光配向用偏振光照射裝置制造方法
【專利摘要】一種光配向用偏振光照射裝置，實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置具備照射紫外線的光源部與偏振元件，偏振元件具有：第1面，被紫外線照射；以及第2面，與第1面相向且射出紫外線的偏振光。光源部具備棒狀燈與輔助光源。棒狀燈對(duì)第1面照射紫外線。輔助光源被配置成：對(duì)于工件的光照射區(qū)域中的、偏振光的偏振軸相對(duì)于基準(zhǔn)方向的差異大的區(qū)域即光照射區(qū)域的四角，經(jīng)由偏振元件來(lái)照射紫外線，所述偏振光是對(duì)應(yīng)于紫外線而從第2面射出。本實(shí)用新型可抑制工件的光照射區(qū)域中的偏振軸的偏差，并可將足夠光量的紫外線照射至工件。
【專利說(shuō)明】光配向用偏振光照射裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型的實(shí)施方式涉及一種光配向用偏振光照射裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)前,作為代替液晶面板(panel)的配向膜的配向處理即摩擦(rubbing)工序的技術(shù)，光配向技術(shù)(例如參照專利文獻(xiàn)I及專利文獻(xiàn)2)正受到矚目。光配向技術(shù)中所用的光配向用偏振光照射裝置具備:作為線狀光源的棒狀燈(lamp)、及柵格(grid)偏振元件。此種光配向用偏振光照射裝置，使棒狀燈所照射的紫外線中的規(guī)定方向的偏振軸的紫外線通過(guò)柵格偏振元件，將通過(guò)的紫外線照射至工件(work)等，借此來(lái)進(jìn)行配向膜的配向處理。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開(kāi)2006-184747號(hào)公報(bào)
[0006]專利文獻(xiàn)2:日本專利特開(kāi)2011-145381號(hào)公報(bào)
[0007]然而，于現(xiàn)有技術(shù)中，期望抑制工件的光照射區(qū)域中的偏振軸的偏差，并可將足夠光量的紫外線照射至工件。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0008]本實(shí)用新型的目的在于提供一種光配向用偏振光照射裝置，可抑制工件的光照射區(qū)域中的偏振軸的偏差，并可將足夠光量的紫外線照射至工件。
[0009]實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置具備照射紫外線的光源部與偏振元件。偏振元件具有:第I面，被所述紫外線照射；以及第2面，與所述第I面相向，且射出所述紫外線的偏振光。所述光源部具備對(duì)所述第I面照射第I紫外線的第I光源與第2光源。所述第2光源被配置成:對(duì)于光照射區(qū)域中的、所述偏振光的偏振軸相對(duì)于基準(zhǔn)方向的差異大的區(qū)域，經(jīng)由所述偏振元件來(lái)照射第2紫外線，所述偏振光是對(duì)應(yīng)于所述第I紫外線而從所述第2面射出。
[0010]實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置具備照射紫外線的光源部與偏振元件。偏振元件具有:被所述紫外線照射的第I面、及與所述第I面相向且射出所述紫外線的偏振光的第2面，所述光源部包括:第I光源，對(duì)所述第I面照射第I紫外線；以及第2光源，所述第2光源被配置成:對(duì)于光照射區(qū)域中的、所述偏振光的照度低的區(qū)域，經(jīng)由所述偏振元件來(lái)照射第2紫外線，所述偏振光是對(duì)應(yīng)于所述第I紫外線而從所述第2面射出。
[0011]實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置中的所述第I光源配置有多個(gè)，所述第2光源設(shè)有多個(gè)，且至少一個(gè)所述第2光源配置于所述第I光源間。
[0012]實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置中的所述第2光源較所述第I光源而配置在所述光照射區(qū)域的靠外側(cè)。
