本發(fā)明涉及面板的貼合技術(shù)。

背景技術(shù)：

在將液晶面板和玻璃罩這樣的面板彼此貼合來(lái)制造層疊體的裝置中，如果在貼合面中混入氣泡，則存在對(duì)層疊體的質(zhì)量造成影響的情況。為了減少氣泡的混入，在專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2中，公開(kāi)了將一方的面板彎曲地與另一方的面板接觸的裝置。在這些裝置中，能夠?qū)⒚姘彘g的氣泡向周?chē)鷶D出，對(duì)于防止氣泡的混入具有一定的效果。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2012-124444號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2009-180911號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

在將面板彎曲的情況下，由于在面板的保持部分周?chē)l(fā)生彎曲，因此存在面板從保持機(jī)構(gòu)脫落的可能性。

本發(fā)明的目的在于更可靠地保持面板并防止氣泡的混入。

用于解決課題的手段

根據(jù)本發(fā)明，提供一種保持單元，對(duì)相互貼合的面板中的一方的面板進(jìn)行保持，所述保持單元的特征在于，包含：支承部件，所述支承部件具備多個(gè)供氣排氣路徑；以及接觸部，所述接觸部被所述支承部件支承，并與面板接觸，所述接觸部包含多個(gè)開(kāi)口部、以及能夠在與面板的中央部對(duì)應(yīng)的位置向面板側(cè)膨出的中間區(qū)域，所述多個(gè)供氣 排氣路徑包含與所述多個(gè)開(kāi)口部連通的第一供氣排氣路徑、以及面向所述中間區(qū)域開(kāi)口的第二供氣排氣路徑，所述中間區(qū)域能夠利用所述第二供氣排氣路徑內(nèi)與所述接觸部的周?chē)鷼夥盏牟顗簭乃鲋С胁考虺觥?/p>

另外，根據(jù)本發(fā)明，提供一種保持單元，對(duì)相互貼合的面板中的一方的面板進(jìn)行保持，所述保持單元的特征在于，包含：支承部件，所述支承部件具備多個(gè)供氣排氣路徑；片材部件，所述片材部件被所述支承部件支承，并與面板接觸；以及可動(dòng)部件，所述可動(dòng)部件配置于所述支承部件與所述片材部件之間，所述片材部件多個(gè)開(kāi)口部、以及能夠在與面板的中央部對(duì)應(yīng)的位置向面板側(cè)膨出的中間區(qū)域，所述可動(dòng)部件配置于所述中間區(qū)域，所述多個(gè)供氣排氣路徑包含與所述多個(gè)開(kāi)口部連通的第一供氣排氣路徑、以及面向所述可動(dòng)部件開(kāi)口的第二供氣排氣路徑，所述可動(dòng)部件能夠利用所述第二供氣排氣路徑內(nèi)與所述片材部件的周?chē)鷼夥盏牟顗合蛩銎牟考?cè)位移，通過(guò)所述可動(dòng)部件向所述片材部件側(cè)的位移，所述片材部件的所述中間區(qū)域膨出。

另外，根據(jù)本發(fā)明，提供一種貼合方法，用保持單元保持第一面板并與第二面板貼合，所述貼合方法的特征在于，所述保持單元包含具備多個(gè)供氣排氣路徑的支承部件、以及被所述支承部件支承并與面板接觸的接觸部，所述接觸部包含多個(gè)開(kāi)口部、以及能夠在與面板的中央部對(duì)應(yīng)的位置向面板側(cè)膨出的中間區(qū)域，所述多個(gè)供氣排氣路徑包含與所述多個(gè)開(kāi)口部連通的第一供氣排氣路徑、以及面向所述中間區(qū)域開(kāi)口的第二供氣排氣路徑，所述貼合方法包含如下工序：使所述第一面板的與貼合面相反的一側(cè)的面與所述接觸部抵接的工序；利用所述第一供氣排氣路徑的排氣將所述第一面板吸附于所述接觸部的工序；利用所述第二供氣排氣路徑內(nèi)與所述接觸部的周?chē)鷼夥盏牟顗菏顾鲋虚g區(qū)域從所述支承部件向所述第二面板以凸?fàn)钆虺龅呐虺龉ば?；利用以凸?fàn)钆虺龅乃鲋虚g區(qū)域使所述第一面板的中央部以凸?fàn)顝澢墓ば颍皇挂酝範(fàn)顝澢乃龅谝幻姘宓闹醒氩颗c所述第二面板抵接的工序；使所述第一面板和所述第二面板中的至少任一方沿相互 接近的方向移動(dòng)，使所述第一面板與所述第二面板抵接的區(qū)域向這些面板的各周緣部擴(kuò)展的工序；以及解除所述第一面板的吸附的解除工序。

另外，根據(jù)本發(fā)明，提供一種貼合方法，用保持單元保持第一面板并與第二面板貼合，所述貼合方法的特征在于，所述保持單元包含具備多個(gè)供氣排氣路徑的支承部件、被所述支承部件支承并與面板接觸的片材部件、以及配置于所述支承部件和所述片材部件之間的可動(dòng)部件，所述片材部件包含多個(gè)開(kāi)口部、以及能夠在與面板的中央部對(duì)應(yīng)的位置向面板側(cè)膨出的中間區(qū)域，所述多個(gè)供氣排氣路徑包含與所述多個(gè)開(kāi)口部連通的第一供氣排氣路徑、以及面向所述可動(dòng)部件開(kāi)口的第二供氣排氣路徑，所述貼合方法包含如下工序：使所述第一面板的與貼合面相反的一側(cè)的面與所述片材部件抵接的工序；利用所述第一供氣排氣路徑的排氣將所述第一面板吸附于所述片材部件的工序；利用所述第二供氣排氣路徑內(nèi)與所述接觸部的周?chē)鷼夥盏牟顗菏顾隹蓜?dòng)部件位移，來(lái)使所述中間區(qū)域從所述支承部件向所述第二面板以凸?fàn)钆虺龅呐虺龉ば?；利用以凸?fàn)钆虺龅乃鲋虚g區(qū)域使所述第一面板的中央部以凸?fàn)顝澢墓ば?；使以凸?fàn)顝澢乃龅谝幻姘宓闹醒氩颗c所述第二面板抵接的工序；使所述第一面板和所述第二面板中的至少任一方沿相互接近的方向移動(dòng)，使所述第一面板與所述第二面板抵接的區(qū)域向這些面板的各周緣部擴(kuò)展的工序；以及解除所述第一面板的吸附的解除工序。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠更可靠地保持面板并防止氣泡的混入。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的貼合裝置的說(shuō)明圖。

