本發(fā)明涉及一種表皮用的支承框。

背景技術(shù)：

在集成電路的制造工序中，包括光刻工序，在所述光刻工序中，將稱作光掩膜和刻線的、繪制于玻璃基板的電路圖案轉(zhuǎn)印于涂覆在晶片上的保護(hù)層。

在所述光刻工序中，如果粉塵等異物附著在玻璃基板上，則轉(zhuǎn)印于保護(hù)層的電路圖案會(huì)變得不清晰，因此，在玻璃基板上覆蓋有稱作表皮的防塵蓋(例如，專利文獻(xiàn)1)。

表皮包括將繪制于玻璃基板的電路圖案的整體包圍的支承框和覆蓋設(shè)置于所述支承框的正面的透光性的表皮覆膜。此外，支承框的背面粘接到玻璃基板。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利特許第4777381號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的技術(shù)問題

當(dāng)將表皮覆膜粘接到所述支承框時(shí)，在將粘接劑涂覆到支承框的正面之后，將表皮覆膜與支承框的正面重疊。接著，將表皮覆膜按壓并粘接于支承框。在這種方法中，隨著表皮覆膜變薄，表皮覆膜受到損傷的可能性會(huì)變高。

本發(fā)明的技術(shù)問題在于提供一種表皮用的支承框，所述表皮用的支承框能在不將其它部件按壓到表皮覆膜的情況下，將表皮覆膜粘接到框體。

解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明是一種表皮用的支承框，該表皮用的支承框具有鋁合金制的框體，在所述框體的正面粘接有表皮覆膜，在所述框體的背面粘接有玻璃基板。在所述框體的正面形成有正面?zhèn)鹊陌疾?，所述正面?zhèn)鹊陌疾垩刂隹蝮w的周向延伸，并且形成有正面?zhèn)鹊某槲祝稣鎮(zhèn)鹊某槲讖乃隹蝮w的外周面直至所述正面?zhèn)鹊陌疾鄣膬?nèi)表面。

在本發(fā)明的支承框中，若在框體的正面涂覆粘接劑之后，將表皮覆膜與框體的正面重疊，則成為凹槽被表皮覆膜填塞的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，當(dāng)經(jīng)由抽吸孔對(duì)凹槽內(nèi)的空氣進(jìn)行抽吸時(shí)，由于凹槽內(nèi)被減壓，因此，表皮覆膜會(huì)被按壓于框體的正面。這樣，根據(jù)本發(fā)明的支承框，由于在將表皮覆膜粘接于框體時(shí)，無需將其它構(gòu)件按壓到表皮覆膜，因此，能防止表皮覆膜受到損傷。因而，即使在表皮覆膜較薄的情況下，也能將表皮覆膜粘接于框體。

在所述表皮用的支承框中，當(dāng)將多個(gè)所述正面?zhèn)鹊陌疾垩厮隹蝮w的周向并排設(shè)置，并使所述正面?zhèn)鹊某槲着c各所述正面?zhèn)鹊陌疾圻B通的情況下，從凹槽的端部至抽吸孔的距離會(huì)變短。藉此，在對(duì)凹槽內(nèi)的空氣進(jìn)行抽吸時(shí)，在凹槽內(nèi)產(chǎn)生的壓力損失會(huì)變小，以能高效地對(duì)凹槽內(nèi)進(jìn)行減壓。

在所述表皮用的支承框中，也可以在所述框體的背面形成有背面?zhèn)鹊陌疾郏霰趁鎮(zhèn)鹊陌疾垩刂隹蝮w的周向延伸，并且形成有背面?zhèn)鹊某槲祝霰趁鎮(zhèn)鹊某槲讖乃隹蝮w的外周面直至所述背面?zhèn)鹊陌疾鄣膬?nèi)表面。

在上述結(jié)構(gòu)中，當(dāng)經(jīng)由背面?zhèn)鹊某槲讓?duì)背面?zhèn)鹊陌疾蹆?nèi)的空氣進(jìn)行抽吸時(shí)，由于背面?zhèn)鹊陌疾蹆?nèi)被減壓，因此，玻璃基板會(huì)被按壓于框體的背面。藉此，在將玻璃基板粘接于框體時(shí)，由于無需將其它構(gòu)件按壓到玻璃基板，因此，能防止玻璃基板受到損傷。

在所述表皮用的支承框中，當(dāng)將多個(gè)所述背面?zhèn)鹊陌疾垩刂隹蝮w的周向并排設(shè)置于所述框體的背面，使所述背面?zhèn)鹊某槲着c各所述背面?zhèn)鹊陌疾圻B通的情況下，從背面?zhèn)鹊陌疾鄣亩瞬恐帘趁鎮(zhèn)鹊某槲椎木嚯x會(huì)變短。藉此，在對(duì)背面?zhèn)鹊陌疾蹆?nèi)的空氣進(jìn)行抽吸時(shí)，在背面?zhèn)鹊陌疾蹆?nèi)產(chǎn)生的壓力損失會(huì)變小，從而能高效地對(duì)背面?zhèn)鹊陌疾蹆?nèi)進(jìn)行減壓。

