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陣列基板的制作方法及陣列基板與流程

文檔序號:12458868閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種陣列基板的制作方法,其特征在于,所述方法包括:

提供一基板;

在所述基板表面設(shè)置第一導(dǎo)電層,用于形成掃描線;

在所述第一導(dǎo)電層表面設(shè)置透明導(dǎo)電薄膜層,用于形成像素電極;及

在所述透明導(dǎo)電薄膜層表面設(shè)置第二導(dǎo)電層,用于形成數(shù)據(jù)線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,“在所述基板表面設(shè)置第一導(dǎo)電層,用于形成掃描線”的步驟還包括:在所述第一導(dǎo)電層上形成開關(guān)管的控制電極,所述開關(guān)管的控制電極與所述掃描線電連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,“在所述基板表面設(shè)置第一導(dǎo)電層,用于形成掃描線”與“在所述第一導(dǎo)電層表面設(shè)置透明導(dǎo)電薄膜層,用于形成像素電極”之間還包括步驟:在所述第一導(dǎo)電層表面設(shè)置第一絕緣層,在所述第一絕緣層表面設(shè)置半導(dǎo)體層。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,“在所述第一導(dǎo)電層表面設(shè)置第一絕緣層,在所述第一絕緣層表面設(shè)置半導(dǎo)體層”的步驟包括:在所述半導(dǎo)體層上形成所述開關(guān)管的漏極及源極,所述開關(guān)管的漏極通過導(dǎo)通孔與所述透明導(dǎo)電薄膜上的像素電極電連接,所述開關(guān)管的源極通過導(dǎo)通孔與所述數(shù)據(jù)線電連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,“在所述第一絕緣層表面設(shè)置半導(dǎo)體層”的步驟還包括:在所述第一絕緣層上設(shè)置非晶硅半導(dǎo)體層,在所述非晶硅半導(dǎo)體層上設(shè)置高濃度摻雜的N型導(dǎo)電層。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法,其特征在于,“在所述第一導(dǎo)電層表面設(shè)置透明導(dǎo)電薄膜層,用于形成像素電極”與“在所述透明導(dǎo)電薄膜層表面設(shè)置第二導(dǎo)電層,用于形成數(shù)據(jù)線”之間還包括步驟:將所述開關(guān)管的溝道內(nèi)的高濃度摻雜的N型導(dǎo)電層蝕刻掉。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,在所述第二導(dǎo)電層表面設(shè)置有第二絕緣層。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,所述第一絕緣層及所述第二絕緣層的材料為氮化硅。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述透明導(dǎo)電薄膜處于懸浮狀態(tài)而不導(dǎo)電。

10.一種陣列基板,其特征在于,所述陣列基板由包括如權(quán)利要求1-9任一所述陣列基板的制作方法制成。

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