圖2(A)和圖2(B)是保持單元的說(shuō)明圖。

圖3(A)是接觸部的接觸面的說(shuō)明圖，圖3(B)是支承部件的支承面的說(shuō)明圖，圖3(C)是片材部件的說(shuō)明圖。

圖4(A)、圖4(B)和圖4(C)是片材的說(shuō)明圖。

圖5是控制單元的框圖。

圖6是圖1的貼合裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖。

圖7是圖1的貼合裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖。

圖8是圖1的貼合裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖。

圖9是圖1的貼合裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖。

圖10是圖1的貼合裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖。

圖11是圖1的貼合裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖。

圖12(A)和圖12(B)是保持單元的另外例的說(shuō)明圖。

圖13(A)是接觸部的接觸面的說(shuō)明圖，圖13(B)是支承部件的支承面的說(shuō)明圖，圖13(C)和圖13(D)是可動(dòng)部件的立體圖。

圖14(A)和圖(B)是片材的說(shuō)明圖。

具體實(shí)施方式

<第一實(shí)施方式>

<裝置的概要>

圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的貼合裝置A的說(shuō)明圖。貼合裝置A是將兩塊面板貼合來(lái)制造層疊體的裝置。在本實(shí)施方式的情況下，制造將方形的面板與方形的面板貼合的層疊體。一方的面板例如是圖像顯示面板，另一方的面板例如是覆蓋面板，該層疊體構(gòu)成圖像顯示裝置。作為圖像顯示面板，例如是液晶顯示面板(例如LCD)，在其顯示面?zhèn)?在貼合過(guò)程中成為上表面)貼附覆蓋面板(例如玻璃罩)。覆蓋面板是具有透光性的面板，例如是玻璃板或樹(shù)脂板。

在被貼合的兩塊面板中的至少一方上預(yù)先形成粘接層，利用該粘接層能夠?qū)蓧K面板貼合。粘接層能夠由涂布著粘接劑等的覆蓋層、粘接片、粘接膜等形成。

貼合裝置A包含保持單元1、升降臺(tái)2、腔室單元3、基臺(tái)4、腔室單元5、移載單元6、多個(gè)升降機(jī)構(gòu)7和供氣排氣單元8A～8C。

<保持單元>

參照?qǐng)D1、圖2(A)、圖2(B)、圖3(A)～圖3(C)和圖4(A)～圖4(C)說(shuō)明保持單元1。圖2(A)和圖2(B)是保持單元1的說(shuō)明圖，表示其中央處的剖視圖。圖2(A)表示接觸部12的中間區(qū)域RM沒(méi)有膨出的狀態(tài)，圖2(B)表示中間區(qū)域RM膨出的狀態(tài)。圖3(A)是接觸部12的接觸面CS的說(shuō)明圖，是保持單元1的仰視圖。圖3(B)是支承部件11的支承面111的說(shuō)明圖，圖3(C)是片材部件13的說(shuō)明圖。圖4(A)是構(gòu)成片材部件14的片材141的說(shuō)明圖，表示其下表面(與片材142貼合的面)。圖4(B)是構(gòu)成片材部件14的片材142的說(shuō)明圖，表示其下表面(接觸面CS)。圖4(C)是構(gòu)成片材部件14的片材141的另外例的說(shuō)明圖，表示其上表面(片材部件13側(cè)的面)。

保持單元1對(duì)相互貼合的面板中的一方的面板進(jìn)行保持。保持單元1具備支承部件11和接觸部12。支承部件11構(gòu)成保持單元1的主體。接觸部12是與被保持的面板接觸的部分，被支承部件11支承。

支承部件11形成有多個(gè)供氣排氣路徑PS1～PS3。多個(gè)供氣排氣路徑PS1～PS3都在支承面111開(kāi)口。支承面111具備位于其長(zhǎng)邊方向兩端部的水平的一對(duì)支承面111a和位于一對(duì)支承面111a之間的支承面111b。一對(duì)支承面111a和支承面111b高度不同地形成于沿高度方向錯(cuò)開(kāi)的位置，支承面111b位于比一對(duì)支承面111a向上方凹進(jìn)的位置。即，支承面111形成有凹部(支承面111b)，在該凹部固定后述的片材部件13。

在本實(shí)施方式的情況下，支承面111是支承部件11的下表面。支承面111的輪廓形狀(平面視圖形狀)能夠形成為例如與被保持的面板相同或相似的形狀。在本實(shí)施方式的情況下，支承面111是方形。

供氣排氣路徑PS1在支承面111的一邊側(cè)(這里是一方(圖2(A)和圖2(B)中的左側(cè))的支承面111a)開(kāi)口。在本實(shí)施方式中，使供氣排氣路徑PS1的開(kāi)口位置是一個(gè)位置，但也可以將供氣排氣路徑PS1分支成多個(gè)位置。在開(kāi)口位置是多個(gè)的情況下，也可以沿支承面111的一邊開(kāi)口。

供氣排氣路徑PS2在支承面111的另一邊側(cè)(這里是另一方(圖2(A)和圖2(B)中的右側(cè))的支承面111a)開(kāi)口。在本實(shí)施方式中，使供氣排氣路徑PS2的開(kāi)口位置是一個(gè)位置，但也可以將供氣排氣路徑PS2分支成多個(gè)位置。在開(kāi)口位置是多個(gè)的情況下，也可以沿支承面111的另一邊開(kāi)口。

供氣排氣路徑PS1與供氣排氣路徑PS2相互連通，并且與供氣排氣單元8A連通。供氣排氣路徑PS1和PS2主要用于面板的吸附保持。形成于支承面111的供氣排氣路徑PS1和PS2的開(kāi)口部的數(shù)量和配置形態(tài)能夠根據(jù)保持的面板的形狀等適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)。

供氣排氣路徑PS3在支承面111(這里是支承面111b)的多個(gè)位置(這里是四個(gè)位置)開(kāi)口。支承面111的供氣排氣路徑PS3的開(kāi)口部也可以是一個(gè)位置。在本實(shí)施方式的情況下，供氣排氣路徑PS3的開(kāi)口部形成于支承面111的中央部(支承面111b的中央部)。在本實(shí)施方式的情況下，支承面111的中央部是與被保持的面板的中央部相對(duì)的位置。供氣排氣路徑PS3與供氣排氣單元8B連通。

在本實(shí)施方式的情況下，支承面111b形成有環(huán)狀的槽112。另外，在本實(shí)施方式的情況下，支承面111b形成有多個(gè)槽113。多個(gè)槽113與供氣排氣路徑PS3的開(kāi)口部連接地分支形成，在本實(shí)施方式的情況下，以網(wǎng)眼狀延伸，并與槽112連接。槽112和槽113的功能在后敘述。

一對(duì)支承面111a形成有多個(gè)安裝孔114。多個(gè)安裝孔114在本實(shí)施方式的情況下是螺紋孔，構(gòu)成接觸部12的片材部件14由螺釘12b固定于一對(duì)支承面111a。