在所述表皮用的支承框中，也可以在所述框體的周向上并排設(shè)置沿著所述框體的周向延伸的多個(gè)背面?zhèn)鹊陌疾郏⑿纬捎斜趁鎮(zhèn)鹊某槲?，所述背面?zhèn)鹊某槲讖乃隹蝮w的外周面直至各所述背面?zhèn)鹊陌疾鄣膬?nèi)表面。在這種情況下，較為理想的是，所述正面?zhèn)鹊某槲仔纬稍谙噜彽乃霰趁鎮(zhèn)鹊陌疾郾舜酥g，所述背面?zhèn)鹊某槲仔纬稍谙噜彽乃稣鎮(zhèn)鹊陌疾郾舜酥g。

在上述結(jié)構(gòu)中，由于抽吸孔和凹槽在正、背面方向上不發(fā)生重疊，因此，能充分地確?？蝮w的強(qiáng)度。

在所述表皮用的支承框中，由于在所述凹槽的底面形成有底的坑孔，并使所述抽吸孔開口于所述坑孔的內(nèi)周面的情況下，能將抽吸孔的直徑形成得比凹槽的深度大，因此，能提高抽吸效率。

在所述表皮用的支承框中，較為理想的是，使所述坑孔開口于所述框體的正面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)鹊囊环?，并使所述坑孔的底面形成在比所述抽吸孔更靠所述框體的正面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)鹊牧硪环健?/p>

在上述結(jié)構(gòu)中，由于坑孔的底面配置在比抽吸孔更深的位置處，因此，能使抽吸孔的軸截面整體可靠地開口于坑孔的內(nèi)周面。

在所述表皮用的支承框中，當(dāng)所述抽吸孔形成在所述框體的高度方向的中央處的情況下，由于能均等地確保從抽吸孔的內(nèi)周面至框體的正面的壁厚和從抽吸孔的內(nèi)周面至框體的背面的壁厚，因此，能平衡性好地提高支承框相對(duì)于正面?zhèn)燃氨趁鎮(zhèn)鹊膹澢鷱?qiáng)度。

在所述表皮用的支承框中，也可以使所述凹槽的延長方向的中間部與所述抽吸孔連通。

在所述結(jié)構(gòu)中，與使抽吸孔與凹槽的一方的端部連通的情況相比，從凹槽的兩端部至抽吸孔的距離變短。藉此，在對(duì)凹槽內(nèi)的空氣進(jìn)行抽吸時(shí)，在凹槽內(nèi)產(chǎn)生的壓力損失會(huì)變小，能夠高效地對(duì)凹槽內(nèi)進(jìn)行減壓。

當(dāng)在所述表皮用的支承框中形成有通孔，所述通孔從所述框體的外周面直至內(nèi)周面的情況下，較為理想的是，將所述通孔形成在所述框體的周向上相鄰的所述凹槽彼此之間。

如上所述，在框體形成通孔的情況下，能防止在將表皮覆膜及玻璃基板粘接到支承框之后，在支承框的內(nèi)部空間與外部空間之間產(chǎn)生壓力差。此外，在所述結(jié)構(gòu)中，由于通孔和凹槽在正、背面方向上不發(fā)生重疊，因此，能充分地確保框體的強(qiáng)度。

在所述表皮用支承框中，在所述框體的各邊形成有多個(gè)所述正面?zhèn)鹊某槲椎那闆r下，由于抽吸力平衡性好地作用于框體的正面整體，因此，能平衡性好地將表皮覆膜按壓于框體的正面整體。

在所述表皮用支承框中，所述框體包括前、后一對(duì)橫框部和左、右一對(duì)縱框部，在所述框體的外周面形成多個(gè)夾具孔的情況下，較為理想的是，在兩個(gè)所述橫框部的兩端部形成所述夾具孔。

另外，本發(fā)明的前、后、左、右是為了容易地明確支承框的結(jié)構(gòu)而設(shè)定的，并非對(duì)支承框的結(jié)構(gòu)及使用狀態(tài)進(jìn)行特定。

在所述結(jié)構(gòu)中，當(dāng)將夾具的銷插入各夾具孔，來通過夾具對(duì)支承框進(jìn)行保持時(shí)，能夠抑制因來自夾具的按壓力導(dǎo)致的橫框部的撓曲。

特別地，在從框體的左、右的側(cè)緣部至夾具孔的中心位置的距離設(shè)定在框體的左右方向的長度的15％以內(nèi)的情況下，能有效地抑制橫框部的撓曲。

在所述表皮用的支承框中，在所述框體的外周面形成有多個(gè)夾具孔的情況下，較為理想的是，所述夾具孔是沿所述框體的周向延伸的長圓形的長孔。

在將所述支承框從玻璃基板剝離時(shí)，將夾具的銷插入支承框的夾具孔，并通過夾具將支承框從玻璃基板上拉開。

由于所述支承框的夾具孔是沿框體的周向延伸的長圓形的長孔，因此，若將夾具的銷的軸截面形成為沿框體的周向延伸的長圓形，則夾具孔的內(nèi)周面與銷的外周面面接觸。藉此，在將支承框從玻璃基板剝離時(shí)，由于應(yīng)力在夾具孔與銷之間集中于一點(diǎn)，因此，能夠抑制支承框的變形。

