鋁線鍵合用顯微鏡調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種鋁線鍵合用顯微鏡調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，其中：包括至少一個(gè)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，每一個(gè)所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括定位銷、限位裝置及開設(shè)于顯微鏡調(diào)節(jié)部位上的位移孔，所述定位銷一端外露于所述位移孔內(nèi)，另一端為一連接片，所述連接片與所述限位裝置之間設(shè)有間隙，所述限位裝置包括至少一個(gè)彈簧插銷，所述顯微鏡上設(shè)有與所述彈簧插銷配合的定位插孔，所述彈簧插銷一端與定位插孔滑動連接，另一端與所述連接片配合卡接。本實(shí)用新型通過使用彈簧插銷進(jìn)行觀察位的鎖定，省去反復(fù)調(diào)節(jié)的繁瑣操作，提高了生產(chǎn)效率。
【專利說明】鋁線鍵合用顯微鏡調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體產(chǎn)品的引線鍵合設(shè)備，具體涉及一種鋁線鍵合用顯微鏡調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，用于顯微鏡位置的調(diào)整，便于對鍵合操作的觀測。
【背景技術(shù)】
[0002]引線鍵合是當(dāng)前最重要的微電子封裝技術(shù)之一，目前90%以上的芯片均采用這種技術(shù)進(jìn)行封裝。按照原理的不同，引線鍵合可以分為熱壓鍵合、超聲鍵合和熱壓超聲鍵合3種方式；根據(jù)鍵合點(diǎn)形狀，又可分為球形鍵合和楔形鍵合。在功率器件及模塊中，最常見的功率互連方法是引線鍵合法，大功率IGBT模塊采用了超聲引線鍵合法對IGBT芯片及FRD芯片進(jìn)行互連。由于需要承載大電流，故采用楔形劈刀將粗鋁線鍵合到芯片表面或襯板表面，這種方法也稱超聲楔鍵合。在機(jī)械能和鍵合力的共同作用下，在常溫下利用超聲機(jī)械振動帶動將穿過劈刀的鋁線與膜進(jìn)行摩擦，使氧化膜破碎，純凈的金屬表面相互接觸，通過摩擦產(chǎn)生的熱量使金屬之間發(fā)生擴(kuò)散，從而將鋁絲引線分別鍵合在芯片焊盤和基板引腳上，實(shí)現(xiàn)芯片和基板電路的互連。具體的作業(yè)為：搜索到第一點(diǎn)的位置，對第一點(diǎn)進(jìn)行鍵合，形成第一焊點(diǎn)；然后拉弧線形成線弧，再自動搜索第二點(diǎn)的位置，對第二點(diǎn)進(jìn)行鍵合，形成第二焊點(diǎn)；此時(shí)如果還需拉弧線，則重復(fù)上述動作，否則進(jìn)行切線，完成一根線的鍵合。
[0003]每一點(diǎn)的鍵合質(zhì)量可通過目測法、推力測試法、拉力測試法、掃描電子顯微鏡掃描方法等來完成。其中目測法最為直接，鍵合機(jī)隨機(jī)顯微鏡下觀察鍵合點(diǎn)是否完全鍵合、頸部是否斷裂、根部是否脫落等。若鍵合點(diǎn)的形狀尺寸超出額定范圍，一般情況下，
I.2D ^ W ^ 3. 0D, I. 5D ^ L ^ 5. 0D，W表示鍵合點(diǎn)寬度，L表示鍵合點(diǎn)長度，D表線徑，那么應(yīng)該檢查鍵合功率是否合適或更換劈刀。
[0004]如上所述，在更換·劈刀工作時(shí)，需要頻繁更換顯微鏡的觀察點(diǎn)，觀察點(diǎn)在劈刀位置與芯片夾具位置之間來回更換，而每更換一次觀察點(diǎn)就要調(diào)節(jié)顯微鏡上六個(gè)調(diào)節(jié)點(diǎn)的位置，包括I、整個(gè)平臺的平移，2、放大倍數(shù)調(diào)整，3、調(diào)整前后位置，4、移動物鏡距離，5、改變觀察垂直方向角度，6、調(diào)整水平方向角度，操作繁瑣。除了更換劈刀時(shí)需要調(diào)整顯微鏡位置以外，在鍵合范圍廣的產(chǎn)品上，劈刀在芯片與基板之間移動，同樣也需要調(diào)整顯微鏡的位置。因此，調(diào)整位置會花費(fèi)較多時(shí)間，對作業(yè)經(jīng)驗(yàn)要求高，嚴(yán)重影響工作效率，影響設(shè)備產(chǎn)出。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型目的是提供一種鋁線鍵合用顯微鏡調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，通過使用該結(jié)構(gòu)，使顯微鏡的調(diào)節(jié)化繁為簡，提高生產(chǎn)效率，降低人員作業(yè)要求。
[0006]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種鋁線鍵合用顯微鏡調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，包括至少一個(gè)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，每一個(gè)所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括定位銷、限位裝置及開設(shè)于顯微鏡調(diào)節(jié)部位上的位移孔，所述定位銷一端外露于所述位移孔內(nèi)，另一端為一連接片，所述連接片與所述限位裝置之間設(shè)有間隙，所述限位裝置包括至少一個(gè)彈簧插銷，所述顯微鏡上設(shè)有與所述彈簧插銷配合的定位插孔，所述彈簧插銷一端與定位插孔滑動連接，另一端與所述連接片配合卡接。
