技術總結
本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有：具有酚性羥基的樹脂；光敏性產酸劑；具有選自芳香環(huán)、雜環(huán)及脂環(huán)中的至少1種以及選自羥甲基及烷氧基烷基中的至少1種的化合物；以及具有2個以上的選自丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、縮水甘油基氧基、氧雜環(huán)丁烷基烷基醚基、乙烯基醚基及羥基中的至少1種官能團的脂肪族化合物，所述光敏性產酸劑是含有具有選自四苯基硼酸鹽骨架、碳數為1～20的烷基磺酸鹽骨架、苯基磺酸鹽骨架及10?樟腦磺酸鹽骨架中的至少1種骨架的陰離子的锍鹽。

技術研發(fā)人員：加藤哲也;巖下健一;中村彰宏;中野昭夫;小野裕
受保護的技術使用者：日立化成株式會社
文檔號碼：201580050226
技術研發(fā)日：2015.11.25
技術公布日：2017.05.17