在所述表皮用支承框中，當(dāng)所述框體包括前、后一對(duì)橫框部和左、右一對(duì)縱框部，且所述框體的外周面形成多個(gè)夾具孔的情況下，較為理想的是，在所述兩橫框部的兩端部形成所述夾具孔。

另外，本發(fā)明的前、后、左、右是為了容易地理解支承框的結(jié)構(gòu)而設(shè)定的，并非對(duì)支承框的結(jié)構(gòu)及使用狀態(tài)進(jìn)行特定。

在將所述支承框從玻璃基板剝離時(shí)，最先將形成于支承框的角部的夾具孔上拉。然后，通過從靠近最先上拉的夾具孔的夾具孔依次上拉各夾具孔，從而能在抑制支承框的變形的同時(shí)將支承框從玻璃基板剝離。

發(fā)明效果

只要使用本發(fā)明的表皮用的支承框，則即使在表皮覆膜較薄的情況下，也能防止在將表皮覆膜粘接于框體時(shí)，表皮覆膜受到損傷。

附圖說明

圖1是表示本實(shí)施方式的表皮及玻璃基板的立體圖。

圖2是表示本實(shí)施方式的表皮及玻璃基板的側(cè)剖視圖。

圖3是表示本實(shí)施方式的支承框的示意俯視圖。

圖4是表示本實(shí)施方式的支承框的示意仰視圖。

圖5(a)是表示本實(shí)施方式的支承框的示意側(cè)視圖，圖5(b)是A-A剖視圖，圖5(c)是B-B剖視圖，圖5(d)是C-C剖視圖，圖5(e)是D-D剖視圖。

圖6是表示另一實(shí)施方式的支承框的示意圖，其是以在框體的一個(gè)面上形成八個(gè)凹槽的方式構(gòu)成的俯視圖。

圖7是表示另一實(shí)施方式的支承框的示意圖，且是以在框體的一個(gè)面上形成四個(gè)凹槽的方式構(gòu)成的俯視圖。

圖8(a)、圖8(b)和圖8(c)是表示另一實(shí)施方式的支承框的示意圖，其中，圖8(a)是將抽吸孔配置于框體的高度方向的中央部處的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，圖8(b)是E-E剖視圖，圖8(c)是F-F剖視圖。

圖9(a)和圖9(b)是表示另一實(shí)施方式的支承框的示意圖，其中，圖9(a)是形成有長孔的夾具孔的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，圖9(b)是將夾具的銷插入夾具孔的狀態(tài)的放大側(cè)視圖。

圖10是表示另一實(shí)施方式的支承框的示意圖，其是在橫框部、縱框部及角部形成夾具孔的結(jié)構(gòu)的俯視圖。

具體實(shí)施方式

參照適宜的附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。

另外，在本實(shí)施方式的各附圖中，為了容易理解地對(duì)支承框的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明，適度示意性地示出支承框的各部分。

在以下的說明中，前、后、左、右及正面、背面是為了容易理解地對(duì)支承框進(jìn)行說明而設(shè)定的，其并不對(duì)支承框的結(jié)構(gòu)進(jìn)行特定。

如圖1所示，本實(shí)施方式的支承框1A用于表皮P。表皮P是用于防止粉塵等附著在玻璃基板M(光掩膜)的正面Ma上的防塵蓋。雖然本實(shí)施方式的玻璃基板M使用透明的基板，但其構(gòu)成并不局限于此。

表皮P包括將繪制于玻璃基板的電路圖案(未圖示)的整體包圍的支承框1A和覆蓋設(shè)置于支承框1A的正面的表皮覆膜2。

支承框1A在俯視觀察時(shí)具有長方形的框體10。框體10是對(duì)鋁合金制的擠壓件進(jìn)行加工而獲得的部件。

框體10由前后一對(duì)橫框部11、11和左右一對(duì)縱框部12、12構(gòu)成。橫框部11及縱框部12的軸截面形成為長方形。

兩個(gè)橫框部11、11是作為框體10的長邊的部分，兩個(gè)縱框部12、12是作為框體10的短邊的部分。

表皮覆膜2是具有透光性的硅制的薄膜。表皮覆膜2在俯視觀察時(shí)形成為長方形，并為與支承框1A的外形相同的形狀。

在表皮覆膜2的背面的外周緣部設(shè)置有在表皮覆膜2的制造時(shí)形成的硅制的強(qiáng)化框3。

如圖2所示，強(qiáng)化框3是隔著粘接層4與框體10粘接的部位，并形成為與框體10的橫框部11及縱框部12具有相同的寬度。在將表皮覆膜2與框體10的正面10a重疊時(shí)，框體10的正面10a被強(qiáng)化框3覆蓋。