在本實(shí)施方式的情況下，接觸部12大致具備片材部件13和片材部件14，將這些片材部件層疊而形成。片材部件13位于片材部件14和支承部件11之間。換言之，片材部件13位于支承部件11側(cè)，片材部件14位于相反側(cè)(面板側(cè))。片材部件14又進(jìn)一步地是片材141和片材142的層疊體。片材部件14的下表面構(gòu)成接觸面CS。接觸面CS是與被保持的面板接觸的面。

接觸部12如圖3(A)所示包含端部區(qū)域EA1和EA2、中間區(qū)域RM。端部區(qū)域EA1和EA2位于接觸部12的兩端部，中間區(qū)域RM位于端部區(qū)域EA1和端部區(qū)域EA2之間。中間區(qū)域RM不固定于支承部件11，是能夠向面板側(cè)膨出的區(qū)域，端部區(qū)域EA1和EA2是由螺釘12b固定于支承部件11的固定區(qū)域，是不能向面板側(cè)膨出的區(qū)域。在本實(shí)施方式的情況下，中間區(qū)域RM由片材部件13和片材部件14構(gòu)成，端部區(qū)域EA1和EA2僅由片材部件14構(gòu)成。

接觸面CS上的端部區(qū)域EA1和EA2也可以具有能夠粘接保持面板的粘接性。由此，能夠提高面板的保持力。端部區(qū)域EA1和EA2的位置被設(shè)計(jì)為：在保持面板時(shí)，端部區(qū)域EA1將面板的一方端部粘接，端部區(qū)域EA2將面板的另一方端部粘接。中間區(qū)域RM既可以具有不能粘接面板的非粘接性，也可以具有能夠粘接保持面板的粘接性。中間區(qū)域RM的粘接性既可以與端部區(qū)域EA1和EA2的粘接性相同，另外也可以比端部區(qū)域EA1和EA2的粘接性低。

從提高面板的保持力這一點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使接觸面CS的整個(gè)面即端部區(qū)域EA1、EA2和中間區(qū)域RM具有粘接性。在本實(shí)施方式中，假定為接觸面CS的整個(gè)面具有粘接性的結(jié)構(gòu)。

接下來(lái)，如圖3(A)所示，接觸面CS形成有多個(gè)開(kāi)口部12a。多個(gè)開(kāi)口部12a與供氣排氣路徑PS1和供氣排氣路徑PS2連通，通過(guò)供氣排氣單元8A的工作，開(kāi)口部12a的附近的接觸部12的下方的空氣被吸引到供氣排氣路徑PS1和供氣排氣路徑PS2內(nèi)。在本實(shí)施方式的情況下，多個(gè)開(kāi)口部12a以矩陣狀分布于中間區(qū)域RM，但也可以在端部區(qū)域EA1和EA2設(shè)置開(kāi)口部12a。

片材部件13由具有可撓性的片材形成。片材部件13具有與支承面111b相同的面積，除了中央部131以外的其周?chē)糠直徽w地固接于支承面111b。在本實(shí)施方式的情況下，片材部件13的厚度與一對(duì)支承面111a和支承面111b的高度差相同，片材部件13的下表面(片材部件14側(cè)的面)與一對(duì)支承面111a在同一面上。

中央部131的輪廓是與環(huán)狀的槽112重疊的假想的區(qū)域，在本實(shí) 施方式的情況下是圓形的區(qū)域。中央部131構(gòu)成從支承面111b向面板側(cè)能夠膨出的膨出部。有時(shí)將中央部131稱為膨出部131。

支承面111上的供氣排氣路徑PS3的開(kāi)口部面向中間區(qū)域RM尤其是面向片材部件13的膨出部131開(kāi)口。膨出部131能夠利用供氣排氣路徑PS3內(nèi)和接觸部12的周?chē)鷼夥盏牟顗簭闹С胁考?1膨出。利用形成于支承面111b的槽112和槽113，促進(jìn)膨出部131內(nèi)的氣壓變均勻，能夠使膨出部131以凸面狀膨出。

另外，槽112是界定片材部件13與支承面111b的固接區(qū)域和非固接區(qū)域的分界槽。在用粘接劑將片材部件13固接于支承面111b的情況下，如果粘接劑向由槽112包圍的區(qū)域內(nèi)延出，則存在膨出部131局部地被固接于支承面111b，膨出受到妨礙的隱患。通過(guò)形成槽112，欲向由槽112包圍的區(qū)域內(nèi)延出的粘接劑進(jìn)入槽112中，防止其向該區(qū)域內(nèi)延出。

接下來(lái)，說(shuō)明片材部件14。片材部件14由外形相同的片材141和片材142層疊并由粘接劑等遍及整體地相互固接而形成。片材141和片材142都具有可撓性。

片材141形成有將片材141沿厚度方向貫通的開(kāi)口部141a、141b。開(kāi)口部141a形成于與在支承部件11的一方的支承面111a開(kāi)口的供氣排氣路徑PS1的開(kāi)口部重疊的位置，與供氣排氣路徑PS1連通。另外，開(kāi)口部141b形成于與在支承部件11的另一方的支承面111a開(kāi)口的供氣排氣路徑PS2的開(kāi)口部重疊的位置，與供氣排氣路徑PS2連通。

片材141還形成有多個(gè)槽141c。多個(gè)槽141c形成于片材141的下表面(片材142側(cè)的面)。在本實(shí)施方式的情況下，多個(gè)槽141c由沿片材141的長(zhǎng)邊方向延伸的一個(gè)槽和與該槽交叉的多個(gè)槽構(gòu)成，與開(kāi)口部141a和141b連通。槽141c的結(jié)構(gòu)不限于此，只要與開(kāi)口部141a或開(kāi)口部141b連通即可。

在片材141的長(zhǎng)邊方向的兩端部形成有多個(gè)安裝孔141d。多個(gè)安裝孔141d形成于與形成在支承部件11的支承面111a的多個(gè)安裝孔114重疊的位置，將片材141沿厚度方向貫通。

片材142形成有將片材142沿厚度方向貫通的多個(gè)開(kāi)口部12a。上述的多個(gè)槽141c以與多個(gè)開(kāi)口部12a重疊的方式配置。通過(guò)將片材142與片材141的下表面重疊，從而多個(gè)槽141c在片材141的下表面?zhèn)瘸蔀榉忾]空間，形成連通路。該連通路經(jīng)由開(kāi)口部141a和141b將供氣排氣路徑PS1和PS2與多個(gè)開(kāi)口部12a連通。

