光學(xué)濾波器裝置及電子設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及光學(xué)濾波器裝置以及電子設(shè)備。光學(xué)濾波器裝置的干涉濾波器（5）由配置于濾波器區(qū)域F的外側(cè)的一處的固定部件（64）固定于基底基板（610）上。由此，干涉濾波器（5）中固定部件（64）配置的部分（端部）以外的周邊端成為浮動(dòng)狀態(tài)（自由端），因而即使與基底基板（610）存在熱膨脹系數(shù)差，也能夠抑制干涉濾波器（5）（濾波器區(qū)域F）的翹曲。并且，在濾波器區(qū)域F的外側(cè)且與固定部件（64）分離的部分上，形成有比固定部件（64）的高度低的襯墊部（65、66、67）。在受到撞擊時(shí)，這些襯墊部抵接于基底基板（610）而作為止動(dòng)器起作用，因此即使在受到撞擊的情況下，也能夠抑制固定部件（64）發(fā)生剝離或龜裂。
【專利說明】光學(xué)濾波器裝置及電子設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及光學(xué)濾波器裝置以及具備該光學(xué)濾波器裝置的電子設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]以前，已知有在一對(duì)基板彼此相對(duì)的面上隔著規(guī)定的間隙而分別相對(duì)配置有反射膜的干涉濾波器。另外，已知有將這種干涉濾波器容納于殼體內(nèi)的光學(xué)濾波器裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)I以及專利文獻(xiàn)2)。
[0003]該專利文獻(xiàn)I中記載的紅外線式氣體檢測(cè)器(光學(xué)濾波器裝置)具備板狀的臺(tái)座(基底基板)以及具有圓筒狀的蓋帽的外殼(殼體)。在該殼體中，基底基板的周邊部分與蓋帽的圓筒一端部通過焊接或者粘結(jié)而連接，在基底基板與蓋帽之間設(shè)有容納法布里-珀羅濾波器(干涉濾波器)的空間。在該光學(xué)濾波器裝置中，干涉濾波器粘結(jié)固定于檢測(cè)部，而該檢測(cè)部粘結(jié)固定于罐狀外殼的臺(tái)座上。
[0004]在專利文獻(xiàn)2中，記載有一種可調(diào)光學(xué)濾波器(干涉濾波器)被固定以及容納于外殼(殼體)內(nèi)部的光學(xué)濾波器裝置(光電子裝置)。在該光學(xué)濾波器裝置中，干涉濾波器配置在安裝于殼體的頭部件〃 η (基底基板)上表面的垂直堆棧內(nèi)。
[0005]然而，雖然在專利文獻(xiàn)I以及專利文獻(xiàn)2中記載有將干涉濾波器容納以及固定于殼體內(nèi)部的內(nèi)容，但未記載具體方法。
[0006]例如，存在有如下這樣的課題:在將干涉濾波器固定在作為固定對(duì)象的基底基板的整個(gè)面上時(shí)，隨著溫度的變化，由于由兩者的熱膨脹系數(shù)差所產(chǎn)生的影響，反射膜有可能會(huì)翹曲。另外存在，在由粘合劑固定時(shí)，由于由粘合劑硬化時(shí)的收縮所產(chǎn)生的影響而使反射膜可能翹曲，光學(xué)特性劣化這種課題。
[0007]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)
[0009]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2008-70163號(hào)公報(bào)
[0010]專利文獻(xiàn)2:日本專利特表2005-510756號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而進(jìn)行的，可以作為以下的應(yīng)用例或方式來實(shí)現(xiàn)。
[0012]應(yīng)用例
[0013]一種光學(xué)濾波器裝置，其特征在于，具備:干涉濾波器，具有第一基板、與所述第一基板相對(duì)的第二基板、設(shè)置在第一基板上的第一反射膜，及設(shè)置在第二基板上并隔著規(guī)定的間隙與第一反射膜相對(duì)的第二反射膜；以及殼體，具有裝載干涉濾波器的基底基板，并容納干涉濾波器，干涉濾波器由配置于包括第一反射膜和第二反射膜的濾波器區(qū)域的俯視觀察的外側(cè)的一處固定部件固定于基底基板上，在濾波器區(qū)域的外側(cè)且與固定部件分離的部分上，形成有比固定部件的高度低的襯墊部。[0014]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，干涉濾波器由配置于濾波器區(qū)域的外側(cè)的一處的固定部件固定于基底基板上。由此，除配置有固定部件的部分(端部)以外的周邊端成為浮動(dòng)狀態(tài)(自由端)，因而即使與基底基板存在熱膨脹系數(shù)差，也能夠抑制干涉濾波器(反射膜)的翹曲。具體而言，將固定部件配置在第二基板與基底基板之間的整個(gè)面上的情況下，由于由第二基板與基底基板的熱膨脹系數(shù)差所產(chǎn)生的伸縮應(yīng)力無處釋放，而導(dǎo)致干涉濾波器自身產(chǎn)生翹曲。另外，在作為固定部件而使用粘合劑時(shí)，由使其固化時(shí)的收縮所產(chǎn)生的應(yīng)力作用于整個(gè)第二基板，而導(dǎo)致產(chǎn)生翹曲。對(duì)此，通過采用在干涉濾波器中的濾波器區(qū)域的外側(cè)的一處(一邊)配置固定部件的結(jié)構(gòu)，其他三邊成為浮動(dòng)狀態(tài)(自由端)，因而即使與基底基板存在熱膨脹系數(shù)差，也能夠使起因于該差值的伸縮應(yīng)力在自由端側(cè)釋放。并且，即使是使用粘合劑的情況，其收縮應(yīng)力的影響也被限于形成有固定部件的一處，不會(huì)波及其他區(qū)域。
[0015]由此，能夠抑制干涉濾波器的翹曲。因此，即使在存在由于溫度變化或粘合劑而產(chǎn)生的收縮的情況下，也能夠確保所期望的光學(xué)特性。
[0016]因此，能夠提供具有穩(wěn)定的光學(xué)特性的光學(xué)濾波器裝置。
[0017]并且，在濾波器區(qū)域的外側(cè)且與固定部件分離的部分上，形成有比固定部件的高度低的襯墊部。如上所述，由于干涉濾波器中的、由固定部件固定的一端以外的端部(自由端)成為浮動(dòng)狀態(tài)，因而在殼體受到撞擊時(shí)，干涉濾波器以固定部件作為支點(diǎn)，在殼體內(nèi)部的高度方向移動(dòng)。該移動(dòng)劇烈時(shí)，有超過固定部件的固定(粘結(jié))強(qiáng)度，導(dǎo)致固定部件發(fā)生剝離或龜裂之憂，而根據(jù)本應(yīng)用例的結(jié)構(gòu)，在撞擊時(shí)，首先襯墊部抵接于基底基板而作為止動(dòng)器起作用。由此，即使受到撞擊的情況下，也能夠抑制固定部件發(fā)生剝離或龜裂。
[0018]因此，能夠提供具有充分的耐撞擊性的光學(xué)濾波器裝置。
[0019]并且優(yōu)選，襯墊部是形成于第二基板的基底基板一側(cè)的面上的突起部。
[0020]并且優(yōu)選，干涉濾波器在俯視觀察中呈長(zhǎng)方形，第二基板的一邊形成從第一基板伸出的伸出區(qū)域，固定部件設(shè)置于伸出區(qū)域與基底基板之間。
[0021]并且優(yōu)選，襯墊部在俯視觀察中形成于濾波器區(qū)域與伸出區(qū)域之間以及/或形成有伸出區(qū)域的邊的相對(duì)邊的兩個(gè)頂點(diǎn)處。
[0022]并且優(yōu)選，在伸出區(qū)域的第一基板一側(cè)的面上形成有電連接用的第一端子，第一端子與形成于基底基板上的第二端子之間通過引線接合連接。
[0023]并且優(yōu)選，第一端子形成有多個(gè)，固定部件以與多個(gè)第一端子重疊的方式配置。
[0024]并且優(yōu)選，殼體還具備具有凹形的蓋板，蓋板在使凹形倒扣的狀態(tài)下與基底基板接合，在干涉濾波器與凹形底面之間形成有襯墊部。
[0025]并且優(yōu)選，襯墊部是形成于基底基板或蓋板的凹形底面上的突起部。
[0026]并且優(yōu)選，固定部件是多個(gè)子固定部集合而形成的區(qū)域。
[0027]—種電子設(shè)備，其特征在于，具備上述記載的光學(xué)濾波器裝置。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1是實(shí)施方式一所涉及的光學(xué)濾波器裝置的立體圖。
[0029]圖2是光學(xué)濾波器裝置的側(cè)截面圖。
[0030]圖3是干涉濾波器的俯視圖。
[0031]圖4是干涉濾波器的Q - Q截面的側(cè)截面圖。[0032]圖5是實(shí)施方式二所涉及的光學(xué)濾波器裝置的側(cè)截面圖。
[0033]圖6是表示作為電子設(shè)備的測(cè)色裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的方框圖。
[0034]圖7是表示作為電子設(shè)備的氣體檢測(cè)裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)圖。
[0035]圖8是表示氣體檢測(cè)裝置的控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的方框圖。
[0036]圖9是表示作為電子設(shè)備的食品分析裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)圖。
[0037]圖10是表示作為電子設(shè)備的分光照相機(jī)的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)圖。
[0038]圖11是變形例I所涉及的光學(xué)濾波器裝置的側(cè)截面圖。
[0039]圖12是變形例2所涉及的光學(xué)濾波器裝置的側(cè)截面圖。
[0040]圖13是變形例3所涉及的光學(xué)濾波器裝置的側(cè)截面圖。
