感光性樹脂組成物、保護(hù)膜及具有保護(hù)膜的元件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及感光性樹脂組成物、保護(hù)膜及具有保護(hù)膜的元件。一種感光性樹脂組成物，包含：堿可溶性樹脂(A)、鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)、含2個(gè)以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)，及溶劑(D)。其中，該含2個(gè)以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)是硅烷材料的水解縮合產(chǎn)物，該硅烷材料包括具有式(I)結(jié)構(gòu)的含硫醇基的硅烷：RaSi(ORb)3--?(I)式(I)中，Ra表示含硫醇基且不具有芳香環(huán)的C1至C8的有機(jī)基團(tuán)，或含硫醇基且具有芳香環(huán)的有機(jī)基團(tuán)；Rb表示氫、C1至C6的烷基、C1至C6的酰基，或C6至C15的芳香基，多個(gè)Rb各自為相同或不同。本發(fā)明還提供由上述感光性樹脂組成物形成的保護(hù)膜，及具有該保護(hù)膜的元件。
【專利說明】感光性樹脂組成物、保護(hù)膜及具有保護(hù)膜的元件
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組成物，特別是涉及一種感光性樹脂組成物、由此感光性樹脂組成物所形成的斷面形狀佳且線膨脹系數(shù)低的保護(hù)膜，及具有該保護(hù)膜的元件。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶顯示元件或固態(tài)成像裝置等光學(xué)元件的制造過程中，必須通過在嚴(yán)苛條件下進(jìn)行的處理編程，例如在基板表面形成配線電極層時(shí)，除需通過酸性溶劑或堿性溶液浸泡，或?yàn)R鍍(Sputtering)等處理編程外，更會(huì)有局部高溫伴隨產(chǎn)生。為防止制造時(shí)受到損害，必須在元件表面上鋪設(shè)保護(hù)膜。
[0003]保護(hù)膜除了能抵御上述處理編程的嚴(yán)苛條件，還需要與基板間保持優(yōu)異的附著力，并具有高透明度、高表面硬度且平滑的表面，以及高耐熱性與耐光性，使保護(hù)膜于長期使用下不會(huì)有變色、黃化或白化等變質(zhì)情況發(fā)生。此外，該保護(hù)膜還需要具有良好的耐水性、耐化性、耐溶劑性、耐酸性，及耐堿性等特性。
[0004]JP2001-354822公開一種適用于形成保護(hù)膜的感放射線性樹脂組成物，包含[A]由不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐、含有環(huán)氧基的不飽和化合物、順丁烯二酰亞胺系單體，及其他烯烴系不飽和化合物形成的共聚物，與[B] 1，2-二疊氮化合物；其中，基于[A]為100重量份，[B]的使用量為5至100重量份。該樹脂組成物具有較高的感度，所形成的保護(hù)膜具備良好耐熱性及耐溶劑性，但卻有斷面形狀不佳、線膨脹系數(shù)高的問題，導(dǎo)致配線電極層難以精準(zhǔn)鋪設(shè)，且造成元件受損。
[0005]由上述可知，為防止光學(xué)元件于制造時(shí)受到損傷，并考量后續(xù)配線電極層的鋪設(shè)，有必要發(fā)展一種適用于形成具有斷面形狀佳及`線膨脹系數(shù)低等優(yōu)點(diǎn)的保護(hù)膜的感光性樹脂組成物。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的第一目的，在于提供一種感光性樹脂組成物，其所形成的保護(hù)膜具備適于后續(xù)制程的斷面形狀及低線膨脹系數(shù)。本發(fā)明感光性樹脂組成物，包含堿可溶性樹脂(A)、鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)、含2個(gè)以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)，及溶劑(D)。其中，該含2個(gè)以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)是硅烷材料的水解縮合產(chǎn)物，該硅烷材料包括具有式
(I)結(jié)構(gòu)的含硫醇基的硅烷;
[0007]RaSi(ORb)3 (I)
[0008]式(I)中，Ra表示含硫醇基且不具有芳香環(huán)的(^至(:8的有機(jī)基團(tuán)，或含硫醇基且具有芳香環(huán)的有機(jī)基團(tuán)；Rb表不氧、C1至C6的烷基、C1至C6的酸基，或C6至C15的芳香基，多個(gè)Rb各自為相同或不同。
[0009]本發(fā)明感光性樹脂組成物，所述堿可溶性樹脂(A)由不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)、含環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)，及其他不飽和化合物(a3)共聚合而得。
