1.一種微型掃描儀,其特征在于:所述微型掃描儀包括:
一基底,其具有一主表面和形成于主表面內(nèi)的一腔體;
一平衡環(huán)組件,其位于所述基底的腔體內(nèi),且該平衡環(huán)組件包括:
一掃描板,其具有基本平行于所述基底的主表面的一主要表面;
一平衡環(huán),其基本平行于所述基底的主表面且包圍所述掃描板;
一第一扭力臂和一第二扭力臂將所述掃描板機(jī)械耦合至所述平衡環(huán);以及
一磁體,其裝于所述平衡環(huán);以及
一場(chǎng)磁體,其鄰近于所述基底且被設(shè)置為在所述基底的腔體內(nèi)產(chǎn)生一不均勻磁場(chǎng),該不均勻磁場(chǎng)與所述磁體相互作用,以為在所述基底的腔體內(nèi)的所述平衡環(huán)組件形成一平衡位置。
2.如權(quán)利要求1所述的微型掃描儀,其特征在于:所述平衡環(huán)組件還包括設(shè)置于所述掃描板的主要表面上的一反射鏡。
3.如權(quán)利要求2所述的微型掃描儀,其特征在于:所述反射鏡包括沉積于所述掃描板的主要表面上的一鉑層。
4.如權(quán)利要求1所述的微型掃描儀,其特征在于:所述平衡環(huán)組件還包括設(shè)置于所述平衡環(huán)上的一閉合電路線圈。
5.如權(quán)利要求4所述的微型掃描儀,其特征在于:所述平衡環(huán)具有一第一面和與第一面彼此相對(duì)的一第二面,且所述磁體設(shè)置于所述平衡環(huán)的所述第一面上。
6.如權(quán)利要求5所述的微型掃描儀,其特征在于:所述閉合電路線圈設(shè)置于所述平衡環(huán)的所述第二面上。
7.如權(quán)利要求5所述的微型掃描儀,其特征在于:所述閉合電路線圈設(shè)置于所述平衡環(huán)的所述第一面上。
8.如權(quán)利要求7所述的微型掃描儀,其特征在于:所述閉合電路線圈包圍所述磁體。
9.如權(quán)利要求7所述的微型掃描儀,其特征在于:所述磁體包圍所述閉合電路線圈。
10.如權(quán)利要求1所述的微型掃描儀,其特征在于:在所述基底的主表面內(nèi)的腔體包括位于所述基底內(nèi)的一通孔,該通孔具有包圍所述平衡環(huán)組件的一側(cè)壁。
11.如權(quán)利要求1所述的微型掃描儀,其特征在于:在所述基底的主表面內(nèi)的腔體包括位于所述基底內(nèi)的一凹陷部分,該凹陷部分具有包圍所述平衡環(huán)組件的一側(cè)壁和與側(cè)壁連接的一底部。
12.如權(quán)利要求11所述的微型掃描儀,其特征在于:所述微型掃描儀還包括形成于所述基底的腔體的底部的一基架,且該基架具有與所述掃描板接觸的一端部。
13.如權(quán)利要求1所述的微型掃描儀,其特征在于:所述磁體包括一環(huán)形磁體。
14.如權(quán)利要求1所述的微型掃描儀,其特征在于:所述磁體包括沿所述平衡環(huán)的一周長(zhǎng)離散設(shè)置的若干磁體。
15.如權(quán)利要求1所述的微型掃描儀,其特征在于:
所述磁體被設(shè)置為產(chǎn)生一磁場(chǎng),該磁場(chǎng)在所述磁體內(nèi)具有基本垂直于所述基底的主表面的一方向,并且
由所述場(chǎng)磁體產(chǎn)生的位于所述基底的腔體內(nèi)的不均勻磁場(chǎng)具有垂直于所述基底的主表面的一第一分量和平行于所述基底的主表面的一第二分量。
16.如權(quán)利要求15所述的微型掃描儀,其特征在于:
由所述場(chǎng)磁體產(chǎn)生的位于所述基底的腔體內(nèi)的不均勻磁場(chǎng)的第一分量的方向與由所述磁體在所述磁體內(nèi)產(chǎn)生的磁場(chǎng)方向相同;并且
位于所述基底的腔體內(nèi)的不均勻磁場(chǎng)的第一分量在腔體內(nèi)的一位置處達(dá)到一最大強(qiáng)度。
17.如權(quán)利要求15所述的微型掃描儀,其特征在于:
由所述場(chǎng)磁體產(chǎn)生的位于所述基底的腔體內(nèi)的不均勻磁場(chǎng)的第一分量的方向與由所述磁體在所述磁體內(nèi)產(chǎn)生的磁場(chǎng)方向相反;并且
位于所述基底的腔體內(nèi)的不均勻磁場(chǎng)的第一分量在腔體內(nèi)的一位置處達(dá)到一最小強(qiáng)度。
