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一種無損耗超高真空光纖導(dǎo)入裝置及方法與流程

文檔序號:12115537閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種無損耗超高真空光纖導(dǎo)入裝置,其特征在于:包括緊固螺帽(1)、中間設(shè)有通孔的彈性密封塞(2)和管狀接頭(3),所述緊固螺帽(1)的帽蓋上設(shè)有通孔,彈性密封塞(2)的頭部塞裝在管狀接頭(3)的左端口,緊固螺帽(1)與管狀接頭(3)的左端螺紋連接,且使彈性密封塞(2)的尾部位于緊固螺帽(1)的帽腔中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種無損耗超高真空光纖導(dǎo)入裝置,其特征在于:所述中間設(shè)有通孔的彈性密封塞(2)的頭部為錐臺型,以便與管狀接頭(3)密封連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種無損耗超高真空光纖導(dǎo)入裝置,其特征在于:所述管狀接頭(3)為一圓柱管,圓柱管左端內(nèi)壁為與彈性密封塞(2)錐臺型頭部相匹配的錐形面,在圓柱管左端的外壁設(shè)有外螺紋,以便與緊固螺帽(1)螺紋連接。

4.一種采用權(quán)利要求1-3任一項所述無損耗超高真空光纖導(dǎo)入裝置獲取超高真空的方法,其特征在于:包括以下步驟:

(1)將裸光纖依次穿過緊固螺帽、中間設(shè)有通孔的彈性密封塞、管狀接頭和真空法蘭進入真空氣室,旋轉(zhuǎn)緊固螺帽直到帽蓋內(nèi)側(cè)將彈性密封件壓緊;

(2)利用機械泵和渦輪分子泵在常溫下制備低真空;

(3)獲取低真空后,第一次對緊固螺帽緊固,促使低真空保持和改善;

(4)真空系統(tǒng)烘烤升溫,離子泵和過渡真空管道的烘烤溫度和加熱速度略大于真空室和光纖導(dǎo)入裝置;

(5)升溫結(jié)束后第二次對緊固螺帽緊固;

(6)高溫持續(xù)烘烤真空系統(tǒng);

(7)高溫烘烤結(jié)束后,第三次將緊固螺帽緊固;

(8)真空系統(tǒng)烘烤降溫,降溫速度低于升溫過程,在降溫過程中根據(jù)真空壓強變化適時緊固緊固螺帽,直到最終獲得超高真空;

(9)利用高純液體對光纖導(dǎo)入裝置進行檢漏。

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