1.一種用于制造光取向?qū)拥暮姹涸O(shè)備,所述烘焙設(shè)備包括:
殼體,設(shè)置有內(nèi)部空間;
門,包括第一金屬板、隔熱層和第二金屬板,所述隔熱層設(shè)置在所述第一金屬板的整個內(nèi)表面上并由導(dǎo)熱率比玻璃的導(dǎo)熱率低的低導(dǎo)熱率材料制成,所述第二金屬板設(shè)置在所述隔熱層的面對所述內(nèi)部空間的內(nèi)表面上并打開和關(guān)閉所述內(nèi)部空間;以及
涂覆層,覆蓋所述第二金屬板的整個內(nèi)表面并由所述低導(dǎo)熱率材料制成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的烘焙設(shè)備,其中,所述低導(dǎo)熱率材料是具有180℃或更高的熱分解溫度的聚合物化合物。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的烘焙設(shè)備,其中,所述聚合物化合物是聚酰亞胺、聚酰胺-酰亞胺、聚對苯二甲酰對苯胺、聚間苯二酰間苯胺、聚二甲基硅氧烷和聚醚醚酮中的一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的烘焙設(shè)備,所述烘焙設(shè)備還包括:
進(jìn)氣管,連接到所述殼體,以將外部空氣供應(yīng)到所述內(nèi)部空間;以及
排氣管,連接到所述殼體,以將所述內(nèi)部空間中的內(nèi)部空氣排放到外部。
5.一種用于制造光取向?qū)拥暮姹涸O(shè)備,所述烘焙設(shè)備包括:
殼體,設(shè)置有內(nèi)部空間;
金屬板,打開和關(guān)閉所述內(nèi)部空間;以及
涂覆層,覆蓋所述金屬板的面向所述內(nèi)部空間的內(nèi)表面,并由導(dǎo)熱率比玻璃的導(dǎo)熱率低的低導(dǎo)熱率材料制成。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的烘焙設(shè)備,其中,所述低導(dǎo)熱率材料是具有180℃或更高的熱分解溫度的聚合物化合物。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的烘焙設(shè)備,其中,所述聚合物化合物是聚酰亞胺、聚酰胺-酰亞胺、聚對苯二甲酰對苯胺、聚間苯二酰間苯胺、聚二甲硅氧烷和聚醚醚酮中的一種。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的烘焙設(shè)備,所述烘焙設(shè)備還包括,
進(jìn)氣管,連接到所述殼體,以將外部空氣供應(yīng)到所述內(nèi)部空間;以及
排氣管,連接到所述殼體,以將所述內(nèi)部空間中的內(nèi)部空氣排放到外部。