顯示裝置制造方法
【專利摘要】在作為檢查用的控制信號而需要輸入多個控制信號的情況下削減檢查用焊盤電極。一種顯示裝置，包括具有內(nèi)置回路的顯示面板，具有形成有檢查用焊盤和向所述內(nèi)置回路輸入控制信號的多條信號線的第1基板、和安裝于所述第1基板上并向所述內(nèi)置回路供給控制信號的驅(qū)動電路，將所述多條信號線中的彼此相鄰的一對信號線設(shè)為一方的信號線和另一方的信號線時，在所述一方的信號線的途中形成有所述檢查用焊盤，所述另一方的信號線經(jīng)由開關(guān)元件連接于所述檢查用焊盤，在檢查時，使所述開關(guān)元件接通，從所述檢查用焊盤向所述一方的信號線和所述另一方的信號線輸入相同的控制信號。
【專利說明】顯示裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示裝置，特別涉及在減少檢查用焊盤數(shù)時有效的技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]例如，使用薄膜晶體管作為有源元件的TFT液晶顯示裝置，由于能夠顯示高精度的圖像，所以多用作電視機(jī)、個人電腦用顯示器等顯示裝置。
[0003]液晶顯示裝置基本上具有在至少一方由透明玻璃等構(gòu)成的第I基板和第2基板(一對基板)之間夾持有液晶層的所謂的液晶顯示面板。對在該液晶顯示面板的基板形成的像素形成用的各種電極選擇性地施加電壓，進(jìn)行預(yù)定像素的亮燈和滅燈，因此在對比度性能、高速顯示性能方面優(yōu)良。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]例如，在便攜電話或智能手機(jī)等所使用的小型的液晶顯示面板中，已知在液晶顯示面板內(nèi)內(nèi)置有驅(qū)動電路(例如掃描線驅(qū)動電路等)的顯示面板。
[0005]在搭載有內(nèi)置電路的液晶顯示面板中，例如在實(shí)施內(nèi)置電路的亮燈檢查時，必須將探針用的亮燈檢查用焊盤電極按每條用于向內(nèi)置電路輸入控制信號的各信號線而全部配置。
[0006]然而，在第I基板中與第2基板不重疊的區(qū)域，除了亮燈檢查用焊盤電極以外，需要除驅(qū)動電路(DRV)外還配置 對準(zhǔn)標(biāo)記類等。在所輸入的控制信號數(shù)多的內(nèi)置電路的情況下，確保用于將亮燈檢查用焊盤電極全部配置的區(qū)域是很困難的。
[0007]為了解決該問題，設(shè)想縮小亮燈檢查用焊盤電極和/或縮小間距，但亮燈檢查用焊盤電極的縮小、間距的縮小具有因探針精度的惡化導(dǎo)致生產(chǎn)率的降低、因檢查工具自身的制作難度高而導(dǎo)致成本增加這樣的缺點(diǎn)。
[0008]在日本特開2011-242742號公報和日本特開2010-32800號公報中記載了如下內(nèi)容:在亮燈檢查時使晶體管導(dǎo)通，向全部信號線輸入亮燈檢查用的控制信號，削減亮燈檢查用焊盤電極。
[0009]然而，需要向前述的內(nèi)置于液晶顯示面板的內(nèi)置電路輸入多個控制信號作為亮燈檢查用的控制信號，日本特開2011-242742號公報和日本特開2010-32800號公報所記載的方法，無法適用于需要輸入多個亮燈檢查用的控制信號的情況。
[0010]本發(fā)明是為了解決所述以往技術(shù)的問題點(diǎn)而完成的，本發(fā)明的目的在于，提供一種在作為檢查用的控制信號而需要輸入多個控制信號的情況下能夠削減檢查用焊盤電極的技術(shù)。
[0011]本發(fā)明的所述目的以及其他目的和新特征，根據(jù)本說明書的記述以及附圖而明確。
[0012]本申請所公開的發(fā)明中，簡單說明代表性的發(fā)明如下。
[0013](I) 一種顯示裝置，具有:內(nèi)置電路；第I基板，其形成有檢查用焊盤和向所述內(nèi)置電路輸入控制信號的多條信號線；驅(qū)動電路，其安裝于所述第I基板上，與所述多條信號線連接，所述多條信號線包含彼此相鄰的第I信號線和第2信號線，在所述第I信號線的途中形成有所述檢查用焊盤，所述第2信號線經(jīng)由開關(guān)元件連接于所述檢查用焊盤，在檢查時，使所述開關(guān)元件接通，從所述檢查用焊盤向所述第I信號線和所述第2信號線輸入相同的控制信號。
[0014](2)在(I)中可以，所述開關(guān)元件是形成于所述第I基板上的薄膜晶體管，所述第I基板還包含:柵極電壓用焊盤，其用于輸入向所述薄膜晶體管的柵電極供給的柵極電壓；和柵極布線，其與所述柵極電壓用焊盤連接，向所述薄膜晶體管的柵電極供給柵極電壓，在所述檢查時，向所述柵極電壓用焊盤供給使所述薄膜晶體管導(dǎo)通的柵極電壓，所述開關(guān)元件被接通。