[0013]實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置中的所述第I光源具有直線狀的發(fā)光部，所述第2光源形成得比所述第I光源的發(fā)光部短，且所述第2光源沿著所述第I光源的發(fā)光部的長(zhǎng)度方向配置有多個(gè)。
[0014](實(shí)用新型的效果)
[0015]根據(jù)本實(shí)用新型，能夠提供一種光配向用偏振光照射裝置，可抑制工件的光照射區(qū)域中的偏振軸的偏差，并可將足夠光量的紫外線照射至工件。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是表示實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0017]圖2是表示實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0018]圖3是表示實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。
[0019]圖4是表示實(shí)施方式的實(shí)施例1的光配向用偏振光照射裝置的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。
[0020]圖5是表示實(shí)施方式的實(shí)施例2的光配向用偏振光照射裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0021]附圖標(biāo)記:
[0022]1:光配向用偏振光照射裝置
[0023]10:光源部
[0024]11:棒狀燈(第I光源)
[0025]12、12a:輔助光源(第2光源)
[0026]13:反射材
[0027]20:偏振部
[0028]21:框構(gòu)件
[0029]22:偏振元件
[0030]22a:第 I 面
[0031]22b:第 2 面
[0032]LD:光照射區(qū)域
[0033]PA、PA1、PA2:偏振軸
[0034]RD:基準(zhǔn)方向
[0035]UAl:紫外線(第I紫外線)
[0036]UA2:紫外線(第2紫外線)
[0037]UBU UB2:紫外線(偏振光)
[0038]W:工件
[0039]Yl:箭頭
【具體實(shí)施方式】
[0040]以下要說(shuō)明的實(shí)施方式及實(shí)施例1的光配向用偏振光照射裝置I具備照射紫外線UAUUA2的光源部10與偏振元件22。偏振元件22具有:第I面22a，被紫外線UAUUA2照射；以及第2面22b，與第I面22a相向且射出紫外線UA1、UA2的偏振光即紫外線UB1、UB2。光源部10具備棒狀燈11與輔助光源12。棒狀燈11對(duì)第I面22a照射紫外線UAl。輔助光源12被配置成:對(duì)于工件W的光照射區(qū)域LD中的、紫外線UBl的偏振軸PAl相對(duì)于基準(zhǔn)方向RD的差異大的區(qū)域即光照射區(qū)域LD的四角，經(jīng)由偏振元件22來(lái)照射紫外線UA2，所述紫外線UBl是對(duì)應(yīng)于紫外線UAl而從第2面22b射出。
[0041]而且，以下要說(shuō)明的實(shí)施方式及實(shí)施例1的光配向用偏振光照射裝置I具備照射紫外線UAUUA2的光源部10與偏振元件22。偏振元件22具有:第I面22a，被紫外線UAl、UA2照射；以及第2面22b，與第I面22a相向且射出紫外線UA1、UA2的偏振光即紫外線UBl、UB2。光源部10具備棒狀燈11與輔助光源12。棒狀燈11對(duì)第I面22a照射紫外線UAl。輔助光源12被配置成:對(duì)于第I面22a中的紫外線UAl的照度低的第I面22a的Y軸方向的兩端，照射紫外線UA2。
[0042]而且，以下要說(shuō)明的實(shí)施方式的實(shí)施例2的光配向用偏振光照射裝置I中，棒狀燈11配置有多個(gè)，輔助光源12設(shè)有多個(gè)，且至少一個(gè)輔助光源12配置于所述棒狀燈11間。
[0043]而且，以下要說(shuō)明的實(shí)施方式的實(shí)施例2的光配向用偏振光照射裝置I中，輔助光源12較棒狀燈11配置在光照射區(qū)域LD的靠外側(cè)。
