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一種金相顯微鏡用暗場(chǎng)物鏡的制作方法

文檔序號(hào):2720207閱讀:321來(lái)源:國(guó)知局
一種金相顯微鏡用暗場(chǎng)物鏡的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種金相顯微鏡用暗場(chǎng)物鏡,包括管狀的物鏡外套、暗場(chǎng)物鏡本體和物理曲面反光鏡,物鏡外套固定設(shè)置在暗場(chǎng)物鏡本體的外部,物理曲面反光鏡設(shè)置在暗場(chǎng)物鏡本體的下部,暗場(chǎng)物鏡本體上設(shè)置有用于使光束進(jìn)入到暗場(chǎng)物鏡中的環(huán)狀的光束照射腔,特點(diǎn)是暗場(chǎng)物鏡本體的外壁與物鏡外套的內(nèi)壁之間形成環(huán)形空腔,光束照射腔與環(huán)形空腔相通,環(huán)形空腔中設(shè)置有環(huán)狀的蜂窩透鏡,蜂窩透鏡設(shè)置在物理曲面反光鏡之上。其優(yōu)點(diǎn)在于進(jìn)入到環(huán)形空腔中的環(huán)形光束可通過(guò)該蜂窩透鏡形成多束交匯光束,而每束交匯光束經(jīng)物鏡曲面反光鏡反射后,均會(huì)照在試樣的一圓形區(qū)域內(nèi),此區(qū)域內(nèi)經(jīng)多束發(fā)散光束重疊,便可形成一均勻的照明區(qū)域,從而得到較好地暗場(chǎng)效果。
【專利說(shuō)明】一種金相顯微鏡用暗場(chǎng)物鏡

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種物鏡,尤其是涉及一種金相顯微鏡用暗場(chǎng)物鏡。

【背景技術(shù)】
[0002] 普通的用于金相顯微鏡的暗場(chǎng)物鏡是使環(huán)形光束穿過(guò)物鏡的外環(huán),再直接照射到 物鏡的曲面反射鏡上,最終匯聚成試樣表面的一個(gè)圓。這種暗場(chǎng)物鏡存在的問(wèn)題是,由于 環(huán)形光束在實(shí)際操作中在每個(gè)點(diǎn)上的光照都無(wú)法保證其均勻性,也不可能做到完全沒(méi)有夾 角,因此就會(huì)產(chǎn)生不均勻的光照,影響暗場(chǎng)效果,而在此基礎(chǔ)上需要得到較好的暗場(chǎng)效果, 則對(duì)該暗場(chǎng)物鏡的曲面反射鏡要求較高,給制造加工增加一定的難度。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能將暗場(chǎng)照明光束均勻化且暗場(chǎng)效 果較好的金相顯微鏡用暗場(chǎng)物鏡。
[0004] 本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為:
[0005] -種金相顯微鏡用暗場(chǎng)物鏡,包括管狀的物鏡外套、暗場(chǎng)物鏡本體和物理曲面反 光鏡,所述的物鏡外套固定設(shè)置在所述的暗場(chǎng)物鏡本體的外部,所述的物理曲面反光鏡設(shè) 置在暗場(chǎng)物鏡本體的下部,所述的暗場(chǎng)物鏡本體上設(shè)置有用于使光束進(jìn)入到暗場(chǎng)物鏡中的 環(huán)狀的光束照射腔,所述的暗場(chǎng)物鏡本體的外壁與所述的物鏡外套的內(nèi)壁之間形成環(huán)形空 腔,所述的光束照射腔與所述的環(huán)形空腔相通,所述的環(huán)形空腔中設(shè)置有環(huán)狀的蜂窩透鏡, 所述的蜂窩透鏡設(shè)置在所述的物理曲面反光鏡之上,所述的蜂窩透鏡包括上端面和下端 面,所述的上端面為平端面,所述的下端面上設(shè)置有多個(gè)小透鏡,裝配時(shí),所述的上端面朝 上,所述的下端面朝下正對(duì)所述的物理曲面反光鏡。
