一種光學準直裝置制造方法
【專利摘要】公開了一種光學準直裝置。聚焦機構包括聚焦元件和將聚焦元件可調(diào)節(jié)地固定在第二支架的第一安裝組件，接收機構包括接收元件和將接收元件可調(diào)節(jié)地固定到第三支架的第二安裝組件，其中，第一安裝組件被配置成使光束精準地定位到聚焦元件上，第二安裝組件被配置成使聚焦元件聚焦的光束精準地定位到接收元件上。本實用新型可以滿足測量設備，尤其是半導體測量設備，對聚焦元件和接收元件的高位置精度的要求。
【專利說明】一種光學準直裝置

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種光學準直裝置，應用于光學機械設備領域，使用該微調(diào)機構可將多種形狀的光束準直入射到某一聚焦系統(tǒng)，并使得聚焦以后的光束準直入射到某一接收系統(tǒng)，完成對該光束信號的聚焦和采集。本實用新型尤其適用于半導體測量設備，該光學準直裝置可滿足測量設備對聚焦系統(tǒng)和接收系統(tǒng)位置的高精度要求。

【背景技術】
[0002]許多光機設備中都存在聚焦元件和接收元件，聚焦元件例如可以包括拋物鏡、聚焦透鏡和球面反射鏡等，接收元件例如可以包括光譜儀或CCD等探測器，它們在半導體測量設備中均要求較高的定位精度，有的精度甚至達到微米量級，因此，在光學系統(tǒng)中需要光學準直裝置將聚焦元件和接收元件進行機械準直。目前，在一些光學系統(tǒng)中，只需調(diào)節(jié)聚焦元件和接收元件其中一個的位置即可，光束采用其他介質(zhì)引入到一個不需調(diào)節(jié)的系統(tǒng)。例如光纖，將光引進聚焦元件或者接收元件，在需要得到光束譜線、能量、波差和波形的測量系統(tǒng)中不適用。在另外的一些光學系統(tǒng)中，只需調(diào)節(jié)接收元件，而聚焦元件采用機械加工的精度來保證，對機械加工的精度要求很高，在光路比較長，體積較大的光學系統(tǒng)中，機械加工很難保證很高的定位精度。另外一些設備準直精度低，光學準直裝置的微調(diào)機構調(diào)節(jié)維數(shù)不夠，因為很多接收元件的姿態(tài)和入射光的方向是唯一的，調(diào)節(jié)維數(shù)的缺失導致光不能夠完全接收，損失測量精度。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型解決的技術問題在于:如何合理地設定光學聚焦元件和接收元件的調(diào)節(jié)自由度，使之與光束之間進行高精度機械準直。
[0004]本實用新型公開了一種光學準直裝置，其包括第一支架、第二支架和第三支架，其中，所述第二支架和所述第三支架間隔開地固定到所述第一支架上，所述第二支架用于承載聚焦機構，所述第三支架用承載接收機構。所述聚焦機構包括聚焦元件和將所述聚焦元件可調(diào)節(jié)地固定在所述第二支架的第一安裝組件，所述接收機構包括接收元件和將所述接收元件可調(diào)節(jié)地固定到所述第三支架的第二安裝組件，其中，所述第二支架根據(jù)未聚焦光束的路徑被配置以使光束粗略地定位到所述聚焦元件上，所述第三支架根據(jù)所述聚焦元件聚焦的光束被配置以使所述聚焦元件聚焦的光束粗略地定位到所述接收元件上，并且所述第一安裝組件被配置成使光束精準地定位到所述聚焦元件上，所述第二安裝組件被配置成使所述聚焦元件聚焦的光束精準地定位到所述接收元件上。
[0005]具體地，在以所述聚焦元件的中心為中心并以未聚焦光束的軸線為第一聚焦坐標軸線，并以垂直于所述第一聚焦坐標軸線的第二和第三聚焦坐標軸線所建立的聚焦坐標系中，所述第一安裝組件被配置成能夠使所述聚焦元件繞所述第一聚焦坐標軸線可轉(zhuǎn)動地調(diào)節(jié)、繞所述第二聚焦坐標軸線可轉(zhuǎn)動地調(diào)節(jié)并繞所述第三聚焦坐標軸線可轉(zhuǎn)動地調(diào)節(jié)。
