本實用新型涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種雙通道光學(xué)采集裝置。

背景技術(shù)：

進行信號光收集是光學(xué)檢測儀器中最常用的信號采集方式之一，由散射理論可知，信號光將隨著散射物特征呈現(xiàn)不同的空間分布特征，許多光學(xué)檢測應(yīng)用中均進行指定空間范圍信號光收集?；诠鈱W(xué)檢測儀器的應(yīng)用場景，人們進行了各種信號光收集方式設(shè)計，收集范圍主要分為全空間分布、小角度分布、大角度分布、確定方向分布以及雙通道分布五種，其中雙通道收集是指分別同時采集大、小角度范圍內(nèi)的信號光，雙通道信號光采集同時提供不同角度范圍信號光信息，能有力拓展許多光學(xué)檢測功能，如在晶圓污染檢測中，采用雙通道采集方式可以增加檢測顆粒的尺寸范圍，因此雙通道采集方案在許多光學(xué)檢測儀器中采用。而對于雙通道采集設(shè)計，由于信號光收集位置距離較近，在保證收集效率的同時如何實現(xiàn)兩個光采集通道互不干擾成為設(shè)計難點與重點?；诜垂獗杉切盘柟馐占囊环N重要方式，它通過反光杯內(nèi)部光滑表面對信號光的折射反射實現(xiàn)信號光的聚攏收集，可以實現(xiàn)非接觸式大角度收集，因此反光杯采集方案主要被用于需要收集大角度信號光的情況。但由于反光杯加工困難、內(nèi)壁平整度有限，因此難以實現(xiàn)大、小角度信號光分離。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型通過提供一種雙通道光學(xué)采集裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中反光杯采集信號光時難以實現(xiàn)大、小角度信號光分離的技術(shù)問題，實現(xiàn)了對不同角度的信號光的同步分離，將分離后的信號光分別進行采集。

本實用新型提供了一種雙通道光學(xué)采集裝置，所述裝置包括：反光杯、光路分離單元、第一光信號采集單元及第二光信號采集單元；

所述光路分離單元與所述反光杯相對設(shè)置；

所述信號光的一部分經(jīng)所述光路分離單元入射至所述第一光信號采集單元，另一部分經(jīng)所述反光杯會聚后入射至所述第二光信號采集單元。

進一步地，所述光路分離單元包括：第一透鏡組、第一透鏡組安裝件、連接單元、第一反射鏡安裝件及第一反射鏡；

所述第一透鏡組通過所述第一透鏡組安裝件固定在所述連接單元上；

所述第一反射鏡通過所述第一反射鏡安裝件固定在所述連接單元上；

所述信號光的一部分經(jīng)所述第一透鏡組后通過所述第一反射鏡反射至所述第一光信號采集單元；

所述連接單元與所述反光杯固定連接。

進一步地，所述連接單元包括：外圈、支撐桁及內(nèi)圈；

所述內(nèi)圈設(shè)置在所述外圈內(nèi)側(cè)，所述內(nèi)圈通過所述支撐桁與所述外圈固定連接；

所述第一透鏡組安裝件及所述第一反射鏡安裝件與所述內(nèi)圈固定連接；

所述外圈與所述反光杯固定連接。

進一步地，所述支撐桁至少為兩根；

所述支撐桁均勻分布在所述內(nèi)圈與所述外圈之間。

進一步地，所述支撐桁為三根。

進一步地，所述第一光信號采集單元包括：第二反射鏡及第一光學(xué)探測器；

所述信號光的一部分經(jīng)所述第一透鏡組后通過所述第一反射鏡反射至所述第二反射鏡，所述第二反射鏡將所述信號光反射至所述第一光學(xué)探測器。

進一步地，所述第二光信號采集單元包括：第二透鏡組及第二光學(xué)探測器；

所述第二透鏡組與所述反光杯相對設(shè)置；

所述反光杯會聚的信號光經(jīng)所述第二透鏡組入射至所述第二光學(xué)探測器。

本實用新型提供的一種或多種技術(shù)方案，至少具備以下有益效果或優(yōu)點：

本實用新型提供的雙通道光學(xué)采集裝置，信號光的一部分經(jīng)光路分離單元入射至第一光信號采集單元，另一部分經(jīng)反光杯會聚后入射至第二光信號采集單元，解決了現(xiàn)有技術(shù)中反光杯采集信號光時難以實現(xiàn)大、小角度信號光分離的技術(shù)問題，實現(xiàn)了對不同角度的信號光的同步分離，將分離后的信號光分別進行采集。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例提供的雙通道光學(xué)采集裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1所示雙通道光學(xué)采集裝置中連接單元結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖1所示雙通道光學(xué)采集裝置中連接單元與第一透鏡組安裝件及第一反射鏡安裝件連接位置關(guān)系圖。

具體實施方式

本實用新型實施例通過提供一種雙通道光學(xué)采集裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中反光杯采集信號光時難以實現(xiàn)大、小角度信號光分離的技術(shù)問題，實現(xiàn)了對不同角度的信號光的同步分離，將分離后的信號光分別進行采集。

參見圖1-圖3，本實用新型提供了一種雙通道光學(xué)采集裝置，該裝置包括：反光杯1、光路分離單元、第一光信號采集單元及第二光信號采集單元。光路分離單元與反光杯1相對設(shè)置；信號光的一部分經(jīng)光路分離單元入射至第一光信號采集單元，另一部分經(jīng)反光杯1會聚后入射至第二光信號采集單元。

