光阻干燥裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明實(shí)施例公開了一種光阻干燥裝置，用于抽取光阻中的溶劑。該光阻干燥裝置包括腔體、開設(shè)有多個(gè)篩孔的篩板及抽氣單元。該腔體包括開設(shè)有一個(gè)抽氣孔的頂壁、與該頂壁相對(duì)的底壁以及連接該頂壁與該底壁的側(cè)壁，涂布有該光阻的玻璃基板位于該腔體內(nèi)。該篩板收容在該腔體內(nèi)并位于該光阻與該頂壁之間。該抽氣單元位于該腔體外并與該抽氣孔連接以通過該抽氣孔從該腔體內(nèi)抽氣。
【專利說明】光阻干燥裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及干燥技術(shù)，尤其涉及一種抽取光阻內(nèi)溶劑的光阻干燥裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]彩色濾光片(Color Filer, CF)是薄膜晶體管液晶顯示面板(TFT-LCD)中的重要元件之一，制作彩色濾光片包括在玻璃基板上進(jìn)行光阻涂布、曝光、顯影、光阻剝離以及鍍膜等步驟。為了方便被涂布在玻璃基板上，光阻內(nèi)加入了大量的溶劑(solvent)，然而，這些溶劑并非有效成分，光阻涂布完成后，需要使用真空干燥裝置(Vacuum Dry, VCD)將光阻內(nèi)的溶劑去除，以不影響后續(xù)的曝光顯影等動(dòng)作。
[0003]真空干燥裝置去除光阻內(nèi)的溶劑，具體為將涂布有光阻的玻璃基板放置在一密封腔體內(nèi)的承載板上，然后利用抽氣泵抽取腔體內(nèi)的空氣以將光阻內(nèi)的溶劑抽取干凈。目前，真空干燥裝置有在腔體上方開設(shè)多個(gè)抽氣孔進(jìn)行抽氣及在腔體下方開設(shè)單個(gè)抽氣孔進(jìn)行抽氣兩種類型。在腔體上方開設(shè)多個(gè)抽氣孔進(jìn)行抽氣的抽氣氣流較大，容易造成光阻上表面先干燥，而光阻內(nèi)的溶劑無法輕易被抽取出來，導(dǎo)致孔位附近的光阻與其他區(qū)域的光阻存在較大差異，產(chǎn)生色不均現(xiàn)象。由于承載板的阻隔，在腔體下方開設(shè)單個(gè)抽氣孔進(jìn)行抽氣的抽氣位置是在光阻的邊緣，即光阻的邊緣的抽氣氣流很大，此處的溶劑較易被抽取，而光阻中心區(qū)域離抽氣點(diǎn)較遠(yuǎn)，此處的溶劑較難被抽取，若要將光阻中心區(qū)域的溶劑抽干，則需要花較多的抽氣時(shí)間，即抽氣效率不高。
[0004]因此，有必要提供能夠解決上述問題的光阻干燥裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種光阻干燥裝置，用于抽取光阻中的溶劑。該光阻干燥裝置包括腔體、開設(shè)有多個(gè)篩孔的篩板及抽氣單元。該腔體包括開設(shè)有一個(gè)抽氣孔的頂壁、與該頂壁相對(duì)的底壁以及連接該頂壁與該底壁的側(cè)壁，涂布有該光阻的玻璃基板位于該腔體內(nèi)。該篩板收容在該腔體內(nèi)并位于該光阻與該頂壁之間。該抽氣單元位于該腔體外并與該抽氣孔連接以通過該抽氣孔從該腔體內(nèi)抽氣。
[0006]其中，該篩板安裝在該側(cè)壁上且與該側(cè)壁緊密接觸。
[0007]其中，該篩板、該頂壁及該側(cè)壁共同圍成第一通風(fēng)腔，該篩板、該底壁及該側(cè)壁共同圍成第二通風(fēng)腔，該第一通風(fēng)腔與該第二通風(fēng)腔通過該多個(gè)篩孔連通。
[0008]其中，該抽氣孔位于該頂壁的中心位置，該篩板的中心與該抽氣孔對(duì)準(zhǔn)，該多個(gè)篩孔自遠(yuǎn)離該篩板的中心呈由疏到密排布。
[0009]其中，該多個(gè)篩孔的數(shù)量與該篩板上某處到該篩板的中心的距離滿足關(guān)系式:，其中，η為該多個(gè)篩孔的數(shù)量，X為該篩板上某處到該篩板的中心的距離，h(x)為篩孔的分