如圖3所示，在框體10上形成有多個(gè)通孔20、多個(gè)正面?zhèn)劝疾?1～33和多個(gè)背面?zhèn)鹊陌疾?1～43。

此外，在框體10上形成有多個(gè)正面?zhèn)鹊某槲?0、多個(gè)背面?zhèn)鹊某槲?0和多個(gè)夾具孔70，其中，多個(gè)所述正面?zhèn)鹊某槲?0與各正面?zhèn)鹊陌疾?1～33連通，多個(gè)所述背面?zhèn)鹊某槲?0與各背面?zhèn)鹊陌疾?1～43連通。另外，一個(gè)正面?zhèn)鹊某槲?0與正面?zhèn)鹊陌疾?1～33中的一個(gè)連通，一個(gè)背面?zhèn)鹊某槲?0與背面?zhèn)鹊陌疾?1～44中的一個(gè)連通。

通孔20從框體10的外周面10c貫通至內(nèi)周面10d(參照圖5(d))。如圖5(a)所示，通孔20的中心軸配置于框體10的高度方向的中央處。

如圖3所示，通孔20形成在前后的橫框部11、11的左右方向的中央處，并且形成在左右縱框部12、12的前后方向的中央處。即，在框體10中形成有前、后、左、右的四個(gè)通孔20。

在框體10的正面10a上，沿框體10的周向并排設(shè)置有十個(gè)正面?zhèn)鹊陌疾?1～33。各凹槽31～33是軸截面為長方形的槽(參照圖5(c))。

在前側(cè)的橫框部11的正面10a上形成有左、右兩個(gè)第一凹槽31、31。第一凹槽31在左右方向上呈直線狀延伸。此外，第一凹槽31形成在橫框部11的正面10a上的前后方向的中央處。

左、右的第一凹槽31、31以夾著橫框部11的左右方向的中央的方式配置。當(dāng)將通孔20投影到框體10的正面10a時(shí)，通孔20配置于相鄰的第一凹槽31、31之間。

在前側(cè)的橫框部11處，在左側(cè)的第一凹槽31的右端部形成有坑孔35，并且在右側(cè)的第一凹槽31的中間部形成有坑孔35。

坑孔35是有底孔，其內(nèi)徑形成得比第一凹槽31的槽寬度更大。

如圖5(e)所示，坑孔35的底面形成得比第一凹槽31的底面更深(更靠背面一側(cè))?？涌?5的底面配置于框體10的高度方向的中央處。

如圖3所示，在后側(cè)的橫框部11的正面10a形成有左、右兩個(gè)第一凹槽31、31。后側(cè)的橫框部11的兩個(gè)第一凹槽31、31以框體10的中央為對(duì)稱點(diǎn)，處于與前側(cè)的橫框部11的兩個(gè)第一凹槽31、31呈點(diǎn)對(duì)稱的關(guān)系。

在左側(cè)的縱框部12的正面10a形成有第二凹槽32。第二凹槽32在前后方向上呈直線狀延伸。此外，第二凹槽32形成在縱框部12的正面10a上的左右方向的中央處。

左側(cè)的縱框部12的第二凹槽32配置于比縱框部12的前后方向的中央更靠前側(cè)。在將通孔20投影到框體10的正面10a時(shí)，通孔20配置在第二凹槽32的后側(cè)。

此外，在左側(cè)的第二凹槽32的后端部處形成有坑孔35。第二凹槽32的坑孔35為與第一凹槽31的坑孔35相同的形狀。

在右側(cè)的縱框部12的正面10a形成有第二凹槽32。右側(cè)的縱框部12的第二凹槽32以框體10的中央為對(duì)稱點(diǎn)，處于與左側(cè)的縱框部12的第二凹槽32呈點(diǎn)對(duì)稱的關(guān)系。

在框體10的前、后、左、右的角部的正面10a分別形成有第三凹槽33。第三凹槽33沿框體10的角部彎曲成直角。此外，第三凹槽33形成在縱框部10的正面10a的內(nèi)外方向的中央處。

左前的第三凹槽33遍及左側(cè)的縱框部12、框體10的左前角部及前側(cè)的橫框部11而形成。

左前的第三凹槽33的形成于前側(cè)的橫框部11的部位形成得比形成于左側(cè)的縱框部12的部位大。

在左側(cè)的縱框部12處，第二凹槽32和左前的第三凹槽33在前后方向上空開間隔地配置。

在左前的第三凹槽33的延長方向的中間部(橫框部11的部位)形成有坑孔35。左前的第三凹槽33的坑孔35為與第一凹槽31的坑孔35相同的形狀。

左后的第三凹槽33遍及左側(cè)的縱框部12、框體10的左后角部及后側(cè)的橫框部11而形成。

左后的第三凹槽33的形成于左側(cè)的縱框部12的部位形成得比形成于后側(cè)的橫框部11的部位小。

在左側(cè)的縱框部12處，第二凹槽32和左后的第三凹槽33夾著縱框部12的前后方向的中央而配置。

在將通孔20投影到縱框部12的正面10a時(shí)，通孔20配置于前后相鄰的第二凹槽32與左后的第三凹槽33之間。

在左后的第三凹槽33的延長方向的中間部(縱框部12的部位)形成有坑孔35。左后的第三凹槽33的坑孔35為與第一凹槽31的坑孔35相同的形狀。

右前的第三凹槽33遍及右側(cè)的縱框部12、框體10的右前角部及前側(cè)的橫框部11而形成。此外，右后的第三凹槽33遍及右側(cè)的縱框部12、框體10的右后角部及后側(cè)的橫框部11而形成。