[0006]更具體地，所述第一安裝組件還包括安裝筒，所述安裝筒具有側面和端面，所述側面限定有至少兩個彼此沿著安裝筒的縱向軸線對準的螺孔，所述第一安裝組件還包括具有固定部分和從所述固定部分縱向延伸出但直徑小于所述固定部分的插入部分的法蘭盤，所述固定部分上開設有多個腰形通孔，所述法蘭盤的插入部分插入到所述安裝筒內(nèi)且固定部分抵靠到所述安裝筒的端面上并通過穿過腰形通孔的緊固件將所述固定部分緊固到所述安裝筒的端面上，其中所述聚焦元件形成在或固定到法蘭盤的插入部分的端面上，所述緊固件是可松開的以使所述法蘭盤相對所述安裝筒在所述腰形通孔限定的角度內(nèi)可轉(zhuǎn)動的。
[0007]更具體地，所述第一安裝組件還包括安裝臺，所述安裝臺包括固定到所述第二支架的基部和垂直于所述基部延伸的兩個耳部，所述基部設置有縱向貫通的銷孔，兩個耳部的每一個上分別設置有橫向貫通的螺孔并且這兩個螺孔相對于所述基部的縱向銷孔對稱，所述第一安裝組件還包括U形塊，所述U形塊的底部中央設有與所述基部的銷孔對準的縱向通孔，所述U形塊的底部兩側分別設有與所述耳部的螺孔對準的橫向沉孔，所述沉孔內(nèi)布置有陶瓷墊片，一端帶有螺紋的旋轉(zhuǎn)軸穿過所述基部的銷孔并固定到所述U形塊的螺孔內(nèi)以將所述U形塊可轉(zhuǎn)動地固定于所述基部上，調(diào)節(jié)螺釘螺紋緊固到每個所述耳部的螺孔并使其端部頂靠到布置在所述U形塊的沉孔內(nèi)的陶瓷墊片上從而當旋緊或松開所述調(diào)節(jié)螺釘時所述U形塊隨之擺動，所述U形塊的兩條臂部的自由端附近相對地設置有銷孔，緊固件穿過所述臂部的銷孔并螺紋緊固到所述安裝筒的側面螺孔內(nèi)。
[0008]更具體地，所述U形塊的側面在兩個側面的螺孔的中間還徑向地凸伸有柱狀件，在所述安裝臺的兩個耳部限定的中空空間內(nèi)固定有固定座，所述固定座在基本縱向的方向上將所述柱狀件容納于其內(nèi)，所述固定座在所述柱狀件的兩側分別相對地設置有固定螺釘和調(diào)節(jié)螺釘以將所述柱狀件夾置于其間，其中，所述柱狀件和所述調(diào)節(jié)螺釘之間還布置有壓縮彈簧，所述調(diào)節(jié)螺釘可轉(zhuǎn)動地旋緊或旋松以使所述柱狀件擺動從而使所述安裝筒繞轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動。
[0009]具體地，以所述接收元件的接收面的幾何中心為中心并以聚焦光束的軸線為第一接收坐標軸線，并以垂直于所述第一接收坐標軸線的第二和第三接收坐標軸線所建立的第二接收坐標系中，所述第二安裝組件被配置成以能夠使所述聚焦元件沿著所述第一接收坐標軸線可平移地調(diào)節(jié)、沿著所述第二接收坐標軸線可平移地調(diào)節(jié)、繞所述第二接收坐標軸線可轉(zhuǎn)動地調(diào)節(jié)并繞所述第三接收坐標軸線可轉(zhuǎn)動地調(diào)節(jié)。
[0010]更具體地，所述第二安裝組件包括固定安裝到所述第三支架上的類十字軌結構以及可轉(zhuǎn)動地安裝在所述類十字軌結構上的轉(zhuǎn)盤。
[0011]優(yōu)選地，所述聚焦元件為拋物鏡。
[0012]優(yōu)選地，所述接收元件為光譜儀。
[0013]本實用新型可以滿足測量設備(尤其是半導體測量設備)對聚焦元件和接收元件的高位置精度的要求。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]為了解釋本實用新型，將在下文中參考附圖描述其示例性實施方式，附圖中:
[0015]圖1為示意性地示出了根據(jù)本實用新型的一種實施方式的光學準直裝置在某一視角的透視圖，其中示出了固定到第一支架的第三支架；
[0016]圖2為圖1的光學準直裝置在某一視角的主視圖，其中示出了固定在第一支架上的第二支架；
[0017]圖3為圖1的光學準直裝置的剖視圖；
[0018]圖4為圖1的光學準直裝置的承載于第二支架上的聚焦機構的透視圖；
[0019]圖5為圖1的光學準直裝置的承載于第三支架上的接收機構的透視圖；
[0020]圖6為圖5的接收機構的第二調(diào)節(jié)組件的透視圖；以及
[0021]圖7為根據(jù)本實用新型的一種實施方式的光學準直裝置原理圖；
[0022]不同圖中的相似特征由相似的附圖標記指示。

【具體實施方式】
[0023]在以下的實施方式的詳細描述中，參照構成該描述的一部分的附圖進行說明。附圖以示例的方式展示出特定的實施方式，本實用新型被實現(xiàn)在這些實施方式中。所示出的實施方式不是為了窮盡根據(jù)本實用新型的所有實施方式。可以理解，其他的實施方式可以被利用，結構性或邏輯性的改變能夠在不脫離本實用新型的范圍的前提下被做出。對于附圖，方向性的術語，例如“左”、“右”、“底”、“前”、“后”、“向下”、“向上”等，是參照所描述的附圖的方位而使用的。由于本實用新型的實施方式的組件能夠被以多種方位方式，這些方向性術語是用于說明的目的，而不是限制的目的。因此，以下的【具體實施方式】并不是作為限制的意義，并且本實用新型的范圍由所附的權利要求書所限定。
[0024]圖1為示意性地示出了根據(jù)本實用新型的一種實施方式的光學準直裝置在某一視角的透視圖，其中示出了固定到第一支架的第三支架；圖2為圖1的光學準直裝置在某一視角的主視圖，其中示出了固定在第一支架上的第二支架；圖3為圖1的光學準直裝置的剖視圖；圖4為圖1的光學準直裝置的承載于第二支架上的聚焦機構的透視圖；圖7為根據(jù)本實用新型的一種實施方式的光學準直裝置原理圖。
[0025]如圖1-圖4和圖7所示，該光學準直裝置10包括第一支架102、第二支架104和第三支架106。該第一支架102包括大致水平的基部102a、從該基部102a基本豎直向上延伸的第一側壁102b、第二側壁102c和第三側壁102d，第一側壁102b和第二側壁102c相對布置并且由第三側壁102d連接在一起。該第二支架104包括第一部分104a和從第一部分104a成角度地延伸出來的第二部分104b，其中第一部分104a通過諸如螺栓的緊固件108固定到第三側壁102d上，第二部分104b通過第一安裝組件202可調(diào)節(jié)地固定聚焦元件204。前述聚焦元件204可以為拋物鏡。而且，該第一安裝組件202和聚焦元件204可以稱為聚焦機構。
[0026]具體地，該第一安裝組件202包括用于固定到第二支架104的第二部分104b的端面上的安裝臺206，該安裝臺206具有與第二支架104的第二部分104b平行的基部206a以及從該基部206a的端部兩側分別垂直向上延伸的耳部206b，該基部206a的中央設置有銷孔，該耳部206b上均設置有螺孔。進一步地，該第一安裝組件202還包括U形塊208，該U形塊208的底部的中央設有螺孔(未示出)，該U形塊208的底部的兩側在與耳部206b上的螺孔對應的位置分別設置有一個沉孔，陶瓷墊片可以布置到該沉孔內(nèi)。U形塊208的兩條臂部的自由端附近分別對稱地設置有銷孔。銷軸穿過安裝臺206的基部206a的中央銷孔并螺紋穿設到U形塊208的底部的中央螺孔內(nèi)，螺釘210旋入到安裝臺206的一側的耳部206b的螺孔并頂靠布置在U形塊208的沉孔內(nèi)的陶瓷墊片上，螺釘212旋入到安裝臺206的另一側耳部206b的螺孔并頂靠布置在U形塊208的沉孔內(nèi)的陶瓷墊片上，前述的陶瓷墊片具有防滑功能。