技術(shù)編號：2710229
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明實施例公開了一種光阻干燥裝置，用于抽取光阻中的溶劑。該光阻干燥裝置包括腔體、開設(shè)有多個篩孔的篩板及抽氣單元。該腔體包括開設(shè)有一個抽氣孔的頂壁、與該頂壁相對的底壁以及連接該頂壁與該底壁的側(cè)壁，涂布有該光阻的玻璃基板位于該腔體內(nèi)。該篩板收容在該腔體內(nèi)并位于該光阻與該頂壁之間。該抽氣單元位于該腔體外并與該抽氣孔連接以通過該抽氣孔從該腔體內(nèi)抽氣。專利說明光阻干燥裝置[0001]本發(fā)明涉及干燥技術(shù)，尤其涉及一種抽取光阻內(nèi)溶劑的光阻干燥裝置。背景技術(shù)[0002]...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。