[0010]本發(fā)明感光性樹脂組成物，基于堿可溶性樹脂㈧的總量為100重量份，鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)的使用量為10至50重量份；含2個(gè)以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)的使用量為0.5至20重量份；溶劑⑶的使用量為100至800重量份。
[0011]本發(fā)明感光性樹脂組成物，所述硅烷材料還包括交聯(lián)性化合物，所述交聯(lián)性化合物是至少一種選自由下列所構(gòu)成的組的化合物:單烷氧基硅烷、二烷氧基硅烷、三烷氧基硅燒、四烷氧基硅烷、四烷氧基欽，及四烷氧基錯(cuò)。
[0012]本發(fā)明的第二目的，在于提供一種斷面形狀佳且線膨脹系數(shù)低的保護(hù)膜。
[0013]于是，本發(fā)明保護(hù)膜，是將如前所述的感光性樹脂組成物涂布于基材上，再經(jīng)預(yù)烤、曝光、顯影及后烤處理后所形成的。
[0014]本發(fā)明的第三目的，在于提供一種具有保護(hù)膜的元件。
[0015]本發(fā)明具有保護(hù)膜的元件，包含基材以及形成于所述基材上的如上所述的保護(hù)膜。
[0016]本發(fā)明的有益效果在于:本發(fā)明感光性樹脂組成物通過添加所述含2個(gè)以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)，形成斷面形狀佳且線膨脹系數(shù)低的保護(hù)膜。
【專利附圖】

【附圖說明】
圖1是一示意圖，說明應(yīng)用例及應(yīng)用比較例具有圖樣的保護(hù)膜的斷面形狀； 圖2是一示意圖，說明應(yīng)用例及應(yīng)用比較例具有圖樣的保護(hù)膜的斷面形狀；
圖3是一示意圖，說明應(yīng)用例及應(yīng)用比較例具有圖樣的保護(hù)膜的斷面形狀 '及 圖4是一示意圖，說明應(yīng)用例及應(yīng)用比較例具有圖樣的保護(hù)膜的斷面形狀。
【具體實(shí)施方式】
[0017]首先要說明的是，在本文中，該(甲基)丙烯酸表示丙烯酸和/或甲基丙烯酸；(甲基)丙烯酰[(meth)acryloyl]表示丙烯酰(acryloyl)和/或甲基丙烯酰[methacryloyl]；(甲基)丙烯酸酯[(meth)acrylate]表示丙烯酸酯(acrylate)和/或甲基丙烯酸酯(methacrylate)。
[0018]本發(fā)明感光性樹脂組成物，包含堿可溶性樹脂㈧、鄰萘醌二疊氮磺酸酯⑶、含2個(gè)以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)，及溶劑(D);其中，該倍半硅氧烷(C)是硅烷材料的水解縮合廣物，該硅烷材料包括具有式(I)結(jié)構(gòu)的含硫醇基的硅烷；
[0019]RaSi(ORb)3 (I)
[0020]式(I)中，Ra表示含硫醇基且不具有芳香環(huán)的(^至(:8的有機(jī)基團(tuán)，或含硫醇基且具有芳香環(huán)的有機(jī)基團(tuán)；Rb表不氧、C1至C6的烷基、C1至C6的酸基，或C6至C15的芳香基，多個(gè)Rb各自為相同或不同。
[0021]以下將逐一對(duì)堿可溶性樹脂(A)、鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)、含2個(gè)以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)，以及溶劑(D)進(jìn)行詳細(xì)說明:
[0022][堿可溶性樹脂(A)]
[0023]該堿可溶性樹脂(A)是指可溶于堿性水溶液中的樹脂，其結(jié)構(gòu)并沒有特別限制。
[0024]較佳地，該堿可溶性樹脂㈧是指含羧酸基的樹脂或苯酚-酚醛清漆(phenol-novolac)樹脂；又較佳地,該堿可溶性樹脂(A)由混合物在聚合起始劑存在下進(jìn)行共聚合反應(yīng)所制得，該混合物可包含:(i)不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)及含環(huán)氧基的不飽和化合物(a2) ；(ii)不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)、含環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)，及其他不飽和化合物(a3) ；(iii)不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)及其他不飽和化合物(a3)。
[0025]<不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al) >
[0026]基于堿可溶性樹脂(A)聚合時(shí)化合物的使用量為100重量份，該不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)的用量范圍為5至50重量份。較佳地，該不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)的用量范圍為8至45重量份。更佳地，該不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)的用量范圍為10至40重量份。