[0015](3)在⑵中可以，所述柵極電壓用焊盤包含:在所述第I基板上由金屬層形成的環(huán)狀的第I柵極電壓用導(dǎo)電層；環(huán)狀的第2柵極電壓用導(dǎo)電層，其在柵極絕緣膜上由金屬層形成，經(jīng)由第I接觸孔與所述第I柵極電壓用導(dǎo)電層電連接；和面狀的第3柵極電壓用導(dǎo)電層，其在層間絕緣膜上由透明導(dǎo)電層形成，經(jīng)由第2接觸孔與所述第2柵極電壓用導(dǎo)電層電連接，在所述第I柵極電壓用導(dǎo)電層連接有與所述驅(qū)動電路連接的信號線，所述柵極布線在所述第I基板上由與所述第I柵極電壓用導(dǎo)電層連接的金屬層構(gòu)成，所述柵極布線形成于所述檢查用焊盤電極的下側(cè)。
[0016](4)在(3)中可以，所述檢查用焊盤電極包含:第I檢查用導(dǎo)電層及第2檢查用導(dǎo)電層，其為俯視時構(gòu)成環(huán)狀的兩個部分被柵極布線分?jǐn)嗟男螤?，所述第I檢查用導(dǎo)電層及第2檢查用導(dǎo)電層在所述第I基板上由金屬層形成；環(huán)狀的第3檢查用導(dǎo)電層，其在所述柵極絕緣膜上由金屬層形成，經(jīng)由第3接觸孔與第I檢查用導(dǎo)電層及第2檢查用導(dǎo)電層電連接；和面狀的第4檢查用導(dǎo)電層，其在所述層間絕緣膜上由透明導(dǎo)電層形成，經(jīng)由第4接觸孔與所述第3檢查用導(dǎo)電層電連接，所述第I信號線被所述柵極布線分?jǐn)酁榈贗部分和第2部分，在所述第I檢查用導(dǎo)電層連接有與所述驅(qū)動電路連接的所述第I信號線的所述第I部分，在所述第2檢查用導(dǎo)電層連接有與所述內(nèi)置電路連接的所述第I信號線的所述第2部分。
[0017](5)在(4)中可以，所述薄膜晶體管具有:柵電極，其形成于所述第I基板上，與所述柵極布線電連接；半導(dǎo)體層，其形成于所述柵極絕緣膜上，形成為覆蓋所述柵電極；和形成于所述半導(dǎo)體層的第I電極及第2電極，所述第2電極與所述第3檢查用導(dǎo)電層連接，所述第2信號線被所述柵極布線分?jǐn)酁榈贗部分和第2部分，在所述第I電極的一方的端部，經(jīng)由第5接觸孔連接有與所述驅(qū)動電路連接的所述第2信號線的所述第I部分，在所述第I電極的另一方的端部，經(jīng)由第6接觸孔連接有與所述內(nèi)置電路連接的所述第2信號線的所述第2部分。
[0018](6)在(3)中可以，所述檢查用焊盤電極包含:第I檢查用導(dǎo)電層及第2檢查用導(dǎo)電層，其為俯視時構(gòu)成環(huán)狀的兩個部分被柵極布線分?jǐn)嗟男螤?，所述第I檢查用導(dǎo)電層及第2檢查用導(dǎo)電層在所述第I基板上由金屬層形成；第3檢查用導(dǎo)電層及第4檢查用導(dǎo)電層，其為俯視時構(gòu)成環(huán)狀的兩個部分被柵極布線分?jǐn)嗟男螤睿龅?檢查用導(dǎo)電層及第4檢查用導(dǎo)電層在所述柵極絕緣膜上由金屬層形成，經(jīng)由第7和第8接觸孔而分別與所述第I檢查用導(dǎo)電層及第2檢查用導(dǎo)電層電連接；和面狀的第5檢查用導(dǎo)電層，其在所述層間絕緣膜上由透明導(dǎo)電層形成，經(jīng)由第9接觸孔與所述第3檢查用導(dǎo)電層及第4檢查用導(dǎo)電層電連接，所述第I信號線被所述柵極布線分?jǐn)酁榈贗部分和第2部分，在所述第I檢查用導(dǎo)電層連接有與所述驅(qū)動電路連接的所述第I信號線的所述第I部分，在所述第2檢查用導(dǎo)電層連接有與所述內(nèi)置電路連接的所述第I信號線的所述第2部分。
[0019](7)在(6)中可以，所述薄膜晶體管具有:柵電極，其形成于所述第I基板上，與所述柵極布線電連接；半導(dǎo)體層，其形成于所述柵極絕緣膜上，形成為覆蓋所述柵電極；和形成于所述半導(dǎo)體層的第I電極及第2電極，所述第2電極與所述第3或第4檢查用導(dǎo)電層連接，所述第2信號線被所述柵極布線分?jǐn)酁榈贗部分和第2部分，在所述第I電極的一方的端部，經(jīng)由第10接觸孔連接有與所述驅(qū)動電路連接的所述第2信號線的所述第I部分，在所述第I電極的另一方的端部，經(jīng)由第11接觸孔連接有與所述內(nèi)置電路連接的所述第2信號線的所述第2部分。
[0020]簡單說明由本申請所公開的發(fā)明中的代表性發(fā)明獲得效果如下。
