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投影MEMS設備、投影MEMS系統(tǒng)、便攜式電子設備和便攜式電子裝置的制作方法

文檔序號:11661768閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
投影MEMS設備、投影MEMS系統(tǒng)、便攜式電子設備和便攜式電子裝置。該投影MEMS設備包括:固定支撐結(jié)構(gòu)(17),其至少部分地由半導體材料制成;和若干個投影模塊(M1,M2,M3)。每個投影模塊包括光源(2),該光源固定于固定支撐結(jié)構(gòu)(17);和微機電致動器(19,36,37),該微機電致動器包括移動結(jié)構(gòu)(19)并且改變移動結(jié)構(gòu)相對于固定支撐結(jié)構(gòu)(17)的位置。每個投影模塊還包括初始光纖(20),該初始光纖根據(jù)移動結(jié)構(gòu)(19)的位置機械地耦合至移動結(jié)構(gòu)(19)并且光學地耦合至光源(2)。

技術(shù)研發(fā)人員:G·基亞雷蒂;F·L·格里利;R·卡爾米納蒂;B·穆拉里;L·薩奇
受保護的技術(shù)使用者:意法半導體股份有限公司
文檔號碼:201621103291
技術(shù)研發(fā)日:2016.09.30
技術(shù)公布日:2017.07.28

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