[0027]該不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)是指包含羧酸基或羧酸酐結(jié)構(gòu)及聚合結(jié)合用的不飽和鍵的化合物，其結(jié)構(gòu)并沒有特別限制，例如但不限于:不飽和單羧酸化合物、不飽和二羧酸化合物、不飽和羧酸酐化合物、多環(huán)型不飽和羧酸化合物、多環(huán)型不飽和二羧酸化合物、多環(huán)型不飽和酸酐化合物。
[0028]該不飽和單羧酸化合物包含但不限于:(甲基)丙烯酸、丁烯酸、α -氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2_(甲基)丙烯酰乙氧基丁二酸酯[2_(meth)acryloyloxyethylsuccinate monoester]、2_ (甲基)丙烯酰乙氧基六氫化苯二甲酸酯、2_ (甲基)丙烯酰乙氧基苯二甲酸酯、ω-羧基聚己內(nèi)酯多元醇單丙烯酸酯(商品名為ARONIX Μ-5300，東亞合成制)等。
[0029]該不飽和二羧酸化合物包含但不限于:馬來酸、富馬酸、甲基富馬酸、衣康酸、檸康酸等。
[0030]該不飽和羧酸酐化合物包含但不限于前述不飽和二羧酸化合物的酸酐化合物。
[0031]該多環(huán)型不飽和羧酸化合物包含但不限于:5_羧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5_羧基-5-甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚_2_烯、5-羧基-6-甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯等。
[0032]該多環(huán)型不飽和二羧酸化合物包含但不限于:5，6-二羧酸二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯。
[0033]該多環(huán)型不飽和二羧酸酐化合物包含但不限于前述多環(huán)型不飽和二羧酸化合物的酸酐化合物。
[0034]較佳地，該不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)選自丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸酐、2-甲基丙烯酰乙氧基丁二酸酯，或2-甲基丙烯?；已趸鶜浠蕉姿?。上述化合物可單獨(dú)或混合多種使用。
[0035]〈含環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)>
[0036]基于堿可溶性樹脂(A)聚合時(shí)化合物的使用量為100重量份，該含環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)的用量范圍為10至70重量份，較佳地，該含環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)的用量范圍為20至70重量份。更佳地，該含環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)的用量范圍為25至65重量份。
[0037]該含環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)例如但不限于:含環(huán)氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物、含環(huán)氧基的α -烷基丙烯酸酯化合物、環(huán)氧丙醚化合物。
[0038]該含環(huán)氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物例如但不限于:(甲基)丙烯酸環(huán)氧丙酯[glycidyl (meth) acrylate]、(甲基)丙烯酸2_甲基環(huán)氧丙酯、(甲基)丙烯酸3，4_環(huán)氧丁酯、(甲基)丙烯酸6，7-環(huán)氧庚酯、(甲基)丙烯酸3，4-環(huán)氧環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸3，4_ 環(huán)氧環(huán)己基甲酯[3，4-Epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate]等。
[0039]該含環(huán)氧基的α -烷基丙烯酸酯化合物例如但不限于:α _乙基丙烯酸環(huán)氧丙酯、 正丙基丙烯酸環(huán)氧丙酯、α-正丁基丙烯酸環(huán)氧丙酯、α-乙基丙烯酸6，7-環(huán)氧庚酯
坐寸ο
[0040]該環(huán)氧丙醚化合物例如但不限于:鄰-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚(o-vinylbenzylglycidylether)、間-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚(m-vinylbenzylglycidylether)、對(duì)-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚(p-viny lbenzy lglyc idyl ether)等。