這樣，當擰緊或松開螺釘210、212時，該U形塊208會繞著V的方向轉(zhuǎn)動從而可實現(xiàn)如圖7所示的繞X'軸的轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)。此外，該第一安裝組件202還包括拋物鏡安裝筒214，在拋物鏡安裝筒214的左右兩側分別形成有一行螺孔且左側的螺孔與右側的螺孔分別中心對準，端部帶有螺紋的銷軸217穿過U形塊208的兩條臂部的銷孔螺紋連接到拋物鏡安裝筒214的螺孔以將該拋物鏡安裝筒214繞Z'方向可轉(zhuǎn)動地安裝到U形塊208上。該拋物鏡安裝筒214的端面固定法蘭盤216，該法蘭盤216的直徑較小的部分的端面形成或固定有拋物鏡204，直徑較大的部分在周向上設置有三個腰形孔218，這三個腰形孔218均勻地沿周向布置。安裝時，法蘭盤216的直徑較小的部分插入到拋物鏡安裝筒214內(nèi)，諸如螺栓的緊固件分別穿過該腰形孔218將該法蘭盤216牢固地固定到拋物鏡安裝筒214的端面上。當拋物鏡204在繞如圖7所示的Y'方向轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)時，可以先松開各個腰形孔218的緊固件然后再轉(zhuǎn)動該法蘭盤216待其位置轉(zhuǎn)動到理想位置后旋緊各個腰形孔218的緊固件。進一步地，該拋物鏡安裝筒214的周向表面還徑向地向外凸伸出柱形件220，其頂端螺紋連接到拋物鏡安裝筒214上。當該拋物鏡安裝筒214被安裝到U形塊208上時，該柱形件220恰好處于U形塊208的兩條臂部之間且該柱形件220與其中一條臂部的距離和與另一條臂部之間的距離是相等的。為了與該柱形件220配合，在安裝臺206的兩個耳部206b限定的中空空間內(nèi)固定有固定座222，該固定座222在大致上下方向上將前述柱形件220容納于其內(nèi)，在圖示的大致前后方向上分別固定有固定螺釘224和調(diào)節(jié)螺釘226，其中，在柱形件220和圖示的大致后方的調(diào)節(jié)螺釘226之間布置有壓縮彈簧(未示出)，調(diào)節(jié)螺釘226是可轉(zhuǎn)動地旋緊或旋松以使該柱形件220擺動從而使拋物鏡安裝筒214繞轉(zhuǎn)動軸217轉(zhuǎn)動從而實現(xiàn)如圖7所示的繞Zi軸的轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)。
[0027]圖5為圖1的光學準直裝置的承載于第三支架上的接收機構的透視圖；圖6為圖5的接收機構的第二調(diào)節(jié)組件的透視圖；圖7為根據(jù)本實用新型的一種實施方式的光學準直裝置原理圖。
[0028]再參見圖5-圖7，第三支架106大致成L形，包括基本水平的底壁106a以及從該底壁106a基本豎直地向上延伸的側壁106b，該底壁106a通過諸如螺栓等緊固件固定到第一支架102的上表面上。第二安裝組件302將接收元件304可調(diào)節(jié)地固定到第三支架106上，其中該接收元件304可以為光譜儀。而且，該第二安裝組件302和接收元件304可以稱為接收機構。