[0021]根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置，在作為檢查用的控制信號而需要輸入多個控制信號的情況下，能夠削減檢查用焊盤電極。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1是表示作為本發(fā)明前提的液晶顯示裝置的概略結(jié)構(gòu)的框圖。
[0023]圖2是用于說明本發(fā)明的實(shí)施例中的亮燈檢查時向內(nèi)置電路輸入時鐘信號的方法的圖。
[0024]圖3是用于說明本發(fā)明的實(shí)施例中的亮燈檢查時向內(nèi)置電路輸入的時鐘信號的波形的圖。
[0025]圖4是用于說明本發(fā)明的實(shí)施例中的通常動作時向內(nèi)置電路輸入時鐘信號的方法的圖。
[0026]圖5是用于說明本發(fā)明的實(shí)施例中的通常動作時向內(nèi)置電路22A輸入的時鐘信號的波形的圖。
[0027]圖6是本發(fā)明的實(shí)施例的亮燈檢查用焊盤電極和柵極電壓用焊盤電極的俯視圖。
[0028]圖7是用于說明本發(fā)明的實(shí)施例的亮燈檢查用焊盤電極和柵極電壓用焊盤電極的制造方法的圖。
[0029]圖8是用于說明本發(fā)明的實(shí)施例的亮燈檢查用焊盤電極和柵極電壓用焊盤電極的制造方法的圖。
[0030]圖9是用于說明本發(fā)明的實(shí)施例的亮燈檢查用焊盤電極和柵極電壓用焊盤電極的制造方法的圖。
[0031]圖10是用于說明以往的液晶顯示裝置中的內(nèi)置電路與驅(qū)動電路之間的連接方法的圖。
[0032]附圖標(biāo)記說明
[0033]22A、22B內(nèi)置電路(例如，掃描線驅(qū)動等)
[0034]SUBl第I基板(也稱為TFT基板)
[0035]SUB2第2基板(也稱為CF基板)
[0036]PNL液晶顯示面板[0037]PX像素電極
[0038]TFT薄膜晶體管
[0039]DL圖像線
[0040]GL掃描線
[0041]Clc液晶電容
[0042]CT對置電極
[0043]DRV驅(qū)動電路
[0044]TAR 區(qū)域
[0045]PAD亮燈檢查用焊盤電極
[0046]PADS柵極電壓用焊盤電極
[0047]Sff 開關(guān)
[0048]CH接觸孔
[0049]SLDl-1、SLD1-2、SLD2-1、SLD2-2、SLD3-1、SLD3-2、SLD4-1、SLD4-2、SLG 信號線
[0050]GI柵極絕緣膜
[0051]GTE柵電極
[0052]GLN柵極布線
[0053]MGLl第I柵極電壓用導(dǎo)電層
[0054]MGL2第2柵極電壓用導(dǎo)電層
[0055]MGL3第3柵極電壓用導(dǎo)電層
[0056]MPLl-1第I亮燈檢查用導(dǎo)電層
[0057]MPL1-2第2亮燈檢查用導(dǎo)電層
[0058]MPL2-1第3亮燈檢查用導(dǎo)電層
[0059]MPL2-2第4亮燈檢查用導(dǎo)電層
[0060]MPL3第5亮燈檢查用導(dǎo)電層
[0061]AS半導(dǎo)體層
[0062]S 源電極
[0063]D 漏電極
【具體實(shí)施方式】
[0064]以下，參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0065]此外，在用于說明實(shí)施例的全部圖中，具有相同功能的部件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，省略其重復(fù)的說明。另外，以下的實(shí)施例并非用于限定本發(fā)明的權(quán)利要求的范圍的解釋。
[0066][成為本發(fā)明前提的液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)]
[0067]圖1是表示成為本發(fā)明前提的液晶顯示裝置的概略結(jié)構(gòu)的框圖。
[0068]在圖1中，SUBl是第I基板(也稱為TFT基板)，SUB2是大小比第I基板(SUBl)小的第2基板(也稱為CF基板)。
[0069]液晶顯示面板(PNL)構(gòu)成為:將形成有像素電極(PX)、薄膜晶體管(TFT)等的第I基板(SUBl)和形成有濾色片等的第2基板(SUB2)隔開預(yù)定的間隙而重疊，通過在該兩個基板間的周緣部附近設(shè)置成框狀的密封件，使兩個基板貼合，并且從在密封件的一部分設(shè)置的液晶封入口向兩個基板間的密封件的內(nèi)側(cè)封入液晶并封固，進(jìn)而在兩個基板的外側(cè)貼附偏振板。此外，在圖1中，AR表示顯示區(qū)域。