在片材142的長(zhǎng)邊方向的兩端部形成有多個(gè)安裝孔142a。多個(gè)安裝孔142a形成于與形成在支承部件11的支承面111a的多個(gè)安裝孔114重疊的位置，將片材142沿厚度方向貫通。

如圖3(A)所示，片材部件14在端部區(qū)域EA1和EA2由多個(gè)螺釘12b固定于支承部件11。作為片材部件14的中央部的中央?yún)^(qū)域RM不固定于支承部件11，而是能夠向面板側(cè)膨出。另外，片材部件13與片材部件14接觸的接觸面彼此不固接，僅僅是重疊而已。

圖2(B)表示中間區(qū)域RM的膨出例。在該圖的例中，向供氣排氣路徑PS3供氣。由此，向膨出部131和支承面111b的間隙供給加壓的空氣，該間隙內(nèi)的氣壓變得比接觸部12的周?chē)鷼夥?外部氣氛)高。其結(jié)果是，膨出部131向下以凸?fàn)钆虺?，片材部?4被膨出部131向下方推壓，片材部件14的中間區(qū)域RM向下以凸?fàn)钆虺?。通過(guò)利用膨出部131在中間區(qū)域RM的中心部加強(qiáng)推壓力，從而能夠使片材部件14的中間區(qū)域RM從其周緣部起直到中央部地比較平緩地膨出。片材部件13和14能夠由具有能夠這樣膨出的范圍內(nèi)可撓性或伸縮性的材料和膜厚的片材材料構(gòu)成。

在接觸面CS是具有粘接性的結(jié)構(gòu)的情況下，片材142例如是以具有粘接性的方式加工了表面的硅橡膠片材等，也可以是通過(guò)清洗來(lái)反復(fù)還原粘接性的片材。片材141例如是塑料。

為了使中間區(qū)域RM更順利地膨出，也可以在片材141上形成多個(gè)槽。圖4(C)表示其一例。在該圖的例子中，表示片材141的上側(cè)的面(支承部件11側(cè)的面)，線狀的槽141e形成有多條。各槽141e沿與片材141的長(zhǎng)邊方向交叉的方向(這里是正交方向)延伸設(shè)置，并且沿長(zhǎng)邊方向排列。在使膨出部131膨出時(shí)，片材141以各槽141e 為起點(diǎn)容易撓曲，即容易彎曲，即使片材141用可撓性低的材料構(gòu)成，也會(huì)使片材部件14的中間區(qū)域RM容易膨出。

<貼合裝置的其它結(jié)構(gòu)>

參照?qǐng)D1說(shuō)明貼合裝置A的其它結(jié)構(gòu)。升降臺(tái)2是以水平姿勢(shì)配設(shè)的板狀的部件，利用多個(gè)升降機(jī)構(gòu)7上下平行移動(dòng)。升降機(jī)構(gòu)7具備支承于基臺(tái)4的支柱71和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)72。升降機(jī)構(gòu)7例如是滾柱絲杠機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)72在形成于支柱71的一部分的滾柱絲杠上移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)72具備滾珠螺母、使?jié)L珠螺母旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)源、以及齒輪裝置等動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)72搭載于升降臺(tái)2，通過(guò)使多個(gè)升降機(jī)構(gòu)7同步地驅(qū)動(dòng)，從而能夠使升降臺(tái)2以水平姿勢(shì)升降。

保持單元1經(jīng)由升降機(jī)構(gòu)21被支承于升降臺(tái)2。升降機(jī)構(gòu)21具備升降軸212、使升降軸212升降的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)211。升降機(jī)構(gòu)21例如是滾柱絲杠機(jī)構(gòu)或齒條與齒輪的機(jī)構(gòu)。在升降軸212的下端部固定有保持單元1。因此，能夠利用升降機(jī)構(gòu)21的驅(qū)動(dòng)將保持單元1升降。

在升降臺(tái)2的下表面固定有腔室單元3。腔室單元3是下方開(kāi)放的箱體，在其內(nèi)部空間31可進(jìn)退地收容有保持單元1。腔室單元3的頂部形成有供升降軸212插通的貫通孔32，筒狀的波紋管33圍繞升降軸212和貫通孔32地固定。波紋管33的上端與腔室單元3的面向內(nèi)部空間31的下表面連接，波紋管33的下端與保持單元1連接。通過(guò)該波紋管33，防止了內(nèi)部空間31與貫通孔32即腔室單元3的上方空間連通，能夠保持內(nèi)部空間31的氣密性。由此，能夠以保持內(nèi)部空間31的氣密性的狀態(tài)使保持單元1升降。腔室單元3的內(nèi)部空間31與供氣排氣單元8C連通。

在基臺(tái)4上，腔室單元5經(jīng)由多個(gè)支柱41被支承。在腔室單元5的上表面固定著載置面板的載置臺(tái)51。載置臺(tái)51以與保持單元1相對(duì)的方式配置。

在腔室單元5的上表面周緣部，遍及其整周地設(shè)置有密封件52。當(dāng)利用升降機(jī)構(gòu)7使升降臺(tái)2下降時(shí)，腔室單元3下降，腔室單元3的下表面與腔室單元5的上表面抵接。更準(zhǔn)確地說(shuō)，腔室單元3的下 表面與密封件52抵接，密封件52被壓縮。由此，由腔室單元3和腔室單元5包圍的內(nèi)部空間31成為氣密的狀態(tài)。

在基臺(tái)4上搭載有移載單元6。移載單元6在外部和載置臺(tái)51之間進(jìn)行面板的交接。移載單元6具備多個(gè)銷(xiāo)61、支承多個(gè)銷(xiāo)61的支承臺(tái)62、以及支承支承臺(tái)62的升降機(jī)構(gòu)63。各銷(xiāo)61插通在將腔室單元5貫通而形成的銷(xiāo)孔5a中而設(shè)置，并通過(guò)支承臺(tái)62的升降能夠在載置臺(tái)51上突出和退避。圖1表示各銷(xiāo)61在載置臺(tái)51上突出的狀態(tài)。升降機(jī)構(gòu)63是例如氣缸或電動(dòng)缸等，使支承臺(tái)62以水平姿勢(shì)升降。在支承臺(tái)62與腔室單元5的下表面之間固定有筒狀的波紋管53。具體來(lái)說(shuō)，波紋管53的上端與腔室單元5的下表面連接，波紋管53的下端與支承臺(tái)62的上表面連接。利用該波紋管53，防止了腔室單元5的上方空間經(jīng)由銷(xiāo)孔5a與腔室單元5的下方空間連通。其結(jié)果是，能夠以保持腔室單元5的上方空間的氣密性的狀態(tài)使銷(xiāo)61升降。