[0041]圖14中的(a)?(C)是變形例4所涉及的干涉濾波器的俯視圖。
[0042]圖15中的(a)，(b)是變形例5所涉及的干涉濾波器的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0043]實(shí)施方式一
[0044]以下，參照附圖對(duì)實(shí)施方式一所涉及的光學(xué)濾波器裝置進(jìn)行說明。
[0045]1.光學(xué)濾波器裝置的概要
[0046]圖1是表示實(shí)施方式一所涉及的光學(xué)濾波器裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是圖1的P-P截面的側(cè)截面圖。
[0047]光學(xué)濾波器裝置600是利用了光的干涉作用的光學(xué)濾波器，是從射入的檢查對(duì)象光中取出規(guī)定的目標(biāo)波長(zhǎng)的光并射出的光學(xué)裝置。光學(xué)濾波器裝置600由殼體601、被容納于該殼體的內(nèi)部的干涉濾波器5 (參照?qǐng)D2)等結(jié)構(gòu)。
[0048]這種光學(xué)濾波器裝置600被組裝于例如測(cè)色傳感器等光學(xué)模塊或測(cè)色裝置、氣體分析裝置等電子設(shè)備中而被使用。關(guān)于具備光學(xué)濾波器裝置600的光學(xué)模塊和電子設(shè)備的結(jié)構(gòu)，將在后面說明。
[0049]如圖1所示，殼體601為使蓋板620覆蓋于在俯視觀察中呈大致長(zhǎng)方形的基底基板610上的結(jié)構(gòu)。蓋板620呈長(zhǎng)方形的托盤狀的形狀，就截面圖而言，如圖2所示，在使托盤形狀的凹形倒扣的狀態(tài)下，蓋板620的周邊部與基底基板610接合。在該蓋板620的凹形內(nèi)，容納有裝載(搭載)于基底基板610上的干涉濾波器5。
[0050]在蓋板620的凹形底部(頂部)上，形成有作為用于導(dǎo)入來自外部的光的孔的開口部621。開口部621從外側(cè)(表面?zhèn)?由玻璃基板640密閉。此外，在以后的說明中，將從表面一側(cè)正對(duì)于玻璃基板640的視點(diǎn)稱為俯視觀察。
[0051]另外，以在俯視觀察中與蓋板620的開口部621重疊的方式，在基底基板610上也形成有用于射出透過干涉濾波器5的光的開口部611 (孔)。開口部611從外側(cè)(背面?zhèn)?由玻璃基板630密閉。
[0052]通過該結(jié)構(gòu)，從表面的玻璃基板640射入的光射入干涉濾波器5，成為根據(jù)由相對(duì)配置的一對(duì)電介質(zhì)多層膜構(gòu)成的鏡間的間隙選擇的目標(biāo)波長(zhǎng)的光，然后從背面的玻璃基板630射出。
[0053]如上所述，這種光學(xué)濾波器裝置600要求確保穩(wěn)定的光學(xué)特性，并確保充分的耐
撞擊性。[0054]在此，如圖2所示，在本實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600中，通過采用具有除了由配置于一處的固定部件64固定干涉濾波器5以外，還設(shè)置比該固定部件的高度低的襯墊65，66 (67)這種特征的結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)了光學(xué)特性與耐撞擊性的并存。以下，對(duì)具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0055]2.干涉濾波器的結(jié)構(gòu)
[0056]圖3是表示干涉濾波器的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖4是圖3的Q - Q截面的側(cè)截面圖。
[0057]首先，參照?qǐng)D3以及圖4，對(duì)干涉濾波器5的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
[0058]如圖3所示，干涉濾波器5是呈大致長(zhǎng)方形的光學(xué)部件，為使作為第一基板的固定基板51和作為第二基板的可動(dòng)基板52重疊的結(jié)構(gòu)。另外，該長(zhǎng)方形中的短邊的一邊(右邊)為可動(dòng)基板52的一邊從固定基板51突出的伸出區(qū)域60。具體而言，如圖4所示，可動(dòng)基板52的一邊在俯視觀察中從固定基板51的外部突出的部分成為伸出區(qū)域60。如圖3所示，在伸出區(qū)域60上形成有作為用于驅(qū)動(dòng)干涉濾波器5的第一端子的多個(gè)連接端子61，該連接端子61通過接合線63與各自對(duì)應(yīng)的基底基板610上的作為第二端子的端子62電連接。
[0059]此外，圖3的干涉濾波器5的長(zhǎng)邊在正對(duì)著圖面時(shí)，為上下的兩條邊，該長(zhǎng)邊的延伸方向與圖1的P-P截面線的延伸方向一致。
[0060]固定基板51以及可動(dòng)基板52的材料作為優(yōu)選示例采用硼硅酸鹽玻璃。此外，并非限定于該材料，只要是具有透明性的玻璃部件即可，也可以使用蘇打玻璃、結(jié)晶性玻璃、石英玻璃、鉛玻璃、鉀玻璃、無堿玻璃等各種玻璃或者水晶。
[0061]如圖4所示，固定基板51和可動(dòng)基板52通過由例如以硅氧烷為主要成分的等離子體聚合膜等構(gòu)成的接合膜53 (第一接合膜531、第二接合膜532)作為粘結(jié)劑而被一體化(粘結(jié))。此外，接合膜53形成于固定基板51與可動(dòng)基板52重疊的部分上的俯視觀察中周邊部。
[0062]在固定基板51上設(shè)有作為第一反射膜的固定反射膜54。在可動(dòng)基板52上設(shè)有作為第二反射膜的可動(dòng)反射膜55。固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55隔著作為規(guī)定間隙的間隙Gl而相對(duì)(面對(duì)面)配置。
[0063]而且，在干涉濾波器5上設(shè)有用于調(diào)整間隙Gl的距離(尺寸)的靜電致動(dòng)器56。靜電致動(dòng)器56由設(shè)于固定基板51上的固定電極561和設(shè)于可動(dòng)基板52上的可動(dòng)電極562構(gòu)成。這些固定電極561、可動(dòng)電極562隔著電極間間隙G2(G2> Gl)而相對(duì)配置。此外，電極561、562既可以是分別直接設(shè)置在固定基板51和可動(dòng)基板52的基板表面上的結(jié)構(gòu)，也可以是隔著其他膜部件而設(shè)置的結(jié)構(gòu)。另外，在本實(shí)施方式中，雖然例示出反射膜間間隙Gl比電極間間隙G2小的結(jié)構(gòu)，但也可以將反射膜間間隙Gl設(shè)置得比電極間間隙G2大。
[0064]2-1.固定基板的結(jié)構(gòu)
[0065]固定基板51作為優(yōu)選示例使用比可動(dòng)基板52厚的基板。此外，雖然也可以采用與可動(dòng)基板52相同的厚度，但為了在靜電致動(dòng)器56進(jìn)行驅(qū)動(dòng)時(shí)確保不會(huì)撓曲的剛性而優(yōu)選厚的基板。在固定基板51上，通過蝕刻加工而形成有電極配置槽511、反射膜設(shè)置部512以及布線引出槽511B。
[0066]在俯視觀察中，電極配置槽511形成為以干涉濾波器5的平面中心點(diǎn)O為中心的環(huán)狀。如圖4所示，從電極配置槽511向可動(dòng)基板52—側(cè)突出形成反射膜設(shè)置部512。換言之，反射膜設(shè)置部512形成為從電極配置槽511突出為島狀的圓筒狀。
[0067]在此，電極配置槽511的槽底面成為配置固定電極561的電極設(shè)置面511A。另外，反射膜設(shè)置部512的突出前端面(圓筒頂面)成為反射膜設(shè)置面。
[0068]在電極設(shè)置面511A上設(shè)有環(huán)狀的固定電極561。該固定電極561設(shè)置于電極設(shè)置面511A中的、與后述的可動(dòng)部512的可動(dòng)電極562相對(duì)的區(qū)域上。另外，也可以采用在固定電極561上層壓用于確保固定電極561與可動(dòng)電極562之間的絕緣性的絕緣膜的結(jié)構(gòu)。此外，在本實(shí)施方式中，雖然示出在電極設(shè)置面511A上設(shè)置一個(gè)固定電極561的結(jié)構(gòu)，但是也可以采用例如設(shè)置有成為以平面中心點(diǎn)O為中心的同心圓的兩個(gè)電極的結(jié)構(gòu)(雙重電極結(jié)構(gòu))等。
[0069]如上所述，反射膜設(shè)置部512與電極配置槽511同軸，并形成為直徑尺寸比電極配置槽511小的大致圓柱狀，其頂部成為反射膜設(shè)置面。在該反射膜設(shè)置面上設(shè)置有固定反射膜54。
[0070]作為優(yōu)選例的固定反射膜54，使用將高折射層和低折射層交替地層壓多層的電介質(zhì)多層膜。例如，作為高折射層使用TiO2，作為低折射層，使用Si02?；蛘?，也可以使用Ag等的單層金屬膜，也可以使用Ag合金等的單層合金膜?；蛘撸部梢允褂迷陔娊橘|(zhì)多層膜上層壓有金屬膜(或合金膜)的反射膜、或在金屬膜(或者合金膜)上層壓有電介質(zhì)多層膜的反射膜、層壓有單層的折射層(TiO2或者SiO2等)和金屬膜(或者合金膜)的反射膜等。
[0071]如圖3所示，布線引出槽511B從包圍固定反射膜54的環(huán)狀形狀朝向固定基板51的頂點(diǎn)C3而形成為直線狀。在布線引出槽51IB上，形成有用于向固定電極561供給驅(qū)動(dòng)電壓的布線(未圖示)。該布線通過配置于頂點(diǎn)C3附近的銀點(diǎn)等導(dǎo)電部件(未圖示)與可動(dòng)基板52 —側(cè)電連接。
[0072]返回圖4。