[0070]22A、22B是內(nèi)置于液晶顯示面板(PNL)內(nèi)部的內(nèi)置電路(例如掃描線驅(qū)動等)，DRV是由驅(qū)動器IC構(gòu)成的驅(qū)動電路。此外，內(nèi)置電路由形成于TFT基板(第I基板)上的薄膜晶體管(TFT)構(gòu)成，驅(qū)動電路由半導(dǎo)體芯片或搭載有半導(dǎo)體芯片的薄膜(C0F:片上薄膜)等構(gòu)成。該驅(qū)動電路(DRV)安裝于第I基板(SUBl)中的與第2基板(SUB2)不重疊的區(qū)域(圖1的TAR)。
[0071]在該區(qū)域(TAR)也形成有輸入亮燈檢查用的控制信號的亮燈檢查用焊盤電極(PAD)。在通常動作時，從驅(qū)動電路(DRV)向內(nèi)置電路(22A、22B)輸入控制信號。在亮燈檢查時，因?yàn)闆]有安裝驅(qū)動電路(DRV)，所以從亮燈檢查用焊盤電極(PAD)向內(nèi)置電路(22A、22B)輸入控制信號。此外，在此，作為例子，對亮燈檢查進(jìn)行表示。但并不限定于亮燈檢查，本發(fā)明也能夠廣泛地適用于其他的導(dǎo)通檢查、斷線檢查等。此外，焊盤電極是焊盤的一例。
[0072]液晶顯示面板具有R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))多個子像素。各子像素設(shè)置在由圖像線(DL)和掃描線(GL)包圍的區(qū)域。
[0073]各子像素具有薄膜晶體管(TFT)。薄膜晶體管的第2電極(漏電極和源電極的一方)與圖像線(DL)連接，薄膜晶體管的第I電極(漏電極和源電極的另一方)與像素電極(PX)連接。另外，薄膜晶體管的柵電極與掃描線(GL)連接。
[0074]此外，在圖1中，Clc為將配置在像素電極(PX)與對置電極(CT)之間的液晶層等效地表示的液晶電容。另外，在像素電極(PX)與對置電極(CT)之間也形成有保持電容(Cstg)，但在圖1中省略了圖示。
[0075]在圖1中，圖像線(DL)與驅(qū)動電路(DRV)連接，掃描線(GL)及對置電極(CT)與內(nèi)置電路(22A、22B)連接。
[0076]在液晶顯示面板(PNL)顯示圖像時，內(nèi)置電路(22A、22B)從上向下或從下向上依次選擇掃描線(GL)，在I水平掃描時間供給使薄膜晶體管(TFT)導(dǎo)通的選擇電壓。
[0077]另一方面，在某掃描線(GL)被選擇的期間中，驅(qū)動電路(DRV)將與顯示數(shù)據(jù)電壓對應(yīng)的灰度電壓供給到圖像線(DL)。
[0078]供給到圖像線(DL)的灰度電壓經(jīng)由薄膜晶體管(TFT)施加于像素電極(PX)，最終對液晶電容(Clc)和保持電容(Cstg ;未圖示)充電電荷，通過控制液晶分子來顯示圖像。
[0079]此外，如果是TN液晶顯示面板、VA液晶顯示面板，則對置電極(CT)設(shè)置于第2基板側(cè)。在IPS液晶顯示面板的情況下對置電極(CT)設(shè)置于第I基板側(cè)。
[0080]另外，本發(fā)明與液晶顯示面板的內(nèi)部構(gòu)造無關(guān)，所以省略液晶顯示面板的內(nèi)部構(gòu)造的詳細(xì)說明。進(jìn)而，本發(fā)明無論對哪種構(gòu)造的液晶顯示面板都能夠適用。
[0081]如前所述，在亮燈檢查時，因?yàn)闆]有安裝驅(qū)動電路(DRV)，所以需要從亮燈檢查用焊盤電極(PAD)向內(nèi)置電路(22A、22B)輸入控制信號。
[0082]圖10是用于說明以往的液晶顯示裝置中的內(nèi)置電路22k與驅(qū)動電路(DRV)之間的連接方法的圖。
[0083]一般而言，向內(nèi)置電路(22A、22B)輸入VGl?VGn的相位不同的時鐘信號作為控制信號。此外，η由內(nèi)置電路(22Α、22Β)的規(guī)格來決定，在此作為η = 8來說明。
[0084]如圖10所示，在以往例子中，需要經(jīng)由亮燈檢查用焊盤電極(PAD)向內(nèi)置電路22A輸入來自驅(qū)動電路(DRV)的8個相位互不相同的全部時鐘信號。該情況下，亮燈檢查用焊盤電極(PAD)需要8個。
[0085]如此，在搭載有內(nèi)置電路(22A、22B)的液晶顯示面板(PNL)中，在亮燈檢查時，必須將用于輸入8個控制信號(相位互不相同的8個時鐘信號)的亮燈檢查用焊盤電極(PAD)按8個控制信號而配置全部8個。
[0086]然而，在配置有亮燈檢查用焊盤電極(PAD)的、第I基板(SUBl)中的與第2基板(SUB2)不重疊的區(qū)域(圖1的TAR)中，由于除了驅(qū)動電路(DRV)以外還配置對準(zhǔn)標(biāo)記類等，所以是有限的，在內(nèi)置電路(22A、22B)是亮燈檢查時輸入的控制信號數(shù)多的電路的情況下，現(xiàn)實(shí)中為確保用于將亮燈檢查用焊盤電極(PAD)全部配置的區(qū)域而傷腦筋。