供氣排氣單元8A～8C例如由泵和電磁控制閥構(gòu)成。供氣排氣單元8A能夠進(jìn)行供氣排氣路徑PS1、PS2的供氣、排氣、封閉和開(kāi)放。供氣排氣單元8B能夠進(jìn)行供氣排氣路徑PS3的供氣、排氣、封閉和開(kāi)放。供氣排氣單元8A經(jīng)由形成于升降機(jī)構(gòu)21的升降軸212內(nèi)的供氣排氣路徑與供氣排氣路徑PS1和PS2連通。同樣地，供氣排氣單元8B經(jīng)由形成于升降機(jī)構(gòu)21的升降軸212內(nèi)的供氣排氣路徑與供氣排氣路徑PS3連通。供氣排氣單元8C能夠進(jìn)行內(nèi)部空間31的供氣、排氣、封閉和開(kāi)放。

<控制單元>

圖5是進(jìn)行貼合裝置A的控制的控制單元9的框圖。控制單元9包含CPU等處理部91、RAM、ROM等存儲(chǔ)部92、將外部設(shè)備與處理部91連接的接口部93。接口部93也包含與主計(jì)算機(jī)進(jìn)行通信的通信接口。主計(jì)算機(jī)例如是控制配置有貼合裝置A的制造設(shè)備全體的計(jì)算機(jī)。

處理部91執(zhí)行存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部92的程序，根據(jù)各種傳感器95的檢測(cè)結(jié)果和上位的計(jì)算機(jī)等的指示，來(lái)控制各種執(zhí)行機(jī)構(gòu)94。在各種傳 感器95中，例如包含檢測(cè)由升降機(jī)構(gòu)21升降的保持單元1的位置的傳感器、檢測(cè)由多個(gè)升降機(jī)構(gòu)7升降的升降臺(tái)2的位置的傳感器、檢測(cè)由移載單元6升降的支承臺(tái)62的位置的傳感器等各種傳感器。在各種執(zhí)行機(jī)構(gòu)94中，例如包含供氣排氣單元8A～8C的驅(qū)動(dòng)源、電磁控制閥、升降機(jī)構(gòu)21的驅(qū)動(dòng)源、升降機(jī)構(gòu)7的驅(qū)動(dòng)源、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)63的驅(qū)動(dòng)源。

<控制例>

參照?qǐng)D6～圖11說(shuō)明處理部91的控制例。這里，說(shuō)明使內(nèi)部空間31成為真空，在內(nèi)部空間31內(nèi)將面板彼此貼合的例子。通過(guò)在真空中將面板彼此貼合，從而容易地防止氣泡混入面板之間。

圖6的狀態(tài)ST1表示作為貼合對(duì)象的面板P1和面板P2被搬入到貼合裝置A的狀態(tài)。面板P1例如是覆蓋面板，面板P2例如是圖像顯示面板。在面板P2的上表面預(yù)先通過(guò)另外工序形成有未硬化的粘接層。

腔室單元3和腔室單元5處于上下離開(kāi)的狀態(tài)。多個(gè)銷(xiāo)61處于從載置臺(tái)51突出的狀態(tài)，保持單元1的接觸部12位于比腔室單元3的下表面稍微靠下方的位置。

面板P2被未圖示的移載機(jī)器人搬入貼合裝置A，并載置于多個(gè)銷(xiāo)61上。面板P1被未圖示的移載機(jī)器人搬入到接觸部12的正下方，并以后述的步驟保持于保持單元1。

在狀態(tài)ST2，使多個(gè)銷(xiāo)61下降，面板P2從多個(gè)銷(xiāo)61被移載到載置臺(tái)51上。利用升降機(jī)構(gòu)21使保持面板P1的保持單元1上升，使其位于內(nèi)部空間31內(nèi)。

在圖7的狀態(tài)ST3，使腔室單元3下降，使腔室單元3的下表面與腔室單元5的上表面抵接，來(lái)使內(nèi)部空間31成為氣密狀態(tài)。此時(shí)，面板P1和面板P2上下離開(kāi)。利用供氣排氣單元8C的驅(qū)動(dòng)將內(nèi)部空間31內(nèi)的空氣排出，使內(nèi)部空間31成為真空狀態(tài)。

將內(nèi)部空間31保持為真空狀態(tài)，在狀態(tài)ST4，利用升降機(jī)構(gòu)21使保持面板P1的保持單元1向面板P2側(cè)下降，使面板P1和面板P2 貼合。由于在真空下進(jìn)行面板的貼合，所以能夠防止面板間混入氣泡的情況。然后，利用供氣排氣單元8C使內(nèi)部空間31對(duì)大氣開(kāi)放。

在圖8的狀態(tài)ST5，利用升降機(jī)構(gòu)21使保持單元1上升，使保持單元1從面板P1分離。成為被貼合的面板P1與面板P2的層疊體P3載置于載置臺(tái)51上的狀態(tài)。在狀態(tài)ST6，使腔室單元3上升，內(nèi)部空間31從密閉狀態(tài)被開(kāi)放。另外，使多個(gè)銷(xiāo)61上升，將層疊體P3從載置臺(tái)51抬起。未圖示的移載機(jī)器人將層疊體P3向貼合裝置A外搬出，并結(jié)束一個(gè)單位的處理。

參照?qǐng)D9～圖11說(shuō)明保持單元1的動(dòng)作。首先，說(shuō)明在圖6的狀態(tài)ST1下保持單元1保持面板P1的動(dòng)作。圖9的狀態(tài)ST101表示面板P1被搬入到保持單元1的正下方的狀態(tài)。面板P1載置于移載機(jī)器人的手部H上。

在狀態(tài)ST102，利用升降機(jī)構(gòu)21使保持單元1下降到面板P1上。膨出部131位于與面板P1的中央部相對(duì)的位置。通過(guò)使接觸部12與面板P1的上表面接觸，從而接觸部12與面板P1粘接。與該粘接一同地驅(qū)動(dòng)供氣排氣單元8A，將供氣排氣路徑PS1和PS2內(nèi)的空氣排出，并進(jìn)行吸引。由此，空氣從開(kāi)口部12a被吸引，面板P1被吸附于接觸部12。在狀態(tài)ST103，利用升降機(jī)構(gòu)21使保持單元1上升，成為圖6的狀態(tài)ST2。

此外，也可以在利用接觸部12使面板P1粘接的同時(shí)使保持單元1上升，一邊進(jìn)行該上升一邊利用供氣排氣單元8A吸引面板P1，使其吸附。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)縮短伴隨著面板P1的吸附和上升的工時(shí)。