右側(cè)的前后的第三凹槽33、33以框體10的中央為對(duì)稱點(diǎn)，處于與左側(cè)的前后的第三凹槽33、33呈點(diǎn)對(duì)稱的關(guān)系。

正面?zhèn)鹊某槲?0從框體10的外周面10c貫通至正面?zhèn)鹊母骺涌?5的內(nèi)周面。正面?zhèn)鹊某槲?0經(jīng)由坑孔35而與正面?zhèn)鹊陌疾?1～33連通。

在框體10上沿框體10的周向并排設(shè)置有十個(gè)正面?zhèn)鹊某槲?0。各抽吸孔50以大致相等的間隔配置，且在框體10的各邊上至少配置有一個(gè)抽吸孔50。各抽吸孔50分別與各凹槽31～33的各坑孔35連通。這樣，一個(gè)正面?zhèn)鹊某槲?0與正面?zhèn)鹊陌疾?1～33中的一個(gè)連通。

如圖5(a)所示，正面?zhèn)鹊耐?0配置于比框體10的高度方向的中央處更靠正面?zhèn)取Ｕ鎮(zhèn)鹊某槲?0的下部配置于通孔20的左右方向的側(cè)方。

此外，如圖5(e)所示，從框體10的正面10a至正面?zhèn)鹊某槲?0的壁厚形成得比正面?zhèn)鹊陌疾?1的深度大。

如圖4所示，在框體10的背面10b，沿框體10的周向并排設(shè)置有十個(gè)背面?zhèn)鹊陌疾?1～43。

各背面?zhèn)鹊陌疾?1～43為將形成于框體10的正面10a的各正面?zhèn)鹊陌疾?1～33(參照圖3)整體前后翻轉(zhuǎn)后的形狀。

在前、后的橫框部11的背面10b形成有左、右兩個(gè)第一凹槽41、41。此外，在左、右的縱框部12、12的背面10b形成有第二凹槽42。此外，在框體10的前、后、左、右的角部的背面10b分別形成有第三凹槽43。

在框體10上，與正面?zhèn)鹊某槲?0同樣地，沿框體10的周向并排設(shè)置有十個(gè)正面?zhèn)鹊某槲?0。各抽吸孔60以大致相等的間隔配置，且在框體10的各邊上配置有至少一個(gè)抽吸孔60。

背面?zhèn)鹊某槲?0從框體10的外周面10c貫通至背面?zhèn)鹊陌疾?1～43的坑孔45的內(nèi)周面。背面?zhèn)鹊某槲?0經(jīng)由坑孔45而與背面?zhèn)鹊陌疾?1～43連通。

如圖5(a)所示，背面?zhèn)鹊耐?0配置于比框體10的高度方向的中央更靠背面?zhèn)?。背面?zhèn)鹊某槲?0的上部配置于通孔20的左右方向的側(cè)方。

此外，如圖5(b)所示，從框體10的背面10b至背面?zhèn)鹊某槲?0的壁厚形成得比背面?zhèn)鹊陌疾?1的深度大。

如圖3所示，在框體10中，投影到框體10的正面10a上的背面?zhèn)鹊某槲?0、背面?zhèn)鹊目涌?5及通孔20配置在相鄰的正面?zhèn)鹊陌疾?1～31彼此之間。

在橫框部11處，通孔20配置在正面?zhèn)鹊牡谝话疾?1、31彼此之間。

此外，在橫框部11處，背面?zhèn)鹊某槲?0及坑孔45配置在一個(gè)正面?zhèn)鹊牡谝话疾?1與通孔20之間(參照圖5(a))。

此外，在橫框部11處，背面?zhèn)鹊某槲?0及坑孔45配置在正面?zhèn)鹊牡谝话疾?1與正面?zhèn)鹊牡谌疾?3之間(參照圖5(a))。

在縱框部12處，通孔20配置在正面?zhèn)鹊牡诙疾?2與正面?zhèn)鹊牡谌疾?3之間。

此外，在縱框部12處，背面?zhèn)鹊某槲?0及背面?zhèn)鹊目涌?5配置在正面?zhèn)鹊牡谌疾?3與通孔20之間。

此外，在縱框部12處，背面?zhèn)鹊某槲?0及背面?zhèn)鹊目涌?5配置在正面?zhèn)鹊牡诙疾?2與正面?zhèn)鹊牡谌疾?3之間。

如圖4所示，在框體10中，投影到框體10的背面10b上的正面?zhèn)鹊某槲?0、正面?zhèn)鹊目涌?5及通孔20配置在相鄰的背面?zhèn)鹊陌疾?1～43彼此之間。