[0087][本發(fā)明的特征]
[0088]圖2是用于說明本發(fā)明的實(shí)施例中的亮燈檢查時向內(nèi)置電路22A輸入時鐘信號的方法的圖。
[0089]圖3是用于說明本發(fā)明的實(shí)施例中的亮燈檢查時向內(nèi)置電路22A輸入的時鐘信號的波形的圖。
[0090]取代向內(nèi)置電路(22A、22B)輸入相位互不相同的8個時鐘信號(VGl?VG8)，作為VGl和VG5的時鐘信號、VG2和VG6的時鐘信號、VG3和VG7的時鐘信號、VG4和VG8的時鐘信號，即使輸入相同相位的時鐘信號，也能夠進(jìn)行亮燈檢查。
[0091]因此，如圖2所示，在本實(shí)施例中，特征在于，在傳輸VG1、VG2、VG3以及VG4的時鐘信號的信號線的途中設(shè)置亮燈檢查用焊盤電極(PAD)，并且在4個亮燈檢查用焊盤電極(PAD)和傳輸VG5、VG6、VG7以及VG8的時鐘信號的信號線之間設(shè)置有開關(guān)(SW)。
[0092]而且，如圖2所示，在亮燈檢查時，對柵極電壓用焊盤電極(PADS)輸入高電平的柵極電壓，使開關(guān)(SW)接通，對各亮燈檢查用焊盤電極(PAD)輸入VG1、VG2、VG3以及VG4的時鐘信號。由此，如圖3所示，作為VG5、VG6、VG7以及VG8的時鐘信號，輸入與VGl、VG2、VG3以及VG4的時鐘信號相同相位的時鐘信號。
[0093]圖4是用于說明本發(fā)明的實(shí)施例中的通常動作時向內(nèi)置電路22A輸入時鐘信號的方法的圖。
[0094]圖5是用于說明本發(fā)明的實(shí)施例中的通常動作時向內(nèi)置電路22A輸入的時鐘信號的波形的圖。
[0095]如圖4所示，在通常動作時，對柵極電壓用焊盤電極(PADS)輸入低電平的柵極電壓，使開關(guān)(SW)斷開，如圖5所示，從驅(qū)動電路(DRV)輸入VGl?VG8的時鐘信號。
[0096]如此，在本實(shí)施例中，在能夠進(jìn)行亮燈檢查的狀態(tài)下，能夠?qū)⒘翢魴z查用焊盤電極(PAD)的個數(shù)削減到以往的一半。
[0097]圖6是本發(fā)明的實(shí)施例的亮燈檢查用焊盤電極(PAD)和柵極電壓用焊盤電極(PADS)的俯視圖。
[0098]如圖6所示，在本實(shí)施例中，向構(gòu)成開關(guān)(SW)的薄膜晶體管的柵電極供給柵極電壓的柵極布線(GLN)，利用亮燈檢查用焊盤電極(PAD)之下而延伸。
[0099]因此，傳輸從驅(qū)動電路(DRV)向內(nèi)置電路22A輸入的VGl時鐘信號的信號線,被分?jǐn)喑蒘LDl-1和SLD1-2這2條。同樣，傳輸從驅(qū)動電路(DRV)向內(nèi)置電路22A輸入的VG5時鐘信號的信號線，也被分?jǐn)喑蒘LD2-1和SLD2-2這2條，傳輸從驅(qū)動電路(DRV)向內(nèi)置電路22A輸入的VG2時鐘信號的信號線，也被分?jǐn)喑蒘LD3-1和SLD3-2這2條，傳輸從驅(qū)動電路(DRV)向內(nèi)置電路22A輸入的VG6時鐘信號的信號線，也被分?jǐn)喑蒘LD4-1和SLD4-2這2條。
[0100]因此，在通常動作時，VGl時鐘信號經(jīng)由SLDl-1信號線一接觸孔(CH)—亮燈檢查用焊盤電極(PAD)的最上層的透明導(dǎo)電層一接觸孔(CH) — SLD1-2信號線而從驅(qū)動電路(DRV)輸入到內(nèi)置電路22A。
[0101]同樣，在通常動作時，VG2時鐘信號經(jīng)由SLD3-1信號線一接觸孔(CH)—亮燈檢查用焊盤電極(PAD)的最上層的透明導(dǎo)電層一接觸孔(CH) — SLD3-2信號線而從驅(qū)動電路(DRV)輸入到內(nèi)置電路22A。
[0102]另外，在通常動作時，VG5時鐘信號經(jīng)由SLD2-1信號線一接觸孔(CH)—開關(guān)(SW)所包含的源電極一接觸孔(CH) — SLD2-2信號線而從驅(qū)動電路(DRV)輸入到內(nèi)置電路22A。
[0103]同樣，在通常動作時，VG6時鐘信號經(jīng)由SLD4-1信號線一接觸孔(CH)—開關(guān)(SW)所包含的源電極一接觸孔(CH) — SLD4-2信號線而從驅(qū)動電路(DRV)輸入到內(nèi)置電路22A。
[0104]圖7A?圖9B是用于說明本發(fā)明的實(shí)施例的亮燈檢查用焊盤電極(PAD)和柵極電壓用焊盤電極(PADS)的制造方法的圖。此外，在圖7A?圖9B中，圖7A、8A以及9A是俯視圖，圖7B、8B、9B是剖視圖。圖7B、8B以及9B所示的截面分別表示沿著圖7A所示的VIIB-VIIB切斷線的截面、沿著圖8A所示的VIIIB-VIIIB切斷線的截面以及沿著圖9A所示的IXB-1XB切斷線的截面。