圖10的狀態(tài)ST104與圖7的狀態(tài)ST3相對(duì)應(yīng)，是內(nèi)部空間31成為真空狀態(tài)的狀態(tài)。面板P1繼續(xù)保持吸附于保持單元1的接觸部12的狀態(tài)。在狀態(tài)ST105，供氣排氣路徑PS3內(nèi)與接觸部12的周?chē)鷼夥?內(nèi)部空間31內(nèi)的氣氛，這里是真空)產(chǎn)生差壓，使膨出部131從支承部件11以凸?fàn)钆虺觥Ｓ纱?，片材部?4的中間區(qū)域RM從支承部件11以凸?fàn)钆虺?。差壓的產(chǎn)生通過(guò)由供氣排氣單元8B進(jìn)行的供氣排氣路徑PS3的對(duì)大氣開(kāi)放或向供氣排氣路徑PS3供給加壓的空氣 AUP來(lái)進(jìn)行。在圖10的例中，為了易于理解，用箭頭示出了向供氣排氣路徑PS3供給加壓的空氣AUP。這里，也可以在狀態(tài)ST105的膨出之前，利用供氣排氣單元8B將供氣排氣路徑PS3內(nèi)的空氣排出，使膨出部113吸附于支承部件11的支承面111b。由此，能夠防止中間區(qū)域RM意外膨出。

利用加壓的空氣AUP的供氣，片材部件14的中間區(qū)域RM向面板P2側(cè)以凸?fàn)钆虺?，面板P1按照片材部件14的中間區(qū)域RM的膨出而彈性地彎曲，向面板P2側(cè)以凸?fàn)钆虺?。這里所說(shuō)的是“以凸?fàn)钆虺觥笔侵钙牟考?4的中間區(qū)域RM向面板P2側(cè)以凸面狀彎曲。

此時(shí)，由于接觸部12介于支承部件11與面板P1之間，所以接觸部12成為緩沖部件，面板P1的彎曲比較平緩。即，與向面板P1直接供氣使其彎曲的情況相比，通過(guò)接觸部12介于其間，從而容易地防止極端的彎曲的產(chǎn)生。另外，由于向面板P1的加壓是利用氣壓差，所以加壓力不會(huì)極端地集中于面板P1的特定的部分，能夠使加壓力大范圍地分散。因此，能夠抑制面板P1的損傷，并且能夠防止面板P1的脫落。此外，面板P1的彎曲容易控制。

此外，在本實(shí)施方式的情況下，通過(guò)利用膨出部131在片材部件14的中間區(qū)域RM的中心部加強(qiáng)推壓力，從而能夠使片材部件14的中間區(qū)域RM從其周緣部起直到中央部地比較平緩地膨出。因此，能夠使面板P1也從其周緣部直到中央部地比較平緩地彎曲，能夠進(jìn)一步抑制面板P1的損傷并防止面板P1的脫落。

另外，由于使片材部件14成為片材141和片材142的兩層構(gòu)造，在其內(nèi)部形成由槽141c構(gòu)成的開(kāi)口部12a的流通路，因此，能夠?qū)㈤_(kāi)口部12a形成在任意的位置，在片材部件14的中間區(qū)域RM的膨出過(guò)程中，能夠維持包括面板P1的中央部在內(nèi)的多個(gè)位置處的吸附。

此外，由于接觸面CS的整個(gè)面具有粘接性，面板P1在接觸面CS的整個(gè)面被粘接，因此即使在真空下也容易確保保持力，另外，防止了面板P1相對(duì)于保持單元1的錯(cuò)位。錯(cuò)位的防止有助于面板P1與面板P2的貼合位置的精度提高。

通過(guò)面板P1向面板P2側(cè)以凸?fàn)钆虺?，從而面板P1的中央部最先與面板P2接觸。在接下來(lái)的狀態(tài)ST106，利用升降機(jī)構(gòu)21使保持單元1下降，使面板P1與面板P2全面地接觸。由此，貼合完成，得到層疊體P3。這里，通過(guò)在使面板P1的中央部與面板P2接觸之后使保持單元1下降，從而面板P1的中央部的凸?fàn)畹呐虺霰煌苹?。其結(jié)果是，面板P1與面板P2的接觸從僅是中央部的面接觸起，向整個(gè)面的面接觸以放射狀擴(kuò)展。由此，即使在面板P1與面板P2之間混入了氣泡，氣泡也會(huì)被向面板P1和面板P2的周?chē)繑D出，并同時(shí)進(jìn)行面板P1與面板P2的貼合。在本實(shí)施方式的情況下，雖然由于在真空下進(jìn)行面板P1、P2的貼合而幾乎不存在空氣，但難以使氣泡的混入完全消失。但是，即便假設(shè)在面板P1與面板P2之間混入了氣泡，通過(guò)以將空氣向周?chē)客瞥龅姆绞竭M(jìn)行面板P1與面板P2的貼合，從而氣泡被完全地向面板P1、P2的外側(cè)擠出，能夠得到?jīng)]有氣泡的混入的層疊體P3。

在面板P1、P2的貼合完成之后，如上所述，內(nèi)部空間31向大氣開(kāi)放。如圖11的狀態(tài)ST107所示，終止供氣排氣路徑PS1和PS2的排氣并解除吸附。供氣排氣路徑PS1和PS2也可以向大氣開(kāi)放。另外，停止向供氣排氣路徑PS3內(nèi)供給加壓的空氣AUP。此時(shí)，既可以使供氣排氣路徑PS3對(duì)大氣開(kāi)放，另外也可以繼續(xù)向供氣排氣路徑PS3內(nèi)供給加壓的空氣AUP。

接下來(lái)，進(jìn)行將保持單元1和面板P1分離的動(dòng)作。在狀態(tài)ST108中，驅(qū)動(dòng)供氣排氣單元8A，向供氣排氣路徑PS1和PS2供給加壓的空氣AUP。從開(kāi)口部12a噴出加壓的空氣AUP，使面板P1主動(dòng)地從接觸面CS分離。這樣，供氣排氣路徑PS1、PS2不僅能夠用于面板P1的吸附，也能夠用于分離促進(jìn)。使供氣排氣路徑PS3對(duì)大氣開(kāi)放(或供給加壓的空氣AUP)，并且利用升降機(jī)構(gòu)21使保持單元1上升，利用膨出部113的膨出使中間區(qū)域RM以凸?fàn)钆虺?。這也能夠促進(jìn)接觸部12與面板P1的分離，能夠?qū)⒚姘錚1與面板P2的層疊體壓在載置臺(tái)51上。在狀態(tài)ST109，表示停止向供氣排氣路徑PS1和PS2供 給加壓的空氣AUP、停止供氣排氣路徑PS3對(duì)大氣開(kāi)放(或加壓的空氣AUP的供給)的狀態(tài)。