[0073]固定基板51的表面(蓋板620 —側(cè)的面)是光入射面。作為優(yōu)選例，在光入射面上形成有反射防止膜(未圖示)。反射防止膜為交替地層壓有低折射率膜和高折射率膜的結(jié)構(gòu)。通過設(shè)置反射防止膜，能夠使可見光在光入射面上的反射率下降，從而使透過率增大。
[0074]并且，在反射防止膜上設(shè)置有由Cr等光反射性材料構(gòu)成的光圈515。在俯視觀察中光圈515形成為圓環(huán)狀,其環(huán)內(nèi)徑被設(shè)定為用于通過固定反射膜54 (可動(dòng)反射膜55)而使光干涉的有效直徑。即，光圈515作為減少射入殼體601的入射光的光圈而起作用。
[0075]而且，在固定基板51的背面(可動(dòng)基板52—側(cè)的面)上的、除了電極配置槽511、反射膜設(shè)置部512以及布線引出槽511B以外的部分上，設(shè)有第一接合膜531。通過該第一接合膜531與設(shè)于可動(dòng)基板52上的第二接合膜532接合,固定基板51與可動(dòng)基板52接合。
[0076]2-2.可動(dòng)基板的結(jié)構(gòu)
[0077]可動(dòng)基板雖然在優(yōu)選例中使用了比固定基板51薄的基板，但也可以是相同的厚度?？蓜?dòng)基板52具有:以平面中心點(diǎn)O為中心的圓形狀的可動(dòng)部521、由形成有劃分可動(dòng)部521的槽的薄壁部構(gòu)成的保持部522、以及保持部522的外側(cè)的基板外周部525等。
[0078]如圖4所示，通過對(duì)一定厚度的可動(dòng)基板52的背面(基底基板610 —側(cè)的面)形成(在俯視觀察中)環(huán)狀的槽，從而劃分形成中心的可動(dòng)部521和外側(cè)的保持部522。此外，在干涉濾波器5中，俯視觀察中保持部522以內(nèi)(被包圍的)的區(qū)域也稱為“濾波器區(qū)域F”。另外，在可動(dòng)部521的背面上，也可以形成與固定基板51—側(cè)同樣的反射防止膜。[0079]在可動(dòng)部521的表面(固定基板51 —側(cè)的面)上，設(shè)有可動(dòng)反射膜55以及可動(dòng)電極 562。
[0080]可動(dòng)反射膜55隔著規(guī)定間隙Gl與固定反射膜54相對(duì)被設(shè)于可動(dòng)部521的俯視觀察的中心部上?？蓜?dòng)反射膜55是與上述固定反射膜54同樣的反射膜。
[0081]可動(dòng)電極562隔著電極間間隙G2與固定電極561相對(duì)，并形成為與固定電極561同樣的環(huán)狀。
[0082]另外，在可動(dòng)基板52上，形成有連接可動(dòng)電極562與伸出區(qū)域60所對(duì)應(yīng)的連接端子61的布線564。
[0083]如上所述，含有可動(dòng)反射膜55的可動(dòng)部521由包圍其周圍的薄壁的保持部522支撐。由此，保持部522作為隔膜(振動(dòng)板)而起作用，能夠使整個(gè)可動(dòng)部521上下位移。具體而言，薄壁的保持部522由于比可動(dòng)部521更易于撓曲，因而通過微小的靜電引力就可以使整個(gè)可動(dòng)部521向固定基板51 —側(cè)位移?？蓜?dòng)部521由于比保持部522厚、剛性高，因而即使在由于靜電引力而被向固定基板51 —側(cè)拉伸的情況下，也幾乎不會(huì)發(fā)生形狀變化。因此，設(shè)于可動(dòng)部521上的可動(dòng)反射膜55也不會(huì)產(chǎn)生撓曲，從而可以使固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55始終維持為大致平行狀態(tài)。此外，在此雖然例示出狀的保持部522，但不限于此，也可以是設(shè)有例如以平面中心點(diǎn)O為中心，以等角度間隔配置的梁狀保持部的結(jié)構(gòu)等。
[0084]在此，在可動(dòng)基板52的背面上，形成有作為具有本實(shí)施方式的特點(diǎn)的結(jié)構(gòu)之一的襯墊部 65，66 (67)。
[0085]如圖3所示，在俯視觀察中，襯墊部65在伸出區(qū)域60與保持部522之間，形成為軌道形狀(繭形)。具體而言，以軌道形狀的長(zhǎng)度方向與伸出區(qū)域60的延伸方向一致的方式而形成，長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度比可動(dòng)反射膜55的直徑短。另外，軌道形狀的寬度方向的長(zhǎng)度(寬度)與伸出區(qū)域60的突出長(zhǎng)度(寬度)大致相同。
[0086]襯墊部66在可動(dòng)基板52的頂點(diǎn)Cl附近形成為圓形。襯墊部67在可動(dòng)基板52的頂點(diǎn)C2附近形成為圓形。襯墊部66、67的直徑比可動(dòng)反射膜55的直徑小，為與襯墊部65的寬度大致相同的尺寸。
[0087]襯墊部65、66、67分別配置在相當(dāng)于包圍可動(dòng)反射膜55的虛擬三角形(未圖示)的3個(gè)頂點(diǎn)的位置上。另外，襯墊部65、66、67的高度設(shè)定為相同，其高度設(shè)定為比后述的固定部件64的高度(厚度)低。
[0088]如圖4所示，襯墊部66 (67)形成為頂角為鈍角的圓錐形狀。襯墊部65雖然在截面上也形成為頂角為鈍角的圓錐形狀，但具有脊形，該脊形具有縱深。換言之，呈將三棱柱放倒的形狀。
[0089]襯墊部65、66、67是加工可動(dòng)基板52的背面而形成的突起部，是可動(dòng)基板52的一部分。作為優(yōu)選例，采用光刻法而形成。以襯墊部66為例進(jìn)行說明。首先，在可動(dòng)基板52的形成襯墊部的部分上，涂布在俯視觀察中為圓形(圓板)形狀的抗蝕劑。接著，通過將該抗蝕劑作為掩膜使用氫氟酸等氟類溶劑進(jìn)行各向同性蝕刻，從而形成圓錐形的襯墊部66。或者，也可以在使用灰度掩膜形成立體的圓錐形的抗蝕劑之后，通過進(jìn)行各向異性干式蝕刻，將抗蝕劑形狀轉(zhuǎn)印至基板上而形成襯墊部66。或者，也可以采用切削加工從可動(dòng)基板52削出襯墊部66。
[0090]3.殼體的結(jié)構(gòu)[0091]返回圖2。
[0092]接著，對(duì)殼體601的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
[0093]基底基板610是具有在俯視觀察中的大致中央處由圓孔構(gòu)成的開口部611的長(zhǎng)方形狀的基板。基底基板610作為優(yōu)選例使用單層陶瓷基板。
[0094]在基底基板610上搭載有覆蓋開口部611并使可動(dòng)基板52在下的狀態(tài)的干涉濾波器5。此時(shí)，干涉濾波器5的干涉濾波器區(qū)域F的中心與開口部611的中心一致。
[0095]可動(dòng)基板52在一處固定于基底基板610。具體而言，通過配置于濾波器區(qū)域F在俯視觀察中的外側(cè)的一處的固定部件64固定。
[0096]如圖3所示，固定部件64形成于與伸出區(qū)域60重疊的位置。具體而言，以在伸出區(qū)域60上與形成有6個(gè)連接端子61的區(qū)域重疊的方式而形成。換言之，形成于從伸出區(qū)域60的背面支撐形成有多個(gè)連接端子61的區(qū)域的位置。
[0097]另外，作為優(yōu)選例中的固定部件64，使用了熱固化型的銀漿。具體而言，在基底基板610上使用點(diǎn)膠機(jī)涂布銀漿，搭載干涉濾波器5之后，通過加熱硬化形成固定部件64。此夕卜，固定部件64的材料并非限于銀漿，只要是無機(jī)粘合劑即可，也可以使用例如低熔點(diǎn)玻璃來粘結(jié)。此時(shí)，在涂布了含有低熔點(diǎn)玻璃粉體(玻璃料)的漿體之后，搭載干涉濾波器5，再加熱硬化(燒成)。
[0098]返回圖2。
[0099]在此，如由圖2的圓包圍的區(qū)域J部的放大圖所示，固定部件64的高度(厚度)設(shè)定為高度tl。該高度tl設(shè)定為比襯墊65的高度t2高。在設(shè)計(jì)中心值中，雖然以3個(gè)襯墊部65、66、67為稍微浮動(dòng)的狀態(tài)的方式形成固定部件64,但是由于制造偏差,一部分的襯墊部也可以抵接于基底基板610。即使是該結(jié)構(gòu)，由于襯墊部65、66、67與基底基板610之間未被固定(粘結(jié))，因而能夠獲得受到撞擊時(shí)的緩沖功能。
[0100]蓋板620具備:接合部624，與基底基板610的周邊部接合；側(cè)壁部625，從蓋板接合部624連續(xù)、并向與基底基板610分離的方向立起；以及頂部626，從側(cè)壁部625連續(xù)、并覆蓋干涉濾波器5的固定基板51 —側(cè)。在頂部626上形成在俯視觀察中的大致中央處由圓孔構(gòu)成的開口部621。開口部621的中心與干涉濾波器5的濾波器區(qū)域F的中心一致。
[0101]蓋板620的材料，作為優(yōu)選例而采用可伐合金。此外，并非限于可伐合金，也可以使用42合金、鋁、銅、硬鋁等金屬或含有這些中的任一種的合金。
[0102]蓋板620作為優(yōu)選例通過激光焊接將接合部624固定于基底基板610的周邊部。此外，并非限于激光焊接，也可以采用使用銀焊錫等的焊接和使用共晶合金層的密封等接合方法。
[0103]另外,如上所述,頂部626的開口部621從表面一側(cè)(外側(cè))由玻璃基板640密閉。玻璃基板640在俯視觀察中呈覆蓋開口部621的大小的大致正方形(參照?qǐng)D1)。玻璃基板640的材料作為優(yōu)選例而采用硼硅酸鹽玻璃。此外，并非限于此，也可以使用蘇打玻璃基板、水晶基板、石英基板、鍺基板等。玻璃基板640通過使用低熔點(diǎn)玻璃而被接合于蓋板620。
[0104]同樣地，基底基板610的開口部611也從外側(cè)(背面?zhèn)?由玻璃基板630密閉。玻璃基板630的尺寸、材料以及對(duì)基底基板610的接合劑等都與玻璃基板640相同。
[0105]3-1.優(yōu)選例中的尺寸關(guān)系
[0106]在此，對(duì)優(yōu)選例中的各部的尺寸關(guān)系進(jìn)行說明。[0107]首先，干涉濾波器5的平面尺寸形采用長(zhǎng)邊方向大約為11_、短邊方向大約為9_的長(zhǎng)方形。固定基板51的厚度為大約1000 μ m?？蓜?dòng)基板52的厚度為大約600 μ m。