[0029]具體地，該第二安裝組件302包括固定安裝到第三支架106的側壁106b上的第一固定座306、與該第一固定306在圖7的X方向可滑動配合的第一滑塊308、第二固定座310、與該第二固定座310在圖7的圖Y方向可滑動配合的第二滑塊312、與第二滑塊312固定連接的第三固定座314、與該第三固定座314繞圖7的Y方向可轉(zhuǎn)動安裝的轉(zhuǎn)動塊316、固定連接在該第三滑塊316的第四固定座318、安裝于該第四固定座318上并繞圖7的Z方向可轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)盤320以及固定連接到轉(zhuǎn)盤320上并用于安裝接收元件304的板狀部件321。該第一固定座306、第一滑塊308、第二固定座310和第二滑塊312構成了熟知的十字軌結構，在此，關于該結構的具體細節(jié)不再贅述。而且，該第一固定座306和第一滑塊308之間的鎖定結構以及第二固定座310和第二滑塊312之間的鎖定結構是基本類似的，示例性地，如圖所示，固定片322通過兩個諸如螺栓的緊固件固定到第二固定座310上，固定片322上開設供鎖定件324穿過的狹槽326，該鎖定件324螺紋連接到第二滑塊312上，當該第二滑塊312相對于第二固定座310被滑動到理想位置時擰緊前述鎖定件324就可以將第二滑塊312固定到第二固定座310上。光譜儀304固定到板狀部件321上。
[0030]如圖6所示，第二安裝組件302為四維的調(diào)節(jié)組件，四維的疊加形式可以減少各維之間的耦合，方便調(diào)節(jié)。在圖示的疊加次序中，由于接收元件304有時需要繞Z軸大范圍轉(zhuǎn)動但其余幾維不需大范圍旋轉(zhuǎn)，為了避免占用空間并使整個結構更緊湊，接收元件304通過板狀部件321連接到調(diào)節(jié)元件(轉(zhuǎn)盤320)從而其可繞Z軸轉(zhuǎn)動。繞Y軸轉(zhuǎn)動的調(diào)節(jié)元件(轉(zhuǎn)動塊316)的旋轉(zhuǎn)軸通過接收元件304的中心，根據(jù)實際的標準件，放在圖示的轉(zhuǎn)盤320下方更合適。此外，一般線性運動的結構剛性更好，放在圖示的下面可以加強整個組件的剛性，故，X和Y方向的調(diào)節(jié)元件(類十字軌結構)設置在遠離接收元件304的位置。在本實用新型中，繞Y軸轉(zhuǎn)動的調(diào)節(jié)元件(轉(zhuǎn)動塊316)的設置代替了一個沿Z軸運動的線性機構，在繞Y軸轉(zhuǎn)動的調(diào)節(jié)中，接收元件304在Z和X方向均會發(fā)生改變，與此同時，對于諸如光譜儀的接收元件304的圓形接收面來說還發(fā)生了沿圓形接收面旋轉(zhuǎn)的角度，使得光束能夠準確地定位在此圓形接收面上，可以減少調(diào)節(jié)維數(shù)，使結構更緊湊，剛性更好。
[0031 ] 參見圖1、圖3和圖7，根據(jù)這些圖所示出的，來自光源并經(jīng)過待測物之后的光線會射入到用作聚焦元件的拋物鏡204上，聚焦后再射入到用作接收元件的光譜儀304的狹縫內(nèi)。即，前述的光學準直裝置10應當被配置成使該拋物鏡204和光譜儀304之間形成精準的光路。更具體地說，在此，是這樣實現(xiàn)的:該第二支架104根據(jù)光線的路徑被配置以使光線粗略地定位到作為聚焦元件的拋物鏡204上，第三支架106根據(jù)拋物鏡204聚焦的光線被配置以使拋物鏡204聚焦的光線粗略地定位到作為接收元件的光譜儀304上，并且第一安裝組件202被配置成使光線精準地定位到拋物鏡204上，第二安裝組件302被配置成使拋物鏡204聚焦的光線精準地定位到光譜儀304上。
[0032]設置第一安裝組件202的目的在于使光線沿著平行于拋物鏡204的光軸的方向入射到拋物鏡204上，設置第二安裝組件302的目的在于使經(jīng)拋物鏡204聚焦的光線沿著平行于光譜儀304的光軸入射到光譜儀304的狹縫。