布密度。
[0010]其中，該光阻干燥裝置還包括一個(gè)承載板，該承載板固設(shè)在該底壁上，該涂布有該光阻的玻璃基板承載在該承載板上，且該光阻遠(yuǎn)離該承載板。[0011]其中，該光阻干燥裝置還包括多個(gè)支撐桿，每個(gè)支撐桿的一端固設(shè)在該底壁上，另一端與該承載板固定連接。
[0012]其中，該抽氣單元包括一個(gè)抽氣泵、一個(gè)閥門以及一個(gè)通風(fēng)管，該通風(fēng)管的一端與該抽氣泵連接，另一端裝設(shè)在該抽氣孔內(nèi)以與該腔體連通，該閥門裝設(shè)在該通風(fēng)管上用以控制該通風(fēng)管與該抽氣泵的相通的面積。
[0013]其中，該腔體呈圓柱體，該篩板呈圓柱體。
[0014]其中，該腔體呈長(zhǎng)方體，該篩板呈長(zhǎng)方體。
[0015]本發(fā)明所提供的光阻干燥裝置的頂壁僅開設(shè)有一個(gè)抽氣孔，抽氣氣流相較開設(shè)多個(gè)抽氣孔要小，而且開設(shè)有多個(gè)篩孔的篩板對(duì)該氣流有均勻及穩(wěn)定作用，可以避免因抽氣氣流較大或氣流不穩(wěn)造成光阻的色不均現(xiàn)象。另外，由于是在該腔體的上方設(shè)置抽氣孔進(jìn)行抽氣，抽氣位置針對(duì)的是整個(gè)光阻，而不局限于在該光阻的邊緣，因此，抽氣效率較高。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例所提供的光阻干燥裝置的立體示意圖。
[0018]圖2是圖1中的光阻干燥裝置的部分剖面示意圖。
[0019]圖3是圖1中的光阻干燥裝置中的篩板的平面示意圖。
[0020]圖4是相同面積的篩板上的篩孔的數(shù)量關(guān)系圖。
[0021]圖5是本發(fā)明第二實(shí)施例所提供光阻干燥裝置中的立體示意圖。
[0022]圖6是圖5中的光阻干燥裝置中的篩板的平面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0024]實(shí)施例一
[0025]請(qǐng)參閱圖1及圖2，本發(fā)明第一實(shí)施例提供的光阻干燥裝置100包括一個(gè)腔體10、多個(gè)支撐桿20、一個(gè)承載板30、一個(gè)篩板40以及一個(gè)抽氣單元50。該光阻干燥裝置100用于抽取制作彩色濾光片時(shí)涂布在玻璃基板200上的光阻300內(nèi)的溶劑，該溶劑有利于該光阻300涂布在該玻璃基板200上，但該溶劑并非為有效成分。
[0026]該腔體10呈長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)并具有一個(gè)收容腔102。該腔體10包括一個(gè)頂壁12、一個(gè)底壁14以及四個(gè)側(cè)壁16。該頂壁12與該底壁14分別位于該腔體10的相背兩端，且該頂壁12與該底壁14平行。該四個(gè)側(cè)壁16彼此首位垂直相接，且該四個(gè)側(cè)壁16垂直連接該頂壁12及該底壁14。該頂壁12、該底壁14以及該四個(gè)側(cè)壁16共同圍成該收容腔102。該頂壁12的中心位置開設(shè)有一個(gè)抽氣孔120。該抽氣孔120與該收容腔102連通。本實(shí)施例中，該抽氣孔120為圓形通孔。該頂壁12的其他位置、該底壁14以及該四個(gè)側(cè)壁16上均為實(shí)體結(jié)構(gòu)，并未開設(shè)抽氣孔。
[0027]該多個(gè)支撐桿20及該承載板30均位于該收容腔102內(nèi)。該承載板30為平板結(jié)構(gòu)，該承載板30包括一個(gè)上表面32及一個(gè)下表面34。該上表面32及該下表面34分別位于該承載板30相背的兩側(cè)，且該上表面32與該下表面34平行。該上表面32用于承放涂布有光阻300的玻璃基板200。每個(gè)支撐桿20的一端固設(shè)在該底壁14上并與該底壁14垂直，每個(gè)支撐桿20的另一端固定連接在該下表面34上并與該下表面34垂直。此時(shí)，該上表面32及該下表面34均與該底壁14平行，該光阻300遠(yuǎn)離該上表面32。