通過(guò)以上過(guò)程，完成面板P1、P2的貼合。此外，在本實(shí)施方式中，在真空下進(jìn)行面板P1與面板P2的貼合，但也可以在大氣氣氛下進(jìn)行。在該情況下，不需要內(nèi)部空間31的形成和用于使內(nèi)部空間31成為真空的結(jié)構(gòu)。當(dāng)在大氣氣氛下進(jìn)行貼合的情況下，供氣排氣路徑PS1、PS2的供氣排氣也與在真空下進(jìn)行的情況相同，但在使膨出部113膨出時(shí)，如果僅是使供氣排氣路徑PS3對(duì)大氣開(kāi)放，則不能使膨出部膨出。因此，此時(shí)，需要向供氣排氣路徑PS3供給加壓的空氣AUP，使供氣排氣路徑PS3內(nèi)比大氣壓高。

<第二實(shí)施方式>

在第一實(shí)施方式中，利用片材部件13的彈性變形使中間區(qū)域RM膨出，但也可以采用利用可動(dòng)部件的位移來(lái)使中間區(qū)域RM膨出的結(jié)構(gòu)。以下說(shuō)明其結(jié)構(gòu)例。

圖12(A)和圖12(B)是代替第一實(shí)施方式的保持單元1的保持單元1A的說(shuō)明圖。在以下的說(shuō)明和附圖中，對(duì)于保持單元1A的結(jié)構(gòu)中的與保持單元1相同的結(jié)構(gòu)或同樣的結(jié)構(gòu)附上相同的附圖標(biāo)記。因此，在以下的說(shuō)明中，以保持單元1與保持單元1A的不同點(diǎn)為中心說(shuō)明，概括地說(shuō)，保持單元1A設(shè)置有可動(dòng)部件15，來(lái)代替片材部件13。

圖12(A)和圖12(B)表示通過(guò)保持單元1A的中央和可動(dòng)部件15的折線上的切斷面的剖視圖，圖12(A)表示接觸部12的中間區(qū)域RM沒(méi)有膨出的狀態(tài)，圖12(B)表示中間區(qū)域RM膨出的狀態(tài)。圖13(A)是接觸部12的接觸面CS的說(shuō)明圖，是保持單元1A的仰視圖。圖13(B)是支承部件11的支承面111的說(shuō)明圖。圖13(C)和(D)是可動(dòng)部件15的立體圖，圖13(C)是從上側(cè)(升降軸212側(cè))觀察的立體圖、圖13(D)是從下側(cè)(片材部件14側(cè))觀察的立體圖。圖14(A)是構(gòu)成片材部件14的片材141的說(shuō)明圖，表示其下表面(與片材142貼合的面)。圖14(B)是構(gòu)成片材部件14的片材 142的說(shuō)明圖，表示其下表面(接觸面CS)。

保持單元1A具備支承部件11和接觸部12。支承部件11形成有多個(gè)供氣排氣路徑PS1～PS3。多個(gè)供氣排氣路徑PS1～PS3都在支承面111開(kāi)口。支承面111具備位于其長(zhǎng)邊方向兩端部的水平的一對(duì)支承面111a和位于一對(duì)支承面111a之間的支承面111b。在本實(shí)施方式的情況下，一對(duì)支承面111a和支承面111b無(wú)高度差地連接。

在支承面111b形成有凹部111c，該凹部111c在與中間區(qū)域RM對(duì)應(yīng)的位置開(kāi)口，該凹部111c中插入有可動(dòng)部件15。凹部111c與可動(dòng)部件15的組合也可以只有一組，但在本實(shí)施方式中設(shè)置有多個(gè)組(這里是16組)。16組的凹部111c和可動(dòng)部件15在中間區(qū)域RM內(nèi)以矩陣狀配置，沿支承面111b的長(zhǎng)邊方向配置例如四行，沿短邊方向配置例如四列。

凹部111c構(gòu)成對(duì)可動(dòng)部件15的位移進(jìn)行引導(dǎo)的引導(dǎo)孔。在本實(shí)施方式的情況下，可動(dòng)部件15能夠在從支承面111b向片材部件14側(cè)突出的突出位置(圖12(B))和比支承面111b向上方退入的非突出位置(圖12(A))之間位移。凹部111c的形狀按照可動(dòng)部件15的形狀地形成，在本實(shí)施方式的情況下，形成為圓形截面的筒狀。凹部111c經(jīng)由形成于其上側(cè)的壁部的凹部111d與供氣排氣路徑PS3連通。

可動(dòng)部件15整體形成圓柱形狀，例如由鋁等金屬材料構(gòu)成。在可動(dòng)部件15的上表面形成凹部15a，在可動(dòng)部件15的下表面形成推壓面15c。推壓面15c形成為凸面狀。在可動(dòng)部件15的側(cè)周面遍及整周地形成有槽15b，在該環(huán)狀的槽15b中嵌入有密封環(huán)等密封部件16。密封部件16介于凹部111c的內(nèi)周面與可動(dòng)部件15的側(cè)周面之間，將供氣排氣通路PS3側(cè)的空間和片材部件14側(cè)的空間密封，防止漏氣。

在本實(shí)施方式的情況下，接觸部12具備上述的可動(dòng)部件15和片材部件14?？蓜?dòng)部件15位于片材部件14和支承部件11之間，通過(guò)可動(dòng)部件15向片材部件14側(cè)位移(突出)，從而能夠使片材部件14膨出。

接觸部12如圖13(A)所示，包含端部區(qū)域EA1和EA2以及中間區(qū)域RM。中間區(qū)域RM不固定于支承部件11，而是能夠向面板側(cè)膨出的區(qū)域，端部區(qū)域EA1和EA2是由螺釘12b固定于支承部件11的固定區(qū)域，是不能向面板側(cè)膨出的區(qū)域。在本實(shí)施方式的情況下，中間區(qū)域RM配置有可動(dòng)部件15，端部區(qū)域EA1和EA2僅由片材部件14構(gòu)成。

接觸面CS上的端部區(qū)域EA1和EA2也可以具有能夠粘接保持面板的粘接性。由此，能夠提高面板的保持力。端部區(qū)域EA1和EA2構(gòu)成為，在保持面板時(shí)，端部區(qū)域EA1將面板的一方端部粘接，端部區(qū)域EA2將面板的另一方端部粘接，并且端部區(qū)域EA1和EA2配置在規(guī)定的位置。中間區(qū)域RM既可以具有不能粘接面板的非粘接性，也可以具有能夠粘接保持面板的粘接性。中間區(qū)域RM的粘接性既可以與端部區(qū)域EA1和EA2的粘接性相同，另外也可以比端部區(qū)域EA1和EA2的粘接性低。

從提高面板的保持力這一點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使接觸面CS的整個(gè)面即端部區(qū)域EA1、EA2和中間區(qū)域RM都具有粘接性。在本實(shí)施方式中，假定是接觸面CS的整個(gè)面具有粘接性的結(jié)構(gòu)。

