浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)的控制時(shí)序的模型匹配方法
【專利摘要】本發(fā)明公布了一種浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)的控制時(shí)序的模型匹配方法。將浸液傳送系統(tǒng)的時(shí)序控制過(guò)程當(dāng)作狀態(tài)機(jī)構(gòu)建符合浸沒(méi)傳送系統(tǒng)時(shí)序控制過(guò)程的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型；通過(guò)將接收到的系統(tǒng)信息輸入量與擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型進(jìn)行匹配，實(shí)現(xiàn)對(duì)浸沒(méi)式光刻機(jī)浸液傳送系統(tǒng)的當(dāng)前狀態(tài)、控制時(shí)序以及當(dāng)前狀態(tài)所對(duì)應(yīng)的下一步控制操作進(jìn)行同時(shí)定位。本發(fā)明針對(duì)具有時(shí)序要求的系統(tǒng)的控制時(shí)序設(shè)計(jì)提供了一種簡(jiǎn)便、高效的設(shè)計(jì)方法，能夠降低系統(tǒng)控制時(shí)序的設(shè)計(jì)周期。
【專利說(shuō)明】浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)的控制時(shí)序的模型匹配方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種控制時(shí)序的模型匹配方法，特別是涉及一種浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)的控制時(shí)序的模型匹配方法。
【背景技術(shù)】
[0002]光刻機(jī)是制造超大規(guī)模集成電路的核心裝備之一，現(xiàn)代光刻機(jī)以光學(xué)光刻為主，它利用光學(xué)系統(tǒng)把掩膜版上的圖形精確地投影并曝光在涂過(guò)光刻膠的硅片上。它包括一個(gè)激光光源、一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)、一塊由芯片圖形組成的投影掩膜版、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。
[0003]浸沒(méi)式光刻(Immersion Lithography)設(shè)備通過(guò)在最后一片投影物鏡與娃片之間填充某種高折射率的液體，相對(duì)于中間介質(zhì)為氣體的干式光刻機(jī)，提高了投影物鏡的數(shù)值孔徑(NA)，從而提高了光刻設(shè)備的分辨率和焦深。在已提出的下一代光刻機(jī)中，浸沒(méi)式光刻對(duì)現(xiàn)有設(shè)備改動(dòng)最小，對(duì)現(xiàn)在的干式光刻機(jī)具有良好的繼承性。目前常采用的方案是局部浸沒(méi)法，即將液體限制在硅片上方和最后一片投影物鏡的下表面之間的局部區(qū)域內(nèi)，并保持穩(wěn)定連續(xù)的液體流動(dòng)。
[0004]從傳統(tǒng)光刻到浸沒(méi)式光刻，浸沒(méi)式光刻機(jī)浸液傳送系統(tǒng)的控制系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定連續(xù)的液體流動(dòng)的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。已有的浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)都需要考慮系統(tǒng)通訊架構(gòu)和控制時(shí)序問(wèn)題。控制時(shí)序方法能夠確保浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)運(yùn)行的邏輯性和合理性，實(shí)現(xiàn)浸液傳送系統(tǒng)故障處理。
[0005]傳統(tǒng)的系統(tǒng)控制時(shí)序設(shè)計(jì)方法處理方式比較復(fù)雜，多是通過(guò)開(kāi)發(fā)人員編寫(xiě)大量的重復(fù)性例程來(lái)解決?，F(xiàn)有的系統(tǒng)控制時(shí)序的設(shè)計(jì)方法中，普遍將重心放在如何降低代碼的使用量上，從而無(wú)法達(dá)到有效的降低控制時(shí)序的處理復(fù)雜度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為了解決浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)的時(shí)序設(shè)計(jì)問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)的控制時(shí)序的模型匹配方法。
[0007]本發(fā)明采用的技術(shù)方案包括以下步驟:
將浸液傳送系統(tǒng)的時(shí)序控制過(guò)程當(dāng)作狀態(tài)機(jī)構(gòu)建符合浸沒(méi)傳送系統(tǒng)時(shí)序控制過(guò)程的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型；通過(guò)將接收到的系統(tǒng)信息輸入量與擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型進(jìn)行匹配，實(shí)現(xiàn)對(duì)浸沒(méi)式光刻機(jī)浸液傳送系統(tǒng)的當(dāng)前狀態(tài)、控制時(shí)序以及當(dāng)前狀態(tài)所對(duì)應(yīng)的下一步控制操作進(jìn)行同時(shí)定位。
[0008]所述的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的構(gòu)建包括:
1.1)根據(jù)浸液傳送系統(tǒng)整個(gè)運(yùn)行過(guò)程中的不同狀態(tài)建立有限狀態(tài)集合Q以及各個(gè)狀態(tài)下所對(duì)應(yīng)的控制操作集合C、有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合QF、控制操作標(biāo)識(shí)集合CF和系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)識(shí)集合T共五個(gè)集合:
有限狀態(tài)集合，用于描述系統(tǒng)整個(gè)運(yùn)行過(guò)程中的不同狀態(tài)； 控制操作集合，用于描述系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)所對(duì)應(yīng)的控制操作；
有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合，用于判斷系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)的標(biāo)識(shí)；
控制操作標(biāo)識(shí)集合，用于判斷系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)所對(duì)應(yīng)的操作是否已完成；
系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)志集合，用于判斷系統(tǒng)當(dāng)前運(yùn)行時(shí)序的標(biāo)識(shí)；
1.2)窮舉有限狀態(tài)集合Q、控制操作集合C、有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合QF、控制操作標(biāo)識(shí)集合CF、系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)志集合T ；
1.3)在所有狀態(tài)之間的各個(gè)跳轉(zhuǎn)關(guān)系下，根據(jù)上述有限狀態(tài)集合Q、控制操作集合C、有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合QF、控制操作標(biāo)識(shí)集合CF、系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)志集合T之間的關(guān)系建立符合擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的各個(gè)實(shí)例；
1.4)篩選出重復(fù)性的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例，調(diào)整有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合QF、控制操作標(biāo)識(shí)集合CF和系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)志集合T使得每一個(gè)擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例為唯一；如果無(wú)法調(diào)整上述的三個(gè)集合，則通過(guò)增加額外變量標(biāo)識(shí)，使得每一個(gè)擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例為唯一。
[0009]所述的將接收到的系統(tǒng)信息輸入量與擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型進(jìn)行匹配包括:
2.1)將接收到的系統(tǒng)信息輸入量進(jìn)行預(yù)判斷，如果系統(tǒng)信息輸入量需要與擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型進(jìn)行匹配，則進(jìn)行下一步驟；如果不需要匹配，則不進(jìn)行任何操作；
2.2)將系統(tǒng)信息輸入量與所對(duì)應(yīng)的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型實(shí)例中具有唯一性特征的變量標(biāo)識(shí)或者變量標(biāo)識(shí)集合進(jìn)行匹配。
[0010]所述的模型匹配方法用于浸沒(méi)式光刻機(jī)浸液傳送系統(tǒng)下的一個(gè)或多個(gè)分系統(tǒng)。
[0011]所述的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例之間采用結(jié)構(gòu)體變量地址和枚舉變量地址的尋址方式進(jìn)行識(shí)別。
[0012]所述的具有唯一性特征的變量或者變量集合為使得該擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例為唯一的變量標(biāo)識(shí)或者變量標(biāo)識(shí)集合。
[0013]本發(fā)明具有的有益效果是:
1.該設(shè)計(jì)方法采用的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型窮舉時(shí)序控制系統(tǒng)的狀態(tài)值，且模型中的每一條實(shí)例都是唯一的，能夠最大限度的提高代碼的執(zhí)行效率，減少重復(fù)性代碼的使用量，提升了系統(tǒng)在運(yùn)行過(guò)程中的效率，保證了系統(tǒng)運(yùn)行的可靠性和有效性。
[0014]2.由于該設(shè)計(jì)方法對(duì)于具有時(shí)序要求的控制系統(tǒng)具有通用性，所以在整個(gè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)過(guò)程中能夠有效地降低開(kāi)發(fā)人員系統(tǒng)開(kāi)發(fā)過(guò)程中的工作量，在系統(tǒng)測(cè)試過(guò)程中也能實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確定位故障點(diǎn)，及時(shí)調(diào)試并優(yōu)化，縮短了整個(gè)系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)周期。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是本發(fā)明方法的流程圖。
[0016]圖2是實(shí)施例的浸液傳送系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)原理框圖。
[0017]圖3是實(shí)施例的浸液傳送系統(tǒng)狀態(tài)跳轉(zhuǎn)過(guò)程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的具體實(shí)施過(guò)程。
[0019]如圖1所示，本發(fā)明包括:將浸液傳送系統(tǒng)的時(shí)序控制過(guò)程當(dāng)作狀態(tài)機(jī)構(gòu)建符合浸沒(méi)傳送系統(tǒng)時(shí)序控制過(guò)程的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型；通過(guò)將接收到的系統(tǒng)信息輸入量與擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型進(jìn)行匹配，實(shí)現(xiàn)對(duì)浸沒(méi)式光刻機(jī)浸液傳送系統(tǒng)的當(dāng)前狀態(tài)、控制時(shí)序以及當(dāng)前狀態(tài)所對(duì)應(yīng)的下一步控制操作進(jìn)行同時(shí)定位。