在橫框部11處，通孔20配置在背面?zhèn)鹊牡谝话疾?1、41彼此之間。

此外，在橫框部11處，正面?zhèn)鹊某槲?0及坑孔35配置在一個(gè)正面?zhèn)鹊牡谝话疾?1與通孔20之間(參照圖5(a))。

此外，在橫框部11處，正面?zhèn)鹊某槲?0及坑孔35配置在背面?zhèn)鹊牡谝话疾?1與背面?zhèn)鹊牡谌疾?3之間(參照圖5(a))。

在縱框部12處，通孔20配置在背面?zhèn)鹊牡诙疾?2與背面?zhèn)鹊牡谌疾?3之間。

此外，在縱框部12處，正面?zhèn)鹊某槲?0及正面?zhèn)鹊目涌?5配置在背面?zhèn)鹊牡谌疾?3與通孔20之間。

此外，在縱框部12處，正面?zhèn)鹊某槲?0及正面?zhèn)鹊目涌?5配置在背面?zhèn)鹊牡诙疾?2與背面?zhèn)鹊牡谌疾?3之間。

夾具孔70是形成于框體10的外周面10c的有底的圓形孔。在制造支承框1A時(shí)、或是使用表皮P(參照圖1)時(shí)，對(duì)支承框1A進(jìn)行保持的把持裝置的夾具(銷)被插入到夾具孔70中。

在本實(shí)施方式中，如圖5(a)所示，夾具孔70配置在框體10的高度方向的中央處，但夾具孔70的高度并不局限于此，可根據(jù)所使用的夾具來設(shè)定夾具孔70的高度和形狀。

如圖3所示，在本實(shí)施方式中，夾具孔70形成在前后的橫框部11、11的左、右兩端部。即，在支承框1A的前、后、左、右形成有四個(gè)夾具孔70。

當(dāng)利用把持裝置對(duì)支承框1A進(jìn)行保持時(shí)，夾具(銷)被插入到各夾具孔70中。此時(shí)，橫框部11通過夾具而被壓入到框體10的內(nèi)側(cè)，在橫框部11上朝向框體10的內(nèi)側(cè)產(chǎn)生撓曲。

在本實(shí)施方式中，夾具孔70形成于橫框部11的左、右兩端部，因此，左、右的夾具孔70、70間的間隔會(huì)變大。因而，當(dāng)通過夾具對(duì)支承框1A進(jìn)行保持時(shí)，能抑制橫框部11的撓曲。

另外，在從框體10的左、右的側(cè)緣部至夾具孔70的中心位置的距離設(shè)定為框體10的左右方向的長度的15％以內(nèi)的情況下，能有效地抑制橫框部11的撓曲。

接著，如圖2所示，對(duì)將表皮覆膜2及玻璃基板M粘接在支承框1A上的操作進(jìn)行說明。

首先，將粘接劑涂覆在框體10的正面10a上，以在框體10的正面10a上形成粘接層4。此時(shí)，粘接層4并沒有進(jìn)入各正面?zhèn)鹊陌疾?1～33(參照圖3)及各坑孔35。

接著，將表皮覆膜2的強(qiáng)化框3與粘接層4重疊。藉此，各正面?zhèn)鹊陌疾?1～33(參照圖3)被表皮覆膜2填塞。

此外，將粘接劑涂覆于框體10的背面10b，以在框體10的背面10b上形成粘接層5。此時(shí)，粘接層5并沒有進(jìn)入各背面?zhèn)鹊陌疾?1～43(參照圖4)及各坑孔45。

接著，將基板M的正面Ma與粘接層5重疊。藉此，各背面?zhèn)鹊陌疾?1～43(參照圖4)被玻璃基板M填塞。

將抽吸管6的前端部分別與各抽吸孔50、60的外周面10c側(cè)的開口部連接。各抽吸管6與未圖示的吸氣裝置連結(jié)。

當(dāng)通過吸氣裝置從各抽吸孔50抽吸各正面?zhèn)鹊陌疾?1～33(參照圖3)內(nèi)的空氣時(shí)，各正面?zhèn)鹊陌疾?1～33內(nèi)會(huì)被減壓，從而表皮覆膜2會(huì)按壓于框體10的正面10a。藉此，表皮覆膜2隔著粘接層4粘接于框體10的正面10a，從而形成表皮P。

此外，當(dāng)通過吸氣裝置從各抽吸孔60對(duì)各背面?zhèn)鹊陌疾?1～43(參照圖4)內(nèi)的空氣進(jìn)行抽吸時(shí)，各背面?zhèn)鹊陌疾?1～43內(nèi)會(huì)被減壓，從而玻璃基板M被按壓到框體10的背面10b。藉此，玻璃基板M隔著粘接層5粘接于框體10的背面10b，從而表皮P粘接于玻璃基板M。

這樣，當(dāng)將表皮P粘接于玻璃基板M時(shí)，支承框1A會(huì)夾在表皮覆膜2與玻璃基板M之間，表皮覆膜2配置在遠(yuǎn)離玻璃基板M的正面Ma的位置處。

如圖3所示，在表皮P中，支承框1A的框體10形成有通孔20。因而，即使在通過表皮覆膜2及玻璃基板M將框體10的正面、背面填塞的狀態(tài)下，框體10的內(nèi)部空間也經(jīng)由通孔20而與外部空間連通，因此，能防止框體10的內(nèi)部空間與外部空間之間產(chǎn)生壓力差。因而，本實(shí)施方式的表皮P適合于在真空狀態(tài)下使用的情況。