[0044]而且，以下要說(shuō)明的實(shí)施方式的實(shí)施例1的光配向用偏振光照射裝置I中，棒狀燈11具有直線狀的發(fā)光部，輔助光源12形成得比棒狀燈11的發(fā)光部短，且輔助光源12沿著棒狀燈11的發(fā)光部的長(zhǎng)度方向配置有多個(gè)。
[0045][實(shí)施方式]
[0046]接下來(lái)，基于附圖來(lái)說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置I。圖1是表示實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置的概略結(jié)構(gòu)的立體圖，圖2是表示實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，圖3是表不實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。
[0047]圖1所示的實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置I是對(duì)工件W(圖1中以兩點(diǎn)鏈線所示)的表面，照射與預(yù)定的基準(zhǔn)方向RD(圖3中以一點(diǎn)鏈線所示)平行的偏振軸PA(圖3所示，亦稱作振動(dòng)方向)的紫外線UB1、UB2(圖2所示)的裝置。實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置I例如被用于液晶面板的配向膜或視角補(bǔ)償膜(film)的配向膜等的制造。照射至工件W表面的紫外線UB1、UB2的偏振軸PA的基準(zhǔn)方向RD是根據(jù)工件W的結(jié)構(gòu)、用途或者所要求的規(guī)格來(lái)適當(dāng)設(shè)定。以下，將工件W的寬度方向稱作X軸方向、與X軸方向正交且工件W的長(zhǎng)度方向稱作Y軸方向、與Y軸方向及X軸方向正交的方向稱作Z軸方向。
[0048]光配向用偏振光照射裝置I如圖1及圖2所示，具備:光源部10，照射紫外線UA1、UA2，該紫外線UA1、UA2 —樣地向所有方向振動(dòng)；以及偏振部20。
[0049]偏振部20導(dǎo)出偏振軸PA的紫外線UB1、UB2 (相當(dāng)于紫外線UAUUA2的偏振光)，該偏振軸PA的紫外線UB1、UB2是由光源部10照射且一樣地向所有方向振動(dòng)的紫外線UAl、UA2僅向基準(zhǔn)方向RD振動(dòng)而形成。另外，紫外線UA1、UA2、UBl、UB2的偏振軸PA是指該紫外線UAl、UA2、UBl、UB2的電場(chǎng)及磁場(chǎng)的振動(dòng)方向。
[0050]偏振部20是與光源部10相向地配置，被來(lái)自光源部10的紫外線UA1、UA2照射。偏振部20如圖1所示，具備細(xì)長(zhǎng)的框狀的框構(gòu)件21、及被收容在框構(gòu)件21內(nèi)的偏振元件22?？驑?gòu)件21的長(zhǎng)度方向是與X軸方向平行。
[0051]偏振元件22如圖2所示，具有--第I面22a，被紫外線UA1、UA2 ;照射以及第2面22b，與第I面22a相向且射出紫外線UA1、UA2的偏振光即紫外線UB1、UB2。偏振元件22是在石英玻璃(glass)等的基板上，等間隔且平行地配置有多個(gè)直線狀的電導(dǎo)體(例如鉻或鋁合金等的金屬線)的柵格偏振元件。電導(dǎo)體的長(zhǎng)度方向是與基準(zhǔn)方向RD正交。較為理想的是，電導(dǎo)體的間距(pitch)為從光源部10照射的紫外線UA1、UA2的波長(zhǎng)的I / 3以下。偏振元件22使從光源部10照射的紫外線UAUUA2中的與電導(dǎo)體的長(zhǎng)度方向平行的偏振軸的紫外線的大部分發(fā)生反射，而使與電導(dǎo)體的長(zhǎng)度方向正交的偏振軸PA的紫外線UB1、UB2通過(guò)。另外，本實(shí)施方式中，偏振元件22的電導(dǎo)體的長(zhǎng)度方向是與Y軸方向平行地配置，偏振元件22使與X軸方向平行的偏振軸PA的紫外線UB1、UB2通過(guò)。即，本實(shí)施方式中，基準(zhǔn)方向RD是與X軸方向平行。
