技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種面板的除水設(shè)備，包括用于向面板的兩個表面提供第一吹掃氣流和第二吹掃氣流的第一吹掃設(shè)備和第二吹掃設(shè)備以及用于向面板的兩個基板的接合處提供第三吹掃氣流的第三吹掃設(shè)備，其中，第一吹掃氣流和第二吹掃氣流相對于面板的兩個表面傾斜設(shè)置，能夠?qū)⒚姘灞砻娴姆e水推向一個方向，第三吹掃氣流對兩基板接合處進行除水，減小吹氣盲區(qū)。通過所述方案，本發(fā)明的除水設(shè)備具有較強除水效果，可降低因積水導(dǎo)致的面板研磨品質(zhì)的誤檢率。

技術(shù)研發(fā)人員：胡新斌
受保護的技術(shù)使用者：深圳市華星光電技術(shù)有限公司
文檔號碼：201610648064
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.08
技術(shù)公布日：2016.12.21