一種用于彩色濾光片的顯影液的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于彩色濾光片的顯影液，所述顯影液的組分包括有強(qiáng)堿、非離子表面活性劑、全氟代烴基聚醚化合物、絡(luò)合劑和純凈水，所述全氟代烴基聚醚化合物的結(jié)構(gòu)通式為：，其中R1表示氫原子或C1-C18的脂肪烴基或芳香烴基，R2表示氫或C1-C4的脂肪烴基，Rf表示C1-C12的氟代脂肪烴基或氟代芳香烴基，n表示1-50的自然數(shù)。通過上述方式，本發(fā)明的用于彩色濾光片的顯影液對圖形部分具有良好的顯影效果，顯影后的圖形完整且無殘?jiān)?，尺寸?zhǔn)確，圖形邊緣清晰整齊，對非圖形部分有良好的保護(hù)作用，不產(chǎn)生畸變。
【專利說明】—種用于彩色濾光片的顯影液
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種顯影液，特別是涉及一種用于彩色濾光片的顯影液。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著顯示技術(shù)的快速發(fā)展，平板顯示器以其完全不同的顯示原理和制造技術(shù)使之同傳統(tǒng)的視頻圖像顯示器相比具有非常明顯的優(yōu)勢。平板顯示器具有完全平面化、輕、薄、省電等特點(diǎn)，符合未來圖像顯示器發(fā)展的必然趨勢。LCD器件是眾多平板顯示器件中發(fā)展最快、技術(shù)最成熟、應(yīng)用面最廣、已經(jīng)產(chǎn)業(yè)化并仍在迅猛發(fā)展的一種顯示器件，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，人們已成功地將半導(dǎo)體技術(shù)與LCD技術(shù)結(jié)合在一起，液晶顯示器得到了廣泛的應(yīng)用。
[0003]彩色濾光片是彩色液晶顯示器(IXD)由灰階變?yōu)椴噬年P(guān)鍵零組件，借由IXD內(nèi)部的背光模組提供光源，再搭配驅(qū)動(dòng)IC與液晶控制形成灰階顯示，將光源穿過彩色濾光片的光阻彩色層形成彩色顯示畫面。彩色濾光片的結(jié)構(gòu)包括玻璃基板、黑色矩陣、彩色層、保護(hù)膜及ITO導(dǎo)電膜，此光電組件是在透明玻璃基板上制作防反射的遮光層-黑色矩陣層，再依次制作具有透光性能的紅、綠、藍(lán)三原色的彩色濾光片層，最后通過濺射工藝覆上透明ITO導(dǎo)電膜成為彩色濾光片。
[0004]彩色濾光片的傳統(tǒng)制程主要有染色法(Dyeing Method)、顏料分散法(PigmentDispersed Method)、電沉積法(Electro Deposition Method)、印刷法(PrintingMethod)，其中顏料分散法已逐步發(fā)展為主流技術(shù)。顏料分散法之彩色層形成類似半導(dǎo)體的光刻制程，首先將顏料分散型彩色光阻涂布于已形成黑色矩陣的玻璃基板上，經(jīng)軟烤(Pre-bake)、曝光對準(zhǔn)(Aligned)、顯影(Developed)、光阻剝離(Stripping)、硬烤(Post-bake)并重復(fù)此流程三次形成R、G、B之三色圖形(Pattern)。
[0005]彩色濾光片中精細(xì)圖案的獲得，一般是通過光刻技術(shù)來實(shí)現(xiàn)的。光刻技術(shù)包括光刻膠的曝光、顯影等工藝。由于光刻膠在曝光前后在顯影液中的溶解性能會(huì)有不同，因此進(jìn)行曝光后，光刻膠的曝光區(qū)與未曝光區(qū)依賴于溶解性能的不同，分為可溶區(qū)和不溶區(qū)?？扇軈^(qū)溶于光刻膠顯影液，而不溶區(qū)留下。即光刻膠可以根據(jù)曝光的圖形，選擇性的溶于光刻膠顯影液，從而形成需要的圖形。而為了獲得良好的圖案，需要對光刻膠進(jìn)行高精度的顯影，因此對光刻膠顯影液的顯影性提出更高的要求。