[0052]光源部10具備棒狀燈11 (相當(dāng)于第I光源)與多個(gè)輔助光源12 (相當(dāng)于第2光源)。棒狀燈11例如為高壓汞燈或金屬鹵化物燈(metal halide lamp)等管型燈，至少具有直線狀的發(fā)光部。棒狀燈11的發(fā)光部的長(zhǎng)度方向是與X軸方向平行，棒狀燈11的發(fā)光部的長(zhǎng)度比工件W的寬度長(zhǎng)。棒狀燈11從線狀的發(fā)光部，照射例如波長(zhǎng)為200nm至400nm的紫外線UAl (相當(dāng)于第I紫外線)。棒狀燈11所照射的紫外線UAl是具有各種偏振軸成分的紫外線、即所謂的非偏振的紫外線。本實(shí)用新型中，作為第I光源，例如還可采用如下結(jié)構(gòu):使能夠照射波長(zhǎng)為200nm至400nm的紫外線UAl的發(fā)光二極管(Light Emitting Diode,LED)芯片(chip)、激光二極管(laser diode)、有機(jī)電致發(fā)光(Electroluminescence, EL)元件等小型燈隔開(kāi)來(lái)配置成直線狀。
[0053]本實(shí)施方式中，棒狀燈11設(shè)有一個(gè)，且配置在偏振兀件22及工件W的上方。在棒狀燈11的上方，設(shè)有反射材13。棒狀燈11所照射的紫外線UAl的一部分直接照射至偏振元件22的第I面22a，并且剩余的一部分被反射材13反射而照射至偏振元件22的第I面22a。作為反射材13，可使用平行型的拋物面鏡、聚光型的橢圓鏡、及其他形狀的鏡等。棒狀燈11向偏振部20的偏振元件22照射紫外線UAl，從而通過(guò)偏振部20的偏振元件22來(lái)對(duì)工件W表面的光照射區(qū)域LD (圖3所示)照射紫外線UBl。
[0054]此處，在棒狀燈11的正下方，如圖2所示，紫外線UAl以與第I面22a垂直或接近垂直的角度而射入第I面22a，即使不在棒狀燈11的正下方，在第I面22a的X軸方向的中央，紫外線UAl也是與Y軸方向平行地射入。因此，在光照射區(qū)域LD的Y軸方向的中央及X軸方向的中央，如圖3所示，與紫外線UAl對(duì)應(yīng)的紫外線UBl的偏振軸PA相對(duì)于基準(zhǔn)方向RD的差異(所成的角度)非常小。
[0055]但是，在光照射區(qū)域LD的Y軸方向及X軸方向的兩端即光照射區(qū)域LD的四角，紫外線UAl是與Y軸方向和X軸方向這兩者交叉地傾斜射入第I面22a。因此，與光照射區(qū)域LD的Y軸方向及X軸方向的中央附近的紫外線UBl的偏振軸PA相比，在光照射區(qū)域LD的Y軸方向及X軸方向的兩端即光照射區(qū)域LD的四角，紫外線UBl的偏振軸PAl (圖3中以虛線所示)將從基準(zhǔn)方向RD傾斜。即，與來(lái)自棒狀燈11的紫外線UAl對(duì)應(yīng)地從第2面22b射出的紫外線UBl的偏振軸PAl相對(duì)于基準(zhǔn)方向RD的差異，在光照射區(qū)域LD的Y軸方向及X軸方向的兩端即光照射區(qū)域LD的四角變大。這樣，光照射區(qū)域LD的Y軸方向及X軸方向的兩端即光照射區(qū)域LD的四角，成為光照射區(qū)域LD中的、與來(lái)自棒狀燈11的紫外線UAl對(duì)應(yīng)地從第2面22b射出的紫外線UBl的偏振軸PAl相對(duì)于基準(zhǔn)方向RD的差異大的區(qū)域。
[0056]而且，比起偏振元件22的第I面22a的Y軸方向的中央，第I面22a的Y軸方向的兩端的、來(lái)自棒狀燈11的紫外線UAl的照度變低。這樣，第I面22a的Y軸方向的兩端，成為第I面22a中的、來(lái)自棒狀燈11的紫外線UAl的照度低的區(qū)域。