如圖2所示，在以上這樣的支承框1A中，通過對(duì)各正面?zhèn)鹊陌疾?1～33(參照圖3)內(nèi)進(jìn)行減壓，從而能將表皮覆膜2按壓到框體10的正面10a上。藉此，由于在將表皮覆膜2粘接于框體10時(shí)，無需將其它部件按壓到表皮覆膜2，因此，能防止表皮覆膜2受到損傷。因而，即使在表皮覆膜2較薄的情況下，也能將表皮覆膜2粘接于框體10。

此外，在本實(shí)施方式的支承框1A中，通過對(duì)各背面?zhèn)鹊陌疾?1～43進(jìn)行減壓，從而能將玻璃基板M按壓于框體10的背面10b。藉此，在將玻璃基板M粘接于框體10時(shí)，由于無需將其它部件按壓到玻璃基板M，因此，能防止玻璃基板M受到損傷。

在本實(shí)施方式的支承框1A中，如圖3及圖4所示，多個(gè)正面?zhèn)鹊陌疾?1～33及背面?zhèn)鹊陌疾?1～44沿框體的周向并排設(shè)置。通過這種結(jié)構(gòu)，能縮短從凹槽31～33、41～43的端部至抽吸孔50、60的距離。

此外，在抽吸孔50、60與凹槽31～33、41～43的延長方向的中間部連通的情況下，能縮短從凹槽31～33、41～43的兩端部至抽吸孔50、60的距離。

藉此，由于在經(jīng)由抽吸孔50、60對(duì)凹槽31～33、41～43內(nèi)的空氣進(jìn)行抽吸時(shí)，凹槽31～33、41～43內(nèi)產(chǎn)生的壓力損失會(huì)變小，因此，能高效地對(duì)凹槽31～33、41～43內(nèi)進(jìn)行減壓。

在本實(shí)施方式的支承框1A中，在凹槽31～33、41～43的底面形成有有底的坑孔35、45，抽吸孔50、60開口于所述坑孔35、45的內(nèi)周面(參照圖5(b)及圖5(e))。通過這種結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒊槲?0、60的直徑形成得比凹槽31～33、41～43的深度大，因此，能提高抽吸效率。

在本實(shí)施方式的支承框1A中，由于多個(gè)抽吸孔50、60形成于框體10的各邊，因此，能使抽吸力平衡性好地作用于框體10的正面10a整體及背面10b整體。因而，能夠?qū)⒈砥じ材?同樣地按壓于框體10的正面10a整體，并且能夠平衡性好地將玻璃基板M按壓于框體10的背面10b整體。

在本實(shí)施方式的支承框1A中，正面?zhèn)鹊某槲?0形成于相鄰的背面?zhèn)鹊陌疾?1～43彼此之間，背面?zhèn)鹊某槲?0形成于相鄰的正面?zhèn)鹊陌疾?1～33彼此之間。這樣，構(gòu)造成抽吸孔50、60與凹槽31～33、41～43在正、背面方向上不發(fā)生重疊。

此外，在本實(shí)施方式的支承框1A中，通孔20形成在框體10的周向上相鄰的凹槽31～33、41～43彼此之間，并且構(gòu)造成通孔20與凹槽31～33、41～43以在正、背面方向上不發(fā)生重疊。

因而，在支承框1A中，即使框體10的壁厚在形成有通孔20或抽吸孔50、60的部位處變大，也能充分地確?？蝮w10的強(qiáng)度。

以上，雖然對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不局限于所述實(shí)施方式，能在不脫離其宗旨的范圍內(nèi)進(jìn)行適當(dāng)變更。

在本實(shí)施方式中，在框體10的正面10a上形成有十個(gè)凹槽31～33，在框體10的背面10b上形成有十個(gè)凹槽41～43，但凹槽31～33、41～43的個(gè)數(shù)并不局限于此。

例如，也可以如圖6所示的支承框1B那樣，在框體10的正面10a上形成八個(gè)凹槽31、33，在框體10的背面形成八個(gè)凹槽41、43。在這樣的結(jié)構(gòu)中，也將正面?zhèn)鹊某槲?0配置于相鄰的背面?zhèn)鹊陌疾?1、43彼此之間，并且將背面?zhèn)鹊某槲?0配置于相鄰的正面?zhèn)鹊陌疾?1、33彼此之間。此外，通孔20形成在框體10的周向上相鄰的凹槽31、33、41、43彼此之間。

此外，也可以如圖7所示的支承框1C那樣，在框體10的正面10a上形成四個(gè)凹槽34，在框體10的背面上形成四個(gè)凹槽44。在這樣的結(jié)構(gòu)中，也將正面?zhèn)鹊某槲?0配置于相鄰的背面?zhèn)鹊陌疾?4、44之間，并且將背面?zhèn)鹊某槲?0配置于相鄰的正面?zhèn)鹊陌疾?3、33彼此之間。此外，通孔20形成在框體10的周向上相鄰的凹槽34、44彼此之間。