優(yōu)選地，光路分離單元包括：第一透鏡組2、第一透鏡組安裝件34、連接單元3、第一反射鏡安裝件35及第一反射鏡4。第一透鏡組2通過第一透鏡組安裝件34固定在連接單元3上；第一反射鏡4通過第一反射鏡4第一反射鏡4安裝件35固定在連接單元3上；信號光的一部分經(jīng)第一透鏡組2后通過第一反射鏡4反射至第一光信號采集單元；連接單元3與反光杯1固定連接。

優(yōu)選地，連接單元3包括：外圈33、支撐桁32及內(nèi)圈31。內(nèi)圈31設(shè)置在外圈33內(nèi)側(cè)，內(nèi)圈31通過支撐桁32與外圈33固定連接。第一透鏡組安裝件34及第一反射鏡4第一反射鏡4安裝件35與內(nèi)圈31固定連接；外圈33與反光杯1固定連接。

優(yōu)選地，支撐桁32至少為兩根；支撐桁32均勻分布在內(nèi)圈31與外圈33之間。

優(yōu)選地，支撐桁32為三根。

優(yōu)選地，第一光信號采集單元包括：第二反射鏡6及第一光學(xué)探測器；信號光的一部分經(jīng)第一透鏡組2后通過第一反射鏡4反射至第二反射鏡6，第二反射鏡將信號光反射至第一光學(xué)探測器。

優(yōu)選地，第二光信號采集單元包括：第二透鏡組5及第二光學(xué)探測器；第二透鏡組5與反光杯1相對設(shè)置；反光杯1會聚的信號光經(jīng)第二透鏡組5入射至第二光學(xué)探測器。

下面結(jié)合具體的實施例對本實用新型提供的雙通道光學(xué)采集裝置進行說明：

參見圖1-圖3，本實施例提供了一種雙通道光學(xué)采集裝置，該裝置包括：反光杯1、光路分離單元、第一光信號采集單元及第二光信號采集單元；光路分離單元與反光杯1相對設(shè)置；信號光的一部分經(jīng)光路分離單元入射至第一光信號采集單元，另一部分經(jīng)反光杯1會聚后入射至第二光信號采集單元。

其中，光路分離單元包括：第一透鏡組2、第一透鏡組安裝件34、連接單元3、第一反射鏡4第一反射鏡4安裝件35及第一反射鏡4；連接單元3 包括：外圈33、支撐桁32及內(nèi)圈31；第一光信號采集單元包括：第二反射鏡6及第一光學(xué)探測器；第二光信號采集單元包括：第二透鏡組5及第二光學(xué)探測器。

內(nèi)圈31設(shè)置在外圈33內(nèi)側(cè)，內(nèi)圈31通過支撐桁32與外圈33固定連接。第一透鏡組2通過第一透鏡組安裝件34固定在內(nèi)圈31上；第一反射鏡4通過第一反射鏡4第一反射鏡4安裝件35固定在內(nèi)圈31上。外圈33與反光杯1固定連接。支撐桁32為三根，支撐桁32均勻分布在內(nèi)圈31與外圈33之間，內(nèi)圈31與反光杯1固定連接。第二透鏡組5與反光杯1相對設(shè)置。

參見圖1-圖3，本實用新型實施例提供的雙通道光學(xué)采集裝置的工作原理為：信號光入射至反光杯1，信號光的一部分(即小角度信號光)入射至第一透鏡組2，經(jīng)第一透鏡組2放大后經(jīng)入射至第一反射鏡4，第一反射鏡4將信號光反射至第二反射鏡6，第二反射鏡6將信號光反射至第一光學(xué)探測器，第一光學(xué)探測器實現(xiàn)對小角度信號光的采集。反光杯1會聚的信號光(即大角度信號光)經(jīng)內(nèi)圈31與外圈33之間的區(qū)域入射至第二透鏡組5，經(jīng)第二透鏡處理后入射至第二光學(xué)探測器，第二光學(xué)探測器實現(xiàn)對大角度信號光的采集。

參見圖1-圖3，本實用新型實施例提供的一種或多種技術(shù)方案，至少具備以下有益效果：

本實用新型實施例提供的雙通道光學(xué)采集裝置，信號光的一部分經(jīng)光路分離單元入射至第一光信號采集單元，另一部分經(jīng)反光杯1會聚后入射至第二光信號采集單元，解決了現(xiàn)有技術(shù)中反光杯1采集信號光時難以實現(xiàn)大、小角度信號光分離的技術(shù)問題，實現(xiàn)了對不同角度的信號光的同步分離，將分離后的信號光分別進行采集。

本實用新型實施例提供的雙通道光學(xué)采集裝置，連接單元3采用內(nèi)圈31及外圈33的組合設(shè)計，大角度信號光通過內(nèi)圈31與外圈33之間的區(qū)域進行采集，對大角度信號光的遮擋率較低，對大角度信號光的影響較小。

最后所應(yīng)說明的是，以上具體實施方式僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案而非限制，盡管參照實例對本實用新型進行了詳細(xì)說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對本實用新型的技術(shù)方案進行修改或者等同替換，而不脫離本實用新型技術(shù)方案的精神和范圍，其均應(yīng)涵蓋在本實用新型的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。