如圖13(A)所示，接觸面CS形成有多個(gè)開(kāi)口部12a。多個(gè)開(kāi)口部12a經(jīng)由后述的連通路(槽141c和開(kāi)口部141a、141b)與供氣排氣路徑PS1和供氣排氣路徑PS2連通。因此，通過(guò)供氣排氣單元8A的工作，開(kāi)口部12a的附近的接觸部12的下方的空氣經(jīng)由開(kāi)口部12a被吸引到供氣排氣路徑PS1和供氣排氣路徑PS2內(nèi)。在本實(shí)施方式的情況下，多個(gè)開(kāi)口部12a以矩陣狀分布于中間區(qū)域RM，但也可以在端部區(qū)域EA1和EA2設(shè)置開(kāi)口部12a。

接下來(lái)，說(shuō)明片材部件14。片材部件14與第一實(shí)施方式相同，將外形相同的片材141與片材142層疊，遍及整體地用粘接劑等相互固接而形成。片材141和片材142都具有可撓性。

片材141形成有將片材141沿厚度方向貫通的開(kāi)口部141a、141b。開(kāi)口部141a與供氣排氣路徑PS1連通。另外，開(kāi)口部141b形成于與 在支承部件11的另一方的支承面111a開(kāi)口的供氣排氣路徑PS2的開(kāi)口部重疊的位置，與供氣排氣路徑PS2連通。

在片材141或片材141的下表面(片材142側(cè)的面)形成有多個(gè)槽141c。在本實(shí)施方式的情況下，多個(gè)槽141c是由沿片材141的短邊方向延伸的一個(gè)槽和與該槽交叉的多個(gè)槽構(gòu)成的魚(yú)骨狀的集合槽，與開(kāi)口部141a和141b連通。

在片材141的長(zhǎng)邊方向的兩端部，在與形成于支承面111a的多個(gè)安裝孔114重疊的位置形成有多個(gè)安裝孔141d。

片材142形成有將片材142沿厚度方向貫通的多個(gè)開(kāi)口部12a，以上述的多個(gè)槽141c與多個(gè)開(kāi)口部12a重疊的方式配置。即，上述的“多個(gè)開(kāi)口部12a在中間區(qū)域RM以矩陣狀分布”是指沿著這些多個(gè)槽141c并且面向槽141c地開(kāi)口形成多個(gè)開(kāi)口部12a。這里，多個(gè)開(kāi)口部12a“沿多個(gè)槽141c并且面向槽141c地”開(kāi)口形成是指，包含直線的或鋸齒狀的規(guī)則的配置或隨機(jī)的不規(guī)則的配置這兩方面。通過(guò)在片材141的下表面重疊片材142，從而多個(gè)槽141c在片材141的下表面?zhèn)瘸蔀榉忾]空間，形成連通路。經(jīng)由該連通路，開(kāi)口部141a和141b與多個(gè)開(kāi)口部12a連通。

在片材142的長(zhǎng)邊方向的兩端部，在與形成于支承面111a的多個(gè)安裝孔114重疊的位置形成有多個(gè)安裝孔142a。

如圖13(A)所示，片材部件14在端部區(qū)域EA1和EA2由多個(gè)螺釘12b固定于支承部件11。作為片材部件14的中央部的中央?yún)^(qū)域RM不固定于支承部件11，而是能夠向面板側(cè)膨出。

圖12(B)表示中間區(qū)域RM的膨出例。在該圖的例中，加壓的空氣向供氣排氣路徑PS3供給。由此，向凹部111c供給加壓的空氣，凹部111d內(nèi)和凹部111c內(nèi)的凹部15a內(nèi)的氣壓變得比接觸部12的周?chē)鷼夥?外部氣氛)高。其結(jié)果是，可動(dòng)部件15以被從凹部111c推出的方式向片材部件14側(cè)突出。片材部件14被可動(dòng)部件15向下方推壓，片材部件14的中間區(qū)域RM向下以凸?fàn)钆虺觥Ｍㄟ^(guò)設(shè)置多個(gè)可動(dòng)部件15，從而能夠使片材部件14的中間區(qū)域RM從其周緣部起直 到中央部地比較平緩地膨出。片材部件14能夠由具有能夠這樣膨出的范圍內(nèi)可撓性或伸縮性的材料和膜厚的片材材料構(gòu)成。由于可動(dòng)部件15的推壓面成為凸面狀，所以即使片材部件14由于膨出而變形，推壓面的至少一部分也一定與片材部件14接觸，因此能夠維持接觸狀態(tài)。另外，在可動(dòng)部件15的推壓面與片材部件14接觸時(shí)，不存在在一部分施加過(guò)度的壓力而使片材部件14破損的隱患。其結(jié)果是，反復(fù)施加應(yīng)力時(shí)的片材部件14的耐久壽命提高。此外，如圖4(C)所例示，為了使中間區(qū)域RM更順利地膨出，也可以在片材141上形成多個(gè)槽。

在本實(shí)施方式的情況下，各凹部111c由于與共同的供氣排氣路徑PS3連通，所以氣壓相同。但是，也可以根據(jù)凹部111c而與不同的供氣排氣路徑PS3來(lái)連通，使氣壓根據(jù)凹部111c而不同。在該情況下，例如也可以以使位于中間區(qū)域RM的中央側(cè)的凹部111c內(nèi)的氣壓比位于中間區(qū)域RM的周緣側(cè)的凹部111c內(nèi)的氣壓高的方式，使不同的供氣排氣路徑PS3具有氣壓差地供氣。

當(dāng)使中間區(qū)域RM的膨出結(jié)束，回到圖12(A)的狀態(tài)的情況下，只要使凹部111c內(nèi)的氣壓成為與接觸部12的周?chē)鷼夥?外部氣氛)相同壓力即可。利用片材部件14恢復(fù)原來(lái)的形狀的彈性力，可動(dòng)部件15被推壓，向非突出位置退入。也可以將凹部111c內(nèi)的氣壓減壓為比接觸部12的周?chē)鷼夥?外部氣氛)低，在該情況下，可動(dòng)部件15容易回到非突出位置。

使用保持單元1A的控制例(面板彼此的貼合例)與參照?qǐng)D6～圖11說(shuō)明的保持單元1的情況相同。即，只是第一實(shí)施方式的膨出部113的膨出被置換成可動(dòng)部件15向片材部件14側(cè)的突出。在本實(shí)施方式的情況下，由于利用可動(dòng)部件15的突出來(lái)進(jìn)行中間區(qū)域RM的膨出，因此與利用片材部件13的變形的保持單元1相比，存在在耐久性方面有利的情況。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

A貼合裝置、P1面板、P2面板、1保持單元、11支承部件、12 接觸部、RM中間區(qū)域、PS1～PS3供氣排氣路徑。