[0105]以下，使用圖7A?圖9B對本發(fā)明的實(shí)施例的亮燈檢查用焊盤電極(PAD)和柵極電壓用焊盤電極(PADS)的詳細(xì)構(gòu)造進(jìn)行說明。
[0106]如圖7A及7B所示，在第I基板(SUBl)上，由金屬層(例如Al)形成將柵極電壓用焊盤電極(PADS)的外周包圍的環(huán)狀的第I柵極電壓用導(dǎo)電層(MGLl)。
[0107]在該第I柵極電壓用導(dǎo)電層(MGLl)連接有柵極布線(GLN)和與驅(qū)動電路(DRV)連接的信號線(SLG)。
[0108]在此，如圖7A所示，柵極布線(GLN)穿過形成有亮燈檢查用焊盤電極(PAD)的區(qū)域之下而延伸，并且與在形成有開關(guān)(SW)的區(qū)域形成的柵電極(GTE)連接。
[0109]另外，由金屬層(例如Al)形成將亮燈檢查用焊盤電極(PAD)的外周包圍的環(huán)狀的一部分被柵極布線(GLN)分?jǐn)嗟男螤畹牡贗亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPLl-1)和第2亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL1-2)。
[0110]在此，在第I亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPLl-1)連接有與驅(qū)動電路(DRV)連接的信號線(SLDl-1)，在第2亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL1-2)連接有與內(nèi)置電路22A連接的信號線(SLD1-2)。
[0111]另外，夾著柵電極(GTE)還形成有與驅(qū)動電路(DRV)連接的信號線(SLD2-1)和與內(nèi)置電路22A連接的信號線(SLD2-2)。
[0112]此外，信號線(SLG、SLD1-2、SLD1-2、SLD2-1、SLD2_2)和柵極布線(GLN)及柵電極(GTE)由金屬層(例如Al)形成。
[0113]接著，如圖SB所示，在形成柵極絕緣膜(GI)之后，如圖8A所示，在柵極絕緣膜(GD上，由金屬層(例如，Cr、Mo)形成將柵極電壓用焊盤電極(PADS)的外周包圍的環(huán)狀的第2柵極電壓用導(dǎo)電層(MGL2)。[0114]如圖SB所示，該第2柵極電壓用導(dǎo)電層(MGL2)和第I柵極電壓用導(dǎo)電層(MGLl)由接觸孔(CH)電連接。在此，接觸孔(CH)沿著第2柵極電壓用導(dǎo)電層(MGL2)的全周而形成。
[0115]另外，由金屬層(例如，Cr、Mo)形成俯視時將亮燈檢查用焊盤電極(PAD)的外周包圍的環(huán)狀的一部分被柵極布線(GLN)分?jǐn)嗟男螤畹牡?亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL2-1)和第4亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL2-2)。
[0116]如圖8B所示，第3亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL2-1)與第I亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPLl-1)、以及第4亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL2-2)與第2亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL1-2)由接觸孔(CH)電連接。在此，接觸孔(CH)沿著第3亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL2-1)和第4亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL2-2)的全周而形成。此外，第3亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL2-1)和第4亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL2-2)也可以形成為將亮燈檢查用焊盤電極(PAD)的外周包圍的環(huán)狀。
[0117]另外，在柵極絕緣膜(GI)上，以覆蓋柵電極(GTE)的方式形成半導(dǎo)體層(AS)，在該半導(dǎo)體層(AS)上由金屬層(例如，Cr、Mo)形成源電極⑶和漏電極(D)。