[0006] 所述的蜂窩透鏡上設(shè)置有可對(duì)蜂窩透鏡的上下位置進(jìn)行調(diào)節(jié)的位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。通 過(guò)位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)對(duì)蜂窩透鏡的上下位置進(jìn)行調(diào)節(jié),使得光束的焦點(diǎn)位置可根據(jù)實(shí)際需要進(jìn) 行調(diào)整,從而擴(kuò)大了顯微鏡的使用范圍。
[0007] 所述的蜂窩透鏡套設(shè)在所述的暗場(chǎng)物鏡本體下端部的外壁上,所述的蜂窩透鏡的 內(nèi)徑略大于所述的暗場(chǎng)物鏡本體下端部的外徑,所述的蜂窩透鏡固定設(shè)置在所述的位置調(diào) 節(jié)機(jī)構(gòu)上,所述的位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)可上下調(diào)節(jié)地設(shè)置在所述的物鏡外套的內(nèi)壁上。蜂窩透鏡 的內(nèi)徑略大于暗場(chǎng)物鏡本體下端部的外徑,蜂窩透鏡在進(jìn)行上下的位置調(diào)整時(shí),其內(nèi)壁與 暗場(chǎng)物鏡本體的外壁并不會(huì)產(chǎn)生直接的接觸,從而避免了蜂窩透鏡內(nèi)壁和暗場(chǎng)物鏡本體的 外壁的磨損,延長(zhǎng)了產(chǎn)品的使用壽命。
[0008] 所述的位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括圓柱形的調(diào)節(jié)座,所述的調(diào)節(jié)座上設(shè)置有倒T型通孔, 所述的倒T型通孔包括設(shè)置在所述的調(diào)節(jié)座上端面的第一通孔和與所述的第一通孔相連 通的設(shè)置在所述的調(diào)節(jié)座下端面的第二通孔,所述的第一通孔的直徑小于所述的第二通孔 的直徑,所述的第一通孔的直徑大于所述的暗場(chǎng)物鏡本體下端部的外徑,所述的蜂窩透鏡 固定設(shè)置在所述的第二通孔中,所述的調(diào)節(jié)座的外壁上設(shè)置有外螺紋,所述的物鏡外套的 內(nèi)壁上設(shè)置有與所述的外螺紋相配合的內(nèi)螺紋,所述的調(diào)節(jié)座通過(guò)所述的外螺紋與內(nèi)螺紋 的配合固定在所述的環(huán)形空腔中,調(diào)節(jié)時(shí)保持調(diào)節(jié)座固定不動(dòng),旋轉(zhuǎn)物鏡外套便可完成對(duì) 蜂窩透鏡上下位置的調(diào)節(jié)。該位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制造方便且成本低廉,便于安裝和調(diào) 節(jié),倒T型的通孔,便于蜂窩透鏡的安裝,固定可靠,同時(shí)可較大限度地對(duì)蜂窩透鏡加以利 用,提高效率。
[0009] 所述的環(huán)形空腔的外徑大于所述的光束照射腔的外徑,所述的光束照射腔的內(nèi)徑 略大于所述的暗場(chǎng)物鏡本體下端部的外徑。如此設(shè)置,使得進(jìn)入到光束照射腔的光束能全 部進(jìn)入到環(huán)形空腔中,避免了能量的浪費(fèi)。
[0010] 所述的第一通孔的直徑大于所述的光束照射腔的外徑。如此設(shè)置,使得進(jìn)入到光 束照射腔內(nèi)的所有光束均能夠通過(guò)蜂窩透鏡進(jìn)行匯聚,避免了能量的浪費(fèi)。
[0011] 所述的物理曲面反光鏡的上端部螺接在所述的物鏡外套的下端部。采用這種固定 連接方式,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,安裝拆卸方便。