[0020]其中，擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的構(gòu)建包括:
1.1)根據(jù)浸液傳送系統(tǒng)整個(gè)運(yùn)行過(guò)程中的不同狀態(tài)建立有限狀態(tài)集合Q以及各個(gè)狀態(tài)下所對(duì)應(yīng)的控制操作集合C、有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合QF、控制操作標(biāo)識(shí)集合CF和系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)識(shí)集合T共五個(gè)集合:
有限狀態(tài)集合，用于描述系統(tǒng)整個(gè)運(yùn)行過(guò)程中的不同狀態(tài)；
控制操作集合，用于描述系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)所對(duì)應(yīng)的控制操作；
有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合，用于判斷系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)的標(biāo)識(shí)；
控制操作標(biāo)識(shí)集合，用于判斷系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)所對(duì)應(yīng)的操作是否已完成；
系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)志集合，用于判斷系統(tǒng)當(dāng)前運(yùn)行時(shí)序的標(biāo)識(shí)。
[0021]1.2)窮舉有限狀態(tài)集合Q、控制操作集合C、有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合QF、控制操作標(biāo)識(shí)集合CF、系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)志集合T。
[0022]1.3)在所有狀態(tài)之間的各個(gè)跳轉(zhuǎn)關(guān)系下，根據(jù)上述有限狀態(tài)集合Q、控制操作集合C、有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合QF、控制操作標(biāo)識(shí)集合CF、系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)志集合T之間的關(guān)系建立符合擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的各個(gè)實(shí)例；
也就是說(shuō)有限狀態(tài)集合Q、控制操作集合C、有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合QF、控制操作標(biāo)識(shí)集合CF和系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)志集合T分別為系統(tǒng)整個(gè)運(yùn)行過(guò)程不同狀態(tài)下的狀態(tài)值{Q1;Q2，…，QJ、用于系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)所對(duì)應(yīng)的控制操作ICliC2,…，CJ、用于判斷系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)的標(biāo)識(shí)量IQFijQF2,…，QFJ、用于判斷系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)所對(duì)應(yīng)的操作是否已完成量ICFnCF2, -,CFj和用于判斷系統(tǒng)當(dāng)前運(yùn)行時(shí)序的標(biāo)識(shí)量IT1, T2,…，TJ。
[0023]1.4)篩選出重復(fù)性的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例，調(diào)整有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合QF、控制操作標(biāo)識(shí)集合CF和系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)志集合T使得每一個(gè)擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例為唯一；如果無(wú)法調(diào)整上述的三個(gè)集合，則通過(guò)增加額外變量標(biāo)識(shí)，使得每一個(gè)擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例為唯一。
[0024] 其中，將接收到的系統(tǒng)信息輸入量與擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型進(jìn)行匹配的過(guò)程包括:
2.1)將接收到的系統(tǒng)信息輸入量進(jìn)行預(yù)判斷，如果系統(tǒng)信息輸入量需要與擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型進(jìn)行匹配，則進(jìn)行下一步驟；如果不需要匹配，則不進(jìn)行任何操作；
2.2)將系統(tǒng)信息輸入量與所對(duì)應(yīng)的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型實(shí)例中具有唯一性特征的變量標(biāo)識(shí)或者變量標(biāo)識(shí)集合進(jìn)行匹配。
[0025]本發(fā)明的模型匹配方法用于浸沒(méi)式光刻機(jī)浸液傳送系統(tǒng)下的一個(gè)或多個(gè)分系統(tǒng)。
[0026]擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例之間采用結(jié)構(gòu)體變量地址和枚舉變量地址的尋址方式進(jìn)行識(shí)別。
