技術(shù)編號：2711389
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公布了一種。將浸液傳送系統(tǒng)的時序控制過程當(dāng)作狀態(tài)機(jī)構(gòu)建符合浸沒傳送系統(tǒng)時序控制過程的擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型；通過將接收到的系統(tǒng)信息輸入量與擴(kuò)展有限狀態(tài)機(jī)模型進(jìn)行匹配，實(shí)現(xiàn)對浸沒式光刻機(jī)浸液傳送系統(tǒng)的當(dāng)前狀態(tài)、控制時序以及當(dāng)前狀態(tài)所對應(yīng)的下一步控制操作進(jìn)行同時定位。本發(fā)明針對具有時序要求的系統(tǒng)的控制時序設(shè)計提供了一種簡便、高效的設(shè)計方法，能夠降低系統(tǒng)控制時序的設(shè)計周期。專利說明[0001]本發(fā)明涉及一種控制時序的模型匹配方法，特別是涉及一種。背景技術(shù)[00...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。