[0041]較佳地，該含環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)選自甲基丙烯酸環(huán)氧丙酯、(甲基)丙烯酸3，4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯、甲基丙烯酸6，7-環(huán)氧庚酯、鄰-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚、間-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚，及對(duì)-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚。
[0042]<其他不飽和化合物(a3) >
[0043]基于堿可溶性樹脂(A)聚合時(shí)化合物的使用量為100重量份，該其他不飽和化合物(a3)的用量范圍為O至70重量份。較佳地，該其他不飽和化合物(a3)的用量范圍為O至60重量份。更佳地，該其他不飽和化合物(a3)的用量范圍為O至55重量份。
[0044]該其他不飽和化合物(a3)例如但不限于:(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸脂環(huán)族酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、不飽和二羧酸二酯、(甲基)丙烯酸羥烷酯、(甲基)丙烯酸酯的聚醚、芳香族乙烯基化合物及其他不飽和化合物。
[0045]該(甲基)丙烯酸烷基酯包含但不限于:(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯等。
[0046]該(甲基)丙烯酸脂環(huán)族酯包含但不限于:(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基環(huán)己酯、三環(huán)[5.2.1.02，6]癸-8-基(甲基)丙烯酸酯(或稱為(甲基)丙烯酸雙環(huán)戍酯[dicyclopentanyl (meth) acrylate])、(甲基)丙烯酸二環(huán)戍氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸四氫呋喃酯等。
[0047]該(甲基)丙烯酸芳基酯包含但不限于:(甲基)丙烯酸苯基酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯[benzyl (meth) acrylate]等。
[0048]該不飽和二羧酸二酯包含但不限于:馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯
坐寸ο
[0049]該(甲基)丙烯酸羥烷酯包含但不限于:(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯[2-hydroxyethyl (meth) acrylate] > (甲基)丙烯酸-2-輕基丙酯等。
[0050]該(甲基)丙烯酸酯的聚醚包含但不限于:聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯等。
[0051]該芳香族乙烯基化合物包含但不限于:苯乙烯、α -甲基苯乙烯、間-甲基苯乙烯，對(duì)-甲基苯乙烯、對(duì)-甲氧基苯乙烯等。
[0052]該其他不飽和化合物包含但不限于:丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙烯乙酯、1，3- 丁二烯、異戊二烯、2，3- 二甲基1，3- 丁二烯、氮-環(huán)己基馬來酰亞胺、氮-苯基馬來酰亞胺、氮-芐基馬來酰亞胺，氮-丁二酰亞胺基-3-馬來酰亞胺苯甲酸酯、氮-丁二酰亞胺基-4-馬來酰亞胺丁酸酯、氮-丁二酰亞胺基-6-馬來酰亞胺己酸酯、氮-丁二酰亞胺基-3-馬來酰亞胺丙酸酯、氮-(9-吖啶基)馬來酰亞胺等。
[0053]較佳地，該其他不飽和化合物(a3)選自(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸雙環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊氧基乙酯、苯乙烯，或?qū)?甲氧基苯乙烯。上述化合物可單獨(dú)或混合多種使用
[0054]制備該堿可溶性樹脂(A)時(shí)所用的溶劑包含但不限于(I)醇類化合物:甲醇、乙醇、苯甲醇、2-苯乙醇，或3-苯基-1-丙醇等；(2)醚類化合物:四氫呋喃等；(3) 二醇醚類化合物:乙二醇單丙醚、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚等；(4)乙二醇烷基醚醋酸酯:乙二醇丁醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、乙二醇甲醚醋酸酯等；(5) 二乙二醇類化合物:二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、二乙二醇二甲醚(diethylene glycoldimethyl ether)、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲乙醚等；(6) 二丙二醇類化合物:二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、二丙二醇甲乙醚等；(7)丙二醇單烷基醚類化合物:丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單丁醚等；(8)丙二醇燒基醚醋酸酯類化合物:丙二醇甲醚醋酸酯(Propylene glycol monomethyl etheracetate)、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯、丙二醇丁醚醋酸酯等；(9)丙二醇烷基醚丙酸酯類化合物:丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇丁醚丙酸酯等；(10)芳香烴類化合物:甲苯、二甲苯等；(11)酮類化合物:甲乙酮、環(huán)己酮、二丙酮醇等；(12)酯類化合物:乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羥基丙酸乙酯、