[0012] 與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:由于環(huán)形空腔中設(shè)置有蜂窩透鏡,且該 蜂窩透鏡設(shè)置在物理曲面反光鏡之上,使得進(jìn)入到環(huán)形空腔中的環(huán)形光束可通過(guò)該蜂窩透 鏡形成多束交匯光束,而每束交匯光束經(jīng)物鏡曲面反光鏡反射后,均會(huì)照在試樣的一圓形 區(qū)域內(nèi),此圓形區(qū)域內(nèi)經(jīng)多束發(fā)散光束重疊,便可形成一均勻的照明區(qū)域,從而得到較好地 暗場(chǎng)效果。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013] 圖1為本實(shí)用新型的剖視結(jié)構(gòu)示意圖;
[0014] 圖2為圖1中A處的放大結(jié)構(gòu)示意圖;
[0015] 圖3為本實(shí)用新型中蜂窩透鏡的剖視結(jié)構(gòu)示意圖;
[0016] 圖4為本實(shí)用新型中蜂窩透鏡的俯視結(jié)構(gòu)示意圖;
[0017] 圖5為本實(shí)用新型中調(diào)節(jié)座的剖視結(jié)構(gòu)示意圖;
[0018] 圖6為本實(shí)用新型中暗場(chǎng)物鏡本體的剖視結(jié)構(gòu)示意圖;
[0019] 圖7為本實(shí)用新型在光束照射下的示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0020] 以下結(jié)合附圖實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0021] 如圖所示,一種金相顯微鏡用暗場(chǎng)物鏡,包括管狀的物鏡外套1、暗場(chǎng)物鏡本體2 和物理曲面反光鏡3,物鏡外套1固定設(shè)置在暗場(chǎng)物鏡本體2的外部,物理曲面反光鏡3設(shè) 置在暗場(chǎng)物鏡本體2的下部,暗場(chǎng)物鏡本體2上設(shè)置有用于使光束進(jìn)入到暗場(chǎng)物鏡中的環(huán) 狀的光束照射腔21,暗場(chǎng)物鏡本體2的外壁與物鏡外套1的內(nèi)壁之間形成環(huán)形空腔4,光束 照射腔21與環(huán)形空腔4相通,環(huán)形空腔4中設(shè)置有環(huán)狀的蜂窩透鏡5,蜂窩透鏡5設(shè)置在物 理曲面反光鏡3之上,蜂窩透鏡5包括上端面51和下端面52,上端面51為平端面,下端面 52上設(shè)置有多個(gè)小透鏡,裝配時(shí),上端面51朝上,下端面52朝下正對(duì)物理曲面反光鏡3。
[0022] 在此具體實(shí)施例中,蜂窩透鏡5上設(shè)置有可對(duì)蜂窩透鏡5的上下位置進(jìn)行調(diào)節(jié)的 位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。通過(guò)位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)對(duì)蜂窩透鏡5的上下位置進(jìn)行調(diào)節(jié),使得光束的焦點(diǎn)位 置可根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行調(diào)整,從而擴(kuò)大了顯微鏡的使用范圍。
[0023] 在此具體實(shí)施例中,蜂窩透鏡5套設(shè)在暗場(chǎng)物鏡本體2下端部的外壁上,蜂窩透鏡 5的內(nèi)徑Di略大于暗場(chǎng)物鏡本體2下端部的外徑D 2,蜂窩透鏡5固定設(shè)置在位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu) 上,位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)可上下調(diào)節(jié)地設(shè)置在物鏡外套1的內(nèi)壁上。蜂窩透鏡5的內(nèi)徑Di略大于 暗場(chǎng)物鏡本體2下端部的外徑D 2,蜂窩透鏡5在進(jìn)行上下的位置調(diào)整時(shí),其內(nèi)壁與暗場(chǎng)物鏡 本體2的外壁并不會(huì)產(chǎn)生直接的接觸,從而避免了蜂窩透鏡5的內(nèi)壁和暗場(chǎng)物鏡本體2的 外壁的磨損,延長(zhǎng)了產(chǎn)品的使用壽命。