[0033]如前所述，在本實用新型的光學準直裝置10中，通過設置可三維調(diào)節(jié)的第一安裝組件202來調(diào)節(jié)聚焦元件204，同時設置可四維調(diào)節(jié)的第二安裝組件302來調(diào)節(jié)接收元件304，來實現(xiàn)精準定位。
[0034]粗略定位的目的在于減少一些自由度或者調(diào)節(jié)范圍，精準定位的目的在于對一些自由度進行微調(diào)。粗略定位可以根據(jù)光束、聚焦元件204和接收元件304的理論位置來確定，采用對第一支架102、第二支架104和第三支架106精密的機械加工和相互間的銷釘定位即可實現(xiàn)，如圖1和圖2所示。這對于本領域普通技術人員而言應當是熟知的。如圖7所示，其概略性地示出了精準定位的原理，坐標系X，Y，Z和X' ,Y' ,1'均為笛卡爾坐標系，O和O'分別是它們的原點。聚焦元件204將光束聚焦以后,進入接收元件304。如前所述，第一安裝組件202包括分別繞Xi ,V , I'轉(zhuǎn)動的機構，從而使聚焦元件204具有三個可微調(diào)的轉(zhuǎn)動自由度:Rx'，Ry'，Rz'，而第二安裝組件302包括繞Z和Y的旋轉(zhuǎn)以及沿X，Y兩個方向的平移的機構，從而使接收元件304具有四個可微調(diào)的自由度:X，Y，Ry, Rz。在此，坐標系Γ ,Y' ,V中的Γ軸應與光束的軸線重合，坐標系X，Y，Z的原點O應置于接收元件304中接收面的幾何中心，減少平移調(diào)節(jié)的范圍。聚焦元件204的調(diào)節(jié)基準是光束，而接收元件304的調(diào)節(jié)基準是聚焦元件204聚焦后的光束。
[0035]本實用新型不以任何方式限制于在說明書和附圖中呈現(xiàn)的示例性實施方式。示出以及描述的實施方式(的部分)的所有組合明確地理解為并入該說明書之內(nèi)并且明確地理解為落入本實用新型的范圍內(nèi)。而且，在如權利要求書概括的本實用新型的范圍內(nèi)，很多變形是可能的。此外，不應該將權利要求書中的任何參考標記構造為限制本實用新型的范圍。
【權利要求】
1.一種光學準直裝置，其包括第一支架、第二支架和第三支架，其中，所述第二支架和所述第三支架間隔開地固定到所述第一支架上，所述第二支架用于承載聚焦機構，所述第三支架用承載接收機構，其特征在于，所述聚焦機構包括聚焦元件和將所述聚焦元件可調(diào)節(jié)地固定在所述第二支架的第一安裝組件，所述接收機構包括接收元件和將所述接收元件可調(diào)節(jié)地固定到所述第三支架的第二安裝組件，其中，所述第二支架根據(jù)未聚焦光束的路徑被配置以使光束粗略地定位到所述聚焦元件上，所述第三支架根據(jù)所述聚焦元件聚焦的光束被配置以使所述聚焦元件聚焦的光束粗略地定位到所述接收元件上，并且所述第一安裝組件被配置成使光束精準地定位到所述聚焦元件上，所述第二安裝組件被配置成使所述聚焦元件聚焦的光束精準地定位到所述接收元件上。
2.根據(jù)權利要求1所述的光學準直裝置，其特征在于，在以所述聚焦元件的中心為中心并以未聚焦光束的軸線為第一聚焦坐標軸線，并以垂直于所述第一聚焦坐標軸線的第二和第三聚焦坐標軸線所建立的聚焦坐標系中，所述第一安裝組件被配置成能夠使所述聚焦元件繞所述第一聚焦坐標軸線可轉(zhuǎn)動地調(diào)節(jié)、繞所述第二聚焦坐標軸線可轉(zhuǎn)動地調(diào)節(jié)并繞所述第三聚焦坐標軸線可轉(zhuǎn)動地調(diào)節(jié)。
