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一種光聚焦結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:12593095閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種光聚焦結(jié)構(gòu),其特征在于:該結(jié)構(gòu)是由光刻膠構(gòu)成的三維立體的錐形非對稱結(jié)構(gòu),在該錐形非對稱結(jié)構(gòu)的側(cè)面有兩個面是錐形的平面,另一個面是錐形的圓弧面,該錐形非對稱結(jié)構(gòu)的底面為平面,在該錐形非對稱結(jié)構(gòu)的表面鍍有金屬層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光聚焦結(jié)構(gòu),其特征在于所述錐形的圓弧面在錐形非對稱結(jié)構(gòu)的底面上為一段圓弧,兩個錐形的平面在錐形非對稱結(jié)構(gòu)的底面上分別為線段AB和線段OB+圓弧的半徑,其中線段AB=OB,AB與OB互相垂直,角BOA等于45度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光聚焦結(jié)構(gòu),其特征在于所述三維立體的錐形非對稱結(jié)構(gòu)高度與底面半徑之比為4∶1,在任意方向不存在對稱軸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光聚焦結(jié)構(gòu),其特征在于所述的金屬層的金屬為金或銀,厚度為50~80納米。

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