[0108]基底基板610的平面尺寸設(shè)定為比干涉濾波器5大?；谆?10的厚度為大約400 μ m0
[0109]蓋板620的平面尺寸與基底基板610等同。蓋板620的頂部626的厚度為大約300 μ m0
[0110]干涉濾波器5相對(duì)于基底基板610的安裝高度大約為30 μ m。換言之，固定部件64的高度tl為大約30 μ m。另外，干涉濾波器5 (固定基板51)與蓋板620的頂部626的間隙也為大約30 μ m。
[0111]襯墊部65、66、67的高度t2為大約20μπι。此外，并非限于這些尺寸，只要是襯墊部的高度比固定部件低等、滿足上述的必要條件的尺寸關(guān)系即可。
[0112]4.光學(xué)濾波器裝置的制造方法
[0113]在此，對(duì)光學(xué)濾波器裝置600的制造方法進(jìn)行說明。
[0114]作為準(zhǔn)備工序，在基底基板610為單件的狀態(tài)之下，預(yù)先接合玻璃基板630。同樣地，在蓋板620為單件的狀態(tài)下，預(yù)先接合玻璃基板640。另外，干涉濾波器5也預(yù)先使在其他工序中完成。
[0115]首先，在基底基板610上安裝(搭載)干涉濾波器5。具體而言，在基底基板610上的、對(duì)應(yīng)于伸出區(qū)域60的位置上涂布銀漿，搭載干涉濾波器5，然后通過加熱使固定部件64固化而安裝。然后，使用金線將作為伸出區(qū)域60的第一端子的連接端子61與作為基底基板610上的第二端子的端子62之間球焊。此外，接合線63的材料也可以使用鋁、銅。另外，也可以進(jìn)行楔焊。
[0116]然后，在減壓環(huán)境下，將安裝有干涉濾波器5的基底基板610與蓋板620接合。作為優(yōu)選例，通過激光焊接進(jìn)行接合。
[0117]如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的光學(xué)濾波器裝置600，能夠得到以下的效果:
[0118]在光學(xué)濾波器裝置600中，干涉濾波器5由配置于濾波器區(qū)域F的外側(cè)的一處的固定部件64固定于基底基板610上。由此,干涉濾波器5的配置固定部件64的部分(端部)以外的周邊端成為浮動(dòng)狀態(tài)(自由端)，因而即使與基底基板610存在熱膨脹系數(shù)差，也能夠抑制干涉濾波器5 (濾波器區(qū)域F)的翹曲。具體而言，在將固定部件配置于干涉濾波器5 (可動(dòng)基板)與基底基板610之間的整個(gè)面上時(shí)，由于由兩者的熱膨脹系數(shù)差所產(chǎn)生的伸縮應(yīng)力無處釋放，而導(dǎo)致干涉濾波器5自身產(chǎn)生翹曲。另外，在作為固定部件而使用粘合劑時(shí)，由使其固化時(shí)的收縮所產(chǎn)生的應(yīng)力作用于整個(gè)可動(dòng)基板52，而導(dǎo)致產(chǎn)生翹曲。對(duì)此，通過采用在長(zhǎng)方形的干涉濾波器5的一個(gè)短邊(伸出區(qū)域60)配置固定部件64的結(jié)構(gòu)，其他三邊成為浮動(dòng)狀態(tài)(自由端)，因而即使與基底基板610存在熱膨脹系數(shù)差，也能夠使起因于該差值的伸縮應(yīng)力在自由端側(cè)釋放。并且，即使是使用粘合劑的情況，其收縮應(yīng)力的影響也被限于形成有固定部件64的一處，不會(huì)波及其他區(qū)域。由此，能夠抑制干涉濾波器5的翹曲。因此，即使在存在由于溫度變化或粘合劑而產(chǎn)生收縮的情況下，也能夠確保所期望的光學(xué)特性。
[0119]因此，能夠提供具有穩(wěn)定的光學(xué)特性的光學(xué)濾波器裝置600。
[0120]并且，在濾波器區(qū)域F的外側(cè)且與固定部件64分離的部分上，形成有比固定部件64的高度低的襯墊部65、66、67。如上所述，由于干涉濾波器5中的、由固定部件64固定的一端以外的端部(自由端)成為浮動(dòng)狀態(tài)，因而在殼體601受到撞擊時(shí)，干涉濾波器5以固定部件64作為支點(diǎn)，在殼體內(nèi)部的高度方向移動(dòng)。該移動(dòng)劇烈時(shí)，有超過固定部件64的固定(粘結(jié))強(qiáng)度，導(dǎo)致固定部件64發(fā)生剝離或龜裂之憂，而根據(jù)本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)，在撞擊時(shí)，首先襯墊部65、66、67抵接于基底基板610而作為止動(dòng)器起作用。因此，即使受到撞擊的情況下，也能夠抑制固定部件64發(fā)生剝離或龜裂。尤其是，如在優(yōu)選例的尺寸示例中說明的那樣，由于干涉濾波器5的平面尺寸為大約10_見方這樣大，因而受到撞擊時(shí)的慣性力矩也變大，過負(fù)荷易于施加于固定部件64，而通過該止動(dòng)器功能，能夠抑制固定部件64發(fā)生剝離或龜裂。并且，由于3個(gè)襯墊部分別配置于在俯視觀察中包圍濾波器區(qū)域F的三角形的3個(gè)頂點(diǎn)附近，因而能夠在撞擊時(shí)平衡良好地支撐干涉濾波器5。
[0121]因此，能夠提供具有成分的耐撞擊性的光學(xué)濾波器裝置600。
[0122]另外，固定部件64以與多個(gè)連接端子61重疊的方式配置。具體而言，形成于從伸出區(qū)域60的背面支撐形成有多個(gè)連接端子61的區(qū)域的位置。由此能夠提高引線接合時(shí)的制造效率以及可靠性。具體而言，在將多個(gè)連接端子61與基底基板610上的端子62之間引線接合時(shí)，雖然對(duì)伸出區(qū)域60施加熱或超聲波、壓力等，但能夠由與基底基板610—體化的固定部件64可靠地阻止這些外部因素。并且，形成于固定部件64的附近的襯墊部65也與固定部件64 —起發(fā)揮提供引線接合時(shí)的支撐的功能。
[0123]并且，在優(yōu)選例中，在殼體601內(nèi)的各部的接合中使用了無機(jī)物。具體而言，固定部件64使用銀漿，電連接使用接合線63，表里的玻璃基板630、640使用低熔點(diǎn)玻璃。另外，蓋板620通過激光焊接而固定。
[0124]通過采用由這些無機(jī)物進(jìn)行的接合，能夠使殼體601內(nèi)部中的氣體放出(排氣)比使用有機(jī)物的粘合劑的情況減少，因而可以確保充分的真空度，從而能夠確保干涉濾波器5的可靠性。
[0125]因此，能夠提供具有穩(wěn)定的光學(xué)特性的光學(xué)濾波器裝置600。
[0126]實(shí)施方式二
[0127]以下，參照附圖對(duì)實(shí)施方式二所涉及的光學(xué)濾波器裝置進(jìn)行說明。
[0128]光學(xué)濾波器裝置的概要
[0129]圖5是實(shí)施方式二所涉及的光學(xué)濾波器裝置的側(cè)截面圖，對(duì)應(yīng)于圖2。在此，關(guān)于本實(shí)施方式所涉及的光學(xué)濾波器裝置605的概要，以圖5為主體，適當(dāng)穿插圖3而進(jìn)行說明。此外，在說明時(shí)，對(duì)于與上述實(shí)施方式一相同的結(jié)構(gòu)部位賦予相同的符號(hào)，并省略重復(fù)的說明。
[0130]在本實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置605中，在干涉濾波器5的表面一側(cè)也形成有襯墊部，這一點(diǎn)與實(shí)施方式一不同。其他的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式一的光學(xué)濾波器裝置600相同。
[0131]如圖5所示，在本實(shí)施方式的干涉濾波器5上，除了在實(shí)施方式一中說明的背面(可動(dòng)基板52 —側(cè))的襯墊部65、66、(67)以外,在表面(固定基板51 —側(cè))也形成有襯墊部 75、76、(77)。
[0132]如圖3所示，俯視觀察中的襯墊部75、76、77的位置以及形狀與背面的襯墊部65、66、67相同。換言之，表面的襯墊部75、76、77與背面的襯墊部65、66、67形成于在俯視觀察
中重疊的位置。[0133]返回圖5。
[0134]襯墊部75、76、(77)是通過加工固定基板51的表面而形成的突起部，是固定基板51的一部分。襯墊部75、76、(77)的截面形狀也與背面的襯墊部65、66、(67)相同。具體而言，襯墊部76 (77)形成為頂角為鈍角的圓錐形狀。襯墊部75雖然在截面上也形成為頂角為鈍角的圓錐形狀，但具有脊形，該脊形具有縱深。換言之，呈將三棱柱放倒的形狀。另外，襯墊部75、76、(77)的形成方法也與在實(shí)施方式一中的說明相同。此外，在固定基板51(干涉濾波器5)的表面未設(shè)有固定部件。
[0135]襯墊部75、76、(77)的高度設(shè)定為比干涉濾波器5 (固定基板51)與蓋板620的頂部626的間隙低。
[0136]優(yōu)選例中的尺寸關(guān)系
[0137]在此，對(duì)優(yōu)選例中的各部的尺寸關(guān)系進(jìn)行說明。
[0138]首先，干涉濾波器5的背面一側(cè)的尺寸關(guān)系在實(shí)施方式I中進(jìn)行的說明相同。另外，基底基板610、蓋板620等的平面尺寸和厚度，也與在實(shí)施方式一中的說明相同。
[0139]干涉濾波器5 (固定基板51)與蓋板620的頂部626的間隙也形成為與在實(shí)施方式I中的說明相同的大約30 μ m。
[0140]而且，襯墊部75、76、(77)的高度形成為大約20 μ m。此外，并非限于這些尺寸，只要成為滿足上述的必要 條件的尺寸關(guān)系即可。
[0141]如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的光學(xué)濾波器裝置605，除了實(shí)施方式一中的效果以外，還能夠得到以下的效果:
[0142]本實(shí)施方式的干涉濾波器5除了具備背面(基底基板610)—側(cè)的襯墊部65、66、67以外，還具備表面(蓋板620) —側(cè)的襯墊部75、76、77。由此，即使在殼體601受到撞擊,干涉濾波器5以固定部件64為支點(diǎn)而在殼體內(nèi)部的高度方向移動(dòng)的情況下，同樣，表面的襯墊部75、76、77作為對(duì)蓋板620的止動(dòng)器，背面的襯墊部65、66、67作為對(duì)基底基板610的止動(dòng)器而分別起作用。
[0143]因此，即使在受到撞擊的情況下，也能夠更可靠地抑制固定部件64發(fā)生剝離或龜
[0144]因此，能夠提供具有充分的耐撞擊性的光學(xué)濾波器裝置605。
[0145]電子設(shè)備I
[0146]圖6是表示測(cè)色裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的方框圖。
[0147]作為電子設(shè)備的測(cè)色裝置I具備:向檢查對(duì)象X射出光的光源裝置2、測(cè)色傳感器3以及控制測(cè)色裝置I的整體動(dòng)作的控制裝置4。而且，該測(cè)色裝置I是如下的裝置:使從光源裝置2射出的光被檢查對(duì)象X反射，由測(cè)色傳感器3接收被反射的檢查對(duì)象光，根據(jù)從測(cè)色傳感器3輸出的檢測(cè)信號(hào)來分析并測(cè)定檢查對(duì)象光的色度即檢查對(duì)象X的顏色。
[0148]光源裝置的結(jié)構(gòu)
[0149]光源裝置2具備光源21和多個(gè)透鏡22 (在圖6中僅記載I個(gè))，對(duì)檢查對(duì)象X射出白色光。另外，在多個(gè)透鏡22中，可以含有準(zhǔn)直透鏡，在這種情況下，光源裝置2通過準(zhǔn)直透鏡將從光源21射出的白色光變?yōu)槠叫泄?，再從未圖中的投射透鏡向檢查對(duì)象X射出。此外，在本實(shí)施方式中，雖然例示出具備光源裝置2的測(cè)色裝置1，但是，例如在檢查對(duì)象X為液晶面板等發(fā)光部件時(shí)，也可以采用未設(shè)置光源裝置2的結(jié)構(gòu)。[0150]測(cè)色傳感器的結(jié)構(gòu)
[0151]測(cè)色傳感器3構(gòu)成本實(shí)施方式的光學(xué)模塊，具備上述實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600 (605)。如圖6所示，該測(cè)色傳感器3具備:光學(xué)濾波器裝置600;檢測(cè)部31，接收透過光學(xué)濾波器裝置600的干涉濾波器5的光；以及電壓控制部32，使在干涉濾波器5中透過的光的波長(zhǎng)可變。
[0152]另外，測(cè)色傳感器3在與干涉濾波器5相對(duì)的位置上具備未圖示的入射光學(xué)透鏡，該入射光學(xué)透鏡將被檢查對(duì)象X反射的反射光(檢查對(duì)象光)導(dǎo)入內(nèi)部。然后，該測(cè)色傳感器3通過光學(xué)部濾波器裝置600內(nèi)的干涉濾波器5，將從入射光學(xué)透鏡射入的檢查對(duì)象光中的規(guī)定波長(zhǎng)的光分光，再由檢測(cè)部31接收分光后的光。
[0153]檢測(cè)部31由多個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件構(gòu)成，生成對(duì)應(yīng)于光接收量的電信號(hào)。在此，檢測(cè)部31例如通過電路基板311與控制裝置4連接，將生成的電信號(hào)作為光接收信號(hào)而輸出至控制裝置4。
[0154]另外，在該電路基板311上連接有形成于基底基板610的外側(cè)面上的端子部(未圖示)，經(jīng)由形成于電路基板311上的電路而與電壓控制部32連接。
[0155]在這種結(jié)構(gòu)中，能夠經(jīng)由電路基板311而使光學(xué)濾波器裝置600以及檢測(cè)部31 —體構(gòu)成，從而能夠簡(jiǎn)化測(cè)色傳感器3的結(jié)構(gòu)。
[0156]電壓控制部32經(jīng)由電路基板311與光學(xué)濾波器裝置600的外側(cè)端子部616連接。于是，電壓控制部32通過根據(jù)從控制裝置4輸入的控制信號(hào)向固定電極墊563P和可動(dòng)電極墊564P之間施加規(guī)定的步進(jìn)電壓，從而使靜電致動(dòng)器56驅(qū)動(dòng)。由此，通過在電極間間隙G2中產(chǎn)生靜電引力，使保持部522撓曲，從而使可動(dòng)部521向固定基板51—側(cè)位移，可以將反射膜間間隙Gl設(shè)定為所期望的尺寸。
[0157]控制裝置的結(jié)構(gòu)
[0158]控制裝置4控制測(cè)色裝置I的整體動(dòng)作。
[0159]作為該控制裝置4，能夠使用例如通用個(gè)人電腦和便攜式信息終端，除此以外，還可以使用其他測(cè)色專用電腦等。
[0160]而且，如圖6所示，控制裝置4構(gòu)成為具備光源控制部41、測(cè)色傳感器控制部42以及測(cè)色處理部43等。
[0161]光源控制部41與光源裝置2連接。然后，光源控制部41例如根據(jù)用戶的設(shè)定輸入，將規(guī)定的控制信號(hào)輸出至光源裝置2，使規(guī)定的明亮度的白色光從光源裝置2射出。
[0162]測(cè)色傳感器控制部42與測(cè)色傳感器3連接。然后，測(cè)色傳感器42根據(jù)例如用戶的設(shè)定輸入設(shè)定由測(cè)色傳感器3接收的光的波長(zhǎng)，并將旨在檢測(cè)該波長(zhǎng)的光的光接收量的控制信號(hào)輸出至測(cè)色傳感器3。由此，測(cè)色傳感器3的電壓控制部32根據(jù)控制信號(hào)，以僅使用戶所期望的光的波長(zhǎng)透過的方式設(shè)定向靜電致動(dòng)器56施加的電壓。
[0163]測(cè)色處理部43根據(jù)由檢測(cè)部31檢測(cè)出的光接收量，分析檢查對(duì)象X的色度。
[0164]實(shí)施方式的作用效果
[0165]本實(shí)施方式的測(cè)色裝置I具備上述實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600。如上所述，根據(jù)光學(xué)濾波器裝置600，即使使用配置于一處的固定部件64來固定可動(dòng)基板52和基底基板610，由熱膨脹系數(shù)差所產(chǎn)生的應(yīng)力等也難以作用于可動(dòng)基板52或者固定基板51。因此，能夠抑制固定基板51的固定反射膜54或者可動(dòng)基板52的可動(dòng)反射膜55的翹曲。從而，能夠防止由這些反射膜54、55的翹曲所引起的干涉濾波器5的光學(xué)特性的變化。另外，光學(xué)濾波器裝置600由于內(nèi)部空間的氣密性高，沒有水粒等異物的侵入，因而也能夠防止由這些異物引起的干涉濾波器5的光學(xué)特性的變化。因此，在測(cè)色傳感器3中，也能夠利用檢測(cè)部31檢測(cè)以高分辨率取出的目標(biāo)波長(zhǎng)的光，并能夠檢測(cè)相對(duì)于所期望的目標(biāo)波長(zhǎng)的光的準(zhǔn)確的光量。由此，測(cè)色裝置I能夠?qū)z查對(duì)象X進(jìn)行準(zhǔn)確的顏色分析。
[0166]另外，檢測(cè)部31與基底基板610相對(duì)設(shè)置，該檢測(cè)部31以及設(shè)于基底基板610的基底外側(cè)面上的端子部與一個(gè)電路基板311連接。S卩，由于光學(xué)濾波器裝置600的基底基板610配置于光射出一側(cè)，因而能夠與檢測(cè)從光學(xué)濾波器裝置600射出的光的檢測(cè)部31接近而配置。因此，如上所述，通過在一個(gè)電路基板311上進(jìn)行布線，能夠簡(jiǎn)化布線結(jié)構(gòu)，基板數(shù)量也能夠削減。
[0167]另外，可以將電壓控制部32配置于電路基板311上，這種情況下，能夠謀求進(jìn)一步的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化。
[0168]此外，本發(fā)明并非限于上述實(shí)施方式，在能夠達(dá)到本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)的變形、改良等都包含于本實(shí)施方式中。
[0169]例如，在實(shí)施方式一中，通過在真空中接合基底基板610和蓋板620而制造內(nèi)部空間維持為真空狀態(tài)的光學(xué)濾波器裝置600，但不限于此。例如，在蓋板或者基底基板上預(yù)先形成連通內(nèi)部空間與外部的孔部?？梢栽诖髿鈮合聦⑸w板與基底基板接合之后，從內(nèi)部空間抽取空氣而形成真空狀態(tài)，再用密封部件密封該孔部。作為密封部件，例如可以列舉出金屬球。在通過金屬球進(jìn)行密封時(shí)，優(yōu)選，在使金屬球嵌入孔部?jī)?nèi)之后，在孔部?jī)?nèi)使其高溫化而使金屬球焊接在孔部的內(nèi)壁上。
[0170]另外，作為容納于光學(xué)濾波器裝置600中的干涉濾波器5，并不限定于上述實(shí)施方式所示的示例。上述實(shí)施方式示出干涉濾波器5通過向固定電極561和可動(dòng)電極562施加電壓，利用靜電引力而使反射膜間間隙Gl的大小可變的類型。除了這種類型以外，例如，作為變更反射膜間間隙Gl的間隙變更部，也可以采用使用配置第一感應(yīng)線圈代替固定電極561，配置第二感應(yīng)線圈或者永久磁鐵代替可動(dòng)電極562的感應(yīng)致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)。
[0171]并且，也可以采用使用壓電致動(dòng)器代替靜電致動(dòng)器56的結(jié)構(gòu)。在該情況下，例如通過使下部電極層、壓電膜以及上部電極層層壓配置于保持部522上，再將施加于下部電極層與上部電極層之間的電壓作為輸入值并使其可變，從而能夠使壓電膜伸縮而使保持部522撓曲。