[0028]請(qǐng)一并參閱圖2及圖3，該篩板40收容在該收容腔102內(nèi)并位于該光阻300與該頂壁12之間。該篩板40的形狀及尺寸與該收容腔102的截面的形狀及尺寸完全匹配。即，該篩板40也呈長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，且該篩板40的長(zhǎng)度及寬度與該收容腔102的截面的長(zhǎng)度及寬度分別相同。該篩板40通過膠合、卡合或者螺紋連接等方式安裝在該四個(gè)側(cè)壁16上并與該四個(gè)側(cè)壁16均緊密接觸，該篩板40的中心42與該抽氣孔120對(duì)準(zhǔn)。該篩板40、該頂壁12及該四個(gè)側(cè)壁16共同圍成一個(gè)第一通風(fēng)腔101，該篩板40、該底壁14及該四個(gè)側(cè)壁16共同圍成一個(gè)第二通風(fēng)腔103。該篩板40上開設(shè)有多個(gè)篩孔44，該第一通風(fēng)腔101與該第二通風(fēng)腔103通過該多個(gè)篩孔44連通。本實(shí)施例中，該多個(gè)篩孔44均為圓形通孔。
[0029]該多個(gè)篩孔44的數(shù)量與該篩板40上某處到該篩板40的中心42的距離滿足關(guān)系式:。其中，η為該多個(gè)篩孔44的數(shù)量，X為該篩板40上某處到該篩板40的中心42的距離，h(x)為篩孔44的分布密度。該公式的推導(dǎo)過程如下:首先，假定該抽氣孔120的孔徑為d,該篩板40與該頂壁12之間的距離為D, d與D均為常數(shù),則該篩板40上方各個(gè)位置的壓強(qiáng)P是X的函數(shù)，記為P=f (x)。由于各個(gè)位置的壓強(qiáng)P各不相同，距離該抽氣孔120較近位置的壓強(qiáng)P較大，距離該抽氣孔120較遠(yuǎn)位置的壓強(qiáng)P較小。該篩孔44的分布密度P與壓強(qiáng)P存在一定函數(shù)關(guān)系，因此篩孔44的分布密度P也可做為距離X的函數(shù),記做P=h(x)。選取距離該篩板40的中心42為X處且寬度為d(x)的圓環(huán)形，其面積則S=2 π xd(x)，該圓環(huán)形內(nèi)的篩孔44的分布密度則為P=[n / 2 xd(x)],帶入之前的P=h(x)并積分后即可得到公式。
[0030]由該公式可以看出，該多個(gè)篩孔44自遠(yuǎn)離該篩板40的中心42呈由疏到密排布。即，距離該抽氣孔120(也即距離該中心42)較遠(yuǎn)的地方比距離該抽氣孔120(也即距離該中心42)較近的地方的篩孔44的分布密度要大。請(qǐng)結(jié)合圖4，若在距離該抽氣孔120 (也即距離該中心42)較近的地方選取一片區(qū)域A，在距離該抽氣孔120 (也即距離該中心42)較遠(yuǎn)的地方選取一片區(qū)域B，且該區(qū)域A與該區(qū)域B的面積相同(Sa=Sb)，則該區(qū)域A內(nèi)的篩孔44的數(shù)量Na小于該區(qū)域B內(nèi)的篩孔44的數(shù)量Nb，即NA〈NB。