此外，在本實(shí)施方式中，如圖3及圖4所示，正面?zhèn)鹊陌疾?1～33和背面?zhèn)鹊陌疾?1～43是相同數(shù)量，但正面?zhèn)鹊陌疾?1～33和背面?zhèn)鹊陌疾?1～43也可以是不同數(shù)量。此外，也可以在框體10的正面10a及背面10b上形成一個(gè)凹槽。

此外，凹槽的配置并不局限于此，但像本實(shí)施方式這樣，在框體10的角部形成第三凹槽33、43的情況下，能使表皮覆膜2(參照圖1)的角部及玻璃基板M(參照圖1)的角部可靠地粘接于框體10。

此外，在本實(shí)施方式中，如圖3及圖4所示，一個(gè)抽吸孔50、60與凹槽31～33、41～43中的一個(gè)連通，但也可以使多個(gè)抽吸孔50、60與凹槽31～33、41～43中的一個(gè)連通。

此外，如圖8(a)所示，也可以將抽吸孔50、60形成在框體10的高度方向的中央處。在上述結(jié)構(gòu)中，由于能均等地確保從抽吸孔50、60的內(nèi)周面(孔壁面)至框體10的正面10a的壁厚和從抽吸孔50、60的內(nèi)周面(孔壁面)至框體10的背面10b的壁厚，因此，能平衡性好地提高支承框1A向正面?zhèn)燃氨趁鎮(zhèn)葟澢膹澢鷱?qiáng)度。

此外，也可以如圖8(b)所示，將正面?zhèn)鹊目涌?5的底面35a形成在比抽吸孔50更靠框體10的背面10b一側(cè)，如圖8(c)所示，將背面?zhèn)鹊目涌?5的底面45a形成在比抽吸孔60更靠框體10的正面10a一側(cè)。

這樣，通過將坑孔35、45的底面35a、45a配置在比抽吸孔50、60更深的位置處，從而能使抽吸孔50、60的軸截面整體可靠地開口于坑孔35、45的內(nèi)周面。

此外，如圖5(a)所示，在本實(shí)施方式中，形成有圓形的夾具孔70，但也可以如圖9(a)所示的夾具孔70A那樣，是沿框體10的周向(左右方向)延伸的長圓形的長孔。在這種結(jié)構(gòu)中，如圖9(b)所示，夾具(銷)80也形成為長圓形的截面形狀。

此外，在將支承框1A從玻璃基板M(參照圖1)剝離時(shí)，將夾具80插入支承框1A的夾具孔70A，并通過夾具80將使支承框1A與玻璃基板M分開的力施加于支承框1A。此時(shí)，由于夾具孔70A的內(nèi)周面的平面與夾具80的外周面的平面面接觸，來自夾具80的力并非集中于一個(gè)點(diǎn)，因此，能抑制支承框1A的變形。

此外，也可以如圖10所示在框體10的外周面10c形成七個(gè)夾具孔71～77。另外，圖10所示的各夾具孔71～77形成為長圓形的長孔，但也可以為圓形的夾具孔。

在上述結(jié)構(gòu)中，第一夾具孔71形成在框體10的四個(gè)角部中的一個(gè)(左前的角部)處。

此外，第二夾具孔72形成在前側(cè)的橫框部11的左端部，第四夾具孔74形成在前側(cè)的橫框部11的右端部。

此外，第五夾具孔75形成在后側(cè)的橫框部11的左端部，第七夾具孔77形成在后側(cè)的橫框部11的右端部。

此外，第三夾具孔73形成在左側(cè)的縱框部12的前后方向的中央處，第六夾具孔76形成在右側(cè)的縱框部12的前后方向的中央處。

如上所述，在將具有七個(gè)夾具孔71～77的支承框1A從玻璃基板M(參照圖1)剝離時(shí)，將夾具插入各夾具孔71～77中，并最先將角部的第一夾具孔71上拉。接著，將夾具插入最接近第一夾具孔71的第二夾具孔72中并上拉。然后，通過按照靠近第二夾具孔71的順序依次上拉第三夾具孔73、第四夾具孔74、第五夾具孔75、第六夾具孔76、第七夾具孔77，從而能在抑制支承框1A的變形的同時(shí)將支承框1A從玻璃基板M(參照圖1)剝離。

符號(hào)說明

1A～1C 支承框；

2 表皮覆膜；

4 粘接層

5 粘接層

10 框體；

10a 正面；

10b 背面；

11 橫框部；

12 縱框部；

20 通孔；

31 正面?zhèn)鹊牡谝话疾郏?/p>

32 正面?zhèn)鹊牡诙疾郏?/p>

33 正面?zhèn)鹊牡谌疾郏?/p>

35 正面?zhèn)鹊目涌祝?/p>

41 背面?zhèn)鹊牡谝话疾郏?/p>

42 背面?zhèn)鹊牡诙疾郏?/p>

43 背面?zhèn)鹊牡谌疾郏?/p>

45 背面?zhèn)鹊目涌祝?/p>

50 正面?zhèn)鹊某槲祝?/p>

60 背面?zhèn)鹊某槲祝?/p>

70～77 夾具孔；

80 夾具；

M 玻璃基板；

P 表皮。