18.如權(quán)利要求1所述的微型掃描儀,其特征在于:由所述場(chǎng)磁體產(chǎn)生的位于所述基底的腔體內(nèi)的不均勻磁場(chǎng)具有垂直于所述基底的主表面的一第一分量和平行于所述基底的主表面的一第二分量。
19.如權(quán)利要求18所述的微型掃描儀,其特征在于:
所述場(chǎng)磁體的一磁北極較之所述磁體的一磁南極更接近所述磁體的一磁北極;
所述場(chǎng)磁體的一磁南極較之所述磁體的磁北極更接近所述磁體的磁南極;并且
位于所述基底的主表面的腔體內(nèi)的不均勻磁場(chǎng)的第一分量在腔體內(nèi)的一位置處達(dá)到一最小強(qiáng)度。
20.如權(quán)利要求18所述的微型掃描儀,其特征在于:
所述場(chǎng)磁體的一磁北極較之所述磁體的一磁北極更接近所述磁體的一磁南極;
所述場(chǎng)磁體的一磁南極較之所述磁體的磁南極更接近所述磁體的磁北極;
位于所述基底的主表面的腔體內(nèi)的不均勻磁場(chǎng)的第一分量在腔體內(nèi)的一位置處達(dá)到一最大強(qiáng)度。
21.一種激光投影裝置,其特征在于:所述激光投影裝置包括:
一微型掃描儀,其包括:
一基底,其具有形成于其內(nèi)的一腔體;
一掃描板,其具有一主要表面;
一平衡環(huán),其包圍所述掃描板;
一扭力臂,其將所述掃描板耦合至所述平衡環(huán);
一磁體,裝于所述平衡環(huán);以及
一場(chǎng)磁體,其鄰近于所述基底且被設(shè)置為產(chǎn)生與所述磁體相互作用的一不均勻磁場(chǎng),以為在所述基底的腔體內(nèi)的所述平衡環(huán)形成一平衡位置;
一視頻信號(hào)處理器,其具有用于輸出一數(shù)字像素色彩和強(qiáng)度信號(hào)的一第一輸出口和用于輸出一數(shù)字像素掃描信號(hào)的一第二輸出口;
一激光發(fā)射模塊,其與所述視頻信號(hào)處理器的第一輸出口耦合且被設(shè)置為發(fā)射入射到所述微型掃描儀的所述掃描板上的一連續(xù)波激光束;以及
一掃描驅(qū)動(dòng)模塊,其與所述視頻信號(hào)處理器的第二輸出口耦合且被設(shè)置為在所述微型掃描儀的所述平衡環(huán)周圍產(chǎn)生一變化的磁場(chǎng),以感應(yīng)生成一變化的磁偶極子與所述場(chǎng)磁體的不均勻磁場(chǎng)相互作用,由此在所述微型掃描儀的所述平衡環(huán)上產(chǎn)生一變化的力矩,
其中,所述微型掃描儀的所述掃描板被設(shè)置為響應(yīng)作用于所述平衡環(huán)上的變化的力矩,從而按序以一光柵格式反射所述激光發(fā)射模塊的連續(xù)波激光束。
22.如權(quán)利要求21所述的激光投影裝置,其特征在于:所述微型掃描儀還包括設(shè)置于所述平衡環(huán)上的一閉合電路線圈,其中,由所述掃描驅(qū)動(dòng)模塊產(chǎn)生的變化的磁場(chǎng)在所述閉合電路線圈中產(chǎn)生一變化的感應(yīng)電流,從而產(chǎn)生變化的磁偶極子。
23.如權(quán)利要求21所述的激光投影裝置,其特征在于:所述微型掃描儀的所述磁體包括裝于所述平衡環(huán)上的一環(huán)形磁體。
24.如權(quán)利要求21所述的激光投影裝置,其特征在于:所述微型掃描儀的所述磁體包括若干沿所述平衡環(huán)的一周長(zhǎng)離散設(shè)置的磁體。
25.如權(quán)利要求21所述的激光投影裝置,其特征在于:
所述微型掃描儀的所述磁體在所述磁體內(nèi)產(chǎn)生基本垂直于所述掃描板的一磁場(chǎng);并且
由所述微型掃描儀的所述場(chǎng)磁體產(chǎn)生的不均勻磁場(chǎng)具有垂直于所述掃描板的一第一分量和平行于所述掃描板的一第二分量。
26.如權(quán)利要求25所述的激光投影裝置,其特征在于:
由所述微型掃描儀的所述場(chǎng)磁體產(chǎn)生的不均勻磁場(chǎng)的第一分量的方向與由所述磁體在所述磁體內(nèi)產(chǎn)生的磁場(chǎng)方向相同;并且
位于所述基底的腔體內(nèi)的不均勻磁場(chǎng)的第一分量在腔體內(nèi)的一位置處達(dá)到一最大強(qiáng)度。
27.如權(quán)利要求25所述的激光投影裝置,其特征在于:
由所述微型掃描儀的所述場(chǎng)磁體產(chǎn)生的不均勻磁場(chǎng)的第一分量的方向與由所述磁體在所述磁體內(nèi)產(chǎn)生的磁場(chǎng)方向相反;并且
位于所述基底的腔體內(nèi)的不均勻磁場(chǎng)的第一分量在腔體內(nèi)的一位置處達(dá)到一最小強(qiáng)度。
28.如權(quán)利要求21所述的激光投影裝置,其特征在于:由所述微型掃描儀的所述場(chǎng)磁體產(chǎn)生的位于所述基底的腔體內(nèi)的不均勻磁場(chǎng)具有垂直于所述掃描板的一第一分量和平行于所述掃描板的一第二分量。
29.如權(quán)利要求28所述的激光投影裝置,其特征在于:
所述微型掃描儀的所述場(chǎng)磁體的一磁北極較之所述磁體的一磁南極更接近所述磁體的一磁北極;
所述微型掃描儀的所述場(chǎng)磁體的一磁南極較之所述磁體的磁北極更接近所述磁體的磁南極;并且
位于所述微型掃描儀的所述基底的腔體內(nèi)的不均勻磁場(chǎng)的第一分量在腔體內(nèi)的一位置處達(dá)到一最小強(qiáng)度。
30.如權(quán)利要求28所述的激光投影裝置,其特征在于:
所述微型掃描儀的所述場(chǎng)磁體的一磁北極較之所述磁體的一磁北極更接近所述磁體的一磁南極;
所述微型掃描儀的所述場(chǎng)磁體的一磁南極較之所述磁體的磁南極更接近所述磁體的磁北極;并且
位于所述微型掃描儀的所述基底的腔體內(nèi)的不均勻磁場(chǎng)的第一分量在腔體內(nèi)的一位置處達(dá)到一最大強(qiáng)度。
31.如權(quán)利要求21所述的激光投影裝置,其特征在于:所述激光發(fā)射模塊包括:
一激光驅(qū)動(dòng)器,其與所述視頻信號(hào)處理器的第一輸出口耦合且被設(shè)置為產(chǎn)生一模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào);以及
一激光模塊,其與所述激光驅(qū)動(dòng)器耦合且被設(shè)置為響應(yīng)模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)以發(fā)射連續(xù)波激光束。
32.如權(quán)利要求31所述的激光投影裝置,其特征在于:所述激光模塊包括:
若干激光管,其與所述激光驅(qū)動(dòng)器耦合且被設(shè)置為響應(yīng)模擬驅(qū)動(dòng)信號(hào)以產(chǎn)生若干激光束;以及
一光學(xué)元件,其被設(shè)置為組合所述若干激光束以產(chǎn)生入射到所述微型掃描儀的所述掃描板上的連續(xù)波激光束。
33.如權(quán)利要求21所述的激光投影裝置,其特征在于:所述掃描驅(qū)動(dòng)模塊包括:
一掃描驅(qū)動(dòng)器,其與所述視頻信號(hào)處理器的第二輸出口耦合且被設(shè)置為產(chǎn)生一模擬電流信號(hào);以及
一掃描感應(yīng)線圈,其與所述掃描驅(qū)動(dòng)器耦合,該掃描感應(yīng)線圈設(shè)置在所述微型掃描儀的周圍且被設(shè)置為響應(yīng)所述掃描驅(qū)動(dòng)器的模擬電流信號(hào)以在所述微型掃描儀的所述平衡環(huán)的周圍產(chǎn)生變化的磁場(chǎng)。
34.如權(quán)利要求33所述的激光投影裝置,其特征在于:
所述微型掃描儀的所述掃描板具有繞一第一軸振動(dòng)的一第一共振頻率和一第一增幅系數(shù);
所述微型掃描儀的所述平衡環(huán)具有繞垂直于第一軸的一第二軸振動(dòng)的一第二共振頻率和一第二增幅系數(shù),第二共振頻率不同于第一共振頻率;并且
由所述掃描驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生的模擬電流信號(hào)具有與第一共振頻率發(fā)生共振的一第一頻率分量和與第二共振頻率發(fā)生共振的一第二頻率分量。
35.如權(quán)利要求34所述的激光投影裝置,其特征在于:所述微型掃描儀的所述掃描板被設(shè)置為反射所述激光發(fā)射模塊的連續(xù)波激光束,響應(yīng)所述掃描板在第一共振頻率下繞第一軸振動(dòng),以按序產(chǎn)生一像素行內(nèi)的若干像素點(diǎn),并響應(yīng)所述平衡環(huán)在第二共振頻率下繞第二軸振動(dòng),以產(chǎn)生若干像素行。