3.根據(jù)權利要求2所述的光學準直裝置，其特征在于，所述第一安裝組件還包括安裝筒，所述安裝筒具有側面和端面，所述側面限定有至少兩個彼此沿著安裝筒的縱向軸線對準的螺孔，所述第一安裝組件還包括具有固定部分和從所述固定部分縱向延伸出但直徑小于所述固定部分的插入部分的法蘭盤，所述固定部分上開設有多個腰形通孔，所述法蘭盤的插入部分插入到所述安裝筒內(nèi)且固定部分抵靠到所述安裝筒的端面上并通過穿過腰形通孔的緊固件將所述固定部分緊固到所述安裝筒的端面上，其中所述聚焦元件形成在或固定到法蘭盤的插入部分的端面上，所述緊固件是可松開的以使所述法蘭盤相對所述安裝筒在所述腰形通孔限定的角度內(nèi)可轉(zhuǎn)動的。
4.根據(jù)權利要求3所述的光學準直裝置，其特征在于，所述第一安裝組件還包括安裝臺，所述安裝臺包括固定到所述第二支架的基部和垂直于所述基部延伸的兩個耳部，所述基部設置有縱向貫通的銷孔，兩個耳部的每一個上分別設置有橫向貫通的螺孔并且這兩個螺孔相對于所述基部的縱向銷孔對稱，所述第一安裝組件還包括U形塊，所述U形塊的底部中央設有與所述基部的銷孔對準的縱向通孔，所述U形塊的底部兩側分別設有與所述耳部的螺孔對準的橫向沉孔，所述沉孔內(nèi)布置有陶瓷墊片，一端帶有螺紋的旋轉(zhuǎn)軸穿過所述基部的銷孔并固定到所述U形塊的螺孔內(nèi)以將所述U形塊可轉(zhuǎn)動地固定于所述基部上，調(diào)節(jié)螺釘螺紋緊固到每個所述耳部的螺孔并使其端部頂靠到布置在所述U形塊的沉孔內(nèi)的陶瓷墊片上從而當旋緊或松開所述調(diào)節(jié)螺釘時所述U形塊隨之擺動，所述U形塊的兩條臂部的自由端附近相對地設置有銷孔，緊固件穿過所述臂部的銷孔并螺紋緊固到所述安裝筒的側面螺孔內(nèi)。
5.根據(jù)權利要求4所述的光學準直裝置，其特征在于，所述U形塊的側面在兩個側面的螺孔的中間還徑向地凸伸有柱狀件，在所述安裝臺的兩個耳部限定的中空空間內(nèi)固定有固定座，所述固定座在基本縱向的方向上將所述柱狀件容納于其內(nèi)，所述固定座在所述柱狀件的兩側分別相對地設置有固定螺釘和調(diào)節(jié)螺釘以將所述柱狀件夾置于其間，其中，所述柱狀件和所述調(diào)節(jié)螺釘之間還布置有壓縮彈簧，所述調(diào)節(jié)螺釘可轉(zhuǎn)動地旋緊或旋松以使所述柱狀件擺動從而使所述安裝筒繞轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動。
6.根據(jù)權利要求1所述的光學準直裝置，其特征在于，以所述接收元件的接收面的幾何中心為中心并以聚焦光束的軸線為第一接收坐標軸線，并以垂直于所述第一接收坐標軸線的第二和第三接收坐標軸線所建立的第二接收坐標系中，所述第二安裝組件被配置成以能夠使所述聚焦元件沿著所述第一接收坐標軸線可平移地調(diào)節(jié)、沿著所述第二接收坐標軸線可平移地調(diào)節(jié)、繞所述第二接收坐標軸線可轉(zhuǎn)動地調(diào)節(jié)并繞所述第三接收坐標軸線可轉(zhuǎn)動地調(diào)節(jié)。
7.根據(jù)權利要求6所述的光學準直裝置，其特征在于，所述第二安裝組件包括固定安裝到所述第三支架上的類十字軌結構以及可轉(zhuǎn)動地安裝在所述類十字軌結構上的轉(zhuǎn)盤。
8.根據(jù)權利要求1-7任一項所述的光學準直裝置，其特征在于，所述聚焦元件為拋物鏡。
9.根據(jù)權利要求1-7任一項所述的光學準直裝置，其特征在于，所述接收元件為光譜儀。
【文檔編號】G02B27/30GK204116728SQ201420179004
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年4月14日 優(yōu)先權日:2014年4月14日
【發(fā)明者】李宇, 熊林軍 申請人:睿勵科學儀器（上海）有限公司