技術編號：11661768
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種可以例如用于形成所謂的飛點(flyingspot)類型的微型投影儀的投影MEMS設備；進一步地，本發(fā)明涉及相關制造方法。背景技術如所已知的，目前可以獲得無數(shù)光電MEMS系統(tǒng)，其被設計成生成圖像(例如，在對應的屏幕上)并且特征是非常小的體積；這些光電MEMS系統(tǒng)還被稱為“微型投影儀(picoprojector)”。一般而言，當前微型投影儀的體積如此之小以使得內部能夠包括微型投影儀，例如，蜂窩電話。因此，微型投影儀可以形成便攜式電子設備的所謂的嵌入式模塊，諸如例如，便攜式PC、平板電腦...
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