技術(shù)總結(jié)
提供半色調(diào)相移光掩模坯，其包括透明基材和其上的具有150?200°的相移和9?40％的透射率的半色調(diào)相移膜。該半色調(diào)相移膜由過渡金屬、Si、O和N組成，具有至少3at％的平均過渡金屬含量，并且由多個層組成，該多個層包括具有至少3at％的氧含量的應(yīng)力松弛層和至少5at％的較高氧含量的相移調(diào)節(jié)層。

技術(shù)研發(fā)人員：高坂卓郎
受保護的技術(shù)使用者：信越化學(xué)工業(yè)株式會社
文檔號碼：201610786641
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.31
技術(shù)公布日：2017.03.08