[0031]該抽氣單元50包括一個(gè)抽氣泵52、一個(gè)閥門54以及一個(gè)通風(fēng)管56。該通風(fēng)管56的一端與該抽氣泵52連接，另一端裝設(shè)在該抽氣孔120內(nèi)以與該收容腔102連通。該閥門54裝設(shè)在該通風(fēng)管56上靠近該抽氣泵52處，該閥門54用以控制該通風(fēng)管56與該抽氣泵52的相通的面積。具體地，當(dāng)該閥門54全開，則該通風(fēng)管56與該抽氣泵52完全相通，此時(shí)，該抽氣泵52可以暢通無阻地通過該通風(fēng)管56從該收容腔102內(nèi)抽氣。當(dāng)該閥門54全閉，則該通風(fēng)管56與該抽氣泵52完全不連通，此時(shí)，該抽氣泵52無法通過該通風(fēng)管56從該收容腔102內(nèi)抽氣。若該閥門54開啟了一半該通風(fēng)管56且遮蔽了一半該通風(fēng)管56，則該通風(fēng)管56與該抽氣泵52仍然連通，此時(shí)，該抽氣泵52的抽氣不如全開時(shí)順暢。由此，該抽氣單元50不僅可以通過控制抽氣泵52自身的工作馬力來控制抽氣程度(包括抽氣量、抽氣速率等)，還可以通過該閥門54的開啟程度來控制抽氣程度。
[0032]工作時(shí)，該閥門54開啟使該通風(fēng)管56與該抽氣泵52相通(包括全部相通及部分相通)，該抽氣泵52通過該通風(fēng)管56從該收容腔102內(nèi)抽氣，該第二收容腔103內(nèi)的氣體穿過該多個(gè)篩孔44后進(jìn)入該第一收容腔101內(nèi)，然后通過該抽氣孔120及該通風(fēng)管56被抽出。該第二收容腔103內(nèi)的氣體的抽出可將光阻300內(nèi)的溶劑排出。由于該頂壁12僅開設(shè)有一個(gè)抽氣孔120，抽氣氣流相較開設(shè)多個(gè)抽氣孔要小，而且該篩板40對(duì)該氣流也有均勻及穩(wěn)定作用，因此可以避免因抽氣氣流較大或氣流不穩(wěn)造成光阻300的色不均現(xiàn)象。另夕卜，由于是在該腔體10的上方設(shè)置抽氣孔120進(jìn)行抽氣，抽氣位置針對(duì)的是整個(gè)光阻300，而不局限于在該光阻300的邊緣，因此，該光阻干燥裝置100的抽氣效率較高。
[0033]實(shí)施例二
[0034]請(qǐng)參閱圖5及圖6，本發(fā)明第二實(shí)施例提供的光阻干燥裝置500與第一實(shí)施例提供的光阻干燥裝置100的不同之處在于:該腔體50呈圓柱體結(jié)構(gòu)，該篩板60也呈圓柱體結(jié)構(gòu)。該腔體50包括一個(gè)側(cè)壁56，該篩板60位于該腔體50內(nèi)并裝設(shè)在該側(cè)壁56上，該篩板60的直徑與該腔體50的內(nèi)徑相同。本實(shí)施例中的光阻干燥裝置500的工作原理與第一實(shí)施例中的光阻干燥裝置100的工作原理以及能達(dá)到的功效完全相同，在此不再贅述。
[0035]另外，本發(fā)明所提供的光阻干燥裝置100及500并不局限于僅用于去除制作彩色濾光片時(shí)的光阻內(nèi)的溶劑，還可以用于制作其他元件時(shí)光阻內(nèi)的溶劑，比如生產(chǎn)觸控面板(touch panel)時(shí)光阻內(nèi)的溶劑。
[0036]以上所揭露的僅為本發(fā)明較佳實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利范圍，因此依本發(fā)明權(quán)利要求所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種光阻干燥裝置，用于抽取光阻(300)中的溶劑，其特征在于，該光阻干燥裝置(100)包括: 腔體(10)，該腔體(10)包括開設(shè)有一個(gè)抽氣孔(120)的頂壁(12)、與該頂壁(12)相對(duì)的底壁(14)以及連接該頂壁(12)與該底壁(14)的側(cè)壁(16)，涂布有該光阻(300)的玻璃基板(200)位于該腔體(10)內(nèi)； 開設(shè)有多個(gè)篩孔(44)的篩板(40)，該篩板(40)收容在該腔體(10)內(nèi)并位于該光阻(300)與該頂壁(12)之間； 抽氣單元(50)，位于該腔體(10)外并與該抽氣孔(120)連接以通過該抽氣孔(120)從該腔體(10)內(nèi)抽氣。