[0006]通常情況下，光刻膠為疏水性，曝光后由于光刻膠的可溶區(qū)被不溶區(qū)包圍，顯影液很難充分接觸到可溶區(qū)，尤其是兩者邊緣部分，造成圖形邊緣的可溶性光刻膠溶解不充分，圖案邊緣部分顯影差，使顯影液的顯影性降低。現(xiàn)有技術(shù)中，為了提高顯影液對光刻膠可溶區(qū)的溶解性，以提高顯影液的顯影性，通常在顯影液中添加表面活性劑，添加表面活性劑能夠改善顯影液對光刻膠的潤濕性，使曝光后光刻膠的可溶區(qū)具有了很好的溶解性。但添加表面活性劑后，顯影液對光刻膠的不溶區(qū)的溶解性常常也相應(yīng)提高，從而導(dǎo)致光刻膠不可溶區(qū)的表面和邊緣也容易被顯影液溶解，造成光刻圖形畸變，從而影響顯影液顯影性的有效提聞。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種用于彩色濾光片的顯影液，具有良好的顯影效果。
[0008]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是:提供一種用于彩色濾光片的顯影液，所述顯影液的組分包括有強(qiáng)堿、非離子表面活性劑、全氟代烴基聚醚化合物、絡(luò)合劑和純凈水，所述全氟代烴基聚醚化合物的結(jié)構(gòu)通式為:
【權(quán)利要求】
1.一種用于彩色濾光片的顯影液，其特征在于，所述顯影液的組分包括有強(qiáng)堿、非離子表面活性劑、全氟代烴基聚醚化合物、絡(luò)合劑和純凈水，所述全氟代烴基聚醚化合物的結(jié)構(gòu)
R2通式為:RICHoCHO^-Rf，其中Rl表示氫原子或C1_C18的脂肪烴基或芳香烴基，R2表示氫或C1-C4的脂肪烴基，Rf表示C1-C12的氟代脂肪烴基或氟代芳香烴基，η表示1_50的自然數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影液，其特征在于，所述R1表示氫原子或C1-C15的脂肪烴基或芳香烴基，所述R2表示氫或甲基，所述Rf表示C1-C9的氟代脂肪烴基或氟代芳香烴基，所述η表示5-40的自然數(shù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯影液，其特征在于，所述η表示為10-30的自然數(shù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影液，其特征在于，所述顯影液的組分為:以質(zhì)量百分比計(jì)，強(qiáng)堿1_6%、非離子表面活性劑0.2-10%、全氟代烴基聚醚化合物0.1-3%、絡(luò)合劑`0.05-1%、純凈水余量。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯影液，其特征在于，所述顯影液的組分為:以質(zhì)量百分比計(jì)，強(qiáng)堿3-6%、非離子表面活性劑2-8%、全氟代烴基聚醚化合物0.3-1.6%、絡(luò)合劑`0.1-0.5%、純凈水余量。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影液，其特征在于，所述強(qiáng)堿為堿金屬氫氧化物、堿土金屬氫氧化物、堿金屬碳酸鹽、堿金屬硅酸鹽、堿金屬磷酸鹽、季銨堿中的一種或多種。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影液，其特征在于，所述非離子表面活性劑為聚醚型表面活性劑、多元醇型表面活性劑中的一種或多種。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影液，其特征在于，所述絡(luò)合劑為有機(jī)膦酸鹽、氨基羧酸類、羧基羧酸類、聚丙烯酸類中一種或多種。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影液，其特征在于，所述純凈水的電導(dǎo)率為2-20μ S/cm。
【文檔編號(hào)】G03F7/32GK103955121SQ201410186959
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2014年5月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月6日
【發(fā)明者】江磊, 金旭 申請人:富士膠片電子材料（蘇州）有限公司