[0172]另外，作為容納于內(nèi)部空間的干涉濾波器例示出干涉濾波器5，但也可以是例如間隙Gl的大小被固定的干涉濾波器。在該情況下，無需通過蝕刻形成用于使可動(dòng)部521撓曲的保持部522或者用于設(shè)置固定電極561的電極配置槽511等，能夠簡(jiǎn)化干涉濾波器的結(jié)構(gòu)。另外，由于間隙Gl的大小固定，因而沒有響應(yīng)性的問題，無需將內(nèi)部空間維持為真空，能夠?qū)崿F(xiàn)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化、提高生產(chǎn)率。但是，即使在該情況下，例如在溫度變化大的場(chǎng)所下使用光濾波器裝置600時(shí)，由于內(nèi)部空間內(nèi)的空氣膨脹等，基底側(cè)玻璃基板630或者蓋板側(cè)玻璃基板640有可能受到應(yīng)力而撓曲。因此，使用這種干涉濾波器的情況下，也優(yōu)選將內(nèi)部空間維持為真空或者減壓狀態(tài)。
[0173]另外，雖然示出蓋板620具備蓋板接合部624、側(cè)壁部625以及頂部626，并且頂部626相對(duì)于基底基板610平行的結(jié)構(gòu)，但不限于此。作為蓋板620的形狀，只要能夠在與基底基板610之間形成可以容納干涉濾波器5的內(nèi)部空間，則可以是任意的形狀，例如頂部626也可以形成為曲面形狀。但是，可以認(rèn)為這種情況下制造會(huì)變得繁雜。這是因?yàn)椋?，為了維持內(nèi)部空間的氣密性，需要將與蓋板620接合的蓋板側(cè)玻璃基板640按照蓋板620而形成為曲面狀，并且只有閉塞開口部621的部分形成為平面狀，以免產(chǎn)生折射等。因此，優(yōu)選使用如上述實(shí)施方式一所不頂部626與基底基板610平行的蓋板620。
[0174]在上述實(shí)施方式中示出基底側(cè)玻璃基板630和蓋板側(cè)玻璃基板640接合于殼體601的表背面的示例，但不限于此。例如，也可以采用接合于殼體601的內(nèi)部空間一側(cè)的結(jié)構(gòu)。
[0175]另外，作為干涉濾波器，在將使由第一反射膜和第二反射膜多重干涉后的光反射的反射型濾波器容納于內(nèi)部空間的情況下，也可以采用不設(shè)置開口部611和基底側(cè)玻璃基板630的結(jié)構(gòu)。
[0176]在該情況下，通過采用與光學(xué)濾波器裝置600的開口部621相對(duì)而設(shè)置例如分束器等，將向光學(xué)濾波器裝置600照射的入射光與從光學(xué)濾波器裝置600射出的射出光分離的結(jié)構(gòu)，能夠使分離后的射出光由檢測(cè)部檢測(cè)出。
[0177]另外，作為本實(shí)施方式的電子設(shè)備例示出測(cè)色裝置1，但是除此之外，還可以根據(jù)各種領(lǐng)域應(yīng)用本實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置。
[0178]例如能夠用作用于檢測(cè)特定物質(zhì)的存在的基于光的系統(tǒng)。作為這種系統(tǒng)，例如能夠例示出使用了本實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置所具備的干涉濾波器5的、采用分光測(cè)定方式高靈敏度地檢測(cè)特定氣體的車載用漏氣檢測(cè)器和呼吸檢查用的光聲稀有氣體檢測(cè)器等氣體檢測(cè)裝置。
[0179]以下根據(jù)附圖對(duì)這種氣體檢測(cè)裝置的一個(gè)示例進(jìn)行說明。
[0180]電子設(shè)備2
[0181]圖7是表示具備干涉濾波器的氣體檢測(cè)裝置的一個(gè)示例的概略圖。
[0182]圖8是表示圖7的氣體檢測(cè)裝置的控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的方框圖。
[0183]作為電子設(shè)備的氣體檢測(cè)裝置100構(gòu)成為具備傳感器芯片110、流道120以及主體部130，其中該流道120具有吸引口 120A、吸引流道120B、排出流道120C以及排出口 120D。
[0184]主體部130由具有可裝卸流道120的開口的傳感器部蓋131、排出單元133、殼體134、檢測(cè)裝置、處理檢測(cè)出的信號(hào)并控制檢測(cè)部的控制部138、以及供電的供電部139等構(gòu)成，其中該檢測(cè)裝置包括光學(xué)部135、濾波器136、光學(xué)濾波器裝置600 (605)以及光接收元件137 (檢測(cè)部)等。另外，光學(xué)部135由射出光的光源135A ;分光器135B以及透鏡135C、135DU35E構(gòu)成，其中該分光器135B將從光源135A射入的光向傳感器芯片110—側(cè)反射，并使從傳感器芯片一側(cè)射入的光透過至光接收元件137 —側(cè)。
[0185]另外，如圖8所示，在氣體檢測(cè)裝置100的表面上設(shè)置有操作面板140、顯示部141、用于與外部的接口的連接部142、以及供電部139。當(dāng)供電部139為二次電池時(shí)，也可以具備用于充電的連接部143。
[0186]并且，如圖8所示，氣體檢測(cè)裝置100的控制部138具備:信號(hào)處理部144，由CPU等構(gòu)成；光源驅(qū)動(dòng)器電路145，用于控制光源135A ;電壓控制部146，用于控制光學(xué)濾波器裝置600的干涉濾波器5 ;光接收電路147，接收來自光接收元件137的信號(hào)；傳感器芯片檢測(cè)電路149，讀取傳感器芯片110的代碼并接收來自傳感器芯片檢測(cè)器148的信號(hào)，其中該傳感器芯片檢測(cè)器148檢測(cè)有無傳感器芯片110 ;以及排出驅(qū)動(dòng)器電路150，控制排出單元133 ;等。
[0187]接下來，以下對(duì)如上所述的氣體檢測(cè)裝置100的動(dòng)作進(jìn)行說明。
[0188]在主體部130的上部的傳感器部蓋131的內(nèi)部設(shè)有傳感器芯片檢測(cè)器148，由該傳感器芯片檢測(cè)器148檢測(cè)有無傳感器芯片110。信號(hào)處理部144如果檢測(cè)到從傳感器芯片檢測(cè)器148發(fā)出的檢測(cè)信號(hào)，則判斷為處于安裝有傳感器芯片110的狀態(tài)，并向顯示部141發(fā)出使其顯示旨在表示能實(shí)施可以進(jìn)行檢測(cè)動(dòng)作的顯示信號(hào)。
[0189]然后，例如由用戶操作操作面板140，如果旨在開始檢測(cè)處理的指示信號(hào)從操作面板140向信號(hào)處理部144輸出，則首先信號(hào)處理部144將光源動(dòng)作的信號(hào)輸出至光源驅(qū)動(dòng)器電路145以使光源135A工作。如果光源135A被驅(qū)動(dòng)，則從光源135A射出單一波長(zhǎng)且直線偏光穩(wěn)定的激光。另外，在光源135A中內(nèi)置有溫度傳感器和光量傳感器,其信息被向信號(hào)處理部144輸出。然后，信號(hào)處理部144根據(jù)從光源135A輸入的溫度和光量，判斷為光源135A正在穩(wěn)定地工作時(shí)，則控制排出驅(qū)動(dòng)器電路150使排出單元133工作。由此，含有應(yīng)該檢測(cè)的目標(biāo)物質(zhì)(氣體分子)的氣體試樣從吸引口 120A被導(dǎo)向吸引流道120B、傳感器芯片110內(nèi)、排出流道120C、排出口 120D。此外，在吸引口 120A設(shè)置有除塵過濾器120A1，可以除去比較大的粉塵和一部分水蒸氣等。
[0190]另外，傳感器芯片110是裝入有多個(gè)金屬納米結(jié)構(gòu)體，利用了局域表面等離子體共振的傳感器。在這種傳感器芯片110中，通過激光在金屬納米結(jié)構(gòu)體間形成強(qiáng)化電場(chǎng)，如果氣體分子進(jìn)入該強(qiáng)化電場(chǎng)內(nèi)，則會(huì)產(chǎn)生包含分子振動(dòng)信息的拉曼散射光以及瑞利散射光。
[0191]這些瑞利散射光或拉曼散射光通過光學(xué)部135射入濾波器136，瑞利散射光由濾波器136分離,而拉曼散射光則射入光學(xué)濾波器裝置600。然后,信號(hào)處理部144控制電壓控制部146，調(diào)整施加于光學(xué)濾波器裝置600的干涉濾波器5的電壓，使與成為檢測(cè)對(duì)象的氣體分子相對(duì)應(yīng)的拉曼散射光由光學(xué)濾波器裝置600的干涉濾波器5分光。然后，當(dāng)分光后的光由光接收元件137接收，則對(duì)應(yīng)于光接收量的光接收信號(hào)經(jīng)由光接收電路147而被輸出至信號(hào)處理部144。
[0192]信號(hào)處理部144將如上所述得到的、與成為檢測(cè)對(duì)象的氣體分子相對(duì)應(yīng)的拉曼散射光的光譜數(shù)據(jù)與存儲(chǔ)于ROM的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，并判斷是否為目標(biāo)氣體分子，從而進(jìn)行物質(zhì)的特定。然后，信號(hào)處理部144使該結(jié)果信息顯示在顯示部141上，或者從連接部142向外部輸出。
[0193]此外，在上述圖7以及圖8中例示出通過光學(xué)濾波器裝置600的干涉濾波器5將拉曼散射光分光，并根據(jù)分光后的拉曼散射光進(jìn)行氣體檢測(cè)的氣體檢測(cè)裝置100。除此之外，作為氣體檢測(cè)裝置，也可以用作通過檢測(cè)氣體固有的吸光度來特定氣體種類的氣體檢測(cè)裝置。在該情況下，使用使氣體流入傳感器內(nèi)部且檢測(cè)入射光中被氣體吸收的光的氣體傳感器作為本實(shí)施方式的光學(xué)模塊。并且，將通過這種氣體傳感器分析、判斷流入傳感器內(nèi)的氣體的氣體檢測(cè)裝置作為本實(shí)施方式的電子設(shè)備。在這種結(jié)構(gòu)中，也能夠使用干涉濾波器5來檢測(cè)氣體的成分。