[0057]輔助光源12被配置成:對(duì)于第I面22a的Y軸方向的兩端及光照射區(qū)域LD的Y軸方向及X軸方向的兩端即光照射區(qū)域LD的四角，經(jīng)由偏振元件22來(lái)照射紫外線UA2 (相當(dāng)于第2紫外線)。輔助光源12是與棒狀燈11同樣地，為高壓汞燈或金屬鹵化物燈等管型燈，至少具有線狀的發(fā)光部，且線狀的發(fā)光部的長(zhǎng)度方向與X軸方向平行，并且發(fā)光部的長(zhǎng)度比工件W的寬度長(zhǎng)。輔助光源12從線狀的發(fā)光部照射例如波長(zhǎng)為200nm至400nm的紫外線UA2。輔助光源12所照射的紫外線UA2是具有各種偏振軸成分的紫外線、即所謂的非偏振的紫外線。對(duì)于輔助光源12的光源，也可使用不同于棒狀光源11的光源，例如使用發(fā)光方式、燈長(zhǎng)、發(fā)光長(zhǎng)、燈徑、配光分布、電極形狀等至少一者不同的光源。而且，也可使輔助光源12的點(diǎn)燈條件或點(diǎn)燈方法等不同于棒狀光源11的情況。較為理想的是，從棒狀光源11放出的光的波段與從輔助光源12放出的光的波段在用于配光處理的波段中，較為接近。例如，在主要使用波長(zhǎng)為365nm的紫外線UAl的用途中，作為輔助光源12，可使用燈長(zhǎng)相對(duì)于棒狀光源11為短的超高壓汞燈等。而且，也可將設(shè)為紫外線照射裝置的光源作為輔助光源12，所述紫外線照射裝置是將超高壓汞燈與橢圓反射鏡或鏡等加以組合而成。另外，超高壓汞燈具備:透光性氣密容器，由具有耐火性的石英玻璃等形成，且在內(nèi)部形成有放電空間；以及一對(duì)電極，被封裝在透光性氣密容器內(nèi)。而且，在主要使用波長(zhǎng)為254nm的紫外線UAl的用途中，可使用具備波長(zhǎng)為254nm的發(fā)光光譜(spectrum)的低壓汞燈，來(lái)作為輔助光源12。進(jìn)而，本實(shí)用新型中，作為第2光源，例如還可采用如下結(jié)構(gòu):使能夠照射波長(zhǎng)為200nm至400nm的紫外線UAl的LED芯片、激光二極管、有機(jī)EL等小型燈隔開(kāi)來(lái)配置成直線狀。
[0058]本實(shí)施方式中，輔助光源12如圖2及圖3所示設(shè)有兩個(gè)，且與棒狀燈11并排配置在偏振元件22及工件W的上方。輔助光源12較棒狀燈11而配置在光照射區(qū)域LD的Y軸方向的靠外側(cè)。輔助光源12既可配置在從工件W算起的Z軸方向的距離與棒狀燈11相等的位置，也可配置在從工件W算起的Z軸方向的距離與棒狀燈11不同的位置。輔助光源12的Z軸方向及Y軸方向的位置只要根據(jù)需要來(lái)適當(dāng)選擇即可。
[0059]而且，本實(shí)施方式中，在俯視時(shí)，如圖2及圖3所示，輔助光源12較光照射區(qū)域LD及偏振元件22的第I面22a的Y軸方向的兩端而配置在外側(cè)，但也可根據(jù)需要而較光照射區(qū)域LD及偏振元件22的第I面22a的Y軸方向的兩端而配置在內(nèi)側(cè)。輔助光源12如圖2所示被配置成:對(duì)光照射區(qū)域LD及偏振元件22的第I面22a的Y軸方向的兩端照射紫外線UA2。輔助光源12對(duì)第I面22a的Y軸方向的兩端照射紫外線UA2，并且對(duì)光照射區(qū)域LD的Y軸方向的兩端照射紫外線UA2。當(dāng)輔助光源12配置在從工件W算起的Z軸方向的距離與棒狀燈11相等的位置時(shí)，較為理想的是，在俯視時(shí)，輔助光源12配置在從光照射區(qū)域LD的Y軸方向的兩端算起的距離與棒狀燈11相等的位置。另外，本實(shí)施方式中，輔助光源12是配置在從工件W算起的Z軸方向的距離與棒狀燈11相等的位置，且在俯視時(shí)，輔助光源12配置在從光照射區(qū)域LD的Y軸方向的兩端算起的距離與棒狀燈11相等的位置。
[0060]前述結(jié)構(gòu)的實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置I沿著與Y軸方向平行的箭頭Yl方向來(lái)搬送工件W，并從棒狀燈11及輔助光源12照射紫外線UAl、UA2。于是，這些紫外線UA1、UA2被至第I面22a照射，通過(guò)偏振元件22，偏振軸PA與基準(zhǔn)方向RD平行的紫外線UB1、UB2從第2面22b朝向工件W表面的光照射區(qū)域LD射出。
[0061 ] 此時(shí)，在工件W表面的光照射區(qū)域LD的Y軸方向及X軸方向的兩端即光照射區(qū)域LD的四角，與來(lái)自棒狀燈11的紫外線UAl對(duì)應(yīng)地從第2面22b射出的紫外線UBl的偏振軸PAl (圖3中的虛線所示)相對(duì)于基準(zhǔn)方向RD的差異大(相對(duì)于基準(zhǔn)方向RD傾斜)。而且，在工件W表面的光照射區(qū)域LD的Y軸方向及X軸方向的兩端即光照射區(qū)域LD的四角，與來(lái)自輔助光源12的紫外線UA2對(duì)應(yīng)地從第2面22b射出的紫外線UB2的偏振軸PA2 (圖3中的一點(diǎn)鏈線所示)相對(duì)于基準(zhǔn)方向RD的差異大(相對(duì)于基準(zhǔn)方向RD傾斜)。