[0118]在本實(shí)施例中，源電極(S)和漏電極(D)為了確保柵極寬度而形成為梳齒狀。
[0119]在此，源電極⑶的一端經(jīng)由接觸孔(CH)與連接于驅(qū)動電路(DRV)的信號線(SLD2-1)電連接，源電極(S)的另一端經(jīng)由接觸孔(CH)與連接于內(nèi)置電路22A的信號線(SLD2-2)電連接。
[0120]另外，漏電極⑶經(jīng)由由金屬層(例如，Cr, Mo)形成的第5亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL2-3)與第4亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL2-2)連接。
[0121]接著，如圖9B所示·，在形成層間絕緣膜(PAS)之后，如圖9A所示，形成由透明導(dǎo)電層(Ι--)構(gòu)成的第3柵極電壓用導(dǎo)電層(MGL3)。
[0122]如圖9B所示，該第3柵極電壓用導(dǎo)電層(MGL3)經(jīng)由接觸孔(CH)與第2柵極電壓用導(dǎo)電層(MGL2)電連接。在此，接觸孔(CH)沿著第2柵極電壓用導(dǎo)電層(MGL2)的全周而形成。
[0123]另外，如圖9(a)所示，形成由透明導(dǎo)電層(ITO)構(gòu)成的第6亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL3)。
[0124]如圖9 (b)所示，該第6亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL3)經(jīng)由接觸孔(CH)與第3亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL2-1)及第4亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL2-2)電連接。在此，接觸孔(CH)沿著第3亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL2-1)和第4亮燈檢查用導(dǎo)電層(MPL2-2)的全周而形成。
[0125]以上，基于所述實(shí)施例具體說明了由本
【發(fā)明者】作出的發(fā)明，但本發(fā)明并不限定于所述實(shí)施例，當(dāng)然能夠在不脫離其要旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更。不限于液晶顯示裝置，在例如有機(jī)EL顯示裝置等其他的顯示裝置也能夠適用本發(fā)明。
[0126]以上說明了本發(fā)明的實(shí)施例，但應(yīng)理解，本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，對其進(jìn)行的各種修改、變更均包含于權(quán)利要求書所記載的本發(fā)明的范圍中。
【權(quán)利要求】
1.一種顯示裝置，其特征在于，具有: 內(nèi)置電路； 第I基板，其形成有檢查用焊盤和向所述內(nèi)置電路輸入控制信號的多條信號線； 驅(qū)動電路，其安裝于所述第I基板上，與所述多條信號線連接， 所述多條信號線包含彼此相鄰的第I信號線和第2信號線， 在所述第I信號線的途中形成有所述檢查用焊盤， 所述第2信號線經(jīng)由開關(guān)元件連接于所述檢查用焊盤， 在檢查時，使所述開關(guān)元件接通，從所述檢查用焊盤向所述第I信號線和所述第2信號線輸入相同的控制信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示裝置，其特征在于， 所述開關(guān)元件是形成于所述第I基板上的薄膜晶體管， 所述第I基板還包含: 柵極電壓用焊盤，其用于輸入向所述薄膜晶體管的柵電極供給的柵極電壓；和柵極布線，其與所述柵極電壓用焊盤連接，向所述薄膜晶體管的柵電極供給柵極電壓，在所述檢查時，向所述柵極電壓用焊盤供給使所述薄膜晶體管導(dǎo)通的柵極電壓，所述開關(guān)元件被接通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示裝置，其特征在于， 所述柵極電壓用焊盤包含: 在所述第I基板上由金屬層形成的環(huán)狀的第I柵極電壓用導(dǎo)電層； 環(huán)狀的第2柵極電壓用導(dǎo)電層，其在柵極絕緣膜上由金屬層形成，經(jīng)由第I接觸孔與所述第I柵極電壓用導(dǎo)電層電連接；和 面狀的第3柵極電壓用導(dǎo)電層，其在層間絕緣膜上由透明導(dǎo)電層形成，經(jīng)由第2接觸孔與所述第2柵極電壓用導(dǎo)電層電連接， 