片熱調(diào)制中溫漂的問(wèn)題,并大大提高了對(duì)該光子芯片進(jìn)行熱調(diào)耦合及封裝的效率,具有體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、效率高、集成度高等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員:趙恒;崔乃迪;金里;方俏然;馮俊波;周杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第三十八研究所
文檔號(hào)碼:201710182541
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.24
技術(shù)公布日:2017.06.09

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