[0062]此時(shí)，本實(shí)施方式中，輔助光源12是配置在從工件W算起的Z軸方向的距離與棒狀燈11相等的位置，且在俯視時(shí)，輔助光源12配置在從光照射區(qū)域LD的Y軸方向的兩端算起的距離與棒狀燈11相等的位置。因此，在光照射區(qū)域LD的Y軸方向及X軸方向的兩端即光照射區(qū)域LD的四角，紫外線UBl的偏振軸PAl與紫外線UB2的偏振軸PA2相對(duì)于基準(zhǔn)方向RD而彼此逆向地傾斜，且相對(duì)于基準(zhǔn)方向RD的傾斜度相等。因此，與紫外線UAl對(duì)應(yīng)地從第2面22b射出的紫外線UBl的偏振軸PAl的傾斜、和與紫外線UA2對(duì)應(yīng)地從第2面22b射出的紫外線UB2的偏振軸PA2的傾斜相抵消，能夠使工件W表面的光照射區(qū)域LD的Y軸方向及X軸方向的兩端即光照射區(qū)域LD的四角的紫外線UB的偏振軸PA如圖3中的實(shí)線所示，平行于基準(zhǔn)方向RD。
[0063]而且，在工件W表面的光照射區(qū)域LD的Y軸方向的中央，被與來(lái)自棒狀燈11的紫外線UAl對(duì)應(yīng)地從第2面22b射出的紫外線UBl照射，并且在工件W表面的光照射區(qū)域LD的Y軸方向的兩端，被與來(lái)自輔助光源12的紫外線UA2對(duì)應(yīng)地從第2面22b射出的紫外線UB2照射。
[0064]這樣，光配向用偏振光照射裝置I對(duì)于工件W(圖1中以兩點(diǎn)鏈線所示)表面的光照射區(qū)域LD，無(wú)光量不均地照射與X軸方向平行的偏振軸PA的紫外線UB1、UB2,以進(jìn)行配向膜的配向處理。
[0065]前述結(jié)構(gòu)的實(shí)施方式的光配向用偏振光照射裝置I具備輔助光源12，該輔助光源12對(duì)于光照射區(qū)域LD的Y軸方向及X軸方向的兩端即光照射區(qū)域LD的四角、及第I面22a的Y軸方向的兩端，照射紫外線UA2。因此，光配向用偏振光照射裝置I將對(duì)光照射區(qū)域LD的Y軸方向及X軸方向的兩端即光照射區(qū)域LD的四角，照射與來(lái)自輔助光源12的紫外線UA2對(duì)應(yīng)的紫外線UB2。
[0066]而且，輔助光源12是配置在從工件W算起的Z軸方向的距離與棒狀燈11相等的位置，且在俯視時(shí)，輔助光源12配置在從光照射區(qū)域LD的Y軸方向的兩端算起的距離與棒狀燈11相等的位置。因此，光照射區(qū)域LD的Y軸方向及X軸方向的兩端即光照射區(qū)域LD的四角處的紫外線UBl的偏振軸PAl與紫外線UB2的偏振軸PA2，相對(duì)于基準(zhǔn)方向RD而彼此逆向地傾斜，且相對(duì)于基準(zhǔn)方向RD的傾斜度相等。因此，在光照射區(qū)域LD的Y軸方向及X軸方向的兩端即光照射區(qū)域LD的四角，紫外線UBl的偏振軸PAl的傾斜與紫外線UB2的偏振軸PA2的傾斜相抵消，能夠使紫外線UBl、UB2的偏振軸PA如圖3中的實(shí)線所示，平行于基準(zhǔn)方向RD，能夠抑制紫外線UBl、UB2的偏振軸PA從基準(zhǔn)方向RD發(fā)生的傾斜。因此，能夠抑制光照射區(qū)域LD中的紫外線UB1、UB2的偏振軸PA的偏差。
[0067]而且，由于對(duì)第I面22a的Y軸方向的兩端照射來(lái)自輔助光源12的紫外線UA2，因此能夠?qū)庹丈鋮^(qū)域LD的Y軸方向的兩端，照射與來(lái)自輔助光源12的紫外線UA2對(duì)應(yīng)的紫外線UB2。因此，既能夠?qū)⑤o助光源12的個(gè)數(shù)抑制為最低限，又能夠?qū)⒆銐蚬饬康淖贤饩€UB1、UB2照射至工件W。因而，光配向用偏振光照射裝置I能夠抑制工件W的光照射區(qū)域LD中的紫外線UB1、UB2的偏振軸PA的偏差，能夠?qū)⒆銐蚬饬康淖贤饩€UB1、UB2照射至工件W。
[0068][實(shí)施例1]