在所述第I柵極電壓用導(dǎo)電層連接有與所述驅(qū)動電路連接的信號線， 所述柵極布線在所述第I基板上由與所述第I柵極電壓用導(dǎo)電層連接的金屬層構(gòu)成， 所述柵極布線形成于所述檢查用焊盤電極的下側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯示裝置，其特征在于， 所述檢查用焊盤電極包含: 第I檢查用導(dǎo)電層及第2檢查用導(dǎo)電層，其具有俯視時構(gòu)成環(huán)狀的兩個部分被柵極布線分?jǐn)嗟男螤睿龅贗檢查用導(dǎo)電層及第2檢查用導(dǎo)電層在所述第I基板上由金屬層形成； 環(huán)狀的第3檢查用導(dǎo)電層，其在所述柵極絕緣膜上由金屬層形成，經(jīng)由第3接觸孔與第I檢查用導(dǎo)電層及第2檢查用導(dǎo)電層電連接；和 面狀的第4檢查用導(dǎo)電層，其在所述層間絕緣膜上由透明導(dǎo)電層形成，經(jīng)由第4接觸孔與所述第3檢查用導(dǎo)電層電連接， 所述第I信號線被所述柵極布線分?jǐn)酁榈贗部分和第2部分， 在所述第I檢查用導(dǎo)電層連接有與所述驅(qū)動電路連接的所述第I信號線的所述第I部分， 在所述第2檢查用導(dǎo)電層連接有與所述內(nèi)置電路連接的所述第I信號線的所述第2部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯示裝置，其特征在于， 所述薄膜晶體管具有: 柵電極，其形成于所述第I基板上，與所述柵極布線電連接； 半導(dǎo)體層，其形成于所述柵極絕緣膜上，形成為覆蓋所述柵電極；和 形成于所述半導(dǎo)體層的第I電極及第2電極， 所述第2電極與所述第3檢查用導(dǎo)電層連接， 所述第2信號線被所述柵極布線分?jǐn)酁榈贗部分和第2部分， 在所述第I電極的一方的端部，經(jīng)由第5接觸孔連接有與所述驅(qū)動電路連接的所述第2信號線的所述第I部分， 在所述第I電極的另一方的端部，經(jīng)由第6接觸孔連接有與所述內(nèi)置電路連接的所述第2信號線的所述第2部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯示裝置，其特征在于， 所述檢查用焊盤電極包含: 第I檢查用導(dǎo)電層及第2檢查用導(dǎo)電層，其具有俯視時構(gòu)成環(huán)狀的兩個部分被柵極布線分?jǐn)嗟男螤?，所述第I檢查用導(dǎo)電層及第2檢查用導(dǎo)電層在所述第I基板上由金屬層形成； 第3檢查用導(dǎo)電層及第4檢查用導(dǎo)電層，其具有俯視時構(gòu)成環(huán)狀的兩個部分被柵極布線分?jǐn)嗟男螤?，所述?檢查用導(dǎo)電層及第4檢查用導(dǎo)電層在所述柵極絕緣膜上由金屬層形成，經(jīng)由第7接觸孔和第8接觸孔而分別與所述第I檢查用導(dǎo)電層及第2檢查用導(dǎo)電層電連接；和 面狀的第5檢查用導(dǎo)電層，其在所述層間絕緣膜上由透明導(dǎo)電層形成，經(jīng)由第9接觸孔與所述第3檢查用導(dǎo)電層及第4檢查用導(dǎo)電層電連接， 所述第I信號線被所述柵極布線分?jǐn)酁榈贗部分和第2部分， 在所述第I檢查用導(dǎo)電層連接有與所述驅(qū)動電路連接的所述第I信號線的所述第I部分， 在所述第2檢查用導(dǎo)電層連接有與所述內(nèi)置電路連接的所述第I信號線的所述第2部分。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯示裝置，其特征在于， 所述薄膜晶體管具有: 柵電極，其形成于所述第I基板上，與所述柵極布線電連接； 半導(dǎo)體層，其形成于所述柵極絕緣膜上，形成為覆蓋所述柵電極；和 形成于所述半導(dǎo)體層的第I電極及第2電極， 所述第2電極與所述第3檢查用導(dǎo)電層或第4檢查用導(dǎo)電層連接， 所述第2信號線被所述柵極布線分?jǐn)酁榈贗部分和第2部分， 所述第I電極的一方的端部，經(jīng)由第10接觸孔連接有與所述驅(qū)動電路連接的所述第2信號線的所述第I部分， 所述第I電極的另一方的端部，經(jīng)由第11接觸孔連接有與所述內(nèi)置電路連接的所述第2信號線的所述第2部分。
【文檔編號】G02F1/1362GK103713434SQ201310459267
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月28日
【發(fā)明者】縣健太郎 申請人:株式會社日本顯示器