[0027]具有唯一性特征的變量或者變量集合為使得該擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例為唯一的變量標(biāo)識(shí)或者變量標(biāo)識(shí)集合。
[0028]擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例的位置識(shí)別采用通用的尋址方式，例如可以采用結(jié)構(gòu)體變量地址和枚舉變量地址的尋址方式。
[0029]系統(tǒng)信息輸入量可以是一個(gè)或多個(gè)，但每一組系統(tǒng)信息輸入量必須最多對(duì)應(yīng)擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型中的一個(gè)實(shí)例。
[0030] 本發(fā)明已應(yīng)用于浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)的控制時(shí)序的過(guò)程，其流程圖如圖1所示，首先對(duì)浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)的整個(gè)運(yùn)行時(shí)序進(jìn)行分析，定義出有限個(gè)系統(tǒng)運(yùn)行過(guò)程的狀態(tài)量，然后系統(tǒng)在有限狀態(tài)之間的跳轉(zhuǎn)關(guān)系，針對(duì)每一條跳轉(zhuǎn)，添加相應(yīng)的操作和標(biāo)識(shí)變量，形成一條具有系統(tǒng)狀態(tài)、系統(tǒng)的控制操作和系統(tǒng)的時(shí)序標(biāo)識(shí)的實(shí)例，通過(guò)調(diào)整標(biāo)識(shí)變量確保每一條實(shí)例都具有唯一性，從而保證系統(tǒng)在時(shí)序控制過(guò)程中的唯一性。
[0031]本發(fā)明應(yīng)用于浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)中，如圖2所示，將浸液傳送系統(tǒng)分為4部分:①信息接收器，②信息發(fā)送器，③中央處理器，④時(shí)序控制器，其中:
信息接收器的功能是接收信息輸入量，并對(duì)信息的輸入量進(jìn)行初步的分析和整合，使之能夠符合擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的匹配要求，及時(shí)將預(yù)處理的信息輸入量反饋給中央處理器；
信息發(fā)送器的功能是接收中央處理器發(fā)出的控制操作信息，并根據(jù)控制操作信息對(duì)執(zhí)行機(jī)構(gòu)作出相應(yīng)的控制操作；
中央處理器的功能是將信息接收器傳遞而來(lái)的預(yù)處理量傳遞給時(shí)序控制器，并接收時(shí)序控制器的匹配結(jié)果，進(jìn)而將匹配結(jié)果發(fā)送給信息發(fā)送器；
時(shí)序控制器的功能是將中央處理器發(fā)送而來(lái)的符合要求的信息輸入量與已經(jīng)建立好的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型中的實(shí)例進(jìn)行一一匹配，如果存在匹配成功的實(shí)例，則將實(shí)例中的控制操作信息發(fā)送給中央處理器；如果匹配都不成功，則不進(jìn)行任何操作。
[0032]本發(fā)明的實(shí)施例:
現(xiàn)將浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)的時(shí)序控制過(guò)程分為5個(gè)狀態(tài):狀態(tài)1、狀態(tài)2、狀態(tài)
3、狀態(tài)4和狀態(tài)5，其中狀態(tài)I為起始狀態(tài)，該5個(gè)狀態(tài)就形成了有限狀態(tài)集合。圖3為實(shí)施例的浸液傳送系統(tǒng)狀態(tài)跳轉(zhuǎn)過(guò)程示意圖。所要構(gòu)建的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的狀態(tài)跳轉(zhuǎn)過(guò)程為:第一狀態(tài)Q1 (輸入C1)—第二狀態(tài)Q2,第二狀態(tài)Q2 (輸入C2)—第二狀態(tài)Q3,第二狀態(tài)Q3(輸入C3)—第四狀態(tài)Q4，第四狀態(tài)Q4(輸入C2)—第二狀態(tài)Q3，第二狀態(tài)Q3(輸入C4)—第二狀態(tài)Q2，第二狀態(tài)Q2 (輸入C5)—第一狀態(tài)Q1。所要構(gòu)建的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例就是以各個(gè)不同的狀態(tài)跳轉(zhuǎn)過(guò)程為基礎(chǔ)而形成，針對(duì)每一個(gè)跳轉(zhuǎn)過(guò)程，都需要添加一個(gè)第i狀態(tài)的狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)QFp第i狀態(tài)的控制操作標(biāo)識(shí)CFi和第i狀態(tài)的系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)志Ti，形成了有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合QF、控制操作標(biāo)識(shí)集合CF和系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)志集合T。
[0033]定義擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型M中的實(shí)例為一個(gè)5元式^=汍(:，0?，0?，1')。其中:狀態(tài)Q和控制操作C是符合狀態(tài)跳轉(zhuǎn)過(guò)程。
[0034]每一個(gè)狀態(tài)跳轉(zhuǎn)過(guò)程都可以形成一個(gè)符合M模型的實(shí)例，于是就有:
【權(quán)利要求】