[0007]在其中一實(shí)施例中，所述顯微鏡調(diào)節(jié)部位上包括兩個(gè)所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，分別為焊頭檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)和夾具檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，其中，當(dāng)所述焊頭檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)中的彈簧插銷與定位插孔插接配合時(shí)，所述顯微鏡的觀察點(diǎn)位于焊頭上，當(dāng)所述夾具檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)中的彈簧插銷與定位插孔插接配合時(shí)，所述顯微鏡的觀察點(diǎn)位于夾具上。
[0008]進(jìn)一步地，所述彈簧插銷與所述定位插孔對應(yīng)的一端設(shè)有斜向?qū)Ы恰?br> [0009]另一種實(shí)施例中，所述限位裝置包括左、右兩個(gè)彈簧插銷以及左、右兩個(gè)定位插孔，左、右定位插孔之間的距離與顯微鏡觀察點(diǎn)的范圍相適應(yīng)。
[0010]進(jìn)一步地，所述左、右彈簧插銷與所述左、右定位插孔對應(yīng)的一端上分別設(shè)有斜向?qū)Ы?，所述斜向?qū)Ы堑男泵娣较蛳啾巢贾谩?br> [0011]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型通過限位裝置與定位銷的配合使用，在顯微鏡更換觀察點(diǎn)時(shí)，由定位銷啟動限位裝置，在一個(gè)運(yùn)動周期內(nèi)，進(jìn)入彈簧插銷的區(qū)域，彈簧銷落入定位插孔內(nèi)后關(guān)閉限位裝置，因此，觀察員根據(jù)觀察點(diǎn)的需求，對應(yīng)按下相應(yīng)定位銷，移動定位銷一個(gè)周期便能獲得最佳視點(diǎn)，而無需反復(fù)調(diào)節(jié)，操作方便，省時(shí)省力，提高生產(chǎn)效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例一中限位結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例一安裝于顯微鏡鏡頭調(diào)節(jié)部位處的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例一鏡頭調(diào)節(jié)部位處的剖視示意圖。
[0015]其中:11、鏡頭；12、焊頭檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)；13、夾具檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)；14、彈黃插銷；15、定位插孔；16、定位銷；17、位移孔；18、連接片；19、斜向?qū)Ы恰?br> 【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0017]實(shí)施例一:參見圖1?3所示，一種鋁線鍵合用顯微鏡調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，根據(jù)顯微鏡調(diào)節(jié)位置的不同，可將本實(shí)用新型的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)安裝于各個(gè)調(diào)節(jié)部位處，實(shí)現(xiàn)定位調(diào)節(jié)，以便于觀察點(diǎn)的更換，如從劈刀焊頭更換到芯片夾具。
[0018]在本實(shí)施例中，以鏡頭11調(diào)節(jié)部位為例，以便實(shí)現(xiàn)鏡頭11離物鏡的距離調(diào)整，適應(yīng)多點(diǎn)觀察時(shí)的鏡頭11距離調(diào)節(jié)。具體如圖3所示，包括兩個(gè)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，分別為焊頭檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)12和夾具檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)13，其中，當(dāng)所述焊頭檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)12中的彈簧插銷14與定位插孔15插接配合時(shí)，所述顯微鏡的觀察點(diǎn)位于焊頭上，當(dāng)所述夾具檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)13中的彈簧插銷14與定位插孔15插接配合時(shí)，所述顯微鏡的觀察點(diǎn)位于夾具上。
[0019]如圖1所示，每一個(gè)所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括定位銷16、限位裝置及開設(shè)于顯微鏡鏡頭11處的位移孔17，所述定位銷16 —端外露于所述位移孔17內(nèi)，另一端為一連接片18，所述連接片18與所述限位裝置之間設(shè)有間隙，所述限位裝置包括左、右兩個(gè)彈簧插銷14，所述顯微鏡上設(shè)有與所述彈簧插銷14配合的左、右定位插孔15,所述彈簧插銷14 一端與定位插孔15滑動連接，另一端在定位銷16按動開啟后與所述連接片18配合卡接，從而實(shí)現(xiàn)定位銷16與限位裝置的干涉，進(jìn)入彈簧插銷14的活動區(qū)域，即為最優(yōu)化的區(qū)域或最優(yōu)化的觀察點(diǎn)。