[0024] 在此具體實(shí)施例中,位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括圓柱形的調(diào)節(jié)座6,調(diào)節(jié)座6上設(shè)置有倒T 型通孔,倒T型通孔包括設(shè)置在調(diào)節(jié)座6上端面的第一通孔61和與第一通孔61相連通的 設(shè)置在調(diào)節(jié)座6下端面的第二通孔62,第一通孔61的直徑屯小于第二通孔62的直徑d 2, 第一通孔61的直徑屯大于暗場(chǎng)物鏡本體下端部的外徑D2,蜂窩透鏡5固定設(shè)置在第二通 孔62中,調(diào)節(jié)座6的外壁上設(shè)置有外螺紋63,物鏡外套1的內(nèi)壁上設(shè)置有與該外螺紋相配 合的內(nèi)螺紋11,調(diào)節(jié)座6通過(guò)外螺紋63與內(nèi)螺紋11的配合固定在環(huán)形空腔4中,調(diào)節(jié)時(shí)保 持調(diào)節(jié)座6固定不動(dòng),旋轉(zhuǎn)物鏡外套1便可完成對(duì)蜂窩透鏡5上下位置的調(diào)節(jié)。該位置調(diào) 節(jié)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制造方便且成本低廉,便于安裝和調(diào)節(jié),倒T型的通孔,便于蜂窩透鏡5的 安裝,固定可靠,同時(shí)可較大限度地對(duì)蜂窩透鏡5加以利用,提高效率。
[0025] 在此具體實(shí)施例中,環(huán)形空腔4的外徑03大于光束照射腔21的外徑D4,光束照射 腔21的內(nèi)徑D 5略大于暗場(chǎng)物鏡本體2下端部的外徑D2。如此設(shè)置,使得進(jìn)入到光束照射 腔21的光束能全部進(jìn)入到環(huán)形空腔4中,避免了能量的浪費(fèi)。
[0026] 在此具體實(shí)施例中,第一通孔的直徑屯大于光束照射腔21的外徑D4。如此設(shè)置, 使得進(jìn)入到光束照射腔21內(nèi)的所有光束均能夠通過(guò)蜂窩透鏡5進(jìn)行匯聚,避免了能量的浪 費(fèi)。
[0027] 在此具體實(shí)施例中,物理曲面反光鏡3的上端部螺接在物鏡外套1的下端部。采 用這種固定連接方式,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,安裝拆卸方便。
[0028] 工作原理為:當(dāng)光束照射時(shí),通過(guò)光束照射腔21形成環(huán)形光束進(jìn)入到環(huán)形空腔4 中,環(huán)形光束通過(guò)蜂窩透鏡5后,形成多束交匯光束,每一束交匯光束經(jīng)物理曲面反光鏡3 反射后,都找在試樣的一個(gè)圓形區(qū)域8內(nèi),此圓形區(qū)域8經(jīng)多束發(fā)散光束重疊,形成一個(gè)均 勻的照明區(qū)域,然后再經(jīng)試樣漫反射的光線進(jìn)入暗場(chǎng)物鏡中,形成成像光路。
【權(quán)利要求】