2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥乙酸甲酯、羥乙酸乙酯、羥乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、
3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2- 丁氧基丙酸甲酯、2- 丁氧基丙酸乙酯、2- 丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯
坐寸ο
[0055]較佳地，制備該堿可溶性樹脂(A)時(shí)所用的溶劑選自二乙二醇二甲醚或丙二醇甲醚醋酸酯。該溶劑可單獨(dú)或混合使用。
[0056]制備該堿可溶性樹脂(A)時(shí)所使用的聚合起始劑包含但不限于偶氮化合物或過氧化物，可單獨(dú)或混合使用。
[0057]該偶氮化合物例如但不限于:2，2’-偶氮雙異丁腈、2，2’-偶氮雙(2，4_ 二甲基戊臆)[2，2’ -Azobis (2, 4-dimethylvaleronitriIe) ]、2，2，-偶氮雙(4-甲氧基-2, 4- 二甲基戍腈)、2，2’-偶氮雙-2-甲基丁腈[2, 2’ -azobis-2-methyl butyronitrile]、4，4’-偶氮雙(4-氰基戊酸)、二甲基2，2’-偶氮雙(2-甲基丙酸酯)、2，2’-偶氮雙(4-甲氧基-2，4- 二甲基戍臆)等。
[0058]該過氧化物例如但不限于:過氧化二苯甲酰、過氧化十二酰、叔丁基過氧化叔戊酸酯、1，1-雙(叔丁基過氧化)環(huán)己烷、過氧化氫等。
[0059]該堿可溶性樹脂(A)的分子量的調(diào)整，可通過使用單一種樹脂，或可使用兩種或兩種以上不同分子量的樹脂。較佳地，該堿可溶性樹脂(A)的重量平均分子量為3，000至100，000 ;又較佳地為4，000至80，000 ;更佳地為5，000至60，000。
[0060][鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)]
[0061]該感光性樹脂組成物中的鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)沒有特別的限制，可選用一般所使用的。該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)是可為完全酯化或部分酯化的酯化物。較佳地，該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)是由鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類與羥基化合物反應(yīng)所制得。更佳地，該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)是由鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類與多元羥基化合物反應(yīng)所制得。 [0062]該鄰萘醌二疊氮磺酸包含但不限于鄰萘醌二疊氮-4-磺酸、鄰萘醌二疊氮-5-磺酸、鄰萘醌二疊氮-6-磺酸等。該鄰萘醌二疊氮磺酸的鹽類可例如但不限于鄰萘醌二疊氮磺酸鹵鹽。
[0063]該羥基化合物可單獨(dú)或混合使用，且該羥基化合物包含但不限于:
[0064](I)羥基二苯甲酮類化合物，例如但不限于2，3，4-三羥基二苯甲酮、2，4，4’ -三羥基二苯甲酮、2，4，6-三羥基二苯甲酮、2，3，4，4’ -四羥基二苯甲酮、2，4，2’，4’ -四羥基二苯甲酮、2，4，6，3，，4，-五羥基二苯甲酮、2，3，4，2，，4，-五羥基二苯甲酮、2，3，4，2，，5，-五羥基二苯甲酮、2，4，5，3，，5，-五羥基二苯甲酮、2，3，4，3，，4，，5，-六羥基二苯甲酮等。
[0065](2)羥基芳基類化合物，例如但不限于由式(a)所示的羥基芳基類化合物:
[0066]...............1 ~~~ βIIIiWiWi?^/
(OHl IR0k
'λ RwRuRq


R

(OH)y(a)