[0020]如圖3所示，焊頭檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)12與夾具檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)13在左、右定位插孔15之間距離上不同，該距離與顯微鏡鏡頭11觀察點(diǎn)的最優(yōu)化范圍相適應(yīng)。為使彈簧插銷14順利滑落于定位插孔15內(nèi)，所述左、右彈簧插銷14與所述左、右定位插孔15對應(yīng)的一端上分別設(shè)有斜向?qū)Ы?9,所述斜向?qū)Ы?9的斜面方向相背布置。
[0021]使用方法:在限位裝置未開啟時(shí)，定位銷16可隨意在位移孔17內(nèi)移動，與限位裝置無接觸，即連接片18與彈簧插銷14未卡接。在定位銷16被向內(nèi)按壓后，限位裝置被開啟，定位銷16在一個(gè)來回周期內(nèi)進(jìn)入彈簧插銷14的區(qū)域，連接片18與彈簧插銷14卡接，一旦進(jìn)入便只能在彈簧插銷14范圍內(nèi)運(yùn)動，直到完全落入定位插孔15內(nèi)，關(guān)閉限位裝置。因此，觀察員根據(jù)觀察點(diǎn)的需求，對應(yīng)按下相應(yīng)定位銷16，移動定位銷16，直到無法移動，便為該觀察位的最佳視點(diǎn)，而無需反復(fù)調(diào)節(jié)，省時(shí)省力。
[0022]綜上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的集中實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不拖累本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都是屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種鋁線鍵合用顯微鏡調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，其特征在于:包括至少一個(gè)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，每一個(gè)所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括定位銷、限位裝置及開設(shè)于顯微鏡調(diào)節(jié)部位上的位移孔，所述定位銷一端外露于所述位移孔內(nèi)，另一端為一連接片，所述連接片與所述限位裝置之間設(shè)有間隙，所述限位裝置包括至少一個(gè)彈簧插銷，所述顯微鏡上設(shè)有與所述彈簧插銷配合的定位插孔，所述彈簧插銷一端與定位插孔滑動連接，另一端與所述連接片配合卡接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋁線鍵合用顯微鏡調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述顯微鏡調(diào)節(jié)部位上包括兩個(gè)所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，分別為焊頭檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)和夾具檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，其中，當(dāng)所述焊頭檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)中的彈簧插銷與定位插孔插接配合時(shí)，所述顯微鏡的觀察點(diǎn)位于焊頭上，當(dāng)所述夾具檔調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)中的彈簧插銷與定位插孔插接配合時(shí)，所述顯微鏡的觀察點(diǎn)位于夾具上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的鋁線鍵合用顯微鏡調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述彈簧插銷與所述定位插孔對應(yīng)的一端設(shè)有斜向?qū)Ы恰?br> 4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的鋁線鍵合用顯微鏡調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述限位裝置包括左、右兩個(gè)彈簧插銷以及左、右兩個(gè)定位插孔，左、右定位插孔之間的距離與顯微鏡觀察點(diǎn)的范圍相適應(yīng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的鋁線鍵合用顯微鏡調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述左、右彈簧插銷與所述左、右定位插孔對應(yīng)的一端上分別設(shè)有斜向?qū)Ы?，所述斜向?qū)Ы堑男泵娣较蛳啾巢贾谩?br> 【文檔編號】G02B21/24GK203405622SQ201320519858
【公開日】2014年1月22日 申請日期:2013年8月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月23日
【發(fā)明者】吳建忠, 吳俊 , 劉曉明, 龔平, 楊文波, 魏元華 申請人:無錫華潤安盛科技有限公司