1. 一種金相顯微鏡用暗場(chǎng)物鏡,包括管狀的物鏡外套、暗場(chǎng)物鏡本體和物理曲面反光 鏡,所述的物鏡外套固定設(shè)置在所述的暗場(chǎng)物鏡本體的外部,所述的物理曲面反光鏡設(shè)置 在暗場(chǎng)物鏡本體的下部,所述的暗場(chǎng)物鏡本體上設(shè)置有用于使光束進(jìn)入到暗場(chǎng)物鏡中的環(huán) 狀的光束照射腔,其特征在于所述的暗場(chǎng)物鏡本體的外壁與所述的物鏡外套的內(nèi)壁之間形 成環(huán)形空腔,所述的光束照射腔與所述的環(huán)形空腔相通,所述的環(huán)形空腔中設(shè)置有環(huán)狀的 蜂窩透鏡,所述的蜂窩透鏡設(shè)置在所述的物理曲面反光鏡之上,所述的蜂窩透鏡包括上端 面和下端面,所述的上端面為平端面,所述的下端面上設(shè)置有多個(gè)小透鏡,裝配時(shí),所述的 上端面朝上,所述的下端面朝下正對(duì)所述的物理曲面反光鏡。
2. 如權(quán)利要求1所述的一種金相顯微鏡用暗場(chǎng)物鏡,其特征在于所述的蜂窩透鏡上設(shè) 置有可對(duì)蜂窩透鏡的上下位置進(jìn)行調(diào)節(jié)的位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
3. 如權(quán)利要求2所述的一種金相顯微鏡用暗場(chǎng)物鏡,其特征在于所述的蜂窩透鏡套設(shè) 在所述的暗場(chǎng)物鏡本體下端部的外壁上,所述的蜂窩透鏡的內(nèi)徑略大于所述的暗場(chǎng)物鏡本 體下端部的外徑,所述的蜂窩透鏡固定設(shè)置在所述的位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上,所述的位置調(diào)節(jié)機(jī) 構(gòu)可上下調(diào)節(jié)地設(shè)置在所述的物鏡外套的內(nèi)壁上。
4. 如權(quán)利要求3所述的一種金相顯微鏡用暗場(chǎng)物鏡,其特征在于所述的位置調(diào)節(jié)機(jī) 構(gòu)包括圓柱形的調(diào)節(jié)座,所述的調(diào)節(jié)座上設(shè)置有倒T型通孔,所述的倒T型通孔包括設(shè)置 在所述的調(diào)節(jié)座上端面的第一通孔和與所述的第一通孔相連通的設(shè)置在所述的調(diào)節(jié)座下 端面的第二通孔,所述的第一通孔的直徑小于所述的第二通孔的直徑,所述的第一通孔的 直徑大于所述的暗場(chǎng)物鏡本體下端部的外徑,所述的蜂窩透鏡固定設(shè)置在所述的第二通孔 中,所述的調(diào)節(jié)座的外壁上設(shè)置有外螺紋,所述的物鏡外套的內(nèi)壁上設(shè)置有與所述的外螺 紋相配合的內(nèi)螺紋,所述的調(diào)節(jié)座通過(guò)所述的外螺紋與內(nèi)螺紋的配合固定在所述的環(huán)形空 腔中,調(diào)節(jié)時(shí)保持調(diào)節(jié)座固定不動(dòng),旋轉(zhuǎn)物鏡外套便可完成對(duì)蜂窩透鏡上下位置的調(diào)節(jié)。
5. 如權(quán)利要求1或4所述的一種金相顯微鏡用暗場(chǎng)物鏡,其特征在于所述的環(huán)形空腔 的外徑大于所述的光束照射腔的外徑,所述的光束照射腔的內(nèi)徑略大于所述的暗場(chǎng)物鏡本 體下端部的外徑。
6. 如權(quán)利要求4所述的一種金相顯微鏡用暗場(chǎng)物鏡,其特征在于所述的第一通孔的直 徑大于所述的光束照射腔的外徑。
7. 如權(quán)利要求1或4所述的一種金相顯微鏡用暗場(chǎng)物鏡,其特征在于所述的物理曲面 反光鏡的上端部螺接在所述的物鏡外套的下端部。
【文檔編號(hào)】G02B21/04GK203882007SQ201420280408
【公開(kāi)日】2014年10月15日 申請(qǐng)日期:2014年5月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月28日
【發(fā)明者】張寧博, 李晞, 姚晨 申請(qǐng)人:南京江南永新光學(xué)有限公司
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