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反射鏡及其制備方法與流程

文檔序號:11825699閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種反射鏡的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

備料:選取膨脹系數(shù)為5×10-7/℃或膨脹系數(shù)≤1×10-7/℃的石英玻璃作為坯料;

制備輕量化結(jié)構(gòu)層:將所述的坯料經(jīng)冷加工得到帶有支撐架的第一玻璃板,所述的支撐架與第一玻璃板圍成預(yù)設(shè)形狀的槽,所述的預(yù)設(shè)形狀為三角形、四邊形、五邊形、六邊形、扇形或圓形;

制備第二玻璃板:將所述的坯料經(jīng)冷加工得到預(yù)設(shè)形狀的第二玻璃板;

制備反射鏡毛坯:將熔接物涂覆在所述的第二玻璃板的熔接面,所述的熔接物為含鋁、硅類片狀或粉狀材料,其膨脹系數(shù)≤1.5×10-7/℃,所述的熔接物的熔化溫度低于所述的輕量化結(jié)構(gòu)層和第二玻璃板的軟化溫度;將所述的第二玻璃板的熔接面與支撐架的熔接面進(jìn)行熔接得到反射鏡毛坯;

將所述的反射鏡毛坯進(jìn)行整形、磨砂和拋光處理后得到所述的反射鏡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡的制備方法,其特征在于,所述的熔接具體包括如下步驟:在500-1600℃條件下將所述的熔接物熔化,然后進(jìn)行降溫,在降至退火溫度前降溫速度大于100℃/小時,所述的退火溫度為300-900℃,退火溫度下保溫30-100min,然后降溫至室溫,從所述的退火溫度到室溫的降溫速度為10-80℃/小時。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡的制備方法,其特征在于,所述的制備輕量化結(jié)構(gòu)層具體包括如下步驟:將要成形的形狀通過軟件畫圖的方式輸入數(shù)控設(shè)備中,將整體石英玻璃固定在數(shù)控加工設(shè)備上,采用金剛石刀具對玻璃按照預(yù)設(shè)的圖形進(jìn)行切削和銑磨,最終獲得輕量化結(jié)構(gòu)層的整體結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡的制備方法,其特征在于,所述的制備第二玻璃板具體包括如下步驟:將石英玻璃板狀材料固定在銑磨或平磨設(shè)備上,用金剛石類砂輪對石英玻璃板進(jìn)行層狀切削,制得所述的第二玻璃板。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡的制備方法,其特征在于,所述的反射鏡的口徑為200-1500mm,反射鏡的徑厚比為小于10:1。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡的制備方法,其特征在于,所述的第一玻璃板上與所述的支撐架對應(yīng)的面的形狀為平面、球面或非球面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡的制備方法,其特征在于,所述的第二玻璃板上與所述的熔接面對應(yīng)的面的形狀為平面、球面或非球面。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡的制備方法,其特征在于,所述的第二玻璃板與所述的輕量化結(jié)構(gòu)層的貼合度為1μm-1mm;所述的熔接物的厚度為1μm-1mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡的制備方法,其特征在于,所述的槽相互連通且與外界連通。

10.一種反射鏡,其特征在于,所述的反射鏡由權(quán)利要求1-9任意一種制備方法制備而得。

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