技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
討論了一種在照射中心波長(zhǎng)上具有長(zhǎng)期穩(wěn)定性的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)包括可調(diào)諧輻射源和反饋控制系統(tǒng)?？烧{(diào)諧輻射源包括被配置成提供寬帶輻射束的光源和被配置成將寬帶輻射束濾波成具有中心波長(zhǎng)值的窄帶輻射束的可調(diào)諧多通帶濾波器。反饋控制系統(tǒng)被配置成測(cè)量窄帶輻射束的中心波長(zhǎng)值并將測(cè)得的中心波長(zhǎng)值與期望的中心波長(zhǎng)值進(jìn)行比較。反饋控制系統(tǒng)被進(jìn)一步配置成基于響應(yīng)于測(cè)得的中心波長(zhǎng)值與期望的中心波長(zhǎng)值之間存在的差值的比較生成控制信號(hào)和基于控制信號(hào)調(diào)諧可調(diào)諧濾波器以消除或?qū)嵸|(zhì)上減小差值。

技術(shù)研發(fā)人員：陳濤;梁敬培;K·J·維奧萊特
受保護(hù)的技術(shù)使用者：ASML控股股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.26
技術(shù)公布日：2017.08.29