1.一種浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)的控制時(shí)序的模型匹配方法，其特征在于:將浸液傳送系統(tǒng)的時(shí)序控制過(guò)程當(dāng)作狀態(tài)機(jī)構(gòu)建符合浸沒(méi)傳送系統(tǒng)時(shí)序控制過(guò)程的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型；通過(guò)將接收到的系統(tǒng)信息輸入量與擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型進(jìn)行匹配，實(shí)現(xiàn)對(duì)浸沒(méi)式光刻機(jī)浸液傳送系統(tǒng)的當(dāng)前狀態(tài)、控制時(shí)序以及當(dāng)前狀態(tài)所對(duì)應(yīng)的下一步控制操作進(jìn)行同時(shí)定位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)的控制時(shí)序的模型匹配方法，其特征在于:所述的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的構(gòu)建包括: 1.1)根據(jù)浸液傳送系統(tǒng)整個(gè)運(yùn)行過(guò)程中的不同狀態(tài)建立有限狀態(tài)集合Q以及各個(gè)狀態(tài)下所對(duì)應(yīng)的控制操作集合C、有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合QF、控制操作標(biāo)識(shí)集合CF和系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)識(shí)集合T共五個(gè)集合: 有限狀態(tài)集合，用于描述系統(tǒng)整個(gè)運(yùn)行過(guò)程中的不同狀態(tài)； 控制操作集合，用于描述系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)所對(duì)應(yīng)的控制操作； 有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合，用于判斷系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)的標(biāo)識(shí)； 控制操作標(biāo)識(shí)集合，用于判斷系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)所對(duì)應(yīng)的操作是否已完成； 系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)志集合，用于判斷系統(tǒng)當(dāng)前運(yùn)行時(shí)序的標(biāo)識(shí)； 1.2)窮舉有限狀態(tài)集合Q、控制操作集合C、有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合QF、控制操作標(biāo)識(shí)集合CF、系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)志集合T ； 1.3)在所有狀態(tài)之間的各個(gè)跳轉(zhuǎn)關(guān)系下，根據(jù)上述有限狀態(tài)集合Q、控制操作集合C、有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合QF、控制操作標(biāo)識(shí)集合CF、系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)志集合T之間的關(guān)系建立符合擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的各個(gè)實(shí)例； 1.4)篩選出重復(fù)性的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例，調(diào)整有限狀態(tài)判斷標(biāo)識(shí)集合QF、控制操作標(biāo)識(shí)集合CF和系統(tǒng)時(shí)序標(biāo)志集合T使得每一個(gè)擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例為唯一；如果無(wú)法調(diào)整上述的三個(gè)集合，則通過(guò)增加額外變量標(biāo)識(shí)，使得每一個(gè)擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例為唯一。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)的控制時(shí)序的模型匹配方法，其特征在于:所述的將接收到的系統(tǒng)信息輸入量與擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型進(jìn)行匹配包括: 2.1)將接收到的系統(tǒng)信息輸入量進(jìn)行預(yù)判斷，如果系統(tǒng)信息輸入量需要與擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型進(jìn)行匹配，則進(jìn)行下一步驟；如果不需要匹配，則不進(jìn)行任何操作； 2.2)將系統(tǒng)信息輸入量與所對(duì)應(yīng)的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型實(shí)例中具有唯一性特征的變量標(biāo)識(shí)或者變量標(biāo)識(shí)集合進(jìn)行匹配。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)的控制時(shí)序的模型匹配方法，其特征在于:所述的模型匹配方法用于浸沒(méi)式光刻機(jī)浸液傳送系統(tǒng)下的一個(gè)或多個(gè)分系統(tǒng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)的控制時(shí)序的模型匹配方法，其特征在于:所述的擴(kuò)展 有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例之間采用結(jié)構(gòu)體變量地址和枚舉變量地址的尋址方式進(jìn)行識(shí)別。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸液傳送系統(tǒng)的控制時(shí)序的模型匹配方法，其特征在于:所述的具有唯一性特征的變量或者變量集合為使得該擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型的實(shí)例為唯一的變量標(biāo) 識(shí)或者變量標(biāo)識(shí)集合。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK103885301SQ201410110134
【公開(kāi)日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2014年3月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月21日
【發(fā)明者】傅新, 楊凱, 陳文昱, 張志杰, 杜凌云 申請(qǐng)人:浙江大學(xué)