[0067]式(a)中，Rm至R°表不氫原子或C1至C6的烷基；RP至Ru表不氫原子、鹵素原子、C1至C6的烷基、C1至C6的烷氧基(alkoxy)、C1至C6的鏈烯基(alkenyl)，或環(huán)烷基(cycloalkyl) ；RV及Rw表示氫原子、鹵素原子及C1至C6的烷基；x、y及z表示I至3的整數(shù)；k表示O或I。上式(a)所示的羥基芳基類化合物例如但不限于三(4-羥基苯基)甲烷、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3，5- 二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2，5- 二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2，5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2，5- 二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3，5- 二甲基苯基)-3，4- 二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2，5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)-2，4- 二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2，5- 二甲基苯基)-2，4- 二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基苯基)-3-甲氧基-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基-6-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基-6-甲基苯基)-3_羥基苯基甲燒、雙(3-環(huán)己基-4-羥基-6-甲基苯基)-4_羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基-6-甲基苯基)-3，4-二羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基-4-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基-4-甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基-4-甲基苯基)-3，4_ 二羥基苯基甲烷、1-[1-(4_羥基苯基)異丙基]_4-[1，1-雙(4-羥基苯基)乙基]苯、1-[1-(3-甲基-4-羥基苯基)異丙基]-4-[1，1-雙(3-甲基-4-羥基苯基)乙基]苯等°
[0068](3)(羥基苯基)烴類化合物，例如但不限于由式(b)所示的(羥基苯基)烴類化
合物:
[0069]
【權(quán)利要求】
1.一種感光性樹脂組成物，其特征在于包含: 堿可溶性樹脂(A)； 鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)； 含2個(gè)以上硫醇基的倍半硅氧烷(C);及 溶劑⑶； 其中，所述含2個(gè)以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)是硅烷材料的水解縮合產(chǎn)物，所述硅烷材料包括具有式(I)結(jié)構(gòu)的含硫醇基的硅烷；
RaSi(ORb)3 (I) 式(I)中，Ra表示含硫醇基且不具有芳香環(huán)的C1至C8的有機(jī)基團(tuán)，或含硫醇基且具有芳香環(huán)的有機(jī)基團(tuán)；Rb表示氫、C1至C6的烷基、C1至C6的?；?，或C6至C15的芳香基，多個(gè)Rb各自為相同或不同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組成物，其特征在于，所述堿可溶性樹脂(A)由不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(al)、含環(huán)氧基的不飽和化合物(a2)，及其他不飽和化合物(a3)共聚合而得。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組成物，其特征在于，基于堿可溶性樹脂(A)的總量為100重量份，鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)的使用量為10至50重量份；含2個(gè)以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)的使用量為0.5至20重量份；溶劑(D)的使用量為100至800重量份。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組成物，其特征在于，所述硅烷材料還包括交聯(lián)性化合物，所述交聯(lián)性化合物是至少一種選自由下列所構(gòu)成的組的化合物:單烷氧基硅烷、二烷氧基硅烷、二烷氧基硅烷、四烷氧基硅烷、四烷氧基欽，及四烷氧基錯(cuò)。
5.一種保護(hù)膜，其特征在于，是將根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組成物涂布于基材上，再經(jīng)預(yù)烤、曝光、顯影及后烤處理后所形成的。
6.一種具有保護(hù)膜的元件，其特征在于，其包含基材以及根據(jù)權(quán)利要求5所述的保護(hù)膜。
【文檔編號(hào)】G03F7/004GK103728833SQ201310432700
【公開日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年9月22日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月27日
【發(fā)明者】陳凱民, 施俊安 申請(qǐng)人:奇美實(shí)業(yè)股份有限公司