[0194]另外，作為用于檢測(cè)特定物質(zhì)的存在的系統(tǒng)，不限于如上所述的氣體檢測(cè)，還能夠例示出基于近紅外分光法的糖類的非侵入性測(cè)定裝置，以及食品、生物體、礦物等信息的非侵入性測(cè)定裝置等物質(zhì)成分分析裝置。
[0195]以下，作為上述物質(zhì)成分分析裝置的一例，對(duì)食品分析裝置進(jìn)行說明。
[0196]電子設(shè)備3
[0197]圖9是表示食品分析裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的圖。
[0198]作為電子設(shè)備的食品分析裝置200具備:檢測(cè)器210 (光學(xué)模塊)、控制部220以及顯示部230。檢測(cè)器210具備:射出光的光源211、導(dǎo)入從測(cè)定對(duì)象物發(fā)出的光的攝像透鏡212、將從攝像透鏡212導(dǎo)入的光分光的光濾波器裝置600以及檢測(cè)分光后的光的攝像部213 (檢測(cè)部)。
[0199]另外，控制部220具備:光源控制部221，進(jìn)行光源211的亮燈/關(guān)燈控制、亮燈時(shí)的明亮度控制；電壓控制部222，控制光濾波器裝置600 (605)的干涉濾波器5 ;檢測(cè)控制部223，控制攝像部213，并取得由攝像部213拍攝到的分光圖像；信號(hào)處理部224 ;以及存儲(chǔ)部225。
[0200]在該食品分析裝置200中，當(dāng)系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)時(shí)，由光源控制部221控制光源211，光從光源211被照射至測(cè)定對(duì)象物。然后，被測(cè)定對(duì)象物反射的光通過攝像透鏡212射入光濾波器裝置600。光濾波器裝置600的干涉濾波器5通過電壓控制部222的控制而被施加可以將所期望的波長(zhǎng)分光的電壓，分光后的光由例如CCD照相機(jī)等構(gòu)成的攝像部213進(jìn)行攝像。另外，被拍攝到的光作為分光圖像存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部225。另外，信號(hào)處理部224通過控制電壓控制部222而使施加于干涉濾波器5的電壓值改變，取得針對(duì)各波長(zhǎng)的分光圖像。
[0201]然后，信號(hào)處理部224對(duì)存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部225的各圖像的各像素?cái)?shù)據(jù)進(jìn)行運(yùn)算處理，求出各像素的光譜。另外，在存儲(chǔ)部225中存儲(chǔ)有例如相對(duì)于光譜的食品成分的相關(guān)信息，信號(hào)處理部224以存儲(chǔ)部225中所存儲(chǔ)的、食品的相關(guān)信息為依據(jù)，分析所求出的光譜的數(shù)據(jù)，進(jìn)而求出檢測(cè)對(duì)象中所含有的食品成分及其含量。另外，也可以根據(jù)所得到的食品成分和含量，計(jì)算出食物卡路里和鮮度等。并且，通過分析圖像內(nèi)的光譜分布，也能夠進(jìn)行檢查對(duì)象的食品中鮮度正在下降的部分的抽取等，并且能夠進(jìn)一步進(jìn)行食品內(nèi)所含有的異物等的檢測(cè)。
[0202]然后，信號(hào)處理部224進(jìn)行如下處理:在顯示部230顯示如上所述得到的檢查對(duì)象的食品的成分和含量、卡路里和鮮度等信息。
[0203]另外，在圖9中雖然示出食品分析裝置200的示例，但通過大致同樣的結(jié)構(gòu)，也能夠用作如上所述的其他信息的非侵入性測(cè)定裝置。例如，能夠用作血液等體液成分的測(cè)定、分析等分析生物體成分的生物體分析裝置。作為這種生物體分析裝置，作為測(cè)定例如血液等體液成分的裝置，如果作為檢測(cè)乙醇的裝置，則能夠用作檢測(cè)駕駛員的飲酒狀態(tài)的防止酒后駕駛裝置。另外，也能夠用作具備這種生物體分析裝置的電子內(nèi)視鏡系統(tǒng)。
[0204]并且，也能夠用作進(jìn)行礦物成分分析的礦物分析裝置。
[0205]并且，作為電子設(shè)備，還能夠應(yīng)用于以下這種裝置:
[0206]例如，通過使各波長(zhǎng)的光的強(qiáng)度隨時(shí)間變化而變化，能夠利用各波長(zhǎng)的光來傳輸數(shù)據(jù)，在該情況下，通過設(shè)置于光學(xué)模塊中的干涉濾波器將特定波長(zhǎng)的光分光，再由光接收部接收光，從而能夠提取出由特定波長(zhǎng)的光傳輸?shù)臄?shù)據(jù)，并可以通過具備這種數(shù)據(jù)提取用光學(xué)模塊的電子設(shè)備來處理各波長(zhǎng)的光的數(shù)據(jù)，從而進(jìn)行光通信。
[0207]另外，作為電子設(shè)備，也能夠應(yīng)用于拍攝分光圖像的分光照相機(jī)、分光分析儀等。作為這種分光照相機(jī)的一個(gè)示例，可以列舉出內(nèi)置有干涉濾波器的紅外線照相機(jī)。
[0208]電子設(shè)備4
[0209]圖10是表示分光照相機(jī)的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0210]作為電子設(shè)備的分光照相機(jī)300具備照相機(jī)主體310、攝像透鏡單元320以及攝像部330 (檢測(cè)部)。
[0211]照相機(jī)主體310是由用戶把持、操作的部分。
[0212]攝像透鏡單元320設(shè)置在照相機(jī)主體310上，將射入的圖像光導(dǎo)入攝像部330。另夕卜，如圖10所示，該攝像透鏡單元320構(gòu)成為具備物鏡321、成像透鏡322以及設(shè)置在這些透鏡之間的光濾波器裝置600 (605)。
[0213]攝像部330由光接收元件構(gòu)成，對(duì)由攝像透鏡單元320導(dǎo)入的圖像光進(jìn)行拍攝。
[0214]在這種分光照相機(jī)300中，通過光濾波器裝置600的干涉濾波器5使作為拍攝對(duì)象的波長(zhǎng)的光透過，從而能夠?qū)λ璨ㄩL(zhǎng)的光的分光圖像進(jìn)行拍攝。
[0215]并且，還可以將光學(xué)濾波器裝置所具備的干涉濾波器用作帶通濾波器，例如也能夠用作僅僅使發(fā)光元件射出的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域的光中、以規(guī)定波長(zhǎng)為中心的狹窄波段的光由干涉濾波器5分光并使其透過的光學(xué)式激光裝置。
[0216]另外，可以將光學(xué)濾波器裝置所具備的干涉濾波器用作生物體認(rèn)證裝置，例如能夠應(yīng)用于利用近紅外區(qū)域或者可視區(qū)域的光的、血管、指紋、視網(wǎng)膜和虹膜等的認(rèn)證裝置。
[0217]并且，還能夠?qū)⒐鈱W(xué)模塊以及電子設(shè)備用作濃度檢測(cè)裝置。在該情況之下，通過干涉濾波器5將從物質(zhì)射出的紅外能量(紅外光)分光并進(jìn)行分析，從而測(cè)定樣品中的受檢體濃度。
[0218]如上所述，本發(fā)明的光學(xué)濾波器裝置對(duì)于將規(guī)定的光從入射光中分光的任何的裝置都能夠適用。并且，如上所述，光學(xué)濾波器裝置由于能夠用一個(gè)裝置使多個(gè)波長(zhǎng)分光，因而能夠高精度地進(jìn)行多個(gè)波長(zhǎng)的光譜的測(cè)定、對(duì)多種成分的檢測(cè)。因此，與利用多個(gè)裝置取出所需波長(zhǎng)的現(xiàn)有裝置相比，能夠促進(jìn)光學(xué)模塊和電子設(shè)備的小型化，能夠優(yōu)選用作例如攜帶用或者車載用的光學(xué)裝置。
[0219]在上述的測(cè)色裝置1、氣體檢測(cè)裝置100、食品分析裝置200以及分光照相機(jī)300的說明中，雖然示出應(yīng)用了上述實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600 (605)的示例，但并不限于此。當(dāng)然，變形例所涉及的光學(xué)濾波器裝置也能夠同樣地應(yīng)用于測(cè)色裝置I等。
[0220]此外，本實(shí)施方式不限于上述實(shí)施方式，可以對(duì)上述實(shí)施方式進(jìn)行各種變更和改良等。變形例將在以下說明。此外，對(duì)于與上述實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)部位賦予相同的符號(hào)，并省略重復(fù)的說明。
[0221]變形例I
[0222]圖11是變形例I所涉及的光學(xué)濾波器裝置的側(cè)截面圖，對(duì)應(yīng)于圖2。
[0223]在上述實(shí)施方式中，雖然對(duì)通過接合線進(jìn)行干涉濾波器5與基底基板610之間的電連接的情況進(jìn)行說明，但并非限于該結(jié)構(gòu)，只要是進(jìn)行電連接的連接方法即可。例如，也可以是使用FPC (Flexible printed circuits:柔性印刷布線板)的連接。具體而言,如圖11所示，可以采用通過FPC71連接伸出區(qū)域60與基底基板610的端子之間的結(jié)構(gòu)。此外，在圖11中，作為優(yōu)選例，在伸出區(qū)域60的相對(duì)邊上也形成有伸出區(qū)域70。具體而言，固定基板51的一邊從可動(dòng)基板52突出而形成伸出區(qū)域70。與伸出區(qū)域60端同樣，利用FPC72將伸出區(qū)域70與基底基板610的端子之間電連接。
[0224]這樣，即使使用FPC來代替接合線，也可以進(jìn)行干涉濾波器5與基底基板610之間的電連接，并能夠得到與上述各實(shí)施方式同樣的作用效果。