[0069]接下來(lái)，基于【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】本實(shí)用新型的實(shí)施方式的實(shí)施例1的光配向用偏振光照射裝置I。圖4是表示實(shí)施方式的實(shí)施例1的光配向用偏振光照射裝置的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。另外，在圖4中，對(duì)于與前述實(shí)施方式相同的部分，標(biāo)注相同符號(hào)并省略說(shuō)明。
[0070]前述實(shí)施方式中，使用結(jié)構(gòu)與棒狀燈11相同的輔助光源12。但是，本實(shí)用新型中，只要能夠抑制對(duì)光照射區(qū)域LD的Y軸方向的兩端照射的紫外線UB1、UB2的偏振軸PA的傾斜，則可如圖4所示，適當(dāng)選擇長(zhǎng)度、輸入功率、形狀(例如球狀)等來(lái)使用輔助光源12a。圖4所示的實(shí)施例1中，使用形成得比棒狀燈11的發(fā)光部短的棒狀燈來(lái)作為輔助光源12a，分別對(duì)應(yīng)于光照射區(qū)域LD的四角而設(shè)有四個(gè)輔助光源12a。于實(shí)施例1中，輔助光源12a沿著棒狀燈11的發(fā)光部的長(zhǎng)度方向配置有多個(gè)(圖4所示的例子中為2個(gè))。在實(shí)施例1中，在俯視時(shí)，輔助光源12a也是較偏振元件22的第I面22a的Y軸方向的兩端及光照射區(qū)域LD的Y軸方向的兩端而設(shè)在外側(cè)。
[0071]實(shí)施例1的光配向用偏振光照射裝置I與實(shí)施方式同樣，能夠抑制工件W的光照射區(qū)域LD中的紫外線UB1、UB2的偏振軸PA的偏差，可將足夠光量的紫外線UB1、UB2照射至工件W。
[0072][實(shí)施例2]
[0073]接下來(lái)，基于【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】本實(shí)用新型的實(shí)施方式的實(shí)施例2的光配向用偏振光照射裝置I。圖5是表示實(shí)施方式的實(shí)施例2的光配向用偏振光照射裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。另外，在圖5中,對(duì)于與前述實(shí)施方式相同的部分,標(biāo)注相同的符號(hào)并省略說(shuō)明。
[0074]前述實(shí)施方式中，設(shè)有一個(gè)作為第I光源的棒狀燈11。但是，本實(shí)用新型中，也可如圖5所示，設(shè)置多個(gè)作為第I光源的棒狀燈11。實(shí)施例2中，彼此平行且隔開(kāi)間隔地設(shè)有兩個(gè)棒狀燈11。而且，實(shí)施例2中，多個(gè)輔助光源12中的一個(gè)輔助光源12配置在兩個(gè)棒狀燈11間，兩個(gè)輔助光源12較兩個(gè)棒狀燈11及光照射區(qū)域LD的Y軸方向的兩端而配置在外側(cè)，從而較兩個(gè)棒狀燈11而配置在光照射區(qū)域LD的靠外側(cè)?？傊?，本實(shí)用新型中，只要多個(gè)輔助光源12中的至少一個(gè)輔助光源12配置在多個(gè)棒狀燈11間即可。
[0075]實(shí)施例2的光配向用偏振光照射裝置I與實(shí)施方式同樣地，能夠抑制工件W的光照射區(qū)域LD中的紫外線UB1、UB2的偏振軸PA的偏差，可將足夠光量的紫外線UB1、UB2照射至工件W。
[0076]而且，實(shí)施例2的光配向用偏振光照射裝置I中，輔助光源12被配置在作為第I光源的棒狀燈11間，因此能夠進(jìn)一步抑制工件W的光照射區(qū)域LD中的偏振軸PA的偏差，可將更足夠光量的紫外線UB1、UB2照射至工件W。