2.如權(quán)利要求1所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該篩板(40)安裝在該側(cè)壁(16)上且與該側(cè)壁(16)緊密接觸。
3.如權(quán)利要求2所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該篩板(40)、該頂壁(12)及該側(cè)壁(16)共同圍成第一通風(fēng)腔(101)，該篩板(40)、該底壁(14)及該側(cè)壁(16)共同圍成第二通風(fēng)腔(103)，該第一通風(fēng)腔(101)與該第二通風(fēng)腔(103)通過該多個(gè)篩孔(44)連通。
4.如權(quán)利要求2所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該抽氣孔(120)位于該頂壁(12)的中心位置，該篩板(40)的中心(42)與該抽氣孔(120)對(duì)準(zhǔn)，該多個(gè)篩孔(44)自遠(yuǎn)離該篩板(40)的中心(42)呈由疏到密排布。
5.如權(quán)利要求4所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該多個(gè)篩孔(44)的數(shù)量與該篩板(40)上某處到該篩板(40)的中心(42)的距離滿足關(guān)系式:，其中，η為該多個(gè)篩孔(44)的數(shù)量，X為該篩板(40)上某處到該篩板(40)的中心(42)的距離，h(x)為篩孔(44)的分布密度。
6.如權(quán)利要求5所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該光阻干燥裝置(100)還包括一個(gè)承載板(30)，該承載板(30)固設(shè)在該底壁(14)上，該涂布有該光阻(300)的玻璃基板(200)承載在該承載板(30)上，且該光阻(300)遠(yuǎn)離該承載板(30)。
7.如權(quán)利要求6所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該光阻干燥裝置(100)還包括多個(gè)支撐桿(20)，每個(gè)支撐桿(20)的一端固設(shè)在該底壁(14)上，另一端與該承載板(30)固定連接。
8.如權(quán)利要求7所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該抽氣單元(50)包括一個(gè)抽氣泵(52)、一個(gè)閥門(54)以及一個(gè)通風(fēng)管(56)，該通風(fēng)管(56)的一端與該抽氣泵(52)連接，另一端裝設(shè)在該抽氣孔(120)內(nèi)以與該腔體(10)連通，該閥門(54)裝設(shè)在該通風(fēng)管(56)上用以控制該通風(fēng)管(56)與該抽氣泵(52)相通的面積。
9.如權(quán)利要求1所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該腔體(10)呈圓柱體，該篩板(40)呈圓柱體。
10.如權(quán)利要求1所述的光阻干燥裝置，其特征在于，該腔體(10)呈長(zhǎng)方體，該篩板(40)呈長(zhǎng)方體。
【文檔編號(hào)】G02F1/13GK103760696SQ201410028504
【公開日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2014年1月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月21日
【發(fā)明者】徐彬, 鄧沖 申請(qǐng)人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司