[0225]并且，由于可以從相對(duì)的兩邊進(jìn)行電連接，因而與將連接端子匯集于一邊的情況相比，到干涉濾波器5內(nèi)的連接端子為止的圖案布線變得容易，能夠?qū)⒏缮鏋V波器5小型化。
[0226]變形例2
[0227]圖12是變形例2所涉及的光學(xué)濾波器裝置的側(cè)截面圖，對(duì)應(yīng)于圖2。
[0228]在上述實(shí)施方式中，雖然對(duì)襯墊部形成在干涉濾波器5上的情況進(jìn)行說明，但并非限于該結(jié)構(gòu)，也可以是在殼體601側(cè)形成襯墊部(突起部)的結(jié)構(gòu)。具體而言，在本變形例中，在基底基板610的表面上形成有襯墊部85、86、87。另外，在蓋板620的頂部626上形成有襯墊部95、96、97。襯墊部85、86、87以及襯墊部95、96、97在俯視觀察中的位置與圖3的襯墊部65、66、67相同。各襯墊部的截面形狀呈圓錐形狀，其頂部朝向干涉濾波器5 —側(cè)。另外，各襯墊部的高度(間隙)是與上述實(shí)施方式相同。
[0229]而且，在干涉濾波器5的表里面上未形成有襯墊部。干涉濾波器5由一處固定部件64固定于基底基板610。
[0230]即使是該結(jié)構(gòu)，由于各襯墊部作為止動(dòng)器而起作用，因而能夠得到與上述各實(shí)施方式同樣的作用效果。具體而言，即使在殼體601受到撞擊，干涉濾波器5以固定部件64為支點(diǎn)而在殼體內(nèi)部的高度方向移動(dòng)的情況下，同樣，蓋板620的襯墊部95、96、97作為表面方向的止動(dòng)器，基底基板610的襯墊部85、86、87作為背面方向的止動(dòng)器而分別起作用。
[0231]變形例3
[0232]圖13是變形例3所涉及的光學(xué)濾波器裝置的側(cè)截面圖，對(duì)應(yīng)于圖2。
[0233]在上述實(shí)施方式以及變形例中，雖然對(duì)襯墊部形成于干涉濾波器5，或者基底基板610、蓋板620 —側(cè)的情況進(jìn)行說明，但并非限于該結(jié)構(gòu)，也可以是配置單一的襯墊部的結(jié)構(gòu)。具體而言，在本變形例中，在基底基板610與干涉濾波器5之間配置有球狀的襯墊部35、36、37。另外，在蓋板620的頂部626上配置有使粘合劑滴下而形成的拱頂狀的襯墊部45、46、47。襯墊部35、36、37以及襯墊部45、46、47在俯視觀察中的位置與圖3的襯墊部65、66、67相同。另外，各襯墊部的高度(間隙)與上述實(shí)施方式相同。作為優(yōu)選例，拱頂狀的襯墊部45、46、47是在對(duì)蓋板620的頂部626通過噴墨法適量吐出紫外線固化型粘合劑(樹脂)之后，照射紫外線而固化形成的。
[0234]即使是該結(jié)構(gòu)，由于各襯墊部作為止動(dòng)器而起作用，因而能夠得到與上述各實(shí)施方式同樣的作用效果。
[0235]另外，也可以是在干涉濾波器5的表里面上都配置球狀的襯墊部的結(jié)構(gòu)。同樣，也可以是在基底基板610、蓋板620 —側(cè)都配置拱頂狀的襯墊部的結(jié)構(gòu)。
[0236]另外，即使是有機(jī)材料也不妨礙作為止動(dòng)器的功能，因而也可以如襯墊部45那樣，使用樹脂材料或粘合劑來形成止動(dòng)器。
[0237]變形例4
[0238]圖14 Ca)?(C)是變形例4所涉及的干涉濾波器的俯視圖，對(duì)應(yīng)于圖3。
[0239]在上述實(shí)施方式以及變形例中，對(duì)在俯視觀察中配置3處襯墊部的情況進(jìn)行說明，但并非限于該結(jié)構(gòu)，襯墊部只要具有一處以上即可。具體而言，襯墊部只要在濾波器區(qū)域F的外側(cè)且與固定部件64分離的部分上形成一處以上即可。
[0240]例如，如圖14 (a)所示，也可以是在固定部件64 (伸出區(qū)域60)的相對(duì)邊的大致中間處形成一處襯墊部66的結(jié)構(gòu)。此外，襯墊部66的結(jié)構(gòu)除了在俯視觀察中的位置以外，與實(shí)施方式一中說明的相同。這樣，優(yōu)選在隔著濾波器區(qū)域F與固定部件64對(duì)角的位置上形成襯墊部66。
[0241]另外，如圖14 (b)所示，也可以是在與固定部件64 (伸出區(qū)域60)相鄰的兩個(gè)邊的大致中間處配置襯墊部66、67的結(jié)構(gòu)。
[0242]或者，如圖14 (C)所示，也可以是在呈長(zhǎng)方形的干涉濾波器5的4個(gè)頂點(diǎn)附近配置襯墊部66、67、68、69的結(jié)構(gòu)。所謂頂點(diǎn)附近，是指可以得到與頂點(diǎn)形成襯墊部的情況相同效果的附近區(qū)域。具體而言，只要是在受到撞擊時(shí)，只要是襯墊部能夠發(fā)揮作為支撐長(zhǎng)方形的干涉濾波器5的角部的止動(dòng)器的功能的附近區(qū)域即可。
[0243]即使是這些結(jié)構(gòu)，由于各襯墊部作為止動(dòng)器而起作用，因而能夠得到與上述各實(shí)施方式同樣的作用效果。
[0244]變形例5
[0245]圖15 ( a )、(b)是變形例5所涉及的干涉濾波器的俯視圖，對(duì)應(yīng)于圖3。
[0246]在上述實(shí)施方式以及變形例中，對(duì)固定部件64為配置于一處的在俯視觀察中為一體的方式的情況進(jìn)行說明，但并非限于該結(jié)構(gòu)，只要是固定俯視觀察的一個(gè)區(qū)域的結(jié)構(gòu)即可。
[0247]例如，如圖15 (a)所示，也可以在形成于伸出區(qū)域60上的6個(gè)連接端子61的每個(gè)背面上，形成圓板狀(貝柱狀)的子固定部80，共形成形成6個(gè)子固定部80，將包括該6個(gè)子固定部80的長(zhǎng)圓狀的區(qū)域作為一處固定部件81。
[0248]或者，如圖15 (b)所示，也可以在呈長(zhǎng)方形的干涉濾波器5的右上方的頂點(diǎn)附近集中形成4個(gè)圓板狀(貝柱狀)的子固定部82，將包括了該4個(gè)子固定部82的圓形狀的區(qū)域作為一處固定部件83。
[0249]即使是這些結(jié)構(gòu)，由于固定部件81、固定部件83分別發(fā)揮與實(shí)施方式一的固定部件64同樣的功能，因而能夠得到與上述各實(shí)施方式同樣的作用效果。
[0250]此外，本申請(qǐng)實(shí)施時(shí)的具體的結(jié)構(gòu)在能夠達(dá)到本申請(qǐng)的目的的范圍內(nèi)能夠適當(dāng)?shù)刈兏鼮槠渌Y(jié)構(gòu)等。
【權(quán)利要求】
1.一種光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 具備: 干涉濾波器，具有第一基板、與所述第一基板相對(duì)的第二基板、設(shè)置在所述第一基板上的第一反射膜、及設(shè)置在所述第二基板上并隔著規(guī)定間隙與所述第一反射膜相對(duì)的第二反射膜；以及 殼體，具有裝載所述干涉濾波器的基底基板，并容納所述干涉濾波器， 所述干涉濾波器由固定部件固定于所述基底基板上，所述固定部件配置于包括所述第一反射膜和所述第二反射膜的濾波器區(qū)域的俯視觀察的外側(cè)的一處上， 在所述濾波器區(qū)域的外側(cè)且與所述固定部件分離的部分上，形成有比所述固定部件的高度低的襯墊部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 所述襯墊部是形成于所述第二基板的所述基底基板一側(cè)的面上的突起部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 所述干涉濾波器在俯視觀察中呈長(zhǎng)方形， 所述第二基板的一邊形成從所述第一基板伸出的伸出區(qū)域， 所述固定部件設(shè)置于所述伸出區(qū)域與所述基底基板之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 所述襯墊部在俯視觀察中形成于所述濾波器區(qū)域與所述伸出區(qū)域之間， 以及/或形成有所述伸出區(qū)域的邊的相對(duì)邊上的兩個(gè)頂點(diǎn)處。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 在所述伸出區(qū)域的所述第一基板一側(cè)的面上，形成有電連接用的第一端子， 所述第一端子與形成于所述基底基板上的第二端子之間通過引線接合連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 所述第一端子形成有多個(gè)， 所述固定部件以與所述多個(gè)第一端子重疊的方式配置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 所述殼體還具備具有凹形的蓋板， 所述蓋板在使所述凹形倒扣的狀態(tài)下與所述基底基板接合， 在所述干涉濾波器與所述凹形的底面之間，也形成有所述襯墊部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 所述襯墊部是形成于所述基底基板或所述蓋板的凹形的底面上的突起部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 所述固定部件是多個(gè)子固定部集合而形成的區(qū)域。
10.一種電子設(shè)備，其特征在于， 具備權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的光學(xué)濾波器裝置。
【文檔編號(hào)】G02B5/28GK103885110SQ201310700622
【公開日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2013年12月18日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月20日
【發(fā)明者】小池繁光 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社