[0077]對(duì)本實(shí)用新型的若干實(shí)施方式及實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明，但這些實(shí)施方式及實(shí)施例僅為例示，并不意圖限定實(shí)用新型的范圍。這些實(shí)施方式及實(shí)施例能以其他的各種方式來(lái)實(shí)施，在不脫離實(shí)用新型的主旨的范圍內(nèi)，可進(jìn)行各種省略、替換、變更。這些實(shí)施方式及實(shí)施例包含在實(shí)用新型的范圍或主旨內(nèi)，同樣包含在權(quán)利要求書(shū)中記載的實(shí)用新型及其均等的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種光配向用偏振光照射裝置，其特征在于，包括: 光源部，照射紫外線；以及 偏振元件，具有被所述紫外線照射的第I面、及與所述第I面相向且射出所述紫外線的偏振光的第2面， 所述光配向用偏振光照射裝置的特征在于， 所述光源部包括: 第I光源，對(duì)所述第I面照射第I紫外線；以及 第2光源，所述第2光源被配置成:對(duì)于光照射區(qū)域中的、所述偏振光的偏振軸相對(duì)于基準(zhǔn)方向的差異大的區(qū)域，經(jīng)由所述偏振元件來(lái)照射第2紫外線，所述偏振光是對(duì)應(yīng)于所述第I紫外線而從所述第2面射出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光配向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述第I光源配置有多個(gè)， 所述第2光源設(shè)有多個(gè)，且至少一個(gè)所述第2光源配置于所述第I光源間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光配向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述第2光源較所述第I光源而配置在所述光照射區(qū)域的靠外側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光配向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述第I光源具有直線狀的發(fā)光部， 所述第2光源形成得比所述第I光源的發(fā)光部短，且所述第2光源沿著所述第I光源的發(fā)光部的長(zhǎng)度方向配置有多個(gè)。
5.一種光配向用偏振光照射裝置，其特征在于，包括: 光源部，照射紫外線；以及 偏振元件，具有被所述紫外線照射的第I面、及與所述第I面相向且射出所述紫外線的偏振光的第2面， 所述光配向用偏振光照射裝置的特征在于， 所述光源部包括: 第I光源，對(duì)所述第I面照射第I紫外線；以及 第2光源，所述第2光源被配置成:對(duì)于光照射區(qū)域中的、所述偏振光的照度低的區(qū)域，經(jīng)由所述偏振元件來(lái)照射第2紫外線，所述偏振光是對(duì)應(yīng)于所述第I紫外線而從所述第2面射出。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光配向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述第I光源配置有多個(gè)， 所述第2光源設(shè)有多個(gè)，且至少一個(gè)所述第2光源配置于所述第I光源間。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光配向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述第2光源較所述第I光源而配置在所述光照射區(qū)域的靠外側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光配向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述第I光源具有直線狀的發(fā)光部， 所述第2光源形成得比所述第I光源的發(fā)光部短，且所述第2光源沿著所述第I光源的發(fā)光部的長(zhǎng)度方向配置有多個(gè)。
【文檔編號(hào)】G02B27/28GK203480169SQ201320577519
【公開(kāi)日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年9月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月26日
【發(fā)明者】前田祥平, 田中貴章 申請(qǐng)人